JP2010014734A - 半導体加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 切頭角錐形の空間の外周面に倣うように、実質的に同形状の4つの台形状の傾斜面13…を環状に組み合わせて支持部9の内周面を構成する。重錘3は、重錘3が可撓部11側に最大限変位したときに支持部9の内周面の傾斜面13…と当接する線状の当接部3dを有するように構成する。当接部3dは重錘固定部7が位置する側から見た輪郭形状が円形になる形状を有している。支持部9の傾斜面13…と重錘3の当接部3dとにより重錘3が可撓部11側に変位する変位量の範囲を規制するストッパ構造を構成する。
【選択図】 図1
Description
3 重錘
3d 当接部
5 台座
7 重錘固定部
9 支持部
11 可撓部
13 傾斜面
Claims (6)
- 半導体結晶基板に異方性エッチングが施されて一体に形成され、中心部に重錘固定部を有し、外周部に筒状の支持部を有し、前記重錘固定部と前記支持部との間に可撓性を有する可撓部を有する半導体センサ本体と、
前記可撓部に形成された拡散抵抗により構成された加速度センサ素子と、
前記重錘固定部の中心を通り前記可撓部が延びる方向と直交する方向に延びる中心線上に中心が位置するように前記重錘固定部に固定された重錘とを具備し、
前記支持部の内周面が、切頭角錐形の内部空間の外周面に倣うように、同形状の4つの台形状の傾斜面が環状に組み合わされて構成されている半導体加速度センサであって、
前記重錘は前記重錘が前記可撓部側に最大限変位したときに前記内周面を構成する4つの傾斜面と当接する線状の当接部を有しており、
前記当接部は前記重錘固定部が位置する側から見た輪郭形状が円形になる形状を有しており、
前記支持部の内周面と前記当接部とにより前記重錘が前記可撓部側に変位する変位量の範囲を規制するストッパ構造が構成されており、
前記当接部と前記傾斜面との接触位置は、前記傾斜面の前記支持部の厚み方向の中央位置よりも前記支持部の底面側に位置していることを特徴とする半導体加速度センサ。 - 半導体結晶基板に異方性エッチングが施されて一体に形成され、中心部に重錘固定部を有し、外周部に筒状の支持部を有し、前記重錘固定部と前記支持部との間に可撓性を有する可撓部を有する半導体センサ本体と、
前記可撓部に形成された拡散抵抗により構成された加速度センサ素子と、
前記重錘固定部の中心を通り前記可撓部が延びる方向と直交する方向に延びる中心線上に中心が位置するように前記重錘固定部に固定された重錘とを具備し、
前記重錘固定部が前記筒状の支持部の内部空間内に突出しており、
前記重錘固定部を含む前記内部空間が、前記可撓部に向かって横断面形状が小さくなる切頭角錐形状を有しており、
前記支持部の内周面が、前記内部空間の外周面に添う4つの台形状の傾斜面から構成され、
前記重錘の少なくとも一部が前記内部空間内に位置する形状を有している半導体加速度センサであって、
前記重錘は、前記内部空間内に位置する部分に、前記重錘が前記可撓部側に最大限変位したときに前記内周面を構成する4つの傾斜面と当接する線状の当接部を有しており、
前記当接部は前記重錘固定部が位置する側から見た輪郭形状が円形になる形状を有しており、
前記支持部の内周面と前記当接部とにより前記重錘が前記可撓部側に変位する変位量の範囲を規制するストッパ構造が構成されており、
前記当接部と前記傾斜面との接触位置は、前記傾斜面の前記支持部の厚み方向の中央位置よりも前記支持部の底面側に位置していることを特徴とする半導体加速度センサ。 - 前記当接部が曲面の一部により形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体加速度センサ。
- 前記支持部が載せられる筒状の台座を更に備えており、
前記重錘は前記支持部内の前記内部空間と前記台座内の内部空間とに跨って2つの前記内部空間内に配置される形状を有している請求項1または2に記載の半導体加速度センサ。 - 前記支持部の前記内部空間内に位置する前記重錘の部分は、
前記可撓部に沿う方向に延びる第1の面と、前記支持部の前記内周面と交差する方向に延びる第2の面との交差部によって前記当接部を構成する形状を有している請求項1または2に記載の半導体加速度センサ。 - 前記重錘が、タングステンによって形成されている請求項1または2に記載の半導体加速度センサ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011208995A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Mitsutoyo Corp | 静電容量センサ |
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JPH05256869A (ja) * | 1992-03-12 | 1993-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体式加速度センサおよびその製造方法 |
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2009
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