JP2010038552A - 多波長干渉変位測定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】安定度の高いレーザや、高精度に波長を可変できるレーザを使用せず、広いレンジの干渉変位測定装置を実現する。
【解決手段】複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物１１０までの距離または変位を干渉測定する際に、複数のレーザ光の波長を、光コム１０４を用いて測定する。ここで、光コムを用いて波長可変レーザ１０１の発振波長を測定してフィードバック制御をかけることにより所定の複数の波長のレーザ光を得たり、波長可変レーザを任意の波長で発振させて、複数の波長での干渉測定値を得て、各干渉測定値を得た際のレーザ光の波長（周波数）を光コムで測定したり、複数のレーザ４１６、４１７を用いて、各レーザから発振されるレーザ光の波長を光コムで測定しながら干渉測定することができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、多波長干渉変位測定方法及び装置に係り、特に、複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物までの距離または変位を干渉測定する多波長干渉変位測定方法及び装置の改良に関する。

対象物（ターゲットとも称する）までの距離または対象物の変位を高精度に測定する方法の一つに、光波干渉を利用した距離の測定がある。

この光波干渉を利用した距離（変位）の測定は、数百ｎｍの波長をものさしとした高精度な距離（変位）の測定方法である（特許文献１参照）。

しかしながら、光波干渉計をセンサとして対象物の変位や形状を測定する場合に、波長λの半分の長さ以上の急激な変位や、段差の形状は測定できないと言う欠点がある。

これに対して、複数波長での測定結果を組み合わせた、合成波長により測定レンジを拡大する方法が、非特許文献１などで示されている。この方法は、次式（１）に示す如く、波長λ₁で得られる位相φ₁と波長λ₂によって得られる位相φ₂の差φ_sをとると、次式（２）で示す合成波長λ_sで干渉測定したものと等価な結果が得られることを利用している。

φ_s＝φ₂−φ₁ …（１）
λ_s＝λ₂λ₁／|λ₂−λ₁| …（２）

２波長の合成波長によって測定レンジを拡大する場合には、式（２）で示した、差の波長（周波数）を正確に作り出すことが重要である。特に、２波長の差を小さくして波長を大きく拡大して合成するときほど、正確さが求められる。差の波長Δλの誤差δΔλに対する合成波長の誤差δλ_sは、近似的に次式（３）で示される。

λ_s＝λ₂λ₁／|λ₂−λ₁|〜λ₁ ²／Δλ …（２)’
δλ_s〜（λ₁ ²／Δλ²）＊δΔλ …（３)

例えば、λ＝１μｍ、Δλ＝0.001μｍとして、１ｍｍの合成波長λ_sを生成する場合、誤差がλに対して６桁に相当する0.000001μｍのわずかな誤差が発生した場合、合成波長λ_sの誤差δλ_sは、１μｍにもなる。

つまり、合成波長方式によって測定レンジを拡大しようとする時は、所望の波長差で発生する波長の安定度が極めて高い２台のレーザを使用するか、あるいは、極めて高い精度で波長走査が可能な、高価なレーザが必要であった。

特開２０００−１４６５１７号公報 特開２００４−３４０６９０号公報 J. E. Greivenkamp and J. H. Bruning : "Phase Shifting Interferometry" In Optical Shop Testing 2ed. page 560 , Daniel Malacara, ed: John Wiley & Sons, Inc.

しかしながら、周波数が正確に値付けされたレーザはあまり多くなく、現状で手軽に入手できるものとなると更に限られてしまう。従って、測定原理上、より好ましいと判断されるレーザの波長に対して、入手できるレーザが限られてしまっていることが、合成波長を効果的に、あるいは手軽に、実現することを阻害してしまっている。

本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、安定度の高い高価なレーザや高精度に波長を可変できるレーザを使用しないで、安価な広いレンジの干渉変位測定を実現することを課題とする。

本発明は、複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値（参照光と測定光による干渉の位相）を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物までの距離または変位を干渉測定する際に、前記複数のレーザ光の波長を、光コムを用いて測定するようにして、前記課題を解決したものである。

ここで、前記光コムを用いて波長可変レーザの発振波長を測定してフィードバック制御をかけることにより、所定の複数の波長のレーザ光を得ることができる。

また、波長可変レーザを任意の波長で発振させて、複数の波長での干渉測定値を得て、各干渉測定値を得た際のレーザ光の波長（周波数）を光コムで測定して、干渉計本体から対象物までの距離を算出することができる。

また、複数のレーザを用いて、各レーザから発振されるレーザ光の波長を光コムで測定しながら干渉測定を行い、干渉計本体から対象物までの距離を算出することができる。

また、前記光コムを含む一つの周波数測定系で、前記複数の波長を測定することができる。

また、複数の波長で干渉測定値を得る際、一つの波長を基準として相対的に波長差を正確に与える制御を行って干渉測定を行うか、あるいは、各波長での測定値を得た時の波長差を、一つの波長を基準として相対的な差として測定することができる。

また、一方の波長と光コムによって発生するビート周波数と、他方の波長と光コムによって発生するビート周波数に対して、光コムの次数分を加味して周波数差を算出し、この周波数差を波長差に換算することができる。

また、３つ以上の波長から２つずつの組み合わせの合成波長での位相差を算出し、その分解能の違いを利用して距離を決定することができる。

本発明は、また、複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物までの距離または変位を干渉測定する多波長干渉変位測定装置において、前記複数のレーザ光の波長を測定するために光コムを備えたことを特徴とする多波長干渉変位測定装置を提供するものである。

ここで、前記光コムを用いて波長可変レーザの発振波長を測定してフィードバック制御を行う手段を備えることにより、所定の複数の波長を得ることができる。

また、波長可変レーザを任意の波長で発振させて、複数の波長での干渉測定値を得る手段と、各干渉測定値を得た際のレーザ光の波長（周波数）を光コムで測定して、干渉計本体から対象物までの距離の算出に用いる手段とを備えることにより、干渉計本体から対象物までの距離を算出することができる。

また、複数のレーザと、各レーザから発振されるレーザ光の波長を光コムで測定しながら干渉測定を行い、干渉計本体から対象物までの距離の算出に用いる手段とを備えることができる。

また、前記複数の波長を測定するための、前記光コムを含む一つの周波数測定系を備えることができる。

また、複数の波長で干渉測定値を得る際、一つの波長を基準として相対的に波長差を正確に与える制御を行って干渉測定を行う手段か、あるいは、各波長での測定値を得た時の波長差を、一つの波長を基準として相対的な差として測定する手段を備えることができる。

また、一方の波長と光コムによって発生するビート周波数と、他方の波長と光コムによって発生するビート周波数に対して、光コムの次数分を加味して周波数差を算出し、この周波数差を波長差に換算する手段を備えることができる。

また、３つ以上の波長から２つずつの組み合わせの合成波長での位相差を算出する手段と、その分解能の違いを利用して距離を決定する手段と、を備えることができる。

本発明によれば、安定度の高い高価なレーザや、高精度に波長を可変できる高価なレーザを使用せずに、安価なレーザで多波長干渉変位測定を実現できるため、装置の低価格化をはかることができる。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。

本発明の第１実施形態にかかる変位測定装置の構成を図２に示す。

本実施形態では、波長（周波数）可変レーザ１０１の出力光をビームスプリッタ１０６で分割する。一方の光をビームスプリッタ１０８で分割し、一方は、例えば平面鏡でなる参照鏡１０９で反射させて参照光とする。他方は、距離（変位）の測定対象である対象物１１０を照射し、そこからの反射光である測定光と、前記参照光をビームスプリッタ１０８で重ね合せる。参照光と測定光の信号を検出器１１１によって受光し、干渉強度信号により、干渉計本体から対象物１１０までの距離（対象物１１０の変位）を測定する。

又、ビームスプリッタ１０６からの反射光を、ビームスプリッタ１０７を介して光コム１０４と重ね合わせて、検出器１０５で受光する。光コム１０４と波長可変レーザ１０１のビート信号を周波数測定装置１０３で周波数解析して、コントローラ１０２により、レーザ１０１の発振波長（周波数）をフィードバック制御する。

本実施形態においては、波長可変レーザ１０１を所定の波長λ₁で発振させて、得られた干渉信号から位相φ₁を算出する。波長λ₁は、波長可変レーザ１０１の周波数を光コム１０４とのビート周波数によって正確に測定して、所定の波長λ₁になるように波長可変レーザ１０１を制御することによって得られる。図３に波長を可変した時のビート信号の周波数変化の様子を模式的に示す。

次に、光コム１０４とのビート信号によって波長（周波数）を測定しながら、合成波長λ_sを実現するために必要な、波長λ₁とは異なる所定の波長λ₂で波長可変レーザ１０１を発振させる。そして、参照光と測定光の反射光による干渉信号を取得し、位相φ₂の解析値を得る。ここで、得られた２つの位相φ₁とφ₂の差φ_s（＝φ₁−φ₂）から、合成波長λ_sを使った長さに換算して、次式（４）に示す如く、λ_s／２の範囲内で参照光と測定光の光路長差の形で対象物１１０までの距離（変位）Ｌを得ることが出来る。

Ｌ＝（φ_s／２π）＊（λ_s／２） …（４）

光コム１０４は、セシウムの原子時計を基準にして光の周波数を１５桁以上の精度で測定できる装置である。従って、所定の波長λ₁とλ₂は、最大で１５桁の精度で制御可能である。よって、波長λ₁とλ₂を元に合成した波長λ_Sは、十分に高い精度で実現できる。

第１実施形態の測定手順をまとめると、次のようになる。
（１）レーザ１０１の波長を設計波長λ₁に制御する。
（２）干渉測定し、位相φ₁を得る。
（３）レーザ１０１の波長を設計波長λ₂に制御する。
（４）干渉測定し、位相φ₂を得る。
（５）予め設計した位相φ₁とφ₂の差φ_Sを式（４）に代入し、距離Ｌを算出する。

図２では、一つのレーザ１０１を所定の波長λ₁とλ₂に可変し、それぞれ順次測定する方法を示しているが、図４に示す第２実施形態のように、２波長以上を同時に出力するレーザ２０１を使って、波長λ₁とλ₂による干渉信号を分割して同時に取る光学系（ビームスプリッタ２１０、バンドパスフィルタ２１４、２１５）を設けても良い。この場合、検出器１０５や周波数測定装置１０３からなる波長可変レーザ２０１の周波数（波長）測定系を波長λ₁とλ₂用にそれぞれ別々に用意しても構わないし、図４に示したように、一つの周波数測定系で、両方の周波数（波長）λ₁、λ₂を測定して制御することも可能である。

図５は、レーザの発振スペクトルと、その時に得られる干渉ビート信号の例を模式的に示している。図５（ａ₁）に示す如く、波長λ₁とλ₂と光コム１０４の干渉のビート信号を、光コム１０４の周波数間隔ｆ_repの１／２までの範囲で観察した場合には、図５（ｂ₁）に示す如く、それぞれの差の組み合わせの数の周波数のビート信号Δｆ₁、Δｆ₂、Δｆ₁₂が観測される。一方、図５（ａ₂）に示す如く、波長λ₁とλ₂が、光コム１０４の異なる周波数（次数）との間で干渉している場合には、図５（ｂ₂）に示す如く、波長λ₁とλ₂は、それぞれの近隣の光との差の周波数のビート信号Δｆ₁、Δｆ₂が検出される。このような状況で、図５（ａ₃）に示す如く、いずれかの波長（図ではλ₂）を変化させると、変化させた分だけビート信号の周波数の変化が生じる。この現象を活用すれば、１つの周波数測定系で、波長λ₁とλ₂を区別することが可能である。

又、本発明を利用すれば、図６に示す第３実施形態のような構成での干渉測定への応用も可能である。

本実施形態では、波長可変レーザ１０１を任意の波長λ₁’で発振させて、位相φ₁を測定する。次に、λ₁’とは異なる波長λ₂’で発振させて、位相φ₂を測定する。位相φ₁とφ₂を測定した際の正確な波長を、検出器１０５や周波数測定装置１０３などからなる周波数測定系で測定し、その結果を式（２）に代入して合成波長λ_sを算出し、位相φ₁とφ₂から得られる合成位相φ_sと共に式（４）に代入することで、対象物１１０までの距離Ｌを算出することができる。

このとき、波長λ₁’とλ₂’の値によって合成波長λ_sの値は変わるが、実測値によって得た合成波長λ_sで長さに変換するだけであるため、測定結果には何ら影響を及ぼさない。

本実施形態では、レーザ１０１の波長を制御するための特別な装置も不要で、例えば半導体レーザのように電流可変で簡単に波長を変えられるようなレーザが使用できるために、測定装置を極めて簡素化することが出来る。

本実施形態の測定手順をまとめると次のようになる。
（１）レーザ１０１を任意の波長λ₁’で発振させる。
（２）干渉測定し、位相φ₁を得ると同時に、そのときの正確な発振波長λ₁を測定する。
（３）レーザ１０１を別の波長λ₂’に可変し発振させる。
（４）干渉測定し、位相φ₂を得ると同時に、そのときの正確な発振波長λ₂を測定する。
（５）式（１）（２）（５）に代入して、対象物１１０までの距離Ｌを算出する。

又、本発明の手法を応用すれば、図７に示す第４実施形態の如く、発振波長の安定度が低く安価なレーザを使っても、合成波長により広いレンジの干渉測定が実現できる。

本実施形態では、波長λ₁を発振するレーザ４１６と波長λ₂を発振するレーザ４１７を同軸に重ね合わせ、参照鏡１０９と対象物１１０からなる干渉光学系に入射する。波長λ₁とλ₂によって干渉測定を行ない、それぞれの位相φ₁とφ₂を得て、その差φ_sを算出する。その際の波長λ_sの正確な値は、検出器１０５や周波数測定装置１０３からなる周波数測定系によって得られたλ₁とλ₂を使用して正確に算出する。そして得られた合成位相φ_sと合成波長λ_sから、対象物１１０までの距離Ｌを得ることができる。位相φ₁とφ₂のそれぞれを測定した瞬間の波長λ₁とλ₂が得られる本実施形態においては、たとえ、レーザ４１６、４１７の周波数が不安定であったとしても、距離（変位）Ｌの測定には大きな影響は及ぼさない。

２波長の合成波長によって測定レンジを拡大する干渉測定では、測定分解能は合成波長λ_sと合成位相φ_sの分割数によって決まる。例えば、λ_s＝１０ｍｍとし、φ₂とφ₁の差で得られるφ_sの分割数が５００だとすると、このときの測定分解能は１０μｍ程度になってしまう。これに対して、測定に使用する波長の数を増やして組み合わせによって出来る合成波長の種類を増やすことで、広いレンジを確保しつつかつ高い分解能の測定を簡単に実現できる。図８に示す第５実施形態のように、波長可変レーザ１０１の波長をλ₁、λ₂、λ₃に切り替えて、それぞれの波長で参照光と測定光の位相差φ₁、φ₂、φ₃を得る。そして、各波長の組み合わせによって作り出される、合成波長λs_i,jでの位相差φ_i,jから対象物１１０の位置や変位を広い範囲でかつ高い分解能で測定できる。

本実施形態の測定手順をまとめると、次の通りである。
（１）レーザ１０１の波長を設計波長λ₁に制御する。
（２）干渉測定し、位相φ₁を得る。
（３）レーザ１０１の波長を設計波長λ₂に制御する。
（４）干渉測定し、位相φ₂を得る。
（５）レーザ１０１の波長を設計波長λ₃に制御する。
（６）干渉測定し、位相φ₃を得る。
（７）位相φ₁とφ₂とφ₃の差の組み合わせで位相差φ_i,jを算出し、対象物１１０までの距離Ｌを算出する。

例えば、λ₁＝１μｍ、λ₂＝0.9999μｍ、λ₃＝0.98μｍとする。この場合、λ₁とλ₂の組み合わせの合成波長λ_s21は9999μｍ、λ₃とλ₁の組み合わせによる合成波長λ_s31は４９μｍとなる。それぞれの合成波長のもと導き出される、φ_s21、φ_s31の分割数を、先に述べた例と同じ５００分割だとすると、λs₂₁では約１０μｍ分解能の測定が、λ_s31では５０ｎｍ分解能の測定ができることになる。更にλ₁、λ₂、λ₃いずれかの短波長での測定結果も併用すれば、１０ｍｍのレンジを１ｎｍ分解能で測定することも可能となる。

本発明で実現する場合には、例えば、図１や図４では、可変させる波長を３つにすることで容易に実現できる。図４の場合には３波長を発振するレーザを使用する。図６では、３種類のレーザを使用することにより容易に実施することが出来る。４波長以上の場合、同様に簡単に実現できることは明らかである。

それぞれの実施形態の中で、光の周波数を測定する装置として示した光コム１０４は、コムのスペクトル間隔内の限られた周波数領域ごとを高い分解能できることが基本となっている。そのため、光コム１０４のどの周波数の光との干渉によって生じたビート信号なのか、別途、次数Ｎを決定する必要がある。レーザの発振周波数の予備値やレーザ周波数の可変時の分解能などによって、次数Ｎを決定できない場合には、図９に示す第６実施形態のように、波長計６０１などの波長を測定できる手段と併用して、次数Ｎを決定し、波長可変レーザ１０１の波長λ₁、λ₂の測定や、発振周波数の制御に使用しても良い。

λ₁とλ₂といった多波長での測定値を得る際に、λ₁の波長を基準として、相対的に波長差Δλをつけたλ₂を使って測定を行い、λ₁とλ₂の合成波長によって対象物への距離Lを測定しても良い。

通常、光周波数を測定する場合には、『産総研TODAY Vol. 8 No.1 モード同期ファイバレーザを用いた広帯域光コムhttp://www.aist.go.jp/aist_j/aistinfo/aist_today/vol08_01/p29.html』に示されているように、f_CEOを正確に値付けされた、光コムが必要である。そのためには、f_CEOを決めれるだけの十分に周波数帯域の広い光コムが必要である。

一方で、合成波長による測定の場合には、式（３）により、λ₁とλ₂の相対的な波長差Δλの正確さが測定精度に大きく影響するため、絶対値があいまいな光コムを使って、Δλを値付けして合成波長λsを決めても、実用的に十分高い精度で測定可能である。Δλの決定には、λ₁と光コムによって発生するビート周波数Δf₁とλ₂と光コムによって発生するビート周波数Δf₂を次数Ｎ分を加味して周波数差Δf₁₂を算出し、Δf₁₂からΔλを換算すればよい。これにより、提案する光波干渉計に使用する周波数測定に使用する光コムは、測定に使用する波長域をカバーする最低限のものであれば良いために、より低価格に実現することが可能となる。

なお、前記実施形態においては、参照鏡１０９として平面鏡が用いられていたが、代りに、光軸が合わせ易く、調整が容易なレトロリフレクタを用いても良い。又、対象物１１０の表面にレトロリフレクタを取付けても良い。

本発明で用いる光コムの説明図 本発明の第１実施形態の構成を示すブロック図 同じく波長を可変した時のビート信号の周波数変化の様子を模式的に示す図 本発明の第２実施形態の構成を示すブロック図 本発明で用いるレーザのスペクトルとビート信号の周波数の例を示す図 本発明の第３実施形態の構成を示すブロック図 本発明の第４実施形態の構成を示すブロック図 本発明の第５実施形態の構成を示すブロック図 本発明の第６実施形態の構成を示すブロック図

符号の説明

１０１、２０１…波長可変レーザ
１０２…コントローラ
１０３…周波数測定装置
１０４…光コム
１０５、１１１、２１３…検出器
１０６、１０７、１０８、２１０…ビームスプリッタ
１０９…参照鏡
１１０…対象物
１１２…解析装置
２１４、２１５…バンドパスフィルタ
４１６、４１７…レーザ
６０１…波長計

Claims (16)

1. 複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物までの距離または変位を干渉測定する際に、
   前記複数のレーザ光の波長を、光コムを用いて測定することを特徴とする多波長干渉変位測定方法。
2. 前記光コムを用いて波長可変レーザの発振波長を測定してフィードバック制御をかけることにより、所定の複数の波長のレーザ光を得ることを特徴とする請求項１に記載の多波長干渉変位測定方法。
3. 波長可変レーザを任意の波長で発振させて、複数の波長での干渉測定値を得て、各干渉測定値を得た際のレーザ光の波長（周波数）を光コムで測定して、干渉計本体から対象物までの距離を算出することを特徴とする請求項１に記載の多波長干渉変位測定方法。
4. 複数のレーザを用いて、各レーザから発振されるレーザ光の波長を光コムで測定しながら干渉測定を行い、干渉計本体から対象物までの距離を算出することを特徴とする請求項１に記載の多波長干渉変位測定方法。
5. 前記光コムを含む一つの周波数測定系で、前記複数の波長を測定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の多波長干渉変位測定方法。
6. 複数の波長で干渉測定値を得る際、一つの波長を基準として相対的に波長差を正確に与える制御を行って干渉測定を行うか、あるいは、各波長での測定値を得た時の波長差を、一つの波長を基準として相対的な差として測定することを特徴とする、請求項１及至５のいずれかに記載の干渉測定方法。
7. 一方の波長と光コムによって発生するビート周波数と、他方の波長と光コムによって発生するビート周波数に対して、光コムの次数分を加味して周波数差を算出し、この周波数差を波長差に換算することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の多波長干渉変位測定方法。
8. ３つ以上の波長から２つずつの組み合わせの合成波長での位相差を算出し、その分解能の違いを利用して距離を決定することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の多波長干渉変位測定方法。
9. 複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物までの距離または変位を干渉測定する多波長干渉変位測定装置において、
   前記複数のレーザ光の波長を測定するために光コムを備えたことを特徴とする多波長干渉変位測定装置。
10. 前記光コムを用いて波長可変レーザの発振波長を測定してフィードバック制御をかける手段を備えることにより、所定の複数の波長を得ることを特徴とする請求項９に記載の多波長干渉変位測定装置。
11. 波長可変レーザを任意の波長で発振させて、複数の波長での干渉測定値を得る手段と、各干渉測定値を得た際のレーザ光の波長（周波数）を光コムで測定して、干渉計本体から対象物までの距離の算出に用いる手段とを備えたことを特徴とする請求項９に記載の多波長干渉変位測定装置。
12. 複数のレーザと、各レーザから発振されるレーザ光の波長を光コムで測定しながら干渉測定を行い、干渉計本体から対象物までの距離の算出に用いる手段とを備えたことを特徴とする請求項９に記載の多波長干渉変位測定装置。
13. 前記複数の波長を測定するための、前記光コムを含む一つの周波数測定系を備えたことを特徴とする請求項９乃至１２のいずれかに記載の多波長干渉変位測定装置。
14. 複数の波長で干渉測定値を得る際、一つの波長を基準として相対的に波長差を正確に与える制御を行って干渉測定を行う手段か、あるいは、各波長での測定値を得た時の波長差を、一つの波長を基準として相対的な差として測定する手段を備えたことを特徴とする、請求項９及至１３のいずれかに記載の干渉測定方法。
15. 一方の波長と光コムによって発生するビート周波数と、他方の波長と光コムによって発生するビート周波数に対して、光コムの次数分を加味して周波数差を算出し、この周波数差を波長差に換算する手段を備えたことを特徴とする請求項９乃至１４のいずれかに記載の多波長干渉変位測定装置。
16. ３つ以上の波長から２つずつの組み合わせの合成波長での位相差を算出する手段と、その分解能の違いを利用して距離を決定する手段と、を備えたことを特徴とする請求項９乃至１５のいずれかに記載の多波長干渉変位測定装置。

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