JP2010012565A - ウエーハの研削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粗研削工程は粗研削ホイールの研削面の外周をチャックテーブル6に保持されたウエーハ15の中心から偏芯した位置に位置付けて実施することによりウエーハ15の中心部に未研削部を残存させ、仕上げ研削工程は仕上げ研削ホイールの研削面がチャックテーブル6に保持されたウエーハ15の中心を通過するように位置付けて実施することにより未研削部を研削する第1の仕上げ研削工程と、第1の仕上げ研削工程と継続して実施し未研削部が研削されたウエーハ15の全面を研削する第2の仕上げ研削工程を含んでいる。
【選択図】図7
Description
該粗研削工程は、該粗研削ホイールの研削面の外周を該チャックテーブルに保持されたウエーハの中心から偏芯した位置に位置付けて実施することにより、ウエーハの中心部に未研削部を残存させ、
該仕上げ研削工程は、該仕上げ研削ホイールの研削面が該チャックテーブルに保持されたウエーハの中心を通過するように位置付けて実施することにより該未研削部を研削する第1の仕上げ研削工程と、該第1の仕上げ研削工程と継続して実施し該未研削部が研削されたウエーハの全面を研削する第2の仕上げ研削工程を含んでいる、
ことを特徴とするウエーハの研削方法が提供される。
図示の実施形態における研削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。装置ハウジング2の図1において右上端には、静止支持板21が立設されている。この静止支持板21の前側面には、上下方向に延びる2対の案内レール22、22および23、23が設けられている。一方の案内レール22、22には粗研削手段としての粗研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されており、他方の案内レール23、23には仕上げ研削手段としての仕上げ研削ユニット4が上下方向に移動可能に装着されている。
第1のカセット7に収容された研削加工前の被加工物である半導体ウエーハ15は被加工物搬送手段12の上下動作および進退動作により搬送され、中心合わせ手段9に載置され6本のピン91の中心に向かう径方向運動により中心合わせされる。中心合わせ手段9に載置され中心合わせされた半導体ウエーハ15は、被加工物搬入手段13の旋回動作によって被加工物搬入・搬出域Aに位置付けられたチャックテーブル6の吸着保持チャック62上に載置される。そして、図示しない吸引手段を作動して、半導体ウエーハ15を吸着保持チャック62上に吸引保持する。次に、ターンテーブル5を図示しない回転駆動機構によって矢印5aで示す方向に120度回動せしめて、半導体ウエーハ15を載置したチャックテーブル6を粗研削加工域Bに位置付ける。
即ち、半導体ウエーハ15を保持したチャックテーブル6が粗研削加工域Bに位置付けられた状態においては、図4の(a)および(b)に示すように粗研削ホイール33を構成する複数個の粗研削砥石332の研削面332aの外周がチャックテーブル6に保持された半導体ウエーハ15の中心(P)から所定量(S)だけ偏芯した位置に位置付けられる。なお、上記偏芯量(S)は、1〜5mmでよい。
ここで、半導体ウエーハ15を保持したチャックテーブル6が仕上げ研削加工域Cに位置付けられた状態におけるチャックテーブル6に保持された半導体ウエーハ15と仕上げ研削ホイール43との関係について図6を参照して説明する。
即ち、半導体ウエーハ15を保持したチャックテーブル6が仕上げ研削加工域Cに位置付けられた状態においては、図6の(a)および(b)に示すように仕上げ研削ホイール43を構成する複数個の仕上げ研削砥石432の研削面432aがチャックテーブル6に保持された半導体ウエーハ15の中心(P)を通過するように位置付けられる。従って、仕上げ研削砥石432の研削面432aは、上述したように粗研削加工された半導体ウエーハ15の未研削部150を通過することになる。
3:粗研削ユニット
32:ホイールマウント
33:粗研削ホイール
331:砥石基台
332:粗研削砥石
4:仕上げ研削ユニット
42:ホイールマウント
43:仕上げ研削ホイール
431:砥石基台
432:仕上げ研削砥石
5:ターンテーブル
6:チャックテーブル
61:チャックテーブル本体
62:吸着保持チャック
7:第1のカセット
8:第2のカセット
9:中心合わせ手段
11:スピンナー洗浄手段
12:被加工物搬送手段
13:被加工物搬入手段
14:被加工物搬出手段
15:半導体ウエーハ
Claims (2)
- チャックテーブルの保持面にウエーハを保持し、該チャックテーブルを回転するとともに粗研削手段を構成する粗研削ホイールを回転しつつ該粗研削ホイールの研削面をウエーハの被研削面に接触させて粗研削する粗研削工程と、該粗研削工程が実施されたウエーハを保持した該チャックテーブルを回転するとともに仕上げ研削手段を構成する仕上げ研削ホイールを回転しつつ該仕上げ研削ホイールの研削面をウエーハの被研削面に接触させて仕上げ研削する仕上げ研削工程とを実施するウエーハの研削方法であって、
該粗研削工程は、該粗研削ホイールの研削面の外周を該チャックテーブルに保持されたウエーハの中心から偏芯した位置に位置付けて実施することにより、ウエーハの中心部に未研削部を残存させ、
該仕上げ研削工程は、該仕上げ研削ホイールの研削面が該チャックテーブルに保持されたウエーハの中心を通過するように位置付けて実施することにより該未研削部を研削する第1の仕上げ研削工程と、該第1の仕上げ研削工程と継続して実施し該未研削部が研削されたウエーハの全面を研削する第2の仕上げ研削工程を含んでいる、
ことを特徴とするウエーハの研削方法。 - 該第1の仕上げ研削工程における第1の研削送り速度は該粗研削工程における粗研削速度より速い速度に設定されており、該第2の仕上げ研削工程における第2の研削送り速度は該粗研削工程における粗研削速度より遅い速度に設定されている、請求項1記載のウエーハの研削方法。
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