JP2010030267A - インクジェットヘッド駆動部及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上面に溝が形成された振動板と、上記溝の底面及び側壁を覆うように形成された第1電極と、上記溝を埋めるように上記第1電極上に形成された圧電体及び上記圧電体上に形成された第2電極を含むインクジェットヘッド駆動部を提供する。本発明によれば、薄膜圧電体及び振動板を備えて振動変位が大きく駆動電圧が低いインクジェットヘッド駆動部及びこれを製造する方法が提供される。
【選択図】 図2
Description
202 振動板
203 下部電極
204 圧電体
205 上部電極
Claims (14)
- 上面に溝が形成された振動板と、
前記溝の底面及び側壁を覆うように形成された第1電極と、
前記溝を埋めるように前記第1電極上に形成された圧電体と、
前記圧電体上に形成された第2電極と、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッド駆動部。 - 前記圧電体の厚さは、20〜30μmであることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド駆動部。
- 前記振動板の上面及び前記圧電体の上面は、互いに同一の平面をなすことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド駆動部。
- 前記圧電体は、前記第1電極に接合され形成されたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド駆動部。
- 前記振動板は、シリコンからなることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド駆動部。
- 振動板の一面に溝を形成する段階と、
前記溝の底面及び側壁に第1電極を形成する段階と、
前記溝を埋めるように前記第1電極上に圧電体を形成する段階と、
前記振動板及び前記圧電体の厚さが薄くなるように前記振動板の前記溝形成面と前記圧電体の露出面を研磨する段階と、
前記圧電体上に第2電極を形成する段階と、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッド駆動部の製造方法。 - 前記溝を埋めるように前記第1電極上に圧電体を形成する段階は、前記第1電極に前記圧電体を接合させる段階であることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド駆動部の製造方法。
- 前記振動板の前記溝形成面と前記圧電体の露出面を研磨する段階は、前記振動板及び前記圧電体を同時に研磨する段階であることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド駆動部の製造方法。
- 前記振動板の前記溝形成面と前記圧電体の露出面を研磨する段階は、研磨後の前記振動板及び前記圧電体の表面が互いに同一の平面をなすように行われることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド駆動部の製造方法。
- 前記振動板の前記溝形成面と前記圧電体の露出面を研磨する段階は、前記圧電体の厚さが20〜30μmになるように行われることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド駆動部の製造方法。
- 前記振動板の前記溝形成面と前記圧電体の露出面を研磨する段階は、化学機械研磨により行われることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド駆動部の製造方法。
- 前記溝を埋めるように前記第1電極上に圧電体を形成する段階は、前記圧電体の厚さが80〜120μmになるように行われることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド駆動部の製造方法。
- 前記振動板は、内部に形成されたエッチング阻止層を備えることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド駆動部の製造方法。
- 前記振動板の一面に溝を形成する段階は、前記振動板を前記エッチング阻止層までエッチングする段階であることを特徴とする請求項13に記載のインクジェットヘッド駆動部の製造方法。
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