JP2010034121A - 電子部品搭載ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Z軸20により上下方向に移動される可動部22と、これに軸回転と上下動が可能に支持され、下端部に吸着ノズルが装着可能なノズル軸30と、これを可動部に対して下方に押圧する加圧軸34と、これによる押圧時にノズル軸に掛かる荷重を検出する、検出軸36Aに支持された荷重センサ36とを備えた搭載ヘッドにおいて、荷重センサを下に向けた前記検出軸が、前記ノズル軸に対してオフセットして配設されていると共に、加圧軸の下部に連続形成され、ノズル軸に軸受38を介して荷重アーム40が連結されていると共に、該荷重アームに荷重センサが係合され、加圧軸により押し下げられる荷重センサを介して該荷重アームが押し下げられ、前記ノズル軸が下方へ押圧される。
【選択図】図3
Description
20…Z軸
20A…ボールねじ
22…可動部
24…リニアガイド
26…スプラインナット
28…エアベアリング
30…ノズル軸
30A…スプラインシャフト
32…ボイスコイルモータ(VCM)
34…VCM軸(加圧軸)
36…ロードセル(荷重センサ)
36A…検出軸
38…ベアリングユニット(軸受)
40…荷重アーム
42…ロードセルケース
42A…与圧ばね
42B…自重キャンセルばね
50…リンク(連結部材)
Claims (2)
- Z軸により上下方向に移動される可動部と、
該可動部に軸回転と上下動が可能に支持され、下端部に吸着ノズルが装着可能なノズル軸と、
該ノズル軸を前記可動部に対して下方に押圧する加圧軸と、
該加圧軸による押圧時にノズル軸に掛かる荷重を検出する、検出軸に支持された荷重センサとを備えた電子部品搭載ヘッドにおいて、
荷重センサを下に向けた前記検出軸が、前記ノズル軸に対してオフセットして配設されていると共に、前記加圧軸の下部に連続形成され、
前記ノズル軸に軸受を介して荷重アームが連結されていると共に、該荷重アームに前記荷重センサが係合され、前記加圧軸により押し下げられる荷重センサを介して該荷重アームが押し下げられ、前記ノズル軸が下方へ押圧されることを特徴とする電子部品搭載ヘッド。 - Z軸により上下方向に移動される可動部と、
該可動部に軸回転と上下動が可能に支持され、下端部に吸着ノズルが装着可能なノズル軸と、
該ノズル軸を前記可動部に対して下方に押圧する加圧軸と、
該加圧軸による押圧時にノズル軸に掛かる荷重を検出する、検出軸に支持された荷重センサとを備えた電子部品搭載ヘッドにおいて、
荷重センサを下に向けた前記検出軸が、前記ノズル軸に対してオフセットして配設されていると共に、該検出軸に並設された前記加圧軸に連結部材を介して連結され、
前記ノズル軸に軸受を介して荷重アームが連結されていると共に、該荷重アームに前記荷重センサが係合され、前記加圧軸により押し下げられる荷重センサを介して該荷重アームが押し下げられ、前記ノズル軸が下方へ押圧されることを特徴とする電子部品搭載ヘッド。
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