JP5189690B1

JP5189690B1 - スライド操作式アリ溝摺動ステージ

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Publication number: JP5189690B1
Application number: JP2012131552A
Authority: JP
Inventors: 洋明村松
Original assignee: Miruc Optical Co Ltd
Current assignee: Miruc Optical Co Ltd
Priority date: 2012-06-11
Filing date: 2012-06-11
Publication date: 2013-04-24
Anticipated expiration: 2032-06-11
Also published as: JP2013257153A

Abstract

【課題】機構が簡易で製作コストが廉価であり、精密機器の取付け方法が選択でき、使用者が所望する精密機器取付け孔を備えた摺動部品を選択でき、使用者が自ら精密機器取付け孔を加工できるスライド操作式アリ溝摺動ステージを提供する。
【解決手段】使用者は外部から精密機器取付け用締結具７ｂをネジ込んで精密機器２１を締結させる摺動部品２か、ステージ１の内部から精密機器取付け用締結具７ａを差し込んでステージ１の外部に締結具７ａの先端部を露出させて精密機器２１を締結させる摺動部品２のいずれかが選択でき、或いは、摺動部品２は固定部品３に対して着脱自在であり、使用者は精密機器取付け孔１０が設けられていない摺動部品２を選択して固定部品３から離脱させ、所望の精密機器取付け孔１０ａ又は１０ｂを加工することができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、スライド操作式アリ溝摺動ステージに係り、特に、台形状に窪んだアリ溝と、台形状に突出したアリとを嵌合させて固定部品に対して摺動部品を摺動させ、操作者が駆動手段により摺動部品をスライド操作することで、精密機器の位置調整を行うスライド操作式のアリ溝摺動ステージに関する。

精密機器の位置調整を行うアリ溝摺動ステージは、駆動手段として、ラックアンドピニオン式のアリ溝摺動ステージ、又は送りネジ式のアリ溝摺動ステージが一般的に採用される。特許文献１の図２に、ラックアンドピニオン式アリ溝摺動ステージが示されている。このラックアンドピニオン式アリ溝摺動ステージは、係合された一対の駆動手段であるラック（特許文献１の図２中に符号１３で示す）とピニオンギア（特許文献１の図２中に符号１４で示す）のうちの一方であるピニオンギアをハンドル（特許文献１の図２中に符号９で示す）により回転させることで他方であるラックを直進させて摺動部品をスライドさせ、精密機器の位置調整を行う機構を有する。

また、特許文献１の図２２に、送りネジ式アリ溝摺動ステージが示されている。この送りネジ式アリ溝摺動ステージは、係合された一対の駆動手段である雄ネジ棒（特許文献１の図２２中に符号３０７で示す）及び雌ネジ筒（特許文献１の図２２中に符号３０６で示す）のうちの一方である雄ネジ棒をハンドル（特許文献１の図２２中に符号３０９で示す）により回転させることで他方である雄ネジ棒を直進させて摺動部品をスライドさせ、精密機器の位置調整を行う機構を有する。

このように、アリ溝摺動ステージは、ラックアンドピニオン式であれ、送りネジ式であれハンドルを回転させることにより固定部品に対して摺動部品をスライド（摺動）させるという駆動方式を採用している。このように、ラックとピニオンギアとを噛み合わせる駆動手段、及び雄ネジ棒を雌ネジ筒に噛み合わせる駆動手段には、機構のうえで、それぞれハンドルによる回転操作が不可欠である。

アリ溝摺動ステージにおいて、ハンドルを用いて摺動部品を摺動させるという駆動方式は、ハンドルの回転角が摺動部品の移動距離に対応することから、比較的調整し易いハンドルの回転量で摺動部品の移動量を制御できるというメリットがある。特に、移動量が比較的小さい場合には適した駆動手段である。一方、移動量が比較的大きい場合には移動に時間がかかってしまい、操作者にストレスが発生してしまい余り好ましい駆動手段とはいえない。

また、特許文献１の図２０に精密機器取付け用孔（図中、符号１０７で示す）が示され、特許文献１の図２４にも精密機器取付け孔（図中、符号５０７で示す）が示されている。このように、精密機器は摺動部品に設けられた精密機器取付け孔に精密機器取付け用の締結具がねじ込まれて摺動部品に取り付けられる。このため、アリ溝摺動ステージの摺動部品には精密機器取付け孔が標準的な配置で設けられ、アリ溝摺動ステージの利用者は、この標準的な精密機器取付け孔の配置に合わせて精密機器の取付け冶具を製作して使用するのが一般的である。

特許文献２には、簡易な駆動手段にすることで操作性が良くコンパクトな構造が可能となるスライド操作式アリ溝摺動ステージが開示されている。ここでは、摺動方向（Ｘ）と略平行な固定部品の側面壁に設けられ、固定部品に連結する逆三角形の突出部をネジで当接して摺動部品のアリに接触させ、ネジを締め込むことで摺動部品の摺動を固定する摺動固定ネジを備え、摺動固定ネジは、前記突出部に当接して摺動部品のアリに接触させたネジの回転量を調節することで固定部品に対する摺動部品の摺動の程度を微調整する摺動調節ネジ、及び、操作者が摺動部品を所望の位置にスライド操作するために把持する駆動手段、として兼用されることが記載されている。

特許第４６０６５０１号特許第４８３００５３号

上述したように、従来のアリ溝摺動ステージは、ラックとピニオンギアとを噛み合わせるラックアンドピニオン式駆動手段、又は雄ネジ棒を雌ネジ筒に噛み合わせる送りネジ式駆動手段が採用されていた。これらの駆動手段は、高度な測定精度を保障する一方、機構が複雑であり、製品の加工コストを押し上げる要因となっていた。そのため、特に高度な測定精度が要求されない場合には、機構がより簡易で加工がより低コストなアリ溝摺動ステージが望まれていた。

また、これらの駆動手段はアリ溝摺動ステージの機構の心臓部ともいえ、アリ溝摺動ステージの摺動の性能を決定付ける構成要素である。従って、アリ溝摺動ステージの製作時において摺動部品と固定部品とを噛み合わせる作業には高度なノウハウによる高い組立て精度が要求されていた。それゆえに、従来のアリ溝摺動ステージでは、摺動部品と固定部品とは、部品製作段階で組み合わされた上で市場に供給され、利用者が購入後に摺動部品と固定部品とを分離させることは精度保証ができないとしていた。

一方、利用者が購入後に摺動部品と固定部品とを分離させて再度組み合わせる場合がある。これは、利用者が標準的な精密機器取付け孔の配置に合わせるのではなく、精密機器の仕様にそのまま合わせたいとの要求による。この場合、分離された摺動部品と固定部品とを再度組み合わせると、ラックとピニオンギアとの噛み合わせ、又は雄ネジ棒と雌ネジ筒と噛み合わせが狂ってしまい、容易には修正できなる事故が生じるという結果になった。また、駆動手段に塵挨などの異物が混入したり付着したりして駆動自体に問題が発生する事故が発生した。

このように、摺動部品に設けられる精密機器取付け孔に関しては、利用者は製造元が設定した標準的な配置では満足できず、自ら配置を設定して加工したいというニーズが根強い。また、各種の精密機器取付け孔が設定された複数の摺動部品から選択したいというニーズがあり、機構上、利用者により摺動部品と固定部品とが分離できないこと、利用者により固定部品に対して摺動部品が交換できないことが問題となっていた。

本願の目的は、かかる課題を解決し、機構が簡易で製作コストが廉価であり、精密機器の取付け方法が選択でき、使用者が所望する精密機器取付け孔を備えた摺動部品を選択でき、使用者が自ら精密機器取付け孔を加工できるスライド操作式アリ溝摺動ステージを提供することである。

上記目的を達成するため、本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージは、精密機器取付け孔を有し、締結具により精密機器が取り付けられる摺動部品と、台形状に窪んだアリ溝及び台形状に突出したアリが嵌合された摺動機構を介して摺動部品に連結される固定部品と、固定部品に着脱自在に設けられる第１の突出ネジ、及び摺動部品に着脱自在に設けられ、第１の突出ネジと衝突することで摺動部品を固定部品から離脱させない第２の突出ネジから構成されるストッパーと、操作者に把持されて摺動部品を固定部品に対してスライド操作させる駆動手段と、を備え、第１の突出ネジ又は第２の突出ネジのいずれかが除去されると摺動部品が固定部品から離脱させられ、必要な精密機器取付け孔に必要な締結具が摺動部品の裏面側から差し込まれることで、摺動部品の表面側に締結具の先端部が露出されて精密機器が摺動部品に取り付き、除去された第１の突出ネジ又は第２の突出ネジを取り付けると、精密機器が取り付けられた摺動部品は、第２の突出ネジが第１の突出ネジに衝突する範囲内で移動自在となることを特徴とする。

このスライド操作式アリ溝摺動ステージの固定部品及び摺動部品には、固定部品に対して摺動部品を離脱させない第１の突出ネジと第２の突出ネジとが設置され、操作者が、摺動部品又は固定部品に設けられた第１の突出ネジ又は第２の突出ネジのいずれかを除去して摺動部品を固定部品から離脱させる。このように、固定部品に対して摺動部品を離脱させないストッパー機構である、除去自在な第１の突出ネジ及び第２の突出ネジにより固定部品に対する摺動部品の移動を止めることができる。そして、摺動部品は、第１の突出ネジと第２の突出ネジとが衝突する範囲内で自在に移動可能であり、固定部品に対する摺動部品の移動が制御される。

上記構成により、スライド操作式アリ溝摺動ステージは、従来のアリ溝摺動ステージに用いられていたラックアンドピニオン式、又は送りネジ式という駆動手段に代替し、スライド操作式という駆動手段を採用する。これにより、ラック及びピニオンギア、又は雄ネジ棒及び雌ネジ筒という機構が省略でき、簡易な構造であり加工コストが廉価なアリ溝摺動ステージとなる。また、ラックアンドピニオン式又は送りネジ式ハンドルのいずれの駆動手段でも用いられているハンドルという駆動手段を削除し、より構造が簡易であり加工コストが廉価である駆動手段に代替することができる。

更に、これらのアリ溝摺動ステージを構成する駆動手段の変更により、ラックとピニオンギアとの噛み合わせ機構、又は雄ネジ棒を雌ネジ筒の噛み合わせ機構自体が消滅し、高度なノウハウによる高い組立て精度が要求される部位がなくなり、より簡素な機構となる。これにより、これまで精度の保障が難しいとされてきた、「利用者が組立て後に摺動部品を固定部品から離脱させること」が技術的に可能となった。

つまり、本スライド操作式アリ溝摺動ステージは、組立て後に摺動部品を固定部品から離脱できることから、従来、標準的な配置でしか供給できなかった精密機器取付け孔について、後述する新たな３つの特徴を付加することが可能になった。すなわち、精密機器の取付け方法が選択できるようになった。また、使用者が摺動部品を選択して自ら加工できるようになった。さらに、使用者が精密機器の取り付け仕様に合致した精密機器取付け孔を備えた摺動部品を選択できるようになった。

まず、本スライド操作式アリ溝摺動ステージの第１の特徴は、精密機器の取付け方法として従来の方法である、摺動ステージの表面側から精密機器取付け用の締結具をネジ込んで精密機器を摺動部品に締結させる方法だけではなく、新たな方法として、摺動部品の裏面側から精密機器取付け用の締結具を差し込んで摺動ステージの表面側に締結具の先端部を露出させて精密機器を摺動部品に締結させる方法が可能となった。この後者の方法の場合、事前に精密機器取付け孔を設けることは可能であったが、精密機器取付け用の締結具を事前に全ての精密機器取付け孔にネジ込んでおくことは難しかった。なぜならば、使用者が使用する精密機器取付け孔以外の孔にも締結具がねじ込まれていると精密機器の取付けの際に邪魔になってしまい機能しないからであった。しかし、本発明により、使用者は摺動部品を固定部品から簡単に離脱させ、必要な精密機器取付け孔に必要な締結具をねじ込んで精密機器を取付けることが可能となった。このように、精密機器の取付け方法の自由度が大幅に拡大し、利用者は精密機器の取付け方法を自由に選択することが可能となった。

上記目的を達成するため、本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージは、精密機器取付け孔を有し、締結具により精密機器が取り付けられる摺動部品と、台形状に窪んだアリ溝及び台形状に突出したアリが嵌合された摺動機構を介して摺動部品に連結される固定部品と、固定部品に着脱自在に設けられる第１の突出ネジ、及び摺動部品に着脱自在に設けられ、第１の突出ネジと衝突することで摺動部品を固定部品から離脱させない第２の突出ネジから構成されるストッパーと、使用者に把持されて摺動部品を固定部品に対してスライド操作させる駆動手段と、を備え、固定部品と分離している摺動部品に、又は固定部品から離脱させた摺動部品に必要な精密機器取付け孔が加工され、摺動部品の裏面側から必要な精密機器取付け用の締結具が差し込まれて摺動部品の表面側に締結具の先端部が露出されて摺動部品に精密機器が取り付けられ、第１の突出ネジ及び第２の突出ネジが取り付けられることで、精密機器が取り付けられた摺動部品は、第２の突出ネジが第１の突出ネジに衝突する範囲内で移動自在となることを特徴とする。

本スライド操作式アリ溝摺動ステージの第２の特徴は、使用者が、精密機器取付け孔が設けられていない摺動部品が備えられたスライド操作式アリ溝摺動ステージを購入し、固定部品から摺動部品を離脱させ、使用者の精密機器の取り付け仕様に合致した精密機器取付け孔を加工できることである。また、使用者が、購入したスライド操作式アリ溝摺動ステージの摺動部品を固定部品から離脱させ、必要な精密機器取付け孔を設けて精密機器を取付けることが可能となることである。これらの特徴により、利用者は精密機器取付け孔が加工されていない摺動部品を選択して自ら加工でき、スライド操作式アリ溝摺動ステージの精密機器の取付けの自由度が大幅に拡大することになった。

また、スライド操作式アリ溝摺動ステージは、固定部品と分離している摺動部品、又は固定部品から離脱させた摺動部品には精密機器取付け孔が設けられていないものも含まれることが好ましい。

本スライド操作式アリ溝摺動ステージの第３の特徴は、使用者が複数の型の摺動部品の中から適切な摺動部品を選択し、摺動機構を介して固定部品に連結させることができることである。すなわち、本スライド操作式アリ溝摺動ステージは、摺動部品が固定部品に対して着脱自在であり、そのために摺動部品は交換自在である。そして、使用者は、本スライド操作式アリ溝摺動ステージについての使用状況に応じて最適な摺動部品を選択して固定部品に取り付けることができる。つまり、アリ溝摺動ステージの使用者が精密機器の取り付け仕様に合致した所望の精密機器取付け孔を備えた摺動部品を選択できるようになり、スライド操作式アリ溝摺動ステージの精密機器の取付けの自由度が大幅に拡大することになった。

さらに、使用者は精密機器を摺動部品に取付けずに使用する場合がある。例えば、試料を摺動部品の表面側に採置して摺動させ、その試料を別途固定された顕微鏡で観察するなどの場合である。この使用方法の場合には、使用者は精密機器取付け孔が設けられていない摺動部品を選択することができる。このように、複数の摺動部品が用意され使用状況に応じて最適な摺動部品を選択可能なことで、スライド操作式アリ溝摺動ステージの精密機器の取付けの自由度が大幅に拡大するようになった。

また、スライド操作式アリ溝摺動ステージは、この駆動手段が摺動部品に設けられた加力棒、又は摺動部品に設けられた摺動固定ネジであり、さらに、この駆動手段には、固定部品に設けられた反力棒が含まれることが好ましい。これにより、スライド操作式アリ溝摺動ステージの駆動手段は、使用者が把持して摺動部品を移動させる加力棒であるか、又は加力棒として使用する摺動固定ネジである。さらに、駆動手段として加力棒又は摺動固定ネジを操作する際に操作者が反力をとる反力棒が含まれる。そして、この反力棒により、より容易に摺動部品を移動させることができる。

また、スライド操作式アリ溝摺動ステージは、摺動方向に略並行する固定部品又は摺動方向に略直交する固定部品の側面には、反力棒が着脱可能なタップ孔が複数箇所に設けられることが好ましい。これにより、使用者は、スライド操作式アリ溝摺動ステージにおいて固定部品により反力をとり易い位置を選択して反力棒を設置することができる。

また、スライド操作式アリ溝摺動ステージは、摺動方向に略直交する摺動部品の側面には、加力棒が着脱可能なタップ孔が複数箇所に設けられることが好ましい。これにより、例えば、摺動部品の前面及び後面に加力棒を設置し、使い易い方を選択して摺動部品を押し引きするか、又は双方の加力棒を同時に使用して摺動部品を押し引きすることができる。

さらに、スライド操作式アリ溝摺動ステージは、摺動方向に略並行する摺動部品の側面には、摺動固定ネジが着脱可能なタップ孔が複数箇所に設けられることが好ましい。これにより、摺動部品を強固に固定部品に固定する場合には、複数の摺動固定ネジにより締め込むことができる。

以上のように、本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージによれば、機構が簡易で製作コストが廉価であり、精密機器の取付け方法が選択でき、使用者が所望する精密機器取付け孔を備えた摺動部品を選択でき、使用者が自ら精密機器取付け孔を加工できるスライド操作式アリ溝摺動ステージを提供することができる。

本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージの第１の実施形態として、一つの長方形Ｘ軸ステージを示す平面図、底面図、正面図、背面図、左側面図、及び右側面図である。図1の第１の実施形態について精密機器取付け孔の詳細を示す断面図である。本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージの第２の実施形態として、他の長方形Ｘ軸ステージを示す平面図、底面図、正面図、背面図、左側面図、及び右側面図である。図３の第２の実施形態の精密機器取付け孔を示す詳細な断面図である。本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージの第３の実施形態として、一つの長尺型Ｘ軸ステージを示す平面図、底面図、正面図、背面図、及び右側面図である。図５の第３の実施形態の精密機器取付け孔を示す詳細な断面図である。本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージの第４の実施形態として、他の長尺型Ｘ軸ステージを示す平面図、底面図、正面図、背面図、及び右側面図である。図７の第４の実施形態の精密機器取付け孔を示す詳細な断面図である。スライド操作式アリ溝摺動ステージである長方形Ｘ軸ステージにおいて、加力棒として使用する摺動固定ネジ及び反力棒を備えたステージであり、摺動部品に設けられる精密機器取付け孔のバリエーションを示す斜視図である。スライド操作式アリ溝摺動ステージである長方形Ｘ軸ステージにおいて、摺動部品に加力棒を備えたステージであり、摺動部品に設けられる精密機器取付け孔のバリエーションを示す斜視図である。スライド操作式アリ溝摺動ステージである略正方形Ｘ軸ステージにおいて、加力棒として使用する摺動固定ネジ及び反力棒を備えたステージであり、摺動部品に設けられる精密機器取付け孔のバリエーションを示す斜視図である。スライド操作式アリ溝摺動ステージである略正方形Ｘ軸ステージにおいて、摺動部品に加力棒を備えたステージであり、摺動部品に設けられる精密機器取付け孔のバリエーションを示す斜視図である。スライド操作式アリ溝摺動ステージである長尺型Ｘ軸ステージにおいて、加力棒として使用する摺動固定ネジ及び反力棒を備えたステージであり、摺動部品に設けられる精密機器取付け孔のバリエーションを示す斜視図である。スライド操作式アリ溝摺動ステージであるＺ軸ステージにおいて、反力棒又は加力棒を備えたステージを示す斜視図である。

以下に、図面を用いて本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージ１の実施形態につき詳細に説明する。図１には、本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージ１の第１の実施形態として、一つの長方形Ｘ軸ステージを平面図、底面図、正面図、背面図、左側面図、及び右側面図で示す。また、図２には、図1に示す長方形Ｘ軸ステージの第１実施形態について、精密機器取付け孔１０の詳細を断面図で示す。また、図３には、本発明に係るアリ溝摺動ステージ１の第２の実施形態として、他の長方形Ｘ軸ステージを平面図、底面図、正面図、背面図、左側面図、及び右側面図で示す。また、図４には、図３に示す長方形Ｘ軸ステージについて、第２実施形態の精密機器取付け孔１０を詳細な断面図で示す。また、図５には、本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージ１の第３の実施形態として、一つの長尺型Ｘ軸ステージを平面図、底面図、正面図、背面図、及び右側面図で示す。また、図６には、図５の第３実施形態の精密機器取付け孔１０を詳細な断面図で示す。さらに、図７には、本発明に係るスライド操作式アリ溝摺動ステージ１の第１の実施形態として、他の長尺型Ｘ軸ステージを平面図、底面図、正面図、背面図、及び右側面図で示す。また、図８には、図７の第４実施形態の精密機器取付け孔１０を詳細な断面図で示す。なお、図２，図４，図６，図８において、精密機器取付け孔１０にねじ込まれる精密機器用締結具７ａ，７ｂは、例えば、六角穴付きボルト、皿ネジなどの一般的なボルト又はネジである。

図１〜図８に示す第１〜第４実施形態のように、スライド操作式アリ溝摺動ステージ１は、精密機器２１が取り付けられる摺動部品２と、土台２２に固定される固定部品３とから構成される。そして、摺動部品２と固定部品３とは台形状に窪んだアリ溝４及び台形状に突出したアリ５が嵌合された摺動機構を介して連結される。従来のアリ溝摺動ステージには、例えば、ラックとピニオンギアとが噛み合わされた駆動手段を用いるラックアンドピニオン式アリ溝摺動ステージ、雄ネジ棒が雌ネジ筒に噛み合わされた駆動手段を用いる送りネジ式アリ溝摺動ステージなどがあるが、本スライド操作式アリ溝摺動ステージ１はそれらと全く異なる駆動手段が採用されている。すなわち、本スライド操作式アリ溝摺動ステージ１は、台形状に窪んだアリ溝４及び台形状に突出したアリ５が嵌合された摺動機構を備え、操作者が摺動部品２に設けられた、例えば、摺動固定ネジ、加力棒、反力棒といった駆動手段を把持し、摺動部品２をスライド操作して精密機器の位置調整を行う駆動手段を採用する。従って、ラック及びピニオン、雄ネジ棒及び雌ネジ筒といった駆動手段だけではなく、従来のラックアンドピニオン式アリ溝摺動ステージや送りネジ式アリ溝摺動ステージにおいて必須の構成要素であるハンドルも取り付いていない。すなわち、本スライド操作式アリ溝摺動ステージ１は、ハンドルの回転運動を直線運動に変換させて摺動部品２を固定部品３に対して摺動させる駆動手段ではなく、例えば、摺動固定ネジ、加力棒、反力棒などの駆動手段によって摺動部品２を直接直線運動させて固定部品３に対して摺動させる駆動手段を採用する。

（スライド操作式アリ溝摺動ステージの第１実施形態）
図１及び図２に示す第１実施形態は、摺動部品２及び固定部品３が共に同じ幅と長さを有する長方形となっている長方形Ｘ軸ステージの実施形態である。図１（ａ）は背面図、図１（ｂ）は平面図、図１（ｃ）は底面図、図１（ｄ）は正面図、図１（ｅ）は左側面図、及び図１（ｆ）は右側面図を示す。また、図２はスライド操作式アリ溝摺動ステージ１の断面図であり、図２（ａ）は精密機器取付け用タップ孔１０ａが設けられ、摺動部品２の表面側から精密機器用締結具７ａをネジ込んで精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合であり、図２（ｂ）は精密機器取付け用ザグリ孔１０ｂが設けられ摺動部品２の裏面側から精密機器用締結具７ｂを差し込んで摺動部品２の表面側に締結具７ｂの先端部を露出させて精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合である。そして、図１（ｂ）と図１（ｃ）に示すように、土台締結孔９と精密機器取付け孔１０とは、同じ平面位置に連通するように配置され、図２（ａ）には土台用締結具８ａが、図２（ｂ）には土台用締結具８ｂが用いられている。

（スライド操作式アリ溝摺動ステージの第２実施形態）
図３及び図４に示す第２実施形態は、摺動部品２及び固定部品３が共に同じ幅と長さを有する長方形となっている長方形Ｘ軸ステージの実施形態である。図３（ａ）は背面図、図３（ｂ）は平面図、図３（ｃ）は底面図、図３（ｄ）は正面図、図３（ｅ）は左側面図、及び図３（ｆ）は右側面図を示す。また、図４はスライド操作式アリ溝摺動ステージ１の断面図であり、図４（ａ）は精密機器取付け用タップ孔１０ａが設けられ、摺動部品２の表面側から精密機器用締結具７ａをネジ込んで精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合であり、図４（ｂ）は精密機器取付け用ザグリ孔１０ｂが設けられ摺動部品２の裏面側から精密機器用締結具７ｂを差し込んで摺動部品２の表面側に締結具７ｂの先端部を露出させて精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合である。そして、図３（ｂ）と図３（ｃ）に示すように、土台締結孔９と精密機器取付け孔１０とは、相互にずれた平面位置に配置され、図４（ａ）には土台用締結具８ａが、図４（ｂ）には土台用締結具８ｂが用いられている。

（スライド操作式アリ溝摺動ステージの第３実施形態）
図５及び図６に示す第３実施形態は、固定部品３が摺動部品２より長く設定され、摺動部品２が固定部品３上を広範囲に移動する長尺型Ｘ軸ステージの実施形態である。図５（ａ）は背面図、図５（ｂ）は平面図、図５（ｃ）は底面図、図５（ｄ）は正面図、及び図５（ｅ）は右側面図を示す。また、図６はスライド操作式アリ溝摺動ステージ１の断面図であり、図６（ａ）は精密機器取付け用タップ孔１０ａが設けられ、摺動部品２の表面側から精密機器用締結具７ａをネジ込んで精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合であり、図６（ｂ）は精密機器取付け用ザグリ孔１０ｂが設けられ摺動部品２の裏面側から精密機器用締結具７ｂを差し込んで摺動部品２の表面側に締結具７ｂの先端部を露出させて精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合である。そして、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、土台締結孔９と精密機器取付け孔１０とは、異なる位置に配置され、図６（ａ）には土台用締結具８ａが、図６（ｂ）には土台用締結具８ｂが用いられている。

（スライド操作式アリ溝摺動ステージの第４実施形態）
図７及び図８に示す第４実施形態は、固定部品３が摺動部品２より長く設定され、摺動部品２が固定部品３上を広範囲に移動する長尺型Ｘ軸ステージの実施形態である。図７（ａ）は背面図、図７（ｂ）は平面図、図７（ｃ）は底面図、図７（ｄ）は正面図、及び図７（ｅ）は右側面図を示す。また、図８はスライド操作式アリ溝摺動ステージ１の断面図であり、図８（ａ）は精密機器取付け用タップ孔１０ａが設けられ、摺動部品２の表面側から精密機器用締結具７ａをネジ込んで精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合であり、図８（ｂ）は精密機器取付け用ザグリ孔１０ｂが設けられ摺動部品２の裏面側から精密機器用締結具７ｂを差し込んで摺動部品２の表面側に締結具７ｂの先端部を露出させて精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合である。そして、図７（ｂ）と図７（ｃ）に示すように、土台締結孔９が精密機器取付け孔１０と異なる位置に配置され、図８（ａ）には土台用締結具８ａが、図８（ｂ）には土台用締結具８ｂが用いられている。

（スライド操作式アリ溝摺動ステージの第１特徴）
スライド操作式アリ溝摺動ステージ１の第１特徴は、精密機器２１の取付け方法が選択できることである。すなわち、図２（ａ），図４（ａ），図６（ａ），及び図８（ａ）に示すように、摺動部品２に設けられる精密機器取付け孔１０は摺動部品２の表面側から精密機器２１取付け用の締結具７ａをネジ込んで精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合、又は、図２（ｂ），図４（ｂ），図６（ｂ），及び図８（ｂ）に示すように、摺動部品２の裏面側から精密機器２１取付け用の締結具７ｂを差し込んで摺動部品２の表面側に締結具７ｂの先端部を露出させて精密機器２１を摺動部品２に締結させる場合、のいずれにも用いられることである。この精密機器取付け孔１０は、精密機器取付け用タップ孔１０ａ及び精密機器取付け用ザグリ孔１０ｂから構成され、図２（ａ），図４（ａ），図６（ａ），及び図８（ａ）に示すように締結具７ａを用いて精密機器２１を固定しても良く、図２（ｂ），図４（ｂ），図６（ｂ），及び図８（ｂ）に示すように締結具７ｂを用いて精密機器２１を固定しても良い。或いは、スライド操作式アリ溝摺動ステージ１のなかで締結具７ａ及び締結具７ｂを併用しても良い。この締結具７ａ及び締結具７ｂには、例えば、締結具７ａ用としてＭ２ねじが用いられ、締結具７ｂ用としてＭ３ねじが用いられる、といったように異なる径の締結具７が用いられても良い。

上述した第１の特徴は、摺動部品２が固定部品３に対して着脱自在であることにより達成される。すなわち、利用者は摺動部品２を固定部品３から離脱させて、精密機器用締結具７ｂを摺動部品２の裏面側から精密機器取付け孔１０に差し込み、摺動部品２の表面側に締結具７ｂの先端部を露出させることができるからである。そして、従来のラックとピニオンギアとが噛み合わされた駆動手段を用いるラックアンドピニオン式アリ溝摺動ステージ、及び雄ネジ棒が雌ネジ筒に噛み合わされた駆動手段を用いる送りネジ式アリ溝摺動ステージでは、摺動部品２が固定部品３に対して着脱自在であることは不可能であった。これは、摺動部品２と固定部品３とは、部品製作段階で組み合わされて市場に供給され、利用者が購入後に摺動部品２と固定部品３とを分離させることは精度保証ができないとしていたからである。しかし、本スライド操作式アリ溝摺動ステージ１では、操作者は摺動部品２に設けられた摺動固定ネジ６を把持し、摺動部品２をスライド操作して精密機器２１の位置調整を行う駆動手段を採用することにより利用者が購入後に摺動部品２と固定部品３とを着脱自在に分離させることを可能とした。

（スライド操作式アリ溝摺動ステージの第２特徴）
スライド操作式アリ溝摺動ステージ１の第２特徴は、使用者が摺動部品２を選択して自ら加工できることである。すなわち、摺動部品２は固定部品３に対して着脱自在であり、使用者は、固定部品３と分離している摺動部品２に、又は固定部品３から離脱させた摺動部品２に精密機器取付け孔１０を加工することができる。その結果、使用者は摺動部品２の表面側から精密機器用締結具７ａをネジ込んで精密機器２１を摺動部品２に締結させるか、又は摺動部品２の裏面側から精密機器用締結具７ｂを差し込んで摺動部品２の表面側に締結具７ｂの先端部を露出させて精密機器２１を摺動部品２に締結させるか、のいずれかが選択可能となる。

すなわち、従来、摺動部品２には精密機器取付け孔１０が標準的な配置で設けられていたため、使用者はその標準的な配置に合わせて精密機器２１を取り付けなければならなかった。しかし、本スライド操作式アリ溝摺動ステージ１によれば、精密機器取付け孔１０が設けられていない摺動部品２を加工して所望の仕様の精密機器取付け孔１０を自ら製作することができる。すなわち、使用者は、固定部品３と分離している摺動部品２に精密機器取付け孔１０を加工することもできる。或いは、固定部品３から離脱させた摺動部品２に精密機器取付け孔１０を加工することもできる。そして、精密機器取付け孔１０は、締結具７ａ用の精密機器取付け用タップ孔１０ａであっても良く、締結具７ｂ用の精密機器取付け用ザグリ孔１０ｂであっても良く、或いは締結具７ａ及び締結具７ｂの双方が使用できる精密機器取付け孔１０を加工しても良い。

（スライド操作式アリ溝摺動ステージの第３特徴）
スライド操作式アリ溝摺動ステージ１の第３特徴は、使用者が精密機器２１の取り付け仕様に合致した精密機器取付け孔１０を備えた摺動部品２を選択できることである。すなわち、摺動部品２は、固定部品３に対して着脱自在であり、複数の摺動部品２から選択されたものに交換自在であることである。そして、この交換自在な摺動部品２には精密機器取付け孔１０が設けられていないものも含まれることである。例えば、試料を摺動部品２の表面側に採置して摺動させ、その試料を別途固定された顕微鏡で観察するなどの場合である。この使用方法の場合には、使用者は精密機器取付け孔１０が設けられていない摺動部品２を選択することができる。

（スライド操作式アリ溝摺動ステージのストッパー機構）
図５（ｂ）及び図７（ｂ）に、固定部品３側ストッパー１６の一つの実施例を示す。また、図５（ｅ）及び図７（ｅ）に、摺動部品２側ストッパー１７の一つの実施例を示す。
摺動部品２側ストッパー１７は固定部品３側ストッパー１６と衝突することで固定部品３に対して摺動部品２を離脱させない。そして、操作者は、固定部品３側ストッパー１６を除去して摺動部品２を固定部品３から離脱させることができる。このストッパー１６は、例えば、固定部品３に設けられたネジ孔に着脱自在に係合される第1突出ネジ１６であり、摺動部品２に設けられたネジ孔に着脱自在に係合される第2突出ネジ１７である。摺動部品２は、第1突出ネジ１６と第２突出ネジ１７とが衝突する範囲内で自在に移動可能となる。

（精密機器取付け孔のバリエーション）
図９及び図１０に、長方形Ｘ軸ステージにおいて、摺動部品２に設けられる精密機器取付け孔１０のバリエーションを示す。図９は加力棒１２として使用する摺動固定ネジ６及び反力棒１１を備えたステージの場合であり、図１０は摺動部品２に加力棒１２を備えたステージの場合である。また、図１１及び図１２に、略正方形Ｘ軸ステージにおいて、加摺動部品２に設けられる精密機器取付け孔１０のバリエーションを示す。図１１は加力棒１２として使用する摺動固定ネジ６及び反力棒１１を備えたステージの場合であり、図１２は摺動部品２に加力棒１２を備えたステージの場合である。また、図１３に、加力棒１２として使用する摺動固定ネジ６及び反力棒１１を備えたステージであり、摺動部品２に設けられる精密機器取付け孔１０のバリエーションを示す。さらに、図１４に、Ｌ型土台２３を備えたＺ軸ステージにおいて、反力棒１１又は加力棒１２を備えたステージを示す。

図９及び図１０に示す長方形Ｘ軸ステージでは、紙面に向かって左から、摺動部品２の表面に精密機器取付け用タップ孔１０ａ及び精密機器取付け用ザグリ孔１０ｂが設けられたステージ、摺動部品２の表面に精密機器取付け用タップ孔１０ａが設けられたステージ、及び摺動部品２の表面に精密機器取付け孔１０が設けられていないステージを示す。また、上段のステージは、摺動固定ネジ６だけではなく補助摺動固定ネジ６ａ，６ｂを備えてより強固に摺動を固定するステージであり、下段のステージは、摺動固定ネジ６のみで摺動を固定するステージである。図９のステージは、固定部品３に反力棒１１が設けられる。利用者は、反力棒１１で反力を取りながら摺動固定ネジ６を加力棒１２として用いて摺動部品２を摺動させる。一方、図１０のステージは、摺動部品２に加力棒１２が設けられる。利用者は、加力棒１２を掴んで摺動部品２を摺動方向に沿って摺動させる。

図１１及び図１２に示す略正方形Ｘ軸ステージでは、紙面に向かって左から、摺動部品２の表面に精密機器取付け用ザグリ孔１０ｂが設けられたステージ、摺動部品２の表面に精密機器取付け用タップ孔１０ａが設けられたステージ、及び摺動部品２の表面に精密機器取付け孔１０が設けられていないステージを示す。また、上段のステージは、摺動固定ネジ６だけではなく補助摺動固定ネジ６ａ，６ｂを備えてより強固に摺動を固定するステージであり、下段のステージは、摺動固定ネジ６のみで摺動を固定するステージである。図１１のステージは、固定部品３に反力棒１１が設けられる。利用者は、反力棒１１で反力を取りながら摺動固定ネジ６を加力棒１２として用いて摺動部品２を摺動させる。一方、図１２のステージは、摺動部品２に加力棒１２が設けられる。利用者は、加力棒１２を掴んで摺動部品２を摺動方向に沿って摺動させる。

図１３に示す長尺型Ｘ軸ステージでは、紙面に向かって左から、摺動部品２の表面に精密機器取付け用ザグリ孔１０ｂ及び精密機器取付け用タップ孔１０ａが設けられたステージ、摺動部品２の表面に精密機器取付け用タップ孔１０ａが設けられたステージ、及び摺動部品２の表面に精密機器取付け孔１０が設けられていないステージを示す。また、上段のステージは、摺動固定ネジ６だけではなく補助摺動固定ネジ６ａ，６ｂを備えてより強固に摺動を固定するステージであり、下段のステージは、摺動固定ネジ６のみで摺動を固定するステージである。そして、固定部品３に反力棒１１が設けられる。利用者は、反力棒１１で反力を取りながら摺動固定ネジ６を加力棒１２として用いて摺動部品２を摺動させる。

図１４に示すＺ軸ステージでは、紙面に向かって左側のステージは、固定部品３に反力棒１１が設けられる。利用者は、反力棒１１で反力を取りながら摺動固定ネジ６を加力棒１２として用いて摺動部品２を摺動させる。一方、右側のステージは、摺動部品２に加力棒１２が設けられる。利用者は、加力棒１２を掴んで摺動部品２を摺動方向に沿って摺動させる。

（スライド操作式アリ溝摺動ステージの駆動手段）
本スライド操作式アリ溝摺動ステージ１では、駆動手段は摺動部品２に設けられた加力棒１２、又は摺動部品２に設けられた摺動固定ネジ６である。また、加力棒１２と摺動固定ネジ６とが併用されても良い。そして、駆動手段には、さらに固定部品３に設けられた反力棒１１が含まれる。

図９〜図１４に示すように、摺動方向に略並行する固定部品３又は摺動方向に略直交する固定部品３の側面には、反力棒１１が着脱可能な反力棒用タップ孔１３が複数箇所に設けられる。これにより、使用者は、スライド操作式アリ溝摺動ステージ１において固定部品３により反力をとり易い位置を選択して反力棒１１を設置することができる。

図９〜図１４に示すように、摺動方向に略直交する摺動部品２の側面には、加力棒１２が着脱可能な加力棒用タップ孔１４が複数箇所に設けられる。これにより、例えば、摺動部品２の前面及び後面に加力棒１２を設置し、使い易い方を選択して摺動部品２を押し引きするか、又は双方の加力棒１２を同時に使用して摺動部品２を押し引きすることができる。

図９〜図１４に示すように、摺動方向に略並行する摺動部品２の側面には、補助摺動固定ネジ６ａ，６ｂ・・・が着脱可能な摺動固定ネジ用タップ孔１５が複数箇所に設けられる。これにより、摺動部品２を強固に固定部品３に固定する場合には、摺動固定ネジ６だけではなく補助摺動固定ネジ６ａ，６ｂ・・・を加えてより締め込むことができる。

１スライド操作式アリ溝摺動ステージ、２摺動部品、３固定部品、４アリ溝、５アリ、６摺動固定ネジ，６ａ，６ｂ補助摺動固定ネジ、７，７ａ，７ｂ（精密機器用）締結具、８，８ａ，８ｂ（土台用）締結具、９土台締結孔、１０精密機器取付け孔，１０ａ精密機器取付け用タップ孔，１０ｂ精密機器取付け用ザグリ孔、１１反力棒、１２加力棒、１３反力棒用タップ孔、１４加力棒用タップ孔、１５摺動固定ネジ用タップ孔、１６第1突出ネジ（固定部品側ストッパー）、１７第２突出ネジ（摺動部品側ストッパー）、１８振動固定ネジ先端部、１９溝部、２０突出部、２１精密機器、２２土台、２３Ｌ型土台。

Claims

精密機器取付け孔を有し、締結具により精密機器が取り付けられる摺動部品と、
台形状に窪んだアリ溝及び台形状に突出したアリが嵌合された摺動機構を介して摺動部品に連結される固定部品と、
固定部品に着脱自在に設けられる第１の突出ネジ、及び摺動部品に着脱自在に設けられ、第１の突出ネジと衝突することで摺動部品を固定部品から離脱させない第２の突出ネジから構成されるストッパーと、
操作者に把持されて摺動部品を固定部品に対してスライド操作させる駆動手段と、を備え、
第１の突出ネジ又は第２の突出ネジのいずれかが除去されると摺動部品が固定部品から離脱させられ、必要な精密機器取付け孔に必要な締結具が摺動部品の裏面側から差し込まれることで、摺動部品の表面側に締結具の先端部が露出されて精密機器が摺動部品に取り付き、
除去された第１の突出ネジ又は第２の突出ネジを取り付けると、精密機器が取り付けられた摺動部品は、第２の突出ネジが第１の突出ネジに衝突する範囲内で移動自在となることを特徴とするスライド操作式アリ溝摺動ステージ。
精密機器取付け孔を有し、締結具により精密機器が取り付けられる摺動部品と、
台形状に窪んだアリ溝及び台形状に突出したアリが嵌合された摺動機構を介して摺動部品に連結される固定部品と、
固定部品に着脱自在に設けられる第１の突出ネジ、及び摺動部品に着脱自在に設けられ、第１の突出ネジと衝突することで摺動部品を固定部品から離脱させない第２の突出ネジから構成されるストッパーと、
使用者に把持されて摺動部品を固定部品に対してスライド操作させる駆動手段と、を備え、
固定部品と分離している摺動部品に、又は固定部品から離脱させた摺動部品に必要な精密機器取付け孔が加工され、摺動部品の裏面側から必要な精密機器取付け用の締結具が差し込まれて摺動部品の表面側に締結具の先端部が露出されて摺動部品に精密機器が取り付けられ、第１の突出ネジ及び第２の突出ネジが取り付けられることで、精密機器が取り付けられた摺動部品は、第２の突出ネジが第１の突出ネジに衝突する範囲内で移動自在となることを特徴とするスライド操作式アリ溝摺動ステージ。
請求項２に記載のスライド操作式アリ溝摺動ステージであって、固定部品と分離している摺動部品、又は固定部品から離脱させた摺動部品には精密機器取付け孔が設けられていないものも含まれることを特徴とするスライド操作式アリ溝摺動ステージ。
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のスライド操作式アリ溝摺動ステージであって、前記駆動手段は、摺動部品に設けられた加力棒、又は摺動部品に設けられた摺動固定ネジであることを特徴とするスライド操作式アリ溝摺動ステージ。
請求項４に記載のスライド操作式アリ溝摺動ステージであって、前記駆動手段には、固定部品に設けられた反力棒が含まれることを特徴とするスライド操作式アリ溝摺動ステージ。
請求項５に記載のスライド操作式アリ溝摺動ステージであって、摺動方向に略並行する固定部品又は摺動方向に略直交する固定部品の側面には、反力棒が着脱可能なタップ孔が複数箇所に設けられることを特徴とするスライド操作式アリ溝摺動ステージ。
請求項４乃至６のいずれか１項に記載のスライド操作式アリ溝摺動ステージであって、摺動方向に略直交する摺動部品の側面には、加力棒が着脱可能なタップ孔が複数箇所に設けられることを特徴とするスライド操作式アリ溝摺動ステージ。
請求項４乃至７のいずれか１項に記載のスライド操作式アリ溝摺動ステージであって、摺動方向に略並行する摺動部品の側面には、摺動固定ネジが着脱可能なタップ孔が複数箇所に設けられることを特徴とするスライド操作式アリ溝摺動ステージ。