JP2010019768A

JP2010019768A - 複合アリ溝摺動ステージ

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Publication number: JP2010019768A
Application number: JP2008182298A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Muramatsu; 洋明村松
Original assignee: Miruc Optical Co Ltd
Current assignee: Miruc Optical Co Ltd
Priority date: 2008-07-14
Filing date: 2008-07-14
Publication date: 2010-01-28
Anticipated expiration: 2028-07-14
Also published as: JP4267054B1

Abstract

【課題】複合機能を有しつつコンパクトで操作性が高く使用時の使い勝手がよい複合アリ溝摺動ステージを提供する。
【解決手段】第１アリ溝１０を有する第１摺動部品４と、その一方の面に第１アリ溝１０が嵌合される第１アリ９を有する固定部品５と、から構成され、第１ハンドル７の回転操作により第１摺動部品４を固定部品５に対して第１ハンドル７の軸と略直交する方向に摺動させる第１アリ溝摺動ユニット２と、第２アリ１１を有する第２摺動部品６と、その他方の面に第２アリ１１が嵌合される第２アリ溝１２を有する固定部品５と、から構成され、第２ハンドル８の回転操作により第２摺動部品６を固定部品５に対して第２ハンドル８の軸方向に摺動させる第２アリ溝摺動ユニット３と、を備え、第１ハンドル７及び第２ハンドル８の回転軸１７を共有させ、それらのハンドル７，８回転操作により精密機器を平面上の２軸方向に位置調整する。
【選択図】図１

Description

本発明は、アリ溝摺動ステージに係り、特に、アリ溝を有する部品と、アリを有する部品とを嵌合させてハンドル操作により摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行うアリ溝摺動ステージに関する。

例えば、ＣＣＤカメラやセンサなどの電機・電子機器、レンズや顕微鏡等の光学機器、ＬＥＤなどの照明機器といった精密機器は、その取り付けに際し、位置決めやピント合わせのために位置調整しなければならない。また、取り付け後において、さらにその位置を微調整する場合も発生する。

これらの精密機器は、一般的に「アリ溝摺動ステージ」と称される機械要素上に設置されて位置調整される。図６に、従来のアリ溝摺動ステージの一般的な構成を示す。アリ溝摺動ステージ１００は、台形状のアリ溝１０２を有する固定部品１０５に対し、台形状のアリ１０１を有する摺動部品１０４が移動可能に嵌合される。この固定部品１０５は、固定用孔１０６を有するベース１０３を介して土台（図示せず）に固定される。また、摺動部品１０４は、精密機器取付け用孔１０７により精密機器（図示せず）に接続される。摺動部品１０４は、ハンドル１０９を回転させることにより図中の矢印の方向に移動する。そして、この移動量は、対となる目盛１０８により測定される。これは、アリ溝摺動ステージ１００の内部に、ラックアンドピニオン（図示せず）、又は、送りねじ（図示せず）による駆動機構が組み込まれていることによる。これらの駆動機構により、ハンドル１０９の回転が、摺動部品１０４の水平方向への移動に変換される。このように、このタイプのアリ溝摺動ステージ１００は、１方向へのスライド機構を備えたステージである。

アリ溝摺動ステージ１００において、平面上の２軸方向へのスライド機構を同時に備えたアリ溝摺動ステージ１００が要求される場合がある。この要求に応じるため、従来から、２つのアリ溝摺動ユニット１００を連結したアリ溝摺動ステージが提供されている。

図７に、特許文献１に開示された汎用アリ溝摺動ステージの構成を示す。この汎用アリ溝摺動ステージ２００は、第１ハンドル２０７により図の垂直方向に摺動する第１アリ溝摺動ユニット２０２と，第２ハンドル２０８により図中の左右方向（図中の矢印の方向）に摺動する第２アリ溝摺動ユニット２０３とから構成される。これにより、平面上の２軸方向へのスライド機構を同時に備える。また、第１アリ溝摺動ユニット２０２は、第１固定部品２０５及び第１摺動部品２０４から構成され、第２アリ溝摺動ユニット２０３は、第２固定部品３０５及び第２摺動部品２０６から構成される。これらの第１アリ溝摺動ユニット２０２及び第２アリ溝摺動ユニット２０３は、接着面２０８で締結具２０１及び接着剤により接合されている。そのために、第２アリ溝摺動ユニット２０３の第２固定部品３０５には締結具２０１用の孔が設けられ、第１アリ溝摺動ユニット２０２の第１摺動部品２０４には、締結具２０１用の締結孔２０９が設けられる。また、第１固定部品２０５と第１摺動部品２０４との摺動面には目盛板（図示せず）が取付けられ、第２固定部品３０５と第２摺動部品２０６との摺動面には目盛板２１０が取付けられる。

特開２００８−８４４６号公報

特許文献１に開示された汎用アリ溝摺動ステージは、第１のアリ溝摺動ユニットが第１の固定部品及び第１の摺動部品から構成され、第２のアリ溝摺動ユニットが第２の固定部品及び第２の摺動部品から構成され、部品の点数が多いという問題がある。さらに、汎用アリ溝摺動ステージの第１のアリ溝摺動ユニットと第２のアリ溝摺動ユニットとは、相互の接着面において締結具及び接着剤により接合されるため、複雑な機構となるという問題がある。

また、汎用アリ溝摺動ステージは、平面上の２軸方向へのスライド機構を同時に備えるという複合機能を有するものの、１つのアリ溝摺動ステージにおいて、第１のハンドル及び第２のハンドルを独立して設けなければならない。このため、精密機器の位置調整を行う際に、異なる方向を向いた２つのハンドルを操作しなければならず、ハンドルの操作性が悪いという問題がある。

さらに、汎用アリ溝摺動ステージの第１のハンドル及び第２のハンドルは、それぞれ相互に略直交して設けられるため、使用時の使い勝手が悪いという問題がある。つまり、精密機器を取付ける際に、これらのハンドルが精密機器、或いは精密機器の周辺物に干渉する虞がある。

本願の目的は、かかる課題を解決し、複合機能を有しつつコンパクトで操作性が高く使用時の使い勝手がよい複合アリ溝摺動ステージを提供することである。

上記目的を達成するため、本発明に係る複合アリ溝摺動ステージは、アリ溝を有する第１の摺動部品と、その一方の面にアリ溝が嵌合されるアリを有する固定部品と、から構成され、固定部品に設けられた第１のハンドルの回転操作により第１の摺動部品を固定部品に対して第１のハンドルの軸と略直交する方向に摺動させる第１のアリ溝摺動ユニットと、アリを有する第２の摺動部品と、その他方の面にアリが嵌合されるアリ溝を有する前記固定部品と、から構成され、固定部品に設けられた第２のハンドルの回転操作により第２の摺動部品を固定部品に対して第２のハンドルの軸方向に摺動させる第２のアリ溝摺動ユニットと、を備え、第１のハンドル及び第２のハンドルの回転軸を共有させ、それらのハンドルの回転操作により、取り付けられた精密機器を平面上の２軸方向に位置調整することを特徴とする。

これにより、本発明に係る複合アリ溝摺動ステージは、第１の摺動部品、固定部品、及び第２の摺動部品の３つの部品から構成され、２つのアリ溝摺動ユニットを連結させる従来の汎用アリ溝摺動ステージに比べて部品点数が減少し、また、ユニット相互を接続することに伴う締結具や接着剤が省略できる。その結果、コンパクトな形状により取り付けられた精密機器を平面上の２軸方向に位置調整できる。また、第１のハンドルと第２のハンドルとの回転軸を共有させることにより、２つのハンドルの回転操作を１箇所で行うことができハンドルの操作性が向上する。また、ハンドルが取付けられた精密機械、或いは精密機器の周辺物に対してハンドルが干渉する度合いが減少し、アリ溝摺動ステージの操作性を向上させることができる。

また、複合アリ溝摺動ステージは、固定部品が内部に空洞を有し、第１のハンドルが内部に貫通孔を有する筒状をなし、第２のハンドルが、第１のハンドルの貫通孔から挿入されて固定部品内の空洞部分まで延長されることが好ましい。これにより、第１のハンドルと第２のハンドルとの回転軸を共有させることができる。

また、複合アリ溝摺動ステージは、第２のハンドルが、固定部品の内部の空洞部分において第２のハンドルの軸方向にねじ切りされたネジ部を有し、第２の摺動部品に接続されて内壁にねじが切られた筒状部品のネジ部と係合することが好ましい。また、複合アリ溝摺動ステージは、第１のハンドルが、第１のハンドルの回転に連動して回転し、第１の摺動部品に固定されたラックと係合するピニオンを有することが好ましい。これにより、回転軸が共有された２つのハンドルにより、取り付けられた精密機器を平面上の２軸方向に位置調整できる。

また、本複合アリ溝摺動ステージは、第１のアリ溝摺動ユニットが、第１の摺動部品において固定部品との嵌合面と反対側の面に接続用の第１のネジ孔を有し、第２のアリ溝摺動ユニットが、第２の摺動部品において前記固定部品との嵌合面と反対側の面に接続用の第２のネジ孔を有し、第１のネジ孔、又は第２のネジ孔には精密機械が取付けられることが好ましい。これにより、本アリ溝摺動ステージは、上下に反転自在に精密機械を取付けることができ、アリ溝摺動ステージの使用時の使い勝手を向上させることができる。

また、複合アリ溝摺動ステージは、第１のアリ溝摺動ユニットが、第１の摺動部品が固定部品に対して摺動する両側の面に第１の目盛板を取付けるネジ孔をそれぞれ有し、第２のアリ溝摺動ユニットが、第２の摺動部品が固定部品に対して摺動する両側の面に第２の目盛板を取付けるネジ孔をそれぞれ有することが好ましい。これにより、目盛板の取り付け位置を左右に付け替え自在とすることができ、アリ溝摺動ステージの使用時の使い勝手を向上させることができる。

また、複合アリ溝摺動ステージは、第１のアリ溝摺動ユニットが、第１の摺動部品が固定部品に対して摺動する両側の面に第１の摺動ストッパ用のネジ孔をそれぞれ有し、第２のアリ溝摺動ユニットが、第１の摺動部品が固定部品に対して摺動する両側の面に第２の摺動ストッパ用のネジ孔をそれぞれ有することが好ましい。これにより、摺動ストッパを左右に付け替え自在とすることができ、アリ溝摺動ステージの使用時の使い勝手を向上させることができる。

以上のように、本発明に係る複合アリ溝摺動ステージによれば、複合機能を有しつつコンパクトで操作性が高く使用時の使い勝手がよい複合アリ溝摺動ステージが可能となる。

以下に、図面を用いて本発明に係る複合アリ溝摺動ステージの実施の形態につき、詳細に説明する。

図１に、複合アリ溝摺動ステージの１つの実施形態の概略構成を示す。また、図２には、図１をＡ方向から見た側面を示し、図３には、図１をＢ方向から見た側面を示す。また、図４（ａ）には、図１をＣ方向から見た平面を示し、図４（ｂ）には、図１をＤ方向から見た底面を示す。

複合アリ溝摺動ステージ１は、第１アリ溝摺動ユニット２及び第２アリ溝摺動ユニット３から構成される。また、第１アリ溝摺動ユニット２は、第１摺動部品４、固定部品５、及び第１ハンドル７から構成され、第２アリ溝摺動ユニット３は、第２摺動部品６、固定部品５、及び第２ハンドル８から構成される。ここに、固定部品５は、第１アリ溝摺動ユニット２と、第２アリ溝摺動ユニット３とで共有される。

図１に示すように、第１ハンドル７と第２ハンドル８との回転軸は共有されて一体となっている。このように、第１ハンドル７と第２ハンドル８とを１箇所で回転操作することができる。これにより、取り付けられた精密機器（図示せず）を平面上の２軸（図１のＸ軸及びＹ軸）方向に位置調整できる。

第１アリ溝摺動ユニット２では、第１摺動部品４に設けられた第１アリ溝１０と、固定部品５に設けられた第１アリ９とが第１嵌合面１８及び第１側部嵌合面２８を形成して嵌合される。そして、第１ハンドル７を回転することで、固定部品５に対して第１摺動部品４がハンドル軸１７と略直交する方向（図１のＸ軸方向）に摺動する。また、第２アリ溝摺動ユニット３では、第２摺動部品６に設けられた第２アリ１１と、固定部品５に設けられた第２アリ溝１２とが第２嵌合面１９及び第２側部嵌合面２９を形成して嵌合される。そして、第２ハンドル８を回転することで、固定部品５に対して第２摺動部品６がハンドル軸１７の方向（図１のＹ軸方向）に摺動する。

図４（ｂ）に示すように、第１摺動部品４は、固定部品５との第１嵌合面１８と反対側の面である第１摺動部品外面３０に、精密機器（図示せず）又は精密機器が搭載される土台（図示せず）を接続するための底面接続用ネジ孔１３を有する。また、図４（ａ）に示すように、第２摺動部品６は、固定部品５との第２嵌合面１９と反対側の面である第２摺動部品外面３１に精密機器（図示せず）又は精密機器が搭載される土台（図示せず）を接続するための上面接続用ネジ孔１４を有する。

本複合アリ溝摺動ステージ１には、固定部品５に対して摺動する第１摺動部品４、或いは第２摺動部品６の相対的な移動量を目視により検出するために、図２及び３に示すように、摺動する面に第１目盛板３２及び第２目盛板３３が取付けられる。従来の汎用アリ溝摺動ステージ２００では、目盛板２１０は、ハンドル２０８の取付け方向に取付けられる。本複合アリ溝摺動ステージ１では、２つのハンドル７，８が１箇所にまとめられてコンパクトな外形であることから、第１目盛板３２及び第２目盛板３３を摺動する両側の面に取付けることができる。そのために、図１に示すように、第１目盛板３２及び第２目盛板３３のそれぞれについて２箇所ずつ第１目盛用ネジ孔２０及び第２目盛用ネジ孔２１が設けられる。

図１〜図４に示すように、第１アリ溝摺動ユニット２及び第２アリ溝摺動ユニット３は、固定部品５に対して第１摺動部品４の摺動を固定する第１ストッパ３４、及び固定部品５に対して第２摺動部品６の摺動を固定する第２ストッパ３５を有する。図２に示す第１ストッパ３４を締め付けると、固定部品５の第１アリ９に設けられた第１スリット３８が第１アリ９を押さえ込む。これにより、固定部品５に対して第１摺動部品４がその締付け位置で固定される。図２に示すように、この第１スリット３８は、固定部品５の第１アリ９の両側に設けられる。従って、第１ストッパ３４は、第１アリ溝摺動ユニット２の両側に取付けて固定部品５に対する第１摺動部品４の摺動を固定することができる。また、図３に示す第２ストッパ３５を締め付けると第２摺動部品６の第２アリ１１に設けられた第２スリット３９が第２アリ１１を押さえ込む。これにより、固定部品５に対して第２摺動部品６がその締付け位置で固定される。図３に示すように、この第２スリット３９は、第２摺動部品６の第２アリ１１の両側に設けられる。従って、第２ストッパ３５は、第２アリ溝摺動ユニット３の両側に取付けて固定部品５に対する第２摺動部品６の摺動を固定することができる。

図５に、図１のＥ−Ｅ断面を示し、上述した２つ摺動を発生させる機構についてそれぞれ説明する。第１アリ溝摺動ユニット２では、図１及び図５に示すように、固定部品５に接続された第１ハンドル７には第１ハンドル７の回転に連動して回転するピニオン１５が取付けられる。一方、第１摺動部品４には第１摺動部品４に固定されてピニオン１５と係合するラック１６が設けられ、回転するピニオン１５が平面上のラック１６を移動することで摺動が発生する。本実施形態では、第１ハンドル７は、径が２５ｍｍの筒状のハンドルであり、ナット４０、ポスト４３、及び３箇所のワッシャ４１によりピニオン１５と連結する。この機構により、第１ハンドル７の回転に連動してピニオン１５が回転する。また、ナット４０、ポスト４３、及び３箇所のワッシャ４１は、それぞれ内部に開口を有する。

また、第１アリ溝摺動ユニット２では、第２ハンドル８は、内部に貫通孔２５を有する第１ハンドル７の貫通孔２５に挿入され、第２ハンドル８は固定部品５内の空洞部２２に延長される。すなわち、第２ハンドル８は、ナット４０、ポスト４３、及び３箇所のワッシャ４１の設けられた開口を貫通することで、第１ハンドル７の回転動作とは独立して回転することが可能となる。この第２ハンドル８は、固定部品５の空洞部２２において第２ハンドル８の軸方向にねじ切りされた雄ネジ部２３を有する。そして、第２摺動部品６にダボ受け４５及びダボ４４を介して接続された筒状部品２４の内壁の切られた雌ネジ部２６と係合する。従って、雄ネジ部２３が連結された第２ハンドル８を回転すると、第２摺動部品６に固定された筒状部品２４の雌ネジ部２６は、ハンドル軸１７の方向（図５のＺ方向）に摺動する。この機構により、第２ハンドル８の回転操作により、第１ハンドル７と独立させながら、固定部品５に対して第２摺動部品６を摺動させることが可能となる。

上述したように、第１摺動部品４は、固定部品５との第１嵌合面１８と反対側の面である第１摺動部品外面３０に底面接続用ネジ孔１３を有する。また、第２摺動部品６は、固定部品５との第２嵌合面１９と反対側の面である第１摺動部品外面３０に上面接続用ネジ孔１４を有する。本実施形態では、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、底面接続用ネジ孔１３はＭ４ネジ仕様であり、上面接続用ネジ孔１４はＭ６ネジ仕様であり中心にＭ１６ネジを配置するが、それぞれ他のネジ仕様、或いは構成であっても良い。これにより、本複合アリ溝摺動ステージ１は、上下に反転し、精密機器を底面接続用ネジ孔１３又は上面接続用ネジ孔１４のいずれにも取付けることができる。つまり、第１摺動部品４を上面側とし、第２摺動部品６を底面側として使用することができる。

また、上述したように、第１アリ溝摺動ユニット２は、第１摺動部品４が固定部品５に対して摺動する両側の面である第１側部嵌合面２８に一対の第１目盛板３２をそれぞれ取付ける第１目盛用ネジ孔２０を有する。また、第２アリ溝摺動ユニット３は、第２摺動部品６が固定部品５に対して摺動する両側の面である第２側部嵌合面２９に一対の第２目盛板３３をそれぞれ取付ける第２目盛用ネジ孔２１をそれぞれ有する。従って、第１目盛板３２及び第２目盛板３３は、それぞれ左右の２箇所に取り付けることができる。

また、図１に示すように、第１アリ溝摺動ユニット２は、第１摺動部品４が固定部品５に対して摺動する両側の面である第１側部嵌合面２８に第１摺動ストッパ３４を取付けるための第１ストッパ用ネジ孔３６をそれぞれ有する。また、第２アリ溝摺動ユニット３は、第２摺動部品６が固定部品５に対して摺動する両側の面である第２側部嵌合面２９に第２摺動ストッパ３５を取付けるための第２ストッパ用ネジ孔３７をそれぞれ有する。この第１ストッパ用ネジ孔３６及び第１ストッパ用ネジ孔３６は、それぞれ第１目盛用ネジ孔２０及び第２目盛用ネジ孔２１と同一の孔径であり位置調整されているため共有される。従って、第１摺動ストッパ３４及び第２摺動ストッパ３５は、それぞれ第１目盛板３２及び第２目盛板３３と反対側の面に設けることができる。

本発明に係る複合アリ溝摺動ステージの１つの実施形態の概略構成を示す斜視図である。図１の複合アリ溝摺動ステージをＡ方向からみた側面図である。図１の複合アリ溝摺動ステージをＢ方向からみた側面図である。図１の複合アリ溝摺動ステージをＣ方向及びＤ方向からみた平面図である。図１の複合アリ溝摺動ステージのＥ−Ｅ断面図である。従来のアリ溝摺動ステージの概略構成を示す透視図である。従来の汎用アリ溝摺動ステージの概略構成を示す側面図である。

符号の説明

１複合アリ溝摺動ステージ、２，２０２第１アリ溝摺動ユニット、３，２０３第２アリ溝摺動ユニット、４，２０４第１摺動部品、５，１０５固定部品、６，２０６第２摺動部品、７，２０７第１ハンドル、８，２０８第２ハンドル、９第１アリ、１０第１アリ溝、１１第２アリ、１２第２アリ溝、１３底面接続用ネジ孔、１４上面接続用ネジ孔、１５ピニオン、１６ラック、１７ハンドル軸、１８第１嵌合面、１９第２嵌合面、２０第１目盛用ネジ孔、２１第２目盛用ネジ孔、２２空洞部、２３雄ネジ部、２４筒状部品、２５貫通孔、２６雌ネジ部、２８第１側部嵌合面、２９第２側部嵌合面、３０第１摺動部品外面、３１第２摺動部品外面、３２第１目盛板、３３第２目盛板、３４第１ストッパ、３５第２ストッパ、３６第１ストッパ用ネジ孔、３７第２ストッパ用ネジ孔、３８第１スリット、３９第２スリット、４０ナット、４１ワッシャ、４３ポスト、４４ダボ、４５ダボ受け、１００アリ溝摺動ステージ、１０１アリ、１０２アリ溝、１０３ベース、１０４摺動部品、１０６固定用孔、１０７精密機器取付け用孔、１０８目盛、１０９ハンドル、２００汎用アリ溝摺動ステージ、２０１締結具、２０２第１アリ溝摺動ユニット、２０３第２アリ溝摺動ユニット、２０５第１固定部品、２０８接着面、２０９締結孔、２１０目盛板、３０５第２固定部品。

Claims

アリ溝を有する第１の摺動部品と、その一方の面にアリ溝が嵌合されるアリを有する固定部品と、から構成され、固定部品に設けられた第１のハンドルの回転操作により第１の摺動部品を固定部品に対して第１のハンドルの軸と略直交する方向に摺動させる第１のアリ溝摺動ユニットと、
アリを有する第２の摺動部品と、その他方の面にアリが嵌合されるアリ溝を有する前記固定部品と、から構成され、固定部品に設けられた第２のハンドルの回転操作により第２の摺動部品を固定部品に対して第２のハンドルの軸方向に摺動させる第２のアリ溝摺動ユニットと、を備え、
第１のハンドル及び第２のハンドルの回転軸を共有させ、それらのハンドルの回転操作により、取り付けられた精密機器を平面上の２軸方向に位置調整することを特徴とする複合アリ溝摺動ステージ。
請求項１に記載の複合アリ溝摺動ステージにおいて、固定部品は、内部に空洞を有し、第１のハンドルは、内部に貫通孔を有する筒状をなし、第２のハンドルは、第１のハンドルの貫通孔から挿入されて固定部品内の空洞部分まで延長されることを特徴とする複合アリ溝摺動ステージ。
請求項１又は２に記載の複合アリ溝摺動ステージにおいて、第２のハンドルは、固定部品の内部の空洞部分において第２のハンドルの軸方向にねじ切りされたネジ部を有し、第２の摺動部品に接続されて内壁にねじが切られた筒状部品のネジ部と係合することを特徴とする複合アリ溝摺動ステージ。
請求項１乃至３のいずれか１に記載の複合アリ溝摺動ステージにおいて、第１のハンドルは、第１のハンドルの回転に連動して回転し、第１の摺動部品に固定されたラックと係合するピニオンを有することを特徴とする複合アリ溝摺動ステージ。
請求項１乃至４のいずれか１に記載の複合アリ溝摺動ステージにおいて、第１のアリ溝摺動ユニットは、第１の摺動部品において固定部品との嵌合面と反対側の面に接続用の第１のネジ孔を有し、第２のアリ溝摺動ユニットは、第２の摺動部品において前記固定部品との嵌合面と反対側の面に接続用の第２のネジ孔を有し、第１のネジ孔、又は第２のネジ孔には精密機械が取付けられることを特徴とする複合アリ溝摺動ステージ。
請求項１乃至５のいずれか１に記載の複合アリ溝摺動ステージにおいて、第１のアリ溝摺動ユニットは、第１の摺動部品が固定部品に対して摺動する両側の面に第１の目盛板を取付けるネジ孔をそれぞれ有し、第２のアリ溝摺動ユニットは、第２の摺動部品が前記固定部品に対して摺動する両側の面に第２の目盛板を取付けるネジ孔をそれぞれ有することを特徴とする複合アリ溝摺動ステージ。
請求項１乃至６のいずれか１に記載の複合アリ溝摺動ステージにおいて、第１のアリ溝摺動ユニットは、第１の摺動部品が固定部品に対して摺動する両側の面に第１の摺動ストッパ用のネジ孔をそれぞれ有し、第２のアリ溝摺動ユニットは、第１の摺動部品が前記固定部品に対して摺動する両側の面に第２の摺動ストッパ用のネジ孔をそれぞれ有することを特徴とする複合アリ溝摺動ステージ。