JP2010034113A - 気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】反応ガスの濃度分布を改善できる気相成長装置を提供すること。
【解決手段】内部で半導体ウェーハWの主表面にエピタキシャル層EPを成長させる反応容器と、シリコンソースとキャリアガスとを含む反応ガスを、前記半導体ウェーハWの主表面に沿って該主表面に供給可能な第一のガス供給管331と、シリコンソースとキャリアガスとドーパントガスとのうち少なくとも一つを含むガスを、前記半導体ウェーハWの主表面に沿って該主表面に供給可能な第二のガス供給管332と、を備え、前記第一のガス供給管331から供給される前記反応ガスの供給方向と前記第二のガス供給管332から供給される前記ガスの供給方向とのなす角度が30〜120度であることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】内部で半導体ウェーハWの主表面にエピタキシャル層EPを成長させる反応容器と、シリコンソースとキャリアガスとを含む反応ガスを、前記半導体ウェーハWの主表面に沿って該主表面に供給可能な第一のガス供給管331と、シリコンソースとキャリアガスとドーパントガスとのうち少なくとも一つを含むガスを、前記半導体ウェーハWの主表面に沿って該主表面に供給可能な第二のガス供給管332と、を備え、前記第一のガス供給管331から供給される前記反応ガスの供給方向と前記第二のガス供給管332から供給される前記ガスの供給方向とのなす角度が30〜120度であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、気相成長装置に関する。
エピタキシャルウェーハは、半導体ウェーハの主表面にエピタキシャル層を成長させたものである。近年、半導体デバイスの集積度、デザインルール(微細化パターン)の微細化等に伴い、高平坦度で高精度なエピタキシャルウェーハが求められている。エピタキシャルウェーハを製造するために、エピタキシャル層を半導体ウェーハの主表面に成長させる気相成長装置が使用されている。
気相成長装置によれば、例えば、以下の手順により半導体ウェーハの主表面にエピタキシャル層を成長させることができる。内部に円盤状のサセプタを有し、内部に反応ガスを供給可能な反応容器におけるサセプタの上に半導体ウェーハを載置する。サセプタの上面は凹状のウェーハ載置部となっており、ウェーハ載置部に半導体ウェーハを載置し、反応容器の外面に配置したヒータにて半導体ウェーハを加熱しながら、反応容器の内部を通過する反応ガスと半導体ウェーハとを反応させ、半導体ウェーハの主表面にエピタキシャル層を成長させる。
反応ガスは、半導体ウェーハの主表面に沿って該主表面に供給されるようにガス供給管から反応容器の内部に供給された後、ガス排出管から反応容器の外に排出されるが、反応容器内の様々な要因により反応ガスの濃度分布は不均一となる。特に、エピタキシャル層の厚さは、反応温度等の条件を変更することでエピタキシャル層の厚さの分布を略均一にすることができるが、抵抗率の分布を均一にすることは困難である。
ところで、例えば、ガス供給管を複数設け、それぞれ複数のガス供給管から半導体ウェーハの外周縁部、中心部付近に反応ガスが流れるように設定し、この反応ガスの流速を独立に調整することでエピタキシャル層の厚さと抵抗率とを均一にする方法が提案されている(特許文献1参照)。
特開平6−232060号公報
特許文献1のガス供給管は、半導体ウェーハの外周縁部と中心部付近とのエピタキシャル層の厚さを調整するために、三系統に分かれている。しかし、特許文献1の方法は、三系統のガス供給管から供給される反応ガスの供給方向が平行であり、反応ガスの濃度分布を均一にするには不十分である。
したがって、本発明は、反応ガスの濃度分布を改善できる気相成長装置を提供することを目的とする。
(1) 本発明の気相成長装置は、内部で半導体ウェーハの主表面にエピタキシャル層を成長させる反応容器と、シリコンソースとキャリアガスとを含む反応ガスを、前記半導体ウェーハの主表面に沿って該主表面に供給可能な第一のガス供給管と、シリコンソースとキャリアガスとドーパントガスとのうち少なくとも一つを含むガスを、前記半導体ウェーハの主表面に沿って該主表面に供給可能な第二のガス供給管と、を備え、前記第一のガス供給管から供給する前記反応ガスの供給方向と前記第二のガス供給管から供給する前記ガスの供給方向とのなす角度が30〜120度であることを特徴とする。
(2) 前記第一のガス供給管から供給する前記反応ガスの供給量と前記第二のガス供給管から供給する前記ガスの供給量との比率は1000:1〜100:1であることが好ましい。
(3) 前記反応ガスはドーパントガスをさらに含み、前記第二のガス供給管からドーパントガスを供給することが好ましい。
本発明の気相成長装置によれば、反応ガスの濃度分布を改善させることができる。
以下、本発明のサセプタ及び気相成長装置の一実施形態について図面を参照しながら説明する。まず、本発明の気相成長装置の一実施形態について説明する。本発明のサセプタの一実施形態は、本実施形態の気相成長装置の一部を構成している。図1は、本発明の気相成長装置の一実施形態を模式的に示す平面図である。図2は、図1のX−X´断面図である。
本実施形態の気相成長装置1は、図1及び図2に示すように、半導体ウェーハWを1枚ずつ処理する枚葉式の気相成長装置であり、シリコンウェーハからなる半導体ウェーハWの主表面にエピタキシャル層EPを気相成長させて、エピタキシャルウェーハEWを製造する装置である。この気相成長装置1は、サセプタ2と、反応容器3と、加熱装置4とを備える。
反応容器3は、その内部にサセプタ2が設置され、その内部に反応ガスを供給可能に構成されている。そして、反応容器3は、サセプタ2の上に載置された半導体ウェーハWに反応ガスを供給することで、半導体ウェーハWの主表面にエピタキシャル層EPを成長させる。この反応容器3は、上側ドーム31と、下側ドーム32と、ドーム取付体33と、サセプタ支持部34とを備える。
上側ドーム31及び下側ドーム32は、石英等の透光性部材から構成されている。
ドーム取付体33は、上方及び下方が開放された略筒状部材から構成され、上方側の開口部分及び下方側の開口部分にて上側ドーム31及び下側ドーム32を支持する。
このドーム取付体33の側面には、半導体ウェーハWの主表面に沿って該主表面に反応ガスを供給可能な第一のガス供給管331が設けられており、第一のガス供給管331に対向するドーム取付体33の側面には、ガス排出管333が設けられている。第一のガス供給管331及びガス排出管333は、反応容器3の内部と反応容器3の外部とを連通するように形成されている。
反応ガスは、第一のガス供給管331から反応容器3の内部に供給される。反応ガスは、例えば、SiH2Cl2やSiHCl3のシリコンソースを水素ガスからなるキャリアガスで希釈し、それにB2H6等からなるドーパントガスを微量混合してなる。供給された反応ガスは、サセプタ2に載置された半導体ウェーハWの主表面を水平に通過した後、ガス排出管333から反応容器3の外に排出される。
図1に示すように、半導体ウェーハWの主表面に沿って該主表面にガスを供給可能な第二のガス供給管332が設けられており、第二のガス供給管332は、反応容器3の内部と反応容器3の外部とを連通するように形成されている。
第二のガス供給管332から、ドーパントガスが反応容器3の内部に供給される。供給されたガスは、サセプタ2に載置された半導体ウェーハWの主表面を水平に通過した後、ガス排出管333から反応容器3の外に排出される。第一のガス供給管331及び第二のガス供給管332の詳細については後述する。
図2に示すように、サセプタ2は、半導体ウェーハWを載置する部材であり、反応容器3の内部に設置される。サセプタ2は、回転軸Rに連なるサセプタ支持部34によって、その下面が支持され、回転軸Rの駆動により回転する。サセプタ2の材質は特に限定されないが、例えば炭素基材の表面にSiC被膜をコーティングしたものが好ましい。
サセプタ2へ半導体ウェーハWを搬入する方式、サセプタ2から半導体ウェーハWを搬出する方式としては特に限定されず、例えば、ベルヌイチャックを用いて搬送治具の昇降により半導体ウェーハWを移載するものや、半導体ウェーハWの下面をピンで支持してピンの昇降により半導体ウェーハWを移載するもの等が挙げられる。
サセプタ2の上面には、半導体ウェーハWの直径よりも大きい径の凹部からなるウェーハ載置部21が形成されている。このウェーハ載置部21は、第1凹部211と、第2凹部212とからなる。第1凹部211は、サセプタ2の上面から下側に凹んだ円形の凹部である。第2凹部212は、第1凹部211よりも小径で第1凹部211の底面から下側に凹んでおり、かつ、第1凹部211と同心の円形の凹部である。また、サセプタ2には、第2凹部212の外周縁側の位置に、第1凹部211の底面で半導体ウェーハWを支持するウェーハ支持部213が形成されている。
半導体ウェーハWは、ウェーハ支持部213で支持されることでウェーハ載置部21の内側に載置される。なお、ウェーハ支持部213は、第1凹部211の外周側から第2凹部212の外周側にかけて下方に傾斜する形状にして半導体ウェーハWの外周縁部を線接触で支持するようにしてもよく、あるいは、ウェーハ支持部213の上面に凹凸を設けて半導体ウェーハWの外周縁部を点接触で支持するようにしてもよい。
サセプタ支持部34は、石英等の透光性部材から構成され、図2に示すように、反応容器3の下側ドーム32の略中央部分から反応容器3の内部に突出し、サセプタ2を水平状態で反応容器3の内部に支持する。そして、サセプタ支持部34は、例えば、制御装置(図示せず)による制御の下、回転軸Rを中心として回転自在に構成されている。
加熱装置4は、反応容器3の上方側及び下方側にそれぞれ配設され、反応容器3の上側ドーム31及び下側ドーム32を介して、サセプタ2及びその上に載置された半導体ウェーハWを放射熱により加熱し、半導体ウェーハWを所定温度に設定するものである。この加熱装置4としては、例えば、ハロゲンランプや赤外ランプ等を採用できる。また、加熱装置4としては、放射熱により加熱するものの他、誘導加熱により半導体ウェーハWを加熱する高周波加熱方式を採用してもよい。
以下、第一のガス供給管331及び第二のガス供給管332について詳細に説明する。図1に示すように、本発明の一実施形態において、気相成長装置1は、第一のガス供給管331及び第二のガス供給管332を備える。第一のガス供給管331から反応ガスを反応容器3の内部に供給し、第二のガス供給管332からドーパントガスを供給する。反応ガスは、シリコンソースとキャリアガスとを含み、さらにドーパントガスを含む。このような反応ガスを第一のガス供給管331から供給し、第二のガス供給管332からドーパントガスを供給することで、ドーパントガスの濃度分布が均一になり、抵抗率の分布を改善することができる。
第二のガス供給管332から供給されるドーパントガスの供給方向と第一のガス供給管331から供給される反応ガスの供給方向とのなす角度θは、30〜120度であることが好ましい。角度θが30度未満であると、従来の気相成長装置のように反応ガスの濃度分布は不均一となる場合がある。一方、角度θが120度を超えると、第二のガス供給管332とガス排出管333との距離が近くなるため、第二のガス供給管332から供給されたドーパントガスが半導体ウェーハWに到達せずそのままガス排出管333より排出されてしまう場合がある。
第一のガス供給管331から供給される反応ガスの供給量と第二のガス供給管332から供給されるドーパントガスの供給量の比率は半導体ウェーハWの直径の大きさ等に応じて適宜変更できるが、1000:1〜100:1とすることが好ましい。反応ガス及びドーパントガスの比率をこのようにすることで、ドーパントガスの濃度分布を均一に反応させることができ、抵抗率を改善することができる。
以上、本発明の実施形態について図面を参照にしながら詳細に説明したが、本発明は、以上の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。
例えば、上述した実施形態では、本発明の気相成長装置を枚葉式の気相成長装置1に適用したものであるが、本発明の気相成長装置はこれに限定されるものではなく、複数枚の半導体ウェーハWを一度に処理するバッチ式の気相成長装置に適用することができる。
また、上述した実施形態では、第二のガス供給管332からドーパントガスを供給する場合について適用したものであるが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、シリコンソースとキャリアガスとドーパントガスとのうち少なくとも一つを含んでいればよい。シリコンソースを第二のガス供給管332から供給することにより、シリコンソースの濃度分布が均一となり、エピタキシャル層の厚さの分布を改善することができる。また、キャリアガスを第二のガス供給管332から供給することにより、シリコンソース及びドーパントガスの濃度分布が均一となり、エピタキシャル層の厚さの分布及び抵抗率の分布を改善することができる。
また、上述した実施形態では、第一のガス供給管331からシリコンソースとキャリアガスとを含み、さらにドーパントガスを含む反応ガスを第一のガス供給管331から供給したが、本発明はこれに限定されるものではなく、シリコンソースとキャリアガスとを含む反応ガスを第一のガス供給管331から供給してもよい。
また、例えば、サセプタ2のウェーハ載置部21は、第2凹部212を有していなくてもよい。すなわち、ウェーハ載置部21は、1段の凹部でもよい。
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
[実施例1]
第一のガス供給管321から供給される反応ガスの供給方向と第二のガス供給管322から供給される反応ガスの供給方向とのなす角度θを45度になるように第二のガス供給管322を設置した気相成長装置を用いて以下に示すように半導体ウェーハWの主表面にエピタキシャル層EPを成長させた。
第一のガス供給管321から供給される反応ガスの供給方向と第二のガス供給管322から供給される反応ガスの供給方向とのなす角度θを45度になるように第二のガス供給管322を設置した気相成長装置を用いて以下に示すように半導体ウェーハWの主表面にエピタキシャル層EPを成長させた。
直径300mmの半導体ウェーハWを気相成長装置におけるサセプタ2のウェーハ載置部21に載置した。流量が0.507Pa・m3/s(0.3slm)のSiH2Cl2ガス、流量が50.7Pa・m3/s(30slm)の水素ガス及び流量が0.338Pa・m3/s(200sccm)のB2H6ガスからなる反応ガスを第一のガス供給管331から反応容器3の内側へ供給すると共に、第二のガス供給管332から流量が8.45×10−2Pa・m3/s(50sccm)のB2H6ガスのみを反応容器3の内側へ供給した。半導体ウェーハWを1080℃に熱し、エピタキシャル層EPの厚さが約9μmとなるように半導体ウェーハWの主表面にエピタキシャル層EPを成長させた。
[実施例2]
第一のガス供給管321から供給される反応ガスの供給方向と第二のガス供給管322から供給される反応ガスの供給方向とのなす角度θを90度になるように第二のガス供給管322を設置した気相成長装置を用いた以外は実施例1と同様に測定を行った。
第一のガス供給管321から供給される反応ガスの供給方向と第二のガス供給管322から供給される反応ガスの供給方向とのなす角度θを90度になるように第二のガス供給管322を設置した気相成長装置を用いた以外は実施例1と同様に測定を行った。
[比較例1]
第二のガス供給管322から反応ガスを供給しなかった以外は実施例1と同様に測定を行った。実施例1、実施例2及び比較例1の反応ガスの濃度分布を図3に示す。図3中、縦軸は、エピタキシャル層EPの中心部を基準としたドーパントガスの濃度の比率、横軸は半導体ウェーハWの中心部からの距離を示す。
第二のガス供給管322から反応ガスを供給しなかった以外は実施例1と同様に測定を行った。実施例1、実施例2及び比較例1の反応ガスの濃度分布を図3に示す。図3中、縦軸は、エピタキシャル層EPの中心部を基準としたドーパントガスの濃度の比率、横軸は半導体ウェーハWの中心部からの距離を示す。
図3からわかるように、比較例1ではエピタキシャル層EPの中心部から外周縁部に向かってドーパントガスの濃度が薄くなっており、ドーパントガスの濃度分布が不均一であることがわかる。このため、抵抗率の分布も不均一であることがわかる。一方、実施例1及び実施例2では、エピタキシャル層EPの中心部及び外周縁部のドーパントガスの濃度分布は均一である。このため、抵抗率の分布が改善することがわかる。
このように、第二のガス供給管332から供給されるガスの供給方向と第一のガス供給管331から供給される反応ガスの供給方向とのなす角度が30〜120度となるように第二のガス供給管332を気相成長装置1に設置することで、反応ガスの濃度分布を均一にすることができ、抵抗率を改善することができる。
1 気相成長装置
2 サセプタ
21 ウェーハ載置部
3 反応容器
331 第一のガス供給管
332 第二のガス供給管
4 加熱装置
EP エピタキシャル層
EW エピタキシャルウェーハ
W 半導体ウェーハ
2 サセプタ
21 ウェーハ載置部
3 反応容器
331 第一のガス供給管
332 第二のガス供給管
4 加熱装置
EP エピタキシャル層
EW エピタキシャルウェーハ
W 半導体ウェーハ
Claims (3)
- 内部で半導体ウェーハの主表面にエピタキシャル層を成長させる反応容器と、
シリコンソースとキャリアガスとを含む反応ガスを、前記半導体ウェーハの主表面に沿って該主表面に供給可能な第一のガス供給管と、
シリコンソースとキャリアガスとドーパントガスとのうち少なくとも一つを含むガスを、前記半導体ウェーハの主表面に沿って該主表面に供給可能な第二のガス供給管と、を備え、
前記第一のガス供給管から供給する前記反応ガスの供給方向と前記第二のガス供給管から供給する前記ガスの供給方向とのなす角度が30〜120度である気相成長装置。 - 前記第一のガス供給管から供給する前記反応ガスの供給量と前記第二のガス供給管から供給する前記ガスの供給量との比率は1000:1〜100:1である請求項1に記載の気相成長装置。
- 前記反応ガスはドーパントガスをさらに含み、前記第二のガス供給管からドーパントガスを供給する請求項1または2に記載の気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008191833A JP2010034113A (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2008191833A JP2010034113A (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | 気相成長装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008191833A Pending JP2010034113A (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | 気相成長装置 |
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2008
- 2008-07-25 JP JP2008191833A patent/JP2010034113A/ja active Pending
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