JP2010034320A - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1強度の光を使った第1所要露光時間が基準時間よりも長い場合には、前記第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合には、前記第1強度より弱い第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低く、かつ、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光するときの所要露光時間である第2所要露光時間が前記基準時間よりも長い場合には、前記第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光する。
【選択図】図1
Description
(1)第1所要露光時間Td1が基準時間Tminよりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合
第1強度より弱い第2強度の光を使って第1モードで基板を露光する。
(2)第1所要露光時間が基準時間Tminよりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも低く、かつ、第1強度の光を使って第2モードで基板を露光するときの第2所要露光時間Td2が基準時間Tminよりも長い場合
第1強度より弱い第2強度の光を使って第1モードで基板を露光する。
(3)第1所要露光時間Td1が基準時間Tminよりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも低く、かつ、第2所要露光時間Td2が基準時間Tminよりも短い場合
第1強度の光を使って第2モードで基板を露光する。
なお、光量値Iは、例えば、以前に基板の露光を行ったときの露光量センサSの出力値を記憶しておいてそれに基づいて決定されてもよいし、露光前にシャッタ4をダミーで開閉させて光量を露光量センサSで計測しそれに基づいて決定されてもよい。
2:原版
3:基板
4:シャッタ
5:光センサ
6:投影光学系
S:露光量センサ
Claims (5)
- 光源からの光で原版を照明し該原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置であって、
前記光源と原版の配置面との間に配置されたシャッタと、
基板の露光量を検知する露光量センサと、
前記シャッタを開いた後に前記露光量センサの出力に基づいて前記シャッタを閉じることにより基板の露光時間を制御する第1モードと、目標露光量に基づいて予め決定された制御情報に基づいて前記シャッタの開閉速度を制御することにより基板の露光時間を制御する第2モードとを含む前記シャッタの制御モードを用いて露光動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光するときの所要露光時間である第1所要露光時間が基準時間よりも長い場合には、前記第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合には、前記第1強度より弱い第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低く、かつ、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光するときの所要露光時間である第2所要露光時間が前記基準時間よりも長い場合には、前記第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低く、かつ、前記第2所要露光時間が前記基準時間よりも短い場合には、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光する、
ように露光動作を制御する、ことを特徴とする露光装置。 - 光源からの光で原版を照明し該原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置であって、
前記光源と原版の配置面との間に配置されたシャッタと、
基板の露光量を検知する露光量センサと、
前記シャッタを開いた後に前記露光量センサの出力に基づいて前記シャッタを閉じることにより基板の露光時間を制御する第1モードと、目標露光量に基づいて予め決定された制御情報に基づいて前記シャッタの開閉速度を制御することにより基板の露光時間を制御する第2モードとを含む前記シャッタの制御モードを用いて露光動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光するときの所要露光時間である第1所要露光時間が基準時間よりも長い場合には、前記第1強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、要求露光量精度が基準レベルよりも高い場合には、前記第1強度より弱い第2強度の光を使って前記第1モードで基板を露光し、
前記第1所要露光時間が前記基準時間よりも短く、かつ、前記要求露光量精度が前記基準レベルよりも低い場合には、前記第1強度の光を使って前記第2モードで基板を露光する、
ように露光動作を制御する、ことを特徴とする露光装置。 - 前記シャッタは、遮光部と非遮光部を有し回転駆動されるシャッタ板を含む、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。 - 前記光源は、ランプを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。 - デバイス製造方法であって、
感光剤が塗布された基板を請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置を使って露光する工程と、
該感光剤を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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