JP2010016304A - 耐腐食性積層セラミックス部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 少なくとも、セラミックス基板と、該セラミックス基板上に形成された電極層と、該電極層に電気を供給するための給電部材と、腐食を防ぐための保護層とを備えたセラミックス部材であって、前記セラミックス基板の片面又は両面に前記電極層が形成され、前記電極層には前記給電部材が接続され、前記セラミックス基板の前記電極層が形成された面上に前記電極層を覆うように前記保護層が0.02mm以上10mm以下の厚さで形成されており、該保護層は、酸化珪素、希土類酸化物、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムのいずれかを主成分とするものであることを特徴とする耐腐食性積層セラミックス部材。
【選択図】 図1
Description
ここで、図1は本発明に係る耐腐食性積層セラミックス部材の一例の断面図である。
外径300mm厚さ10mmの窒化アルミニウムからなるセラミックス基板の一方の面上にヒーター電極としてタングステンペーストをスクリーン印刷法にて塗布し、窒素雰囲気中、1700℃の高温下にてタングステン電極の焼付けを行いセラミックス基板上に電極層を形成し、該電極層にタングステン製の給電部材を接続した。そして、その電極層を覆うように溶射法により酸化イットリウムからなる保護層を0.02mm以上10mm以下の範囲で積層させて数種の耐腐食性積層セラミックス部材を作製した。このセラミックス基材上にSiウエハを載せ、給電部材から通電し、ウエハ温度で800℃になるよう通電加熱させ、腐食性ガスのCF4プラズマガス中に暴露させて耐久試験を行った。
溶射法により形成される酸化イットリウムからなる保護層を0.01mm以上0.02mm未満の範囲とする以外は実施例1と同様な構成の耐腐食性積層セラミックス部材を数種作製し、実施例1と同様にセラミックス基材上にSiウエハを載せ、給電部材から通電し、ウエハ温度で800℃になるよう通電加熱させ、腐食性ガスのCF4プラズマガス中に暴露させて耐久試験を行った。
外径300mm厚さ10mmの窒化アルミニウムのセラミックス基板の一方の面上にヒーター電極としてタングステンペーストをスクリーン印刷法にて塗布し、窒素雰囲気中、1700℃の高温下にてタングステン電極の焼付けを行いセラミックス基板上に電極層を形成した。そして、セラミックス基板及び電極層及び電極層に接続されるタングステン製の給電部材と電極層の接続部分の全体を覆うように溶射法により酸化イットリウムからなる保護層を0.02mm以上10mm以下の範囲で積層させて数種の耐腐食性積層セラミックス部材を作製した。このセラミックス基材上にSiウエハを載せ、給電部材から通電し、ウエハ温度で800℃になるよう通電加熱させ、腐食性ガスのCF4プラズマガス中に暴露させて耐久試験を行った。
溶射法により形成される酸化イットリウムからなる保護層を0.01mm以上0.02mm未満の範囲とする以外は実施例2と同様な構成の耐腐食性積層セラミックス部材を数種作製し、実施例2と同様にセラミックス基材上にSiウエハを載せ、給電部材から通電し、ウエハ温度で800℃になるよう通電加熱させ、腐食性ガスのCF4プラズマガス中に暴露させて耐久試験を行った。
外径300mm厚さ10mmの窒化アルミニウムのセラミックス基板の一方の面上にヒーター電極としてタングステンペーストをスクリーン印刷法にて塗布し、窒素雰囲気中、1700℃の高温下にてタングステン電極の焼付けを行いセラミックス基板上に電極層を形成し、該電極層にタングステン製の給電部材を接続した。そして、その電極層を覆うように溶射法により酸化イットリウムからなる保護層を0.02mm以上10mm以下の範囲で積層させて数種の耐腐食性積層セラミックス部材を作製した。その後、この耐腐食性積層セラミックス部材を1000℃窒素雰囲気中で10時間熱処理を行った。このセラミックス基材上にSiウエハを載せ、給電部材から通電し、ウエハ温度で800℃になるよう通電加熱させ、腐食性ガスのCF4プラズマガス中に暴露させて耐久試験を行った。
溶射法により形成される酸化イットリウムからなる保護層を0.01mm以上0.02mm未満の範囲とする以外は実施例3と同様な構成の耐腐食性積層セラミックス部材を数種作製し、実施例3と同様にセラミックス基材上にSiウエハを載せ、給電部材から通電し、ウエハ温度で800℃になるよう通電加熱させ、腐食性ガスのCF4プラズマガス中に暴露させて耐久試験を行った。
2、12、22、32…セラミックス基板、
3、13a、13b、23、33a、33b…電極層、
4、14a、14b、24、34a、34b…給電部材、
5、15、25、35…保護層、
6、16、26、36…ウエハ。
Claims (5)
- 少なくとも、セラミックス基板と、該セラミックス基板上に形成された電極層と、該電極層に電気を供給するための給電部材と、腐食を防ぐための保護層とを備えたセラミックス部材であって、前記セラミックス基板の片面又は両面に前記電極層が形成され、前記電極層には前記給電部材が接続され、前記セラミックス基板の前記電極層が形成された面上に前記電極層を覆うように前記保護層が0.02mm以上10mm以下の厚さで形成されており、該保護層は、酸化珪素、希土類酸化物、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムのいずれかを主成分とするものであることを特徴とする耐腐食性積層セラミックス部材。
- 前記セラミックス基板の前記電極層が形成された面上に形成される前記保護層が、前記セラミックス基板と前記電極層及び該電極層と前記給電部材との接続部分の全体を覆い囲むように形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の耐腐食性積層セラミック部材。
- 前記耐腐食性積層セラミックス部材が、1000℃以上の温度で熱処理されたものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の耐腐食性積層セラミックス部材。
- 前記セラミックス基板は、窒化アルミニウム、希土類酸化物、酸化アルミニウム、酸化珪素、ジルコニア、サイアロンのいずれかを主成分とする材質からなるものであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の耐腐食性積層セラミックス部材。
- 前記保護層はスクリーン印刷法、化学気相蒸着法、プラズマ溶射法のいずれかの手法で形成され、前記電極層はスクリーン印刷法、化学気相蒸着法、溶射法のいずれかの手法で形成されたものであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の耐腐食性積層セラミックス部材。
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