JP2010025113A - クライオポンプルーバ拡張部 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入口アレイをより大きい直径に拡張することによって、非標準的なゲート弁の背後に取り付けられるよう構成される標準的なサイズのクライオポンプ。フランジに取り付けられる拡張部を使用することによって、非標準的なゲート弁の背後に取り付けられるよう構成される標準的なサイズのクライオポンプであり、フランジは非標準的なゲート弁の直径に対応する。
【選択図】図1
Description
この出願は、2008年7月17日に出願された米国仮出願第61/081,461号の優先権を主張し、その全内容及び全開示を参照としてここに引用する。
1b 22”クライオポンプ (22” cryopump)
2a 500mmゲート弁 (500 mm gate valve)
2b 22”ゲート弁 (22” gate valve)
2c 630mmゲート弁 (630 mm gate valve)
4 ブラケット拡張部 (bracket extension)
4b ブラケット拡張部 (bracket extension)
5b 環状入口鍔プレート (annular inlet collar plate)
5c 環状入口鍔プレート (annular inlet collar plate)
6 外側ルーバ (outer louver)
7a ゲート弁の弁体 (moveable valve plate)
7b ゲート弁の弁体 (moveable valve plate)
7c ゲート弁の弁体 (moveable valve plate)
8 ゲート弁ハウジング (gate valve housing)
8a 500mmゲート弁ハウジング (500 mm gate valve housing)
8b 22”ゲート弁ハウジング (22” gate valve housing)
8c 630mmゲート弁ハウジング (630 mm gate valve housing)
9 Oリング (O-ring)
10a 入口アレイ (inlet array)
10b 入口アレイ (inlet array)
11 拡張ブラケット (extended bracket)
12 ルーバ (louver)
13 支持ブラケット (support bracket)
14 取付け孔 (mounting hole)
15 ボルト (bolt)
17a クライオポンプフランジ (cryopump housing)
17b クライオポンプフランジ (cryopump housing)
17c クライオポンプフランジ (cryopump housing)
17d クライオポンプフランジ (cryopump housing)
18a クライオポンプハウジング (cryopump housing)
18b クライオポンプハウジング (cryopump housing)
20 エキスパンダ (expander)
21 第一段ヒートステーション (first stage heat station)
22 第二段ヒートステーション (second stage heat station)
25 コールドクライオパネル (cold cryopanel)
26 ウォームクライオパネル (warm cryopanel)
27 熱バス(thermal buss)
Claims (13)
- 第一段及び第二段を有する冷凍機と、
コールドクライオパネルと、
ウォームクライオパネルと、
該ウォームクライオパネルの外側に延びる拡張支持ブラケットを有する入口アレイと、
ハウジングとを含み、
前記入口アレイは、前記ハウジングの内側に収まる、
クライオポンプ。 - 前記拡張支持ブラケットの上に1つ又はそれよりも多くの外側ルーバをさらに含み、該1つ又はそれよりも多くの外側ルーバは、前記ウォームクライオパネルの外側に延びる拡張支持ブラケットの一部である、請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記ウォームクライオパネルは、第一内径を有するより小さいハウジングに近接して適合するよう設計され、前記ハウジングは、前記第一内径よりも大きい第二直径を有する、請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記ハウジングと一致する内径を有するゲート弁の背後に取り付けられる、請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記ハウジングをゲート弁に取り付けるフランジをさらに含む、請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記フランジと一致する内径を有するゲート弁の背後に取り付けられる、請求項5に記載のクライオポンプ。
- 前記入口アレイの上に1つ又はそれよりも多くの内側ルーバをさらに含む、請求項1に記載のクライオポンプ。
- 第一段及び第二段を有する冷凍機と、
コールドクライオパネルと、
ウォームクライオパネルと、
該ウォームクライオパネルの周りに近接して適合し且つ第一内径を有するハウジングと、
該ハウジングの内側に収まる入口アレイと、
前記ハウジングを第二内径を有するゲート弁に取り付けるフランジと、
前記入口アレイに取り付けられ且つ前記入口アレイを前記フランジの上に拡張するブラケット拡張部とを含み、
前記第二内径は、前記第一内径よりも大きい、
クライオポンプ。 - 前記入口アレイは、前記フランジの上に3cm未満延びる、請求項8に記載のクライオポンプ。
- 前記フランジは、前記第一内径よりも小さい内径を有する同等のゲート弁に付着する前記ハウジングの同等のフランジよりも最大で30%大きい、請求項8に記載のクライオポンプ。
- 前記ブラケット拡張部は、前記ハウジングの外側に延びる、請求項8に記載のクライオポンプ。
- ゲート弁の背後に取り付けられる、請求項8に記載のクライオポンプ。
- 前記入口アレイの上に1つ又はそれよりも多くの内側ルーバをさらに含む、請求項8に記載のクライオポンプ。
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