JP2010034320A - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】要求露光量精度を満たしながらスループットの向上に寄与する露光装置を提供する。
【解決手段】第1強度の光を使った第1所要露光時間が基準時間よりも長い場合には、前記第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合には、前記第1強度より弱い第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低く、かつ、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光するときの所要露光時間である第2所要露光時間が前記基準時間よりも長い場合には、前記第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光する。
【選択図】図1

Description

本発明は、光源からの光で原版を照明し該原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置に関する。
特許文献1には、被記録体からの光又は被記録体に照射される光の強度を光電検出器で検出し、この検出値に対応する周波数の出力パルスを得て、このパルスを計数し、所定のパルス数に達した際にシャッタを閉じる構成を有する露光装置が記載されている。シャッタは、1枚の回転円板に遮光部と透光部を交互に設け、これを回転駆動することにより、照明光の遮光状態および透光状態を制御するものである。
低露光量による露光制御を行う場合においては、特許文献1に記載されたような構成では、シャッタを閉じるタイミングが間に合わないことがある。そこで、パルス数を計数することなくシャッタを閉じる方法、光強度を低下させた状態で上記のようにパルス数を計数し、所定のパルス数に達した際にシャッタを閉じる方法が採用されうる。
特公昭61−34252号公報
しかしながら、パルス数を計数することなくシャッタを閉じる方法は、要求露光量精度が低い場合にはスループットの向上に有利であるが、要求露光量精度が高い場合には採用されるべきではない。また、光強度を低下させる方法は、要求露光量精度が高い場合には有用であるが、要求露光量精度が低い場合にはスループットの点で不利である。
本発明は、上記の課題認識を契機としてなされたものであり、例えば、要求露光量精度を満たしながらスループットの向上に寄与する露光装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の側面は、光源からの光で原版を照明し該原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置に係り、前記露光装置は、前記光源と原版の配置面との間に配置されたシャッタと、基板の露光量を検知する露光量センサと、前記シャッタを開いた後に前記露光量センサの出力に基づいて前記シャッタを閉じることによって基板の露光時間を制御する第1モードと、目標露光量に基づいて予め決定された制御情報に基づいて前記シャッタの速度を制御することによって基板の露光時間を制御する第2モードとを含む前記シャッタの制御モードを用いて露光動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は、第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光するときの所要露光時間である第1所要露光時間が基準時間よりも長い場合には、前記第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合には、前記第1強度より弱い第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低く、かつ、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光するときの所要露光時間である第2所要露光時間が前記基準時間よりも長い場合には、前記第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低く、かつ、前記第2所要露光時間が前記基準時間よりも短い場合には、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光する、ように露光動作を制御する。
本発明の第2の側面は、光源からの光で原版を照明し該原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置に係り、前記露光装置は、前記光源と原版の配置面との間に配置されたシャッタと、基板の露光量を検知する露光量センサと、前記シャッタを開いた後に前記露光量センサの出力に基づいて前記シャッタを閉じることによって基板の露光時間を制御する第1モードと、目標露光量に基づいて予め決定された制御情報に基づいて前記シャッタの速度を制御することによって基板の露光時間を制御する第2モードとを含む前記シャッタの制御モードを用いて露光動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は、第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光するときの所要露光時間である第1所要露光時間が基準時間よりも長い場合には、前記第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合には、前記第1強度より弱い第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低い場合には、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光する、ように露光動作を制御する。
本発明によれば、例えば、要求露光量精度を満たしながらスループットの向上に寄与する露光装置を提供することができる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
図1は、本発明の好適な実施形態の露光装置の概略構成を示す図である。本発明の好適な実施形態の露光装置100は、光源1、シャッタ4、原版ステージ21、投影光学系6、基板ステージ22、光量調整部25を備える。原版ステージ21は、原版(レチクル)2を保持し位置決めする。原版2には、半導体回路パターン等のパターンが形成されていて、光源1が発生する光によって照明される。光源1は、典型的には、連続的に光を発生するランプを含みうる。
基板ステージ22は、フォトレジスト(感光剤)が塗布された基板(ウエハ)3を保持し位置決めする。基板3には、投影光学系6を介して、原版2のパターンが投影され、これにより基板3に塗布されているフォトレジストに潜像パターンが形成される。潜像パターンは、現像装置において現像され、これによりレジストパターンが形成される。
シャッタ4は、光源1と原版2の配置面との間(換言すると、光源1と原版ステージ21との間)に配置され、原版2への光源1からの光の入射時間を制御することによって基板3の露光時間を決定する。
光量調整部25は、原版2を照明する光の強度(光量)を調整する。原版2を照明する光の強度を調整することは、基板3を露光する光の強度を調整することを意味する。光量調整部25は、光の強度を連続的に、または段階的に調整可能に構成されうる。光量調整部25は、例えば、光源1のランプの位置を調整すること、または、光量低減フィルタを光路(光源1と原版2との間)に挿入することによって原版2を照明する光の強度を調整するように構成されうる。
露光装置100は、基板3の露光量を検知する露光量センサSを備える。露光量センサSは、例えば、光センサ5、アンプ7、V/Fコンバータ9、パルスカウンタ11を含んで構成されうる。光センサ5は、シャッタ4と原版ステージ21との間における光の強度を検出する。光センサ5は受光素子を含む。該受光素子は、シャッタ4と原版ステージ21との間における照明光の光路に配置されてもよいし、該光路からミラーによって取り出された光を受光するように配置されてもよい。アンプ7は、光センサ5から出力される光強度を示す信号を電圧信号に変換する。V/Fコンバータ9は、アンプ7から出力される電圧信号を周波数信号に変換する。パルスカウンタ11は、V/Fコンバータ9から出力される周波数信号のパルス数をカウントする。パルスカウンタ11によってカウントされたカウント値は、光の光強度を積算した量を意味するので、基板の露光量と比例する。よって、このカウント値によって基板の露光量を示す情報が得られる。
露光装置100は、更に、制御部13、入出力装置15、目標露光量決定器16、駆動回路14等を備えうる。制御部13は、基板3の露光動作を制御する。駆動回路14は、制御部13からの指示を受けてシャッタ4を開閉駆動する。入出力装置(コンソール)15は、各種の情報を入力・出力するための装置である。目標露光量決定器16は、入出力装置15を介して入力された露光条件、及び、必要に応じて入力される他の情報に基づいて、目標露光量を決定する。
図2は、シャッタ4の動作による露光制御を説明するための図である。シャッタ4は、不図示の回転機構によって回転駆動されるシャッタ板81を含む。シャッタ板81は、遮光部A、B、Cと、それらの間の部分である非遮光部を有する。図2では、シャッタ板81の遮光部A、B、Cと、光が通る光路領域86との位置関係が例示されている。図2(a)は、シャッタ板81の遮光部Aによって光路領域86が遮断された状態である。図2(b)は、図2(a)の状態からシャッタ板81が時計回りに60°回転し、光路領域86が遮断されなくなった状態である。図2(c)は、図2(b)の状態からシャッタ板81が更に時計回りに60°回転し、遮光部Bにより光路領域86が遮断された状態である。光路領域86が遮断されていない状態は、シャッタ4が開かれた状態であり、光路領域86が遮断された状態は、シャッタ4が閉じられた状態である。
シャッタ4が閉じられた状態(a)から開かれた状態(b)を経て閉じられた状態(c)に至るまでには、相応の最小時間が必要である。この最小時間に基づいて、シャッタ4の制御モードを決定するための基準時間Tminが決定される。基準時間Tminは、最小時間と等しくてもよいし、最小時間にマージンを加えた時間でもよい。
シャッタ4の制御モードは、第1モードおよび第2モードを含む。第1モードは、シャッタ4を開いた後に露光量センサSの出力に基づいてシャッタ4を閉じることによって基板3の露光時間を制御するモードである。第2モードは、目標露光量に基づいて予め決定された制御情報に基づいてシャッタ4の開閉速度を制御することによって基板3の露光時間を制御するモードである。本実施例では、シャッタ4の回転速度を制御することで、シャッタ4の開閉速度を制御することが可能である。シャッタ4の制御モードは、メモリ等の記憶手段に予め格納されていても良いし、外部の記憶媒体を用いて後から格納されても良い。
制御部13は、第1強度(典型的には光源1が発生する光の最大強度)の光を使い第1モードで基板を露光するときの第1所要露光時間Td1が基準時間Tminよりも長い場合、第1強度の光を使って第1モードで基板を露光するように露光動作を制御する。
制御部13は、次の(1)〜(3)で示されるように露光動作を制御する。
(1)第1所要露光時間Td1が基準時間Tminよりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合
第1強度より弱い第2強度の光を使って第1モードで基板を露光する。
(2)第1所要露光時間が基準時間Tminよりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも低く、かつ、第1強度の光を使って第2モードで基板を露光するときの第2所要露光時間Td2が基準時間Tminよりも長い場合
第1強度より弱い第2強度の光を使って第1モードで基板を露光する。
(3)第1所要露光時間Td1が基準時間Tminよりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも低く、かつ、第2所要露光時間Td2が基準時間Tminよりも短い場合
第1強度の光を使って第2モードで基板を露光する。
図3は、第2モードにおけるシャッタ4(より正確にはシャッタ板81)の回転速度[rpm]と露光量[J/m]との関係を示すグラフである。図3に例示されるような露光量とシャッタ4の回転速度との関係は、実験又は計算により求めることができ、例えば、近似関数又はデータテーブルとして制御部13内のメモリ(不図示)に予め格納しておくことができる。
図7は、第1モードにおけるシャッタ板81の回転角(a)および角速度(b)、基板3の表面における照度(c)を例示する図である。図8は、第2モードにおけるシャッタ板81の回転角(a)および角速度(b)、基板3に表面における照度(c)を例示する図である。第2モードでは、図3に例示されるシャッタ板81の回転速度[rpm]に対応する角速度プロファイル(制御情報)に従ってシャッタ板81を回転させる。ここで、シャッタ板81の回転速度[rpm]に基づいて角速度プロファイル(制御情報)を決定するために必要な情報は、制御部13内のメモリに予め格納しておくことができる。角速度プロファイル(制御情報)は、目標とする露光量[J/m]から直接に決定されてもよい。制御部13は、第2モードにおいて、目標とする露光量[J/m]に応じた角速度プロファイルに従って駆動回路14にシャッタ4(シャッタ板81の回転機構)を駆動させる。
この実施形態では、目標とする露光量[J/m]に応じてシャッタ板81の回転速度[rpm]が定められるので、目標とする露光量が大きいと、第2モードにおける所要露光時間が基準時間Tminを超える場合がある。第2モードは、シャッタ4を閉じるタイミングを露光センサSの出力によって制御しないので、露光量精度が第1モードよりも低い。したがって、第2モードにおける所要露光時間が基準時間Tminを超える場合には、もはや第2モードで露光を行う必要はない。よって、このような場合には、制御部13は、基板の露光のために使用する光の強度を第1強度から第2強度に低減し、第1モードで露光を行うように露光動作を制御する。
図4は、本発明の好適な実施形態の露光処理の流れを示すフローチャートである。この露光処理は、制御部13によって制御される。なお、この例では、原版2を照明する光の強度は、デフォルト(初期設定)では、第1強度(典型的には、最大強度)に設定されていて、ステップS108で第1強度よりも弱い第2強度に設定されうるものとする。
まず、ステップS102では、制御部13は、入出力装置15から要求露光量精度および基準時間Tminの情報を取得する。ここで、要求露光量精度は、露光処理において要求される露光量精度であり、例えば、多段階のレベルで与えられうる。最も単純な例において、要求露光量精度は、2段階のレベル、例えば、基準レベルよりも厳しいか、厳しくないかで与えられうる。図4のフローチャートで示す露光処理の例において、要求露光量精度は、基準レベルよりも厳しいか、厳しくないかで与えられる。基準時間Tminは、基板の露光を第1モードで実行するか第2モードで実行するかを決定するために使用される。
ステップS103では、制御部13は、目標露光量決定器16から目標露光量Dtの情報を取得する。
ステップS104では、制御部13は、第1モードにおいて基板を露光するときの所要露光時間である第1所要露光時間Td1を計算する。ここで、基板3に入射する光の光量値(該光量値は、原版2を照明する照明光と比例する。)をI、シャッタ4の動作遅れ時間をTsとすると、第1所要露光時間Td1は、(1)式に従って計算することができる。
Td1 = (Dt/I)+ Ts ・・・(1)
なお、光量値Iは、例えば、以前に基板の露光を行ったときの露光量センサSの出力値を記憶しておいてそれに基づいて決定されてもよいし、露光前にシャッタ4をダミーで開閉させて光量を露光量センサSで計測しそれに基づいて決定されてもよい。
ステップS105では、制御部13は、ステップS104で計算した第1露光所要時間Td1と基準時間Tminとを比較する。そして、制御部13は、第1所要時間Td1が基準時間Tminよりも大きければステップS106に処理を進め、第1所要時間Td1が基準時間Tminよりも小さければステップS107に処理を進める。なお、第1所要時間Td1と基準時間Tminとが等しい場合にどのようにするかは、基準時間Tminの決定方法に依存する。この例では、第1所要時間Td1が基準時間Tminと等しい場合には、ステップS107に処理が進められる。
ステップS106では、制御部13は、設定されている強度の光(この例では、第1強度または第2強度に設定されうる)を使って第1モードで基板を露光するように露光動作を制御する。
ステップS107では、制御部13は、要求露光精度が基準レベルよりも高いか否か(基準レベルよりも厳しいか否か)を判断する。そして、制御部13は、要求露光精度が基準レベルよりも高い場合にはステップS108に処理を進め、要求露光精度が基準レベルよりも低い場合にはステップS109に処理を進める。例えば、要求露光精度が、基準レベルよりも厳しいか厳しくないかで与えられる場合において、基準レベルを2、基準レベルよりも厳しい要求露光精度を3、基準レベルよりも厳しくない要求露光精度を1とすることができる。この場合、要求露光精度を示す数値と基準レベルを示す数値との比較によって、要求露光精度が基準レベルよりも厳しいか、厳しくないかを判断することができる。
ステップS108では、制御部13は、光量調整部25に、原版2を照明する光の強度(基板3に入射する光の強度)を第1強度からそれよりも弱い第2強度に変更させる。ここで、要求露光量精度が基準レベルよりも厳しい場合には、第2モードで基板を露光することができないので、第1モードで基板を露光するために、所要露光時間が基準時間Tminを超えるように、露光のために使用する光の強度を低下させる必要がある。
ステップS108の後は、ステップS106が実行される。ステップS108の後に実行されるステップS106では、第1強度の光を使って第1モードで基板3が露光されることになる。
ステップS109では、制御部13は、第1強度の光を使って第2モードで基板を露光するときの所要露光時間である第2所要露光時間Td2を計算する。より具体的には、制御部13は、図3に例示されるグラフである。図3に例示されるグラフに対応する近似関数又はデータテーブルに従って、目標露光量Dtに対応するシャッタの回転速度を計算し、その回転速度に対応する第2所要時間Td2を決定する。例えば、目標露光量DtがD1であれば、それに対応する回転速度はR1である。ここで、第2所要時間Td2は、例えば、回転速度に対応する角速度プロファイルに従って決定されてもよいし、予め登録された実測値に従って決定されてもよい。
ステップS110では、制御部13は、ステップS109で計算した第2露光所要時間Td2と基準時間Tminとを比較する。そして、制御部13は、第2所要時間Td2が基準時間Tminよりも大きければステップS108に処理を進め、第2所要時間Td2が基準時間Tminよりも小さければステップS111に処理を進める。なお、第2所要時間Td2と基準時間Tminとが等しい場合にどのようにするかは、基準時間Tminの決定方法に依存する。この例では、第2所要時間Td2が基準時間Tminと等しい場合には、ステップS108に処理が進められる。
第2所要時間Td2が基準時間Tminよりも大きければ、ステップS108において、原版2を照明する光の強度が第1強度からそれよりも弱い第2強度に変更され、その後、ステップS106において、第1モードで基板が露光される。一方、第2所要時間Td2が基準時間Tminよりも小さければ、デフォルトの光強度、即ち、第1強度のままで、ステップS111において、基板が露光される。
図9は、目標露光量Dt、制御モード(第1モード/第2モード)、光の強度(第1強度/第2強度)、第1所要露光時間Td1、第2所要露光時間Td2、基準時間Tminの関係を例示する図である。
上記の例は、第2所要露光時間Td2が第1所要露光時間Td1よりも大きくなりうる場合の例(即ち、ステップS110でTd2がTminよりも小さくなると判断されうる場合の例)である。第2所要露光時間Td2が第1所要露光時間Td1よりも常に小さくなる場合には、ステップS109およびステップS110は不要である。この場合には、ステップS107で要求露光精度が基準レベルよりも低いと判断された場合には常にステップS111に処理が進められ、ステップS111において第1強度の光を使って第2モードで基板が露光される。
図5は、第1モードで基板を露光するステップS106の詳細を示すフローチャートである。第1モードは、前述のように、シャッタ4を開いた後に露光量センサSの出力に基づいてシャッタ4を閉じることによって基板3の露光時間を制御するモードである。
ステップS203では、制御部13は、駆動回路14に対してシャッタ開指令を送り、駆動回路14にシャッタ4を開かせる。シャッタ4が開かれることによって、基板3の露光が開始される。
ステップS204では、基板3の露光量の計測が開始される。この計測では、光センサ5から出力される光強度を示す信号がアンプ7で電圧信号に変換され、この電圧信号がV/Fコンバータ9によりパルス列に変換され、このパルス数がパルスカウンタ11によってカウントされる。
ステップS205では、制御部13は、パルスカウンタ11から提供されるカウント値を読み、カウント値が目標露光量Dtによって決まるパルス値と一致するか否かを判断する。ステップS205は、パルスカウンタ11から提供されるカウント値が目標露光量によって決まるパルス値と一致するまで繰り返され、両者が一致したら、制御部13は、ステップS206に処理を進める。
ステップS206では、制御部13は、駆動回路14に対してシャッタ閉指令を送り、シャッタ4を閉じさせる。
図6は、第2モードで基板を露光するステップS111の詳細を示すフローチャートである。第2モードは、前述のように、目標露光量Dtに基づいて予め決定された制御情報に基づいてシャッタ4の速度を制御することによって基板3の露光時間を制御するモードである。
ステップS302では、制御部13は、目標露光量Dtに対応するシャッタ4の回転速度[rpm]を計算する。具体的には、制御部13は、図3に例示されるグラフに対応する近似関数又はデータテーブルに従って、目標露光量Dtに対応するシャッタの回転速度を計算する。
ステップS303では、制御部13は、駆動回路14に対してシャッタ回転指令を送り、駆動回路14にシャッタ4を回転させる。シャッタ4の回転によって、シャッタ4が閉状態から開状態を経て閉状態になる。
ステップS304では、基板3の露光量の計測が開始される。この計測では、光センサ5から出力される光強度を示す信号がアンプ7で電圧信号に変換され、この電圧信号がV/Fコンバータ9によりパルス列に変換され、このパルス数がパルスカウンタ11によってカウントされる。カウントされたパルス数は、基板の露光量に比例しているので、パルス数のカウントによって露光量を計測することができる。
ステップS305では、制御部13は、シャッタの回転速度に基づいてシャッタ4が閉状態になるタイミングを待ち、その後、ステップS306では、制御部13は、パルスカウンタ11によるカウント動作(即ち、露光量の計測)を終了させる。このようにして計測されたカウント値(露光量)は、次に実行されうるステップS302においてシャッタの回転速度を決定するために考慮されうる。
本発明の好適な実施形態のデバイス製造方法は、例えば、半導体デバイス、液晶デバイスの製造に好適であり、感光剤が塗布された基板の該感光剤に上記の露光装置を用いて原版のパターンを転写する工程と、該感光剤を現像する工程とを含みうる。さらに、他の周知の工程(エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を経ることによりデバイスが製造される。
本発明の好適な実施形態の露光装置の概略構成を示す図である。 シャッタの動作による露光制御を説明するための図である。 第2モードにおけるシャッタの回転速度[rpm]と露光量[J/m]との関係を示すグラフである。 本発明の好適な実施形態の露光処理の流れを示すフローチャートである。 第1モードで基板を露光する処理の詳細を示すフローチャートである。 第2モードで基板を露光する処理の詳細を示すフローチャートである。 第1モードにおけるシャッタ板の回転角(a)および角速度(b)、基板の表面における照度(c)を例示する図である。 第2モードにおけるャッタ板の回転角(a)および角速度(b)、基板に表面における照度(c)を例示する図である。 目標露光量Dt、制御モード(第1モード/第2モード)、光の強度(第1強度/第2強度)、第1所要露光時間Td1、第2所要露光時間Td2、基準時間Tminの関係を例示する図である。
符号の説明
1:光源
2:原版
3:基板
4:シャッタ
5:光センサ
6:投影光学系
S:露光量センサ

Claims (5)

  1. 光源からの光で原版を照明し該原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置であって、
    前記光源と原版の配置面との間に配置されたシャッタと、
    基板の露光量を検知する露光量センサと、
    前記シャッタを開いた後に前記露光量センサの出力に基づいて前記シャッタを閉じることにより基板の露光時間を制御する第1モードと、目標露光量に基づいて予め決定された制御情報に基づいて前記シャッタの開閉速度を制御することにより基板の露光時間を制御する第2モードとを含む前記シャッタの制御モードを用いて露光動作を制御する制御部とを備え、
    前記制御部は、
    第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光するときの所要露光時間である第1所要露光時間が基準時間よりも長い場合には、前記第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
    前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合には、前記第1強度より弱い第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
    前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低く、かつ、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光するときの所要露光時間である第2所要露光時間が前記基準時間よりも長い場合には、前記第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
    前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低く、かつ、前記第2所要露光時間が前記基準時間よりも短い場合には、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光する、
    ように露光動作を制御する、ことを特徴とする露光装置。
  2. 光源からの光で原版を照明し該原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置であって、
    前記光源と原版の配置面との間に配置されたシャッタと、
    基板の露光量を検知する露光量センサと、
    前記シャッタを開いた後に前記露光量センサの出力に基づいて前記シャッタを閉じることにより基板の露光時間を制御する第1モードと、目標露光量に基づいて予め決定された制御情報に基づいて前記シャッタの開閉速度を制御することにより基板の露光時間を制御する第2モードとを含む前記シャッタの制御モードを用いて露光動作を制御する制御部とを備え、
    前記制御部は、
    第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光するときの所要露光時間である第1所要露光時間が基準時間よりも長い場合には、前記第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
    前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合には、前記第1強度より弱い第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
    前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低い場合には、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光する、
    ように露光動作を制御する、ことを特徴とする露光装置。
  3. 前記シャッタは、遮光部と非遮光部を有し回転駆動されるシャッタ板を含む、
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
  4. 前記光源は、ランプを含む、
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
  5. デバイス製造方法であって、
    感光剤が塗布された基板を請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置を使って露光する工程と、
    該感光剤を現像する工程と、
    を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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