JP2010035904A - 電気掃除機 - Google Patents

Abstract

【課題】糸状の塵埃が濾過フィルターの貫通孔に突き刺さって絡みつくことを防止し、掃除作業後に捕集した塵埃を容易に排出できる電気掃除機を提供する。
【解決手段】電動送風機２１と、電動送風機２１の上流側に設置され電動送風機２１により吸引した塵埃を含む空気を導入し、その空気から塵埃を分離する濾過フィルター２７ａを有する塵埃分離部２３と、塵埃分離部２３で分離された塵埃を収容する塵埃収容部２４とを備え、濾過フィルター２７ａは上流側表面と下流側表面との間を貫通するエッチング加工により形成された複数の貫通孔２８を設けており、貫通孔２８の中心軸６３方向は濾過フィルター面の法線方向に対して傾斜しており、また貫通孔２８は上流側孔１０４と、下流側孔１０５と、上流側孔１０４及び下流側孔１０５を連通させる連通部孔１０６とで構成され、上流側孔底面湾曲部１０８が湾曲している。
【選択図】図２

Description

本発明は、塵埃を分離する濾過フィルターを有する電気掃除機に関するものである。

近年、吸引風の気流に旋回成分を持たせ、遠心力により気流から塵埃を分離除去するタイプの電気掃除機、いわゆるサイクロン型の電気掃除機が注目を浴びている。この種の電気掃除機は、集塵ケース内に旋回気流を発生させて、旋回気流の遠心力により、吸引した空気流から塵埃を分離し、分離した塵埃を集塵ケース内に堆積させる構成を採用している。

最近では、濾過フィルターを微小な貫通孔を有する金属板とするなどの創意工夫をこらし、濾過フィルターに付着した塵埃の除去を簡便にするものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００５−５２３９４号公報

特許文献１に記述されているように、濾過フィルターを微小な貫通孔を有する金属板とすると、不織布の濾過フィルターに比べて、濾過フィルターに付着した塵埃の除去を簡便にすることができる。

しかし、掃除をする際に吸引された糸状の塵埃（髪の毛やペットの毛、さらには長細い繊維状のリントなど）は、吸引気流とともに濾過フィルターの貫通孔に導かれて突き刺さってしまい、貫通孔に突き刺さった糸状の塵埃にその他の塵埃が付着して、糸状の塵埃が核となって綿ゴミが大きく成長する。すると、捕集した塵埃を排出する際に、綿ゴミが髪の毛などが濾過フィルターの貫通孔にぶら下がって容易に排出できないという課題を有するものであった。

また、塵埃が濾過フィルターに滞留することにより、雑菌が繁殖して不衛生になったり、本来確保できていた塵埃の収容容積が減少したり、濾過フィルターに滞留した塵埃が空気の流れを妨げたりすると言う諸問題につながり、掃除機に必要な吸込み力が低下するという大きな問題にも発展する。

この発明が問題にする糸状の塵埃とは、細長い形状をした塵埃のことであり、髪の毛やペットの毛、さらには細い繊維状のリントなどの塵埃を含む。

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、糸状の塵埃が濾過フィルターの貫通孔に入り込んで絡みつき貫通孔を塞ぐことや、捕集した塵埃が落としにくくなることを防止して、濾過機能を長時間維持することができ、かつ掃除作業後に塵埃を容易に排出できる電気掃除機を提供することを目的とする。

前記従来の課題を解決するために、本発明の電気掃除機は、電動送風機と、前記電動送風機の上流側に設置され前記電動送風機により吸引した塵埃を含む空気を導入し前記空気から前記塵埃を分離する濾過フィルターを有する塵埃分離部と、前記塵埃分離部で分離された塵埃を収容する塵埃収容部とを備え、前記濾過フィルターは上流側表面と下流側表面との間を貫通する複数の貫通孔を設けており、前記貫通孔の中心軸方向は前記濾過フィル
ター面の法線方向に対して傾斜しており、前記貫通孔は上流側孔と、下流側孔と、前記上流側孔と前記下流側孔とを連通させる連通部孔とで構成され、前記上流側孔の底面に湾曲部を設けた。

この構成により、湾曲した上流側孔底面が連通孔に進入しようとする糸状の塵埃を上流側へはね返して阻止するので、糸状の塵埃が貫通孔に突き刺さって絡みついたり、詰まったりすることを抑制できる。そのため、掃除作業が終わって塵埃を排出する時、糸状の塵埃を含む塵埃が濾過フィルターの貫通孔に絡みつかないため、塵埃収容部に捕集した塵埃の排出作業を容易にすることができる。

本発明の電気掃除機は、湾曲した上流側孔底面が連通孔に進入しようとする糸状の塵埃を上流側へはね返して阻止するので、糸状の塵埃が貫通孔に突き刺さって絡みついたり、詰まったりすることを抑制できる。そのため、掃除作業が終わって塵埃を排出する時、糸状の塵埃を含む塵埃が濾過フィルターの貫通孔に絡みつかないため、塵埃収容部に捕集した塵埃の排出作業を容易にする電気掃除機を提供できる。

第１の発明は、電動送風機と、前記電動送風機の上流側に設置され前記電動送風機により吸引した塵埃を含む空気を導入し前記空気から前記塵埃を分離する濾過フィルターを有する塵埃分離部と、前記塵埃分離部で分離された塵埃を収容する塵埃収容部とを備え、前記濾過フィルターは上流側表面と下流側表面との間を貫通する複数の貫通孔を設けており、前記貫通孔の中心軸方向は前記濾過フィルター面の法線方向に対して傾斜しており、前記貫通孔は上流側孔と、下流側孔と、前記上流側孔および前記下流側孔を連通させる連通部孔とで構成され、且つ前記上流側孔の底面に湾曲部を設けたことを特徴とした電気掃除機とするものである。

この構成により、湾曲した上流側孔底面部が連通孔に進入しようとする糸状の塵埃を上流側へはね返して阻止するので、糸状の塵埃が貫通孔に突き刺さって絡みついたり、詰まったりすることを抑制できる。そのため、掃除作業が終わって塵埃を排出する時、糸状の塵埃を含む塵埃が濾過フィルターの貫通孔に絡みつかないため、塵埃収容部に捕集した塵埃の排出作業を容易にする電気掃除機を提供できる。

第２の発明は、第１の発明の構成に加えて、塵埃分離部には吸引口から導入する塵埃を含む空気を旋回気流として流す旋回気流通風路を設け、前記旋回気流通風路の少なくとも一部を形成する濾過フィルターを備え、前記濾過フィルターの外周に前記電動送風機の吸引力が作用する空間部を設け、前記濾過フィルターの貫通孔の中心軸方向が前記濾過フィルターの上流側表面に沿って流れる旋回気流の進行方向に対して略逆方向となるように前記濾過フィルターを配置した電気掃除機とするものである。

この構成により、湾曲した上流側孔底面が連通孔に進入しようとする糸状の塵埃を上流側へはね返して阻止する。例え、糸状の塵埃の先頭部が貫通孔内に入ったとしても、糸状の塵埃の大部分が旋回気流によって引っ張られ、糸状の塵埃の先頭部は貫通孔から濾過フィルターの上流側に引き戻されるので、糸状の塵埃は濾過フィルターの貫通孔に絡みつかない。これにより、濾過フィルターの通気性を維持することができ、風量低下を招くことなく、強い吸込み力を長時間維持できる。しかも、糸状の塵埃が濾過フィルターに絡まず、掃除作業後の塵埃の排出作業を容易にする電気掃除機を提供できる。

第３の発明は、特に第１または第２の発明における上流側孔は等方性エッチングで形成されたものである。これにより、上流側孔の底面を湾曲状に加工した貫通孔を有する濾過
フィルターを容易に構成することができると共に、湾曲した上流側孔の底面が進入しようとする糸状の塵埃を濾過フィルターの上流側へはね返して阻止するので、糸状の塵埃が貫通孔に突き刺さって絡みついたり、詰まったりすることを抑制できる。また、糸状の塵埃を含む塵埃が濾過フィルターの貫通孔に絡みつかないから、塵埃の排出作業を容易にすることができる電気掃除機を提供できる。

第４の発明は、特に第３の発明における下流側孔は等方性エッチングで形成されたものである。これにより、上流側孔の底面が湾曲状に仕上がるだけでなく、上流側孔と下流側孔とが同一のエッチング工程で同時に加工でき、濾過フィルターを安価に構成できると共に、糸状の塵埃を含む塵埃が濾過フィルターの貫通孔に絡みつかず、捕集した塵埃を容易に排出できる電気掃除機を提供することができる。

第５の発明は、特に第３の発明における下流側孔は異方性エッチングで形成されたものである。これにより、下流側孔の開口寸法のバラツキが小さく、開口比率が小さい濾過フィルターにすることで、濾過フィルターの強度を確保できると共に、糸状の塵埃を含む塵埃が濾過フィルターの貫通孔に絡みつかず、捕集した塵埃を容易に排出できる電気掃除機を提供することができる。

第６の発明は、第１または第２の発明における上流側孔と下流側孔は、下流側孔を先に異方性エッチングした後、上流側孔と下流側孔を等方性エッチングで形成されたものである。これによって、予め裏面から行う異方性エッチングにより、貫通孔が横方向に広がることを抑制するので、加工精度が良くなる。また、その後に行う等方性エッチングの時間およびエッチング長を短縮できることから、濾過フィルターの貫通孔を精度良く加工することができる。

第７の発明は、第１または第２の発明における上流側孔と下流側孔は、共に異方性エッチングで形成され、上流側孔と下流側孔が連通し貫通孔を形成した後、前記下流側孔から前記貫通孔内へエッチング液を斜め噴射して、前記上流側孔と前記下流側孔の境界にできるエッジ部を除去することで、前記上流側孔の底面に湾曲部を設けたものである。

これによって、上流側孔の底面に湾曲部を有している濾過フィルターを後でエッジ部を除去する電解研磨等の後加工の工程を追加することなく安価に作成できる。またこの湾曲した底面部が連通孔に進入しようとする糸状の塵埃を上流側へはね返して阻止するので、糸状の塵埃が貫通孔に突き刺さって絡みついたり、詰まったりすることを抑制できる。そのため、掃除作業が終わって塵埃を排出する時、糸状の塵埃を含む塵埃が濾過フィルターの貫通孔に絡みつかないため、塵埃収容部に捕集した塵埃の排出作業を容易にする電気掃除機を提供できる。

第８の発明は、第２から第６の発明における貫通孔は、濾過フィルターの表面と裏面からエッチングして上流側孔と下流側孔が貫通した後、前記表面または前記裏面のいずれか一方から前記貫通孔内へエッチング液を噴射して、前記上流側孔と前記下流側孔の境界にできるエッジ部を除去するものである。これにより、上流側孔と下流側孔が連通した時に生じるエッジ部分が、一方向からのエッチング液の噴射によって除去されるため、塵埃が貫通孔内で引っ掛かりにくい。湾曲した上流側孔の底面が進入しようとする糸状の塵埃を濾過フィルターの上流側へはね返して阻止するので、糸状の塵埃が貫通孔に突き刺さって絡みついたり、詰まったりすることを抑制できる。

以下に本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態によって本発明が限定されるものではない。

（実施の形態１）
図１、図２は、本発明の実施の形態１における電気掃除機を示している。

図２に示すように、掃除機本体１内には、吸引気流を発生させる電動送風機２１が内蔵されており、また、掃除機本体１の外部には、車輪３およびキャスター４が取り付けられており、床面を自在に移動できる。さらに、電動送風機２１の上流側には、通気口を有する隔壁２６を介して、電動送風機２１により吸引した塵埃を含む空気を導入する集塵ケース５が掃除機本体１に対して着脱自在に設置されている。

また、集塵ケース５は、径の異なる複数の中空円筒を多段に連ねた形状からなり、本実施の形態１では３段構成で、上段から順に、ケース上部２２ａ、ケース中央部２２ｂ、塵埃収容部２４からなり、このケース上部２２ａとケース中央部２２ｂとを塵埃分離部２３とするものであり、ケース上部２２ａには塵埃を含む空気を接線方向より導入する吸引口６を備えて構成されている。

集塵ケース５は、吸引口６から最下段の塵埃を堆積させる塵埃収容部２４まで連通されており、吸引口６から電動送風機２１に至る風路は、集塵ケース５の塵埃分離部２３に設けた開口部２５にて掃除機本体１の隔壁２６と連通させて形成している。さらには塵埃分離部２３の内部には、円筒状の濾過フィルター２７を設置している。

また、図１に示すように吸引口６には、吸引ホース７、延長管８が順次接続されており、延長管８の先端に吸込具９を取り付けており、電動送風機２１を運転することにより、家屋内の床面上の塵埃を吸引することができる。

この円筒状の濾過フィルター２７は、本実施の形態１では、上流側に粗塵フィルターからなる円筒形状の第１の濾過フィルター２７ａと、この第１の濾過フィルターより下流側の外周に設けた細塵フィルターからなる円筒形状の第２の濾過フィルター２７ｂとの２層構造から構成されている。

この第１の濾過フィルター２７ａと第２の濾過フィルター２７ｂは、集塵ケース５の吸引口６と電動送風機２１とが連通する第１の風路である主風路２９ａの途中に配置している。

また、吸引口６から電動送風機２１に至る主風路２９ａは、第１の濾過フィルター２７ａ内から第２の濾過フィルター２７ｂ外周の空間全周にわたり設けられている。

次に、図３（ａ）、図３（ｂ）、図３（ｃ）、図３（ｄ）により、集塵ケース５と円筒状の濾過フィルター２７の詳細について説明する。

図３（ａ）に示すように、集塵ケース５は、縦型の中空円筒を３段に連ねた形状であり、吸引口６は図３（ｃ）に示すように、ケース上部２２ａの円周断面の接線方向から気流が流入するように、偏心した位置に配置されている。本実施の形態１では、集塵ケース５を中空円筒としたが、円筒は真円に限定するものではなく、楕円形状、８角形や１０角形などの多角形形状等でもよく、吸引口６より接線方向から流入した気流が、集塵ケース５の内面に沿って旋回気流が生じる形状であれば良い。

また、円筒状の濾過フィルター２７においても同様に、円筒は真円に限定するものではなく、楕円形状や８角形や１０角形などの多角形形状等でもよく、集塵ケース５の内面に沿って発生した旋回気流が、第１の濾過フィルター２７ａ内の円筒中空部においても発生し得る形状であれば良い。また、吸入口６が中央に位置していても案内路やガイド等で旋
回気流が発生する構成であれば構わない。

従って、塵埃分離部２３におけるケース上部２２ａ内面に沿って発生した旋回気流ならびに、第１の濾過フィルター２７ａ内の円筒中空部に発生した旋回気流を形成する通路を旋回気流通風路とするものである。

また旋回気流を塵埃収容部２４方向に発生させるよう、ケース上部２２ａに設けた吸引口６の配置は、塵埃分離部２３に設けた開口部２５（図２を参照）の上端部より、吸引口６の下端部が上方になるよう配置されているものである。この様に吸引口６の配置を開口部２５より高くすることで、吸引口６からケース上部２２ａの接線方向より導入された空気は、開口部２５側の吸引力作用で下方向である塵埃収容部２４方向への旋回気流として発生する。この旋回しながら下降を続ける旋回気流により、綿ゴミなどの粗塵５２は風圧を受けて旋回下降し塵埃収容部２４に導かれるものである。

集塵ケース５の下部には、吸引した塵埃を堆積させる塵埃収容部２４が設けられており、さらに、塵埃収容部２４側の集塵ケース５の底面は、開閉蓋３１となっており、ヒンジ３２を介して、開閉蓋３１を開き、塵埃収容部２４内の塵埃を排出できるよう構成されている。

また、集塵ケース５は本実施の形態１ではアクリル樹脂により構成されているが、少なくともその一部を透視部材で構成することにより、上方などより内部の塵埃量などを目視で容易に確認できるので好ましい。透明部材としては、ＡＢＳ、ポリプロピレン、アクリル樹脂などが部材として容易に入手でき、加工性が良い点で好ましい。

また、図３（ｂ）に示すように、円筒形状の集塵ケース５の吸引口６と塵埃収容部２４の間の内壁には、集塵ケース５と円筒状の濾過フィルター２７間の外周に空間部３３が形成されており、集塵ケース５内部と電動送風機２１の吸引口がこの空間部３３を介して連通することとなる。

さらに、集塵ケース５のケース上部２２ａの内面は、円筒状の濾過フィルター２７を構成する内側の第１の濾過フィルター２７ａの内面と全体として１つの面となっている。すなわち、集塵ケース５の内面に突出しない状態となっている。

円筒状の濾過フィルター２７は、図３（ｄ）に示すように、円筒形状の集塵ケース５内部を取り囲むように円筒形状となっている。吸引気流に対して上流側に位置する粗塵フィルターからなる第１の濾過フィルター２７ａは、吸引気流中の塵埃から綿埃、毛髪などの比較的サイズの大きい塵埃を除塵するものであり、下流側に位置する細塵フィルターからなる第２の濾過フィルター２７ｂは、粒子径の細かい砂塵、花粉、ダニ糞などの塵埃を気流中から除塵するものである。

このように、除塵する塵埃のサイズに応じて複数層の円筒状の濾過フィルター２７を設けることで、濾過フィルターの目詰まりの頻度を低減し、風量持続性能を延ばすことができるが、単一層であっても構わない。

この第１の濾過フィルター２７ａとしては、金属メッシュ、樹脂メッシュなど、砂塵のような細塵が通り抜けられる比較的孔径の大きな部材を用いるのが好ましく、本実施の形態１では、上流側の貫通孔径が１００〜３００ミクロンの微小な開口の貫通孔を設けた金属メッシュを用いている。

一方、第２の濾過フィルター２７ｂとしては、不織布、パルプ、ガラス繊維、ＨＥＰＡ
フィルターなどを用いることができるが、比較的細かい粒子を効率よく除去できる不織布部材などをプリーツ加工しひだ折りした形状部材を連結し、円筒状に設置することで、通気抵抗を低減しながら、除塵性能を確保することができる。また塵埃付着面に、ＰＴＦＥの多孔質部材をコーディングしたフィルターを用いると、塵離れが良くなることから、第２の濾過フィルター２７ｂの目詰まりを抑制することができる点でより好ましい。

図４は図３（ｄ）に示す第２の濾過フィルター２７ｂの一部を拡大した要部断面図である。

本実施の形態１では、図３（ｄ）および図４に示すように、特に、貫通孔径が約０．５ミクロンのＰＴＦＥ膜をＰＥＴ樹脂で剛性を持たせたシート状のフィルターをプリーツ加工し、ひだ折り形状のフィルター４１にし、両端部を連結して円筒形状にしたものを用いている。

なお、ひだ折り形状のフィルター４１の外周部において、吸引気流の上流側にあたるひだ折り形状部材の内面のくぼみ部４２は略Ｕ字形状にＲ＝２〜５ｍｍ程度の丸みを持たせている。尚、ひだ折り形状フィルター４１の第１の濾過フィルター２７ａと近接する側のひだには、特にくぼみ部分は持たせてない。

また、第２の濾過フィルター２７ｂであるひだ折り形状のフィルター４１の外部は、この上端および下端の数ｍｍ範囲のみ、樹脂やシール剤等でシールされているシール部４３を設け、上下方向からの通気性を遮断している。

以上のように構成された本実施の形態１の電気掃除機について、図５（ａ）、図５（ｂ）、図５（ｃ）を基に、その動作を説明する。

電動送風機２１を運転開始すると、吸引気流が発生し、吸込具９、延長管８、吸引ホース７を通じて、空気とともに床面からの塵埃が集塵ケース５内に吸い込まれる。このとき、集塵ケース５の吸引口６は、ケース上部２２ａの円筒断面に対して接線方向に偏心して設置されているため、図５（ａ）に示すように、吸引口６より流入した気流は、集塵ケース５の円筒断面の接線方向から侵入し旋回気流に変化する。

ここで、吸引口６の下端は開口部２５の上端よりも上部に配置されているため、吸引口６から流入する気流は旋回成分を持つとともに、下方向への成分も持つこととなる。そのため、集塵ケース５のケース上部２２ａで発生した旋回気流は、旋回しながら下降を続け、円筒状の濾過フィルター２７付近に到達する。第１の濾過フィルター２７ａは、集塵ケース５内部に向けた突起物がないため、旋回気流の流れを止めることはなく、さらに、気流は旋回を続けながら、図５（ｂ）に示すように、第１の濾過フィルター２７ａ、第２の濾過フィルター２７ｂを順次通過し、空間部３３を通って、電動送風機２１に吸引される。

ここで、吸引気流と一緒に吸引された塵埃は、気流の流れと共に旋回しながら円筒状の濾過フィルター２７に導かれ、この塵埃の内、砂塵などの細塵５１は、第１の濾過フィルター２７ａを通過し、外側の第２の濾過フィルター２７ｂで濾し取られる。

また、比重が軽く、風圧を受けやすい綿埃や糸状の塵埃などの粗塵５２は、旋回気流で第１の濾過フィルター２７ａ表面上から容易に剥離され、図５（ｂ）、図５（ｃ）に示すように、第１の濾過フィルター２７ａの円筒中空部で旋回を続けることとなる。この作用により、第１の濾過フィルター２７ａは、気流による自浄作用が働いていることになるため、目詰まりすることなく、吸込力の低下を抑制する。さらに、吸引する塵埃量が増加し
ていくと、粗塵５２は、第１の濾過フィルター２７ａ内を旋回しながら下降し、塵埃収容部２４に導かれる。

次に、第１の濾過フィルター２７ａについて詳細に説明する。

図６は、図５（ｂ）中の第１の濾過フィルター２７ａの断面構造を示す断面図であり、図６に示すように、円筒状の第１の濾過フィルター２７ａは、内周面を上流側フィルター面６１とし、外周面を下流側フィルター面６２とした時、第１の濾過フィルター２７ａの内周側は塵埃収容部２４の上空に位置し、そこには旋回気流５０が上流側フィルター面６１に沿って旋回している。

そして、第１の濾過フィルター２７ａの外周側は第１の濾過フィルター２７ａを通過した空気の通風路となり、その通風路中に第２の濾過フィルター２７ｂが配置され、その下流に電動送風機２１が配置される。第１の濾過フィルター２７ａは、上流側フィルター面６１から下流側フィルター面６２までを貫通する傾斜した複数の貫通孔２８が、フィルター面のほぼ全域にわたって分散して形成されている。

次に濾過フィルター２７ａの製造方法について、図７を用いて説明する。

図７は、エッチング工程の工程順を示す図であり、図７（ａ）において、先ず鉄または、鉄を主成分とする鉄系合金（例えば、Ｆｅ−Ｎｉ合金）による０．１〜０．３ｍｍ厚の金属板１０１を準備し、その金属板１０１の表面と裏面にレジストを塗布し、露光工程によって表面と裏面にお互いに平面方向の位置がシフトした開口１０３ａ，１０３ｂ（直径０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ）を有するレジストパターン１０２を形成する。

ここで、本発明で用いる等方性エッチングについて、図８を用いて詳細に説明する。図８に示すように、一方の面から等方性エッチングを行う場合、例えば、塩化第二鉄液でレジストパターン１０２の開口から深さ方向にエッチングすると同時に、横方向にもエッチングされ、金属板１０１がレジストパターン１０２の開口から全方向にエッチングされることで、金属板１０１にできるエッチング穴の底面は湾曲状になる。レジストパターン１０２の開口からレジストパターン１０２直下に進行するエッチングをサイドエッチングと言い、深さ方向のエッチング長をＤとし、横方向のエッチング長をＳとした時、Ｄ／Ｓをエッチングファクタと言う。

このエッチングファクタは、被対象物である金属板１０１に噴きつけるエッチング液の液圧に依存して左右されるので、エッチングファクタが１〜２の範囲になるエッチング条件を等方性エッチングと言い、後述する異方性エッチングは、エッチングの横拡がりが少なく深さ方向のエッチング速度が早いエッチングのことを言い、エッチングファクタが３以上になるエッチング条件のものと定義する。

次に、図７（ｂ）において、金属板１０１の表面と裏面の両側からエッチング液で等方性エッチングを行う。等方性エッチングは、例えば、エッチング液として塩化第二鉄液を用い、エッチング液中に金属板１０１を浸漬するか、エッチング液を金属板の表面と裏面の両側から低い液圧で噴きつけるスプレー方式を用いる。

レジストパターン１０２の開口から金属板１０１を等方性エッチングする時、金属板１０１表面をレジストパターン１０２の開口１０３ａ，１０３ｂから深さ方向にエッチングすると同時に、横方向にもエッチングして開口１０３ａ，１０３ｂからレジストパターン１０２直下にも進行し、開口１０３ａ，１０３ｂから全方向へ拡がるようにエッチングされ、上流側孔１０４および下流側孔１０５の底面は湾曲状にエッチングされる。そのエッ
チングが進行して、上流側孔（第１のエッチング穴）１０４と下流側孔（第２のエッチング穴）１０５とが結合すると、金属板１０１の表面と裏面とを結ぶ貫通孔２８が形成される（図７（ｂ）を参照）。

上流側孔１０４と下流側孔１０５が結合して貫通孔２８が形成された時点でエッチングを完了し、レジストパターン１０２を除去してエッチング工程を完了する（図７（ｃ）を参照）。なお、この工程後、貫通孔２８の一方向から他方へエッチング液を流し込むか、圧力をかけてエッチング液を噴射する仕上がりエッチングを追加すると、上流側孔１０４と下流側孔１０５の境界にできるエッジ部分（図７（ｂ）の１０７ａ，１０７ｂを参照）が除去されて、連通部孔１０６の部分が滑らかな形状になる（図７（ｃ）を参照）。

以上のようなエッチング方法を用いて構成された濾過フィルターは、上流側孔１０４と下流側孔１０５が等方性エッチングで同時に加工できるため、短時間に安価に製作することができる。また、仕上がりエッチングを追加した濾過フィルターは、連通部孔１０６の部分が滑らかな形状になるため、貫通孔２８内を通過する塵埃が貫通孔２８内部で引っ掛かったり、詰まったりしにくくなる。

エッチングした直後の濾過フィルター１０１ａは、平板状をしており、平板状の金属板に傾斜を有した複数の貫通孔２８をフィルター面の全域に分散して形成されている。そして、図７（ｃ）に示すように、貫通孔２８は、上流側開口２８ａと下流側開口２８ｂが平面方向にシフトし、上流側開口２８ａの開口中心点と下流側開口２８ｂの開口中心点を結ぶ貫通孔２８の中心軸６３が、フィルター面の法線６４方向に対して傾斜角度φを有するように形成され、上流側孔底面全体は、湾曲状の上流側孔底面湾曲部１０８を形成している。そして、この濾過フィルター１０１ａを電気掃除機の集塵ケース５に装着する時、平板状の濾過フィルター１０１ａを円筒状に丸めた状態で塵埃分離部２３に組み込まれ、円筒状の第１の濾過フィルター２７ａとして用いられる。

このようにして作られた第１の濾過フィルター２７ａの貫通孔２８は、表面側の上流側孔１０４と、裏面側の下流側孔１０５とを連通する連通部孔１０６の部分の孔径が上流側孔１０４及び下流側孔１０５の孔径と比較して小さく、上流側孔１０４及び下流側孔１０５の孔径が大きくなっている。従って、孔径の小さい連通部孔１０６の孔径がフィルター作用を持たせる実効径となる。

また、エッチング加工により作られた濾過フィルター２７ａは、加工時に機械的な応力が加わらないため、加工時の基材の変形が少なく、濾過フィルター２７ａ表面が滑らかに仕上がり、濾過フィルター２７ａ表面への塵埃の堆積や絡み付きを抑制することができる。したがって、濾過フィルター２７ａを清掃する際は、塵埃の除去作業が容易であり、清掃回数は少なくて済み、メンテナンス性に優れた濾過フィルターとして電気掃除機に活用することができる。

第１の濾過フィルター２７ａの基材として金属板１０１を用いた場合、静電気によって塵埃が濾過フィルター２７ａに付着すること、特に細塵が付着することを抑制することができ、貫通孔２８の目詰まりを起こしにくい。また、金属板１０１の基材は、エッチング加工性に優れ、貫通孔２８の内部形状が滑らかに成形されるから、塵埃の絡みつきを少なくする効果が得られる。

さらに、エッチング工程後に板状のフィルターを丸めて円筒状にする際にも成形が容易であり、濾過フィルターを安価に成形することができる。なお、第１の濾過フィルター２７ａの基材として、静電防止剤やカーボンブラック、金属の微粉等の静電防止材を含有した樹脂板を用いても、金属板を用いた場合と同様の効果が得られる。

次に、上述したエッチング方法で作られた第１の濾過フィルターの動作について、図９、図１０を参照しながら説明する。図９（ａ）は大きな粒状塵埃５２ａを分離する分離動作を説明するための図であり、図９（ｂ）は小さな粒状塵埃５２ｂを分離する分離動作を説明するための図であり、図１０は糸状の塵埃５２ｃを分離する分離動作を説明するための図であり、図１０（ａ）は旋回気流５０に乗った糸状の塵埃５２ｃが貫通孔２８に近付きつつある状態を示す図であり、図１０（ｂ）は糸状の塵埃（５２ｃ，５２ｄ）が貫通孔２８を通過するときの分離動作を説明するための図である。

図９（ａ）は、円筒状の第１の濾過フィルター２７ａの１つの貫通孔２８を拡大した要部断面図である。図９（ａ）に示すように、円筒状の第１の濾過フィルター２７ａは、内周面を上流側フィルター面６１とし、外周面を下流側フィルター面６２とし、第１の濾過フィルター２７ａの内周側は塵埃収容部２４（図２を参照）の上空に位置し、そこには旋回気流５０が旋回している。

そして、第１の濾過フィルター２７ａの外周側は第１の濾過フィルター２７ａを通過した空気の通風路となり、その通風路中に第２の濾過フィルター２７ｂ（図２を参照）が配置され、その下流に電動送風機２１（図２を参照）が配置される。第１の濾過フィルター２７ａには、上流側フィルター面６１から下流側フィルター面６２までを貫通し、かつ中心軸が傾斜した複数の貫通孔２８がフィルター面のほぼ全域に亘って分散して形成されている。

図９（ａ）に示すように、吸い込んだ塵埃が大きな粒状の塵埃（又は比重の重い塵埃）５２ａである場合、塵埃５２ａは旋回気流５０に乗って濾過フィルター２７ａの上流側の空間を旋回する。旋回する多くの塵埃５２ａは、遠心力の作用が働くため、旋回気流５０の流れ方向より外側に向けに移動して上流側フィルター面６１に叩き付けられる。

そして、上流側フィルター面６１の貫通孔２８に近づき貫通孔２８内に入り込む塵埃５２ａは、吸引気流７１の影響で少し軌道を変えて連通部孔１０６側に引き寄せられるが、旋回気流５０による慣性モーメントの力が吸引気流７１より勝り、上流側孔底面湾曲部１０８にぶつかって跳ね返り、貫通孔２８の外へ放り出される。そして、貫通孔２８の濾過フィルター２７ａの上流側の空間へ放り出された塵埃５２ａは、再び旋回気流５０に乗って貫通孔２８よりも前方へと運ばれ、更に旋回気流５０に乗って旋回し続け、次第に重力で下降してゆき、下方にある塵埃収容部２４へ収容される。

図９（ｂ）に示すように、吸い込んだ塵埃が小さい粒状の塵埃又は比重の軽い塵埃５２ｂである場合、旋回気流５０による慣性モーメントの力が小さい粒状の塵埃又は比重の軽い塵埃５２ｂには大きく作用しないため、旋回気流５０に乗って貫通孔２８に近づいて中に入った塵埃５２ｂは、吸引気流７１の影響で軌道が大きく変更され、連通部孔１０６側に向けて引き寄せられて貫通孔２８を通り抜ける。貫通孔２８を通り抜けた塵埃５２ｂは第１の濾過フィルター２７ａの外周に在る第２の濾過フィルター２７ｂへと運ばれ第２の濾過フィルター２７ｂで捕集される。

図１０（ａ）に示すように、吸い込んだ塵埃が髪の毛等、長さを持った糸状の塵埃５２ｃである場合、糸状の塵埃５２ｃは旋回気流５０の流れに乗って旋回し、その糸状の塵埃５２ｃの先頭部が貫通孔２８に近づき、吸引気流７１によって貫通孔２８内に入り込んでも、上流側孔底面湾曲部１０８とぶつかったり、連通部孔１０６に引っ掛かったりして停止すれば、糸状の塵埃５２ｃの先頭部以外の部分は貫通孔２８より前方へと運ばれる（図１０（ｂ）を参照）。

そして、糸状の塵埃５２ｄの先頭部は吸引気流７１によって下流側へ引っ張られ、それ以外の殆どの部分は旋回気流５０によって上流側へ引っ張られることになるが、旋回気流５０の方が吸引気流７１より強いため、糸状の塵埃５２ｄは貫通孔２８の外（第１の濾過フィルター２７ａの上流側）へと引っ張り出される。そして、上流側に引っ張り出された糸状の塵埃５２ｄは旋回気流５０に乗って旋回を続け、次第に重力で下降してゆき、下方に在る塵埃収容部２４へ収容される。

次に、貫通孔２８の傾斜方向について、図１１を用いて詳細に説明する。図１１は、濾過フィルター２７ａを塵埃分離部２３内に装着した状態で貫通孔２８の傾斜方向を拡大イメージ化した模式図であり、円筒状の濾過フィルター２７ａの内側（上流側）から見た図である。

図１１に示す様に、第１の濾過フィルター２７ａの貫通孔２８における上流側開口２８ａから下流側開口２８ｂへ向かう貫通孔中心軸６３のベクトル方向は、旋回気流５０の進行方向と真逆方向（１８０度）に位置させるのが、最も貫通孔２８への塵埃侵入詰まりを防ぐ効果が得られるものであり（図１１（ａ）を参照）、貫通孔２８内に入りかけた糸状の塵埃５２ｃを、慣性力や旋回気流５０の力によって第１の濾過フィルター２７ａの上流側に引き戻す効果が得られる。

しかしながら、図５（ｃ）に示す様に、旋回気流の進行方向は、旋回しながら塵埃収容部２４方向の下向きの方向成分も持つため、図１１（ｂ）に示す様に、旋回気流５０の進行方向は左下を向いている。この旋回気流が左回りに旋回しながら下降している状態において、貫通孔中心軸６３のベクトル方向が図１１（ａ）のままの配置だと、塵埃を貫通孔２８入口内部の上流側孔底面湾曲部１０８に衝突させ、塵埃が貫通孔２８の奥（下流側）へ進入することを阻害する塵埃侵入防止効果が、真逆方向（１８０度）に比べ低下する。

従って、旋回気流が左回りに旋回下降方向に旋回している状態においては、図１１（ｂ）に示す様に、貫通孔中心軸６３のベクトル方向が旋回気流５０の進行方向と真逆方向（１８０度）になる様に、第１の濾過フィルター２７ａにおける貫通孔２８の配置を設定することが望ましい。

更に図１１（ａ）における貫通孔中心軸６３のベクトル方向を、旋回気流５０の進行方向と真逆方向（１８０度）基準から、９０度方向ならびに２７０度方向に下流側開口２８ｂを変化させるにつれ、塵埃侵入防止効果が弱くなる。効果としては、旋回気流５０の進行方向と直交するまでの範囲において効果的に得られるものであり、０〜９０度および２７０〜３６０度の範囲では旋回気流５０が塵埃を貫通孔２８内へ押し込む作用が発生するので逆効果となる。

（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２に係る濾過フィルターの製造方法について、図１２を用いて説明する。

図１２は、エッチング工程の工程順を示す図であり、図１２（ａ）において、先ず鉄または鉄を主成分とする鉄系合金（例えば、Ｆｅ−Ｎｉ）による０．１〜０．３ｍｍ厚の金属板１０１を準備し、その金属板１０１の表面と裏面にレジスト１０２を塗布し、露光工程によって金属基板１０１の裏面側レジストの所定箇所を開口した開口１０３ｂ（直径０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ）を有するレジストパターン１０２ｂを形成する。そして、先ず最初の段階としてレジストパターン１０２ｂをマスクとして金属板１０１の裏面側を予め異方性エッチングし、穴径の横広がりが少ないエッチング穴１０５ａを形成する。

この異方性エッチングは、スプレー方式のエッチングで行なうことができ、塩化第二鉄液を対象物に噴射する液圧を３Ｋｇ／ｃｍ^２ 以上に高くすることで、エッチングの横広がりを抑えつつ深さ方向のエッチング速度を速め、エッチング方向の異方性を達成している。

なお、金属板の板厚方向に交番磁界を与えながら塩化第二鉄液で金属板をエッチングすると、交番磁界によって鉄イオンが板厚方向の移動を繰り返すので、板厚方向のエッチング速度が高められ、エッチングファクタを更に高めて、エッチング方向の異方性を更に高めることができる。

次に、図１２（ｂ）において、金属板１０１表面側に形成されたレジストの所定箇所をエッチングして、レジストパターン１０２ｂの開口１０３ｂからシフトした位置に開口された開口１０３ａを有するレジストパターン１０２ａを形成する。そして、レジストパターン１０２ａ，１０２ｂをマスクとして等方性エッチングを行い、表面からエッチングする上流側孔（第１のエッチング穴）１０４と裏面からエッチングする下流側孔（第２のエッチング穴）１０５を形成する。上流側孔１０４と下流側孔１０５とが結合すると、等方性エッチングを終了する。

その後、貫通孔２８の一方向から他方へエッチング液を流し込むか、液圧をかけてエッチング液を噴射する仕上がりエッチングを所定時間行なう。すると、上流側孔１０４と下流側孔１０５の境界にできるエッジ部分１０７ａ，１０７ｂが除去されて、連通部孔１０６のエッジ部分１０７ａ、１０７ｂが滑らかな形状になる。この仕上がりエッチングが完了すると、レジストパターン１０２ａ，１０２ｂを除去して、エッチング工程を完了する（図１２（ｃ）を参照）。

このようなエッチング方法で製作された濾過フィルター１０１ａは、上述した実施の形態１と同様に、平板状の濾過フィルター１０１ａを円筒状に丸めた状態で塵埃分離部２３に組み込まれ、円筒状の第１の濾過フィルター２７ａとして用いられる。

以上の製造方法で構成された濾過フィルターは、表面から行なう等方性エッチングによって、貫通孔の上流側孔がレジストパターンの開口から全方向に拡がるようにエッチングされ、上流側孔底面全体は湾曲状になり、上流側孔底面湾曲部１０８が形成される。また、予め裏面から行う異方性エッチングは加工精度が良いこと、その後に行う等方性エッチングの時間およびエッチング長を短縮できることから、濾過フィルターの貫通孔を精度良く加工することができる。また、異方性エッチングを用いることで、貫通孔が横方向に広がることを抑制し、フィルター面に対する貫通孔の開口面積比率が大きくなることを抑制して、濾過フィルターの強度を確保することができる。

また、湾曲した上流側孔の底面が進入しようとする糸状の塵埃を濾過フィルターの上流側へはね返して、糸状の塵埃が濾過フィルターの貫通孔内へ侵入することを阻止するので、糸状の塵埃が貫通孔に突き刺さって絡みついたり、詰まったりすることを抑制でき、塵埃の排出作業を容易にすることができる電気掃除機を提供できる。

（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３に係る濾過フィルターの製造方法について、図１３を用いて説明する。

図１３は、エッチング工程の工程順を示す図であり、図１３（ａ）において、０．１〜０．３ｍｍ厚の金属板１０１の表面と裏面にレジストを塗布し、露光工程によって表面と裏面にお互いに平面方向の位置がシフトした開口１０３ａ，１０３ｂ（直径０．１ｍｍ〜
０．３ｍｍ）を有するレジストパターン１０２を形成する。

次に、図１３（ｂ）において、金属板１０１の表面から等方性エッチング、裏面から異方性エッチングを行う。そして、表面からエッチングする上流側孔（第１のエッチング穴）１０４と裏面からエッチングする下流側孔（第２のエッチング穴）１０５とが結合すると、金属板１０１に表面と裏面とを結ぶ貫通孔２８が形成される。

その後、貫通孔２８の一方向から他方へエッチング液を流し込むか、液圧をかけてエッチング液を噴射する仕上がりエッチングを所定時間行なう。すると、上流側孔１０４と下流側孔１０５の境界にできるエッジ部分１０７ａ，１０７ｂが除去されて、連通部孔１０６のエッジ部分１０７ａ、１０７ｂが滑らかな形状になる。この仕上がりエッチングが完了すると、その時点でエッチング液でのエッチングを完了し、レジストパターン１０２を除去してエッチング工程を完了する（図１３（ｃ）を参照）。

そして、この濾過フィルター１０１ａを電気掃除機の集塵ケース５に装着する時、平板状の濾過フィルター１０１ａを円筒状に丸めた状態で塵埃分離部２３に組み込まれ、円筒状の第１の濾過フィルター２７ａとして用いられる。

このようなエッチング工程で作成された第１の濾過フィルター２７ａは、表面からは等方性エッチングを行うため、全方向に同じように孔が広がってレジストパターンの裏側までエッチングを行い、上流側孔底面全体は湾曲状になり、上流側孔底面湾曲部１０８が形成される。

一方、裏面からは異方性エッチングを行うため、レジストパターンの裏側にはあまり広がらず四角形に近い形状となる。異方性エッチングは下流側孔底面１０９の寸法バラツキが等方性エッチングと比べて少ないため、より不良の少ない濾過フィルターを作成でき、捕集した塵埃を容易に排出できる電気掃除機を提供することができる。

（実施の形態４）
次に、本発明の実施の形態４に係る濾過フィルターの製造方法について、図１４を用いて説明する。

図１４は、エッチング工程の工程順を示す図であり、図１４（ａ）において、０．１〜０．３ｍｍ厚の金属板１０１の表面と裏面にレジストを塗布し、露光工程によって表面と裏面にお互いに平面方向の位置がシフトした開口１０３ａ，１０３ｂ（直径０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ）を有するレジストパターン１０２を形成する。

次に、図１４（ｂ）において、まず金属板１０１の表面からのみ異方性エッチングを行い、表面のレジストパターン１０２ａを除去する。

そして、図１４（ｃ）において、裏面から異方性エッチングを行い、上流側孔（第１のエッチング穴）１０４と裏面からエッチングする下流側孔（第２のエッチング穴）１０５とが結合すると、金属板１０１に表面と裏面とを結ぶ貫通孔２８が形成され、さらに続けてエッチング液流路１１１方向にエッチング液をスプレー噴射して流す。

すると、図１４（ｄ）に示す様に、上流側孔の底面全体は傾斜した面でかつ湾曲形状に近い形となり、上流側孔底面湾曲部１０８が形成され、上流側孔１０４の入口エッジ部１１０および上流側孔１０４と下流側孔１０５の境界にできるエッジ部分１０７ａ，１０７ｂが除去されて連通部孔１０６の部分が滑らかになり、最後にレジストパターン１０２ｂを除去してエッチング工程を完了する。

そして、この濾過フィルター１０１ａを電気掃除機の集塵ケース５に装着する時、平板状の濾過フィルター１０１ａを円筒状に丸めた状態で塵埃分離部２３に組み込まれ、円筒状の第１の濾過フィルター２７ａとして用いられる。

このようなエッチング工程で作成された第１の濾過フィルター２７ａは、上流側からエッチングを行った後で下流側からエッチングし、エッチング液を下流側孔から貫通孔内へ斜め噴射して、流し続けたため、上流側孔底面全体は傾斜した面で湾曲形状に近い上流側孔底面湾曲部１０８が形成されるため、この濾過フィルターでの上流側孔底面湾曲部１０８を、後でエッジ部を除去する電解研磨等の後加工の工程を追加することなく安価に作成でき、捕集した塵埃を容易に排出できる電気掃除機を提供することができる。

以上のように、本発明にかかる電気掃除機は、糸状の塵埃が濾過フィルターに絡みつくことを防止して、高い吸込み仕事率を確保すると共に、濾過フィルターの清掃や塵埃の排出などのメンテナンス作業の負担を大きく軽減できるもので、家庭用電気掃除機だけでなく、業務用電気掃除機などさまざま種類の掃除機に使用することが可能となる。

本発明の実施の形態１における電気掃除機の全体図 同電気掃除機の本体要部の構成を示す断面図 （ａ）同電気掃除機の集塵ケースの正断面図（ｂ）同集塵ケースの側断面図（ｃ）（ｂ）のＡ−Ａ断面図（ｄ）（ｂ）のＢ−Ｂ断面図 同電気掃除機の第２の濾過フィルターの要部断面図 （ａ）同電気掃除機の集塵ケースにおける吸引口付近の気流を示す平断面図（ｂ）同集塵ケースにおける濾過フィルター付近の気流の流れを示す平断面図（ｃ）同集塵ケースにおける縦方向の気流の流れを示す縦断面図 同濾過フィルターの構造を示す要部断面図 （ａ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図（ｂ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図（ｃ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図 等方性エッチングを説明するための図 （ａ）濾過フィルターが大きな粒状塵埃を分離する分離動作を説明するための図（ｂ）同濾過フィルターが小さな粒状塵埃を分離する分離動作を説明するための図 （ａ）同濾過フィルターが糸状塵埃を分離する分離動作を説明するための図（ｂ）同濾過フィルターが糸状塵埃を分離する分離動作を説明するための図 （ａ）同濾過フィルターの貫通孔２８の傾斜方向を説明するための図（ｂ）同貫通孔２８の傾斜方向を説明するための図 （ａ）本発明の実施の形態２に係る濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図（ｂ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図（ｃ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図 （ａ）本発明の実施の形態３に係る濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図（ｂ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図（ｃ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図 （ａ）本発明の実施の形態４に係る濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図（ｂ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図（ｃ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図（ｄ）同濾過フィルターの製造方法を説明するための工程断面図

符号の説明

１ 掃除機本体
６ 吸引口
２１ 電動送風機
２３ 塵埃分離部
２４ 塵埃収容部
２７ 円筒状の濾過フィルター
２７ａ 第１の濾過フィルター
２７ｂ 第２の濾過フィルター
２８ 貫通孔
３３ 空間部
５０ 旋回気流
６３ 中心軸
１０４ 上流側孔
１０５ 下流側孔
１０６ 連通部孔
１０７ａ エッジ部分
１０７ｂ エッジ部分
１０８ 上流側孔底面湾曲部

Claims (8)

1. 電動送風機と、前記電動送風機の上流側に設置され前記電動送風機により吸引した塵埃を含む空気を導入し前記空気から前記塵埃を分離する濾過フィルターを有する塵埃分離部と、前記塵埃分離部で分離された塵埃を収容する塵埃収容部とを備え、前記濾過フィルターは上流側表面と下流側表面との間を貫通する複数の貫通孔を設けており、前記貫通孔の中心軸方向は前記濾過フィルター面の法線方向に対して傾斜しており、前記貫通孔は上流側孔と、下流側孔と、前記上流側孔および前記下流側孔を連通させる連通部孔とで構成され、且つ前記上流側孔の底面に湾曲部を設けたことを特徴とした電気掃除機。
2. 塵埃分離部には吸引口から導入する塵埃を含む空気を旋回気流として流す旋回気流通風路を設け、前記旋回気流通風路の少なくとも一部を形成する濾過フィルターを備え、前記濾過フィルターの外周に前記電動送風機の吸引力が作用する空間部を設け、前記濾過フィルターの貫通孔の中心軸方向が前記濾過フィルターの上流側表面に沿って流れる旋回気流の進行方向に対して略逆方向となるように前記濾過フィルターを配置した請求項１に記載の電気掃除機。
3. 上流側孔は、等方性エッチングで形成されたものである請求項１または２に記載の電気掃除機。
4. 下流側孔は、等方性エッチングで形成されたものである請求項３に記載の電気掃除機。
5. 下流側孔は、異方性エッチングで形成されたものである請求項３に記載の電気掃除機。
6. 上流側孔と下流側孔は、下流側孔を先に異方性エッチングした後、上流側孔と下流側孔を等方性エッチングで形成されたものである請求項１または２に記載の電気掃除機。
7. 上流側孔と下流側孔は、共に異方性エッチングで形成され、上流側孔と下流側孔が連通し貫通孔を形成した後、前記下流側孔から前記貫通孔内へエッチング液を斜め噴射して、前記上流側孔と前記下流側孔の境界にできるエッジ部を除去することで、前記上流側孔の底面に湾曲部を設けた請求項１または２に記載の電気掃除機。
8. 貫通孔は、濾過フィルターの表面と裏面からエッチングして上流側孔と下流側孔が貫通した後、前記表面または前記裏面のいずれか一方から前記貫通孔内へエッチング液を噴射して、前記上流側孔と前記下流側孔の境界にできるエッジ部を除去する請求項２〜６のいずれか１項に記載の電気掃除機。