JP2008530419A - 改善されたクライオポンプ - Google Patents
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Description
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- 真空室を画成するハウジングと、前記ハウジング内に配置される第1段クライオパネル及び少なくとも1つの第2段クライオパネルと、前記冷凍機のエクスパンダシリンダからの前記真空室への入口ポートであって、前記エクスパンダシリンダの軸に平行な面内に配置される入口ポートとを含む2段GMタイプの冷凍機により冷却されるクライオポンプであって、
a)少なくとも1つの第2段クライオパネルは、前記エクスパンダシリンダの軸に平行な面内にあり、
b)前記真空室内の第1段膨脹空間の低温端は、前記エクスパンダシリンダが前記クライオパネルを収容する真空室ハウジングに入る場所の近傍に、配置され、
c)ドレインシステムは、ベントポートを介して全ての液体アルゴン及び水を除去するように構成される、クライオポンプ。 - 前記ドレインシステムは、高い熱伝導性を有する材料から構成されるフィン付きベントバルブを含む、請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記ドレインシステムは、前記フィン付きベントバルブ上に空気流れを方向付ける出力マニホルド及び吸入マニホルドを更に含む、請求項2に記載のクライオポンプ。
- 2段エクスパンダと、前記エクスパンダのシリンダの軸に直角である真空室への入口とを有する2段GMタイプの冷凍機により冷却されるクライオポンプであって、
前記エクスパンダの第1段熱ステーションに取り付けられ、前記エクスパンダの第2段に取り付けられる第2段クライオパネル組立体を囲む第1段クライオパネル組立体を含み、
前記第2段クライオパネル組立体は、前記エクスパンダの第2段シリンダ上に折り曲げられる平らなプレートを含む、クライオポンプ。 - 前記第2段シリンダの軸に沿って中心化された平らなプレートからなる入口ルーバを含む、請求項4に記載のクライオポンプ。
- 前記入口ルーバは、少なくとも3cm、前記第2段クライオパネル組立体から離間される、請求項5に記載のクライオポンプ。
- 前記第1段熱ステーションは、前記クライオパネルのハウジングとの間の真空ハウジング組立体内の結合部近傍にある、請求項4に記載のクライオポンプ。
- 前記第1段クライオパネル組立体及び真空ハウジング組立体は、液体を排出するためのポートを内蔵する、請求項4に記載のクライオポンプ。
- 入口が上になる横置型に搭載されることができ、若しくは、第2段熱ステーションが上になる縦置型に搭載されることができる、請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記第1段クライオパネル組立体の遮蔽シールドは、前記第2段シリンダまわりを流体が流れ全ての流体が前記ドレインポートを通って流れ出るように、前記第1段熱ステーションに搭載される、縦置型の請求項9に記載のクライオポンプ。
- エクスパンダシリンダ組立体、真空ハウジング、第1段クライオパネル、平らな第2段クライオパネル、及びベント/ドレインバルブを含む2段GMタイプの冷凍機により冷却されるクライオポンプにおいて、エクスパンダシリンダは、高温フランジ、第1段シリンダ、第2段シリンダ、及び第2段熱ステーションからなり、真空室への入口ポートが、前記エクスパンダシリンダ組立体の軸に平行な面内にある、クライオポンプ。
- 第1段膨脹空間の低温端は、前記エクスパンダシリンダが前記クライオパネルを収容する真空室ハウジングに入る場所の近傍にある、請求項11に記載のクライオポンプ。
- 横置型であるか縦置型であるかに関係なく液体アルゴン及び水がベントポートを通って流れ出るように配置されるドレインシステムを更に含む、請求項12に記載のクライオポンプ。
- 前記第2段クライオパネルの中央部を遮蔽する、ポンプ入口ポートを横切って配置される入口ルーバを含む、請求項13に記載のクライオポンプ。
- 当該ポンプが縦置型で搭載されるときにクライオポンプ出口から液体が流れ出るのを防止するように配置された液体ダムを含む、請求項13に記載のクライオポンプ。
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