JP2010008243A - 干渉測定方法および干渉計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定の参照面6aおよび平行平面板5の被測定面5aに、互いに干渉しない異なる波長を有する2種類の可干渉光を照射する第1のステップと、2種類の可干渉光が照射された参照面6aおよび被測定面5aからの反射光に基づいて形成される干渉縞を検出する第2のステップと、検出した干渉縞の光強度分布に基づいて被測定面5aの高さを測定する第3のステップとを有し、平行平面板5における被測定面5aと反対側の面5bからの反射光の影響を排除するように2種類の可干渉光における波長の関係および、参照面6aと被測定面5aとの間の光学距離を調整するようになっている。
【選択図】図1
Description
5 平行平面板(5a 被測定面、5b 裏面)
6 基準板(6a 参照面)
15 取り付け機構(第2の調整部)
20 照明部
21 第1の光源(周波数安定化レーザー)
24 第2の光源(波長可変レーザーおよび第1の調整部)
30 検出部 32 イメージセンサー
40 演算処理部
Claims (6)
- 所定の参照面および測定対象物である平行平面板の被測定面に、互いに干渉しない異なる波長を有する複数種の可干渉光を照射する第1のステップと、
前記複数種の可干渉光が照射された前記参照面および前記被測定面からの反射光に基づいて形成される干渉縞を検出する第2のステップと、
前記検出した干渉縞の光強度分布に基づいて前記被測定面の高さを測定する第3のステップとを有し、
前記第1のステップにおいて、前記平行平面板における前記被測定面と反対側の面からの反射光の影響を排除するように前記異なる波長同士の関係および前記参照面と前記被測定面との間の光学距離を調整した状態で、前記複数の可干渉光を照射することを特徴とする干渉測定方法。 - 前記複数種の可干渉光は2種類の可干渉光であり、
前記2種類の可干渉光のうち一方の波長をλ1としてk1=(2×π)/λ1とし、他方の波長をλ2としてk2=(2×π)/λ2とし、前記被測定面と前記反対側の面との間の光学距離をdonとし、任意の整数をMとしたとき、次式
(k2×don)=(k1×don)+π+(2×π×M)
の関係を満たすように前記異なる波長同士の関係を調整するとともに、
前記参照面と前記被測定面との間の光学距離をdroとし、任意の整数をNとしたとき、次式
(k2×dro)=(k1×dro)+(2×π×N)
の関係を満たすように前記参照面と前記被測定面との間の光学距離を調整することを特徴とする請求項1に記載の干渉測定方法。 - 前記第1のステップにおいて、前記2種類の可干渉光のうち一方を周波数安定化レーザーにより照射するとともに、他方を波長可変レーザーにより照射し、
前記波長可変レーザーを用いて前記異なる波長同士の関係を調整することを特徴とする請求項2に記載の干渉測定方法。 - 所定の参照面および測定対象物である平行平面板の被測定面に、互いに干渉しない異なる波長を有する複数種の可干渉光を照射する照明部と、
前記複数種の可干渉光が照射された前記参照面および前記被測定面からの反射光に基づいて形成される干渉縞を検出する検出部と、
前記検出部により検出された干渉縞の光強度分布に基づいて前記被測定面の高さを測定する測定部とを備え、
前記照明部は、前記平行平面板における前記被測定面と反対側の面からの反射光の影響を排除するように前記異なる波長同士の関係を調整する第1の調整部および、前記影響を排除するように前記参照面と前記被測定面との間の光学距離を調整する第2の調整部を有することを特徴とする干渉計。 - 前記複数種の可干渉光は2種類の可干渉光であり、
前記第1の調整部は、前記2種類の可干渉光のうち一方の波長をλ1としてk1=(2×π)/λ1とし、他方の波長をλ2としてk2=(2×π)/λ2とし、前記被測定面と前記反対側の面との間の光学距離をdonとし、任意の整数をMとしたとき、次式
(k2×don)=(k1×don)+π+(2×π×M)
の関係を満たすように前記異なる波長同士の関係を調整するとともに、
前記第2の調整部は、前記参照面と前記被測定面との間の光学距離をdroとし、任意の整数をNとしたとき、次式
(k2×dro)=(k1×dro)+(2×π×N)
の関係を満たすように前記参照面と前記被測定面との間の光学距離を調整することを特徴とする請求項4に記載の干渉計。 - 前記照明部は、前記2種類の可干渉光の光源として、前記2種類の可干渉光のうち一方を照射する周波数安定化レーザーと、他方を照射する波長可変レーザーとを有し、
前記第1の調整部は、前記波長可変レーザーを利用して前記異なる波長同士の関係を調整することを特徴とする請求項5に記載の干渉計。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN106595514A (zh) * | 2016-11-25 | 2017-04-26 | 中国商用飞机有限责任公司 | 薄壁件形貌检测装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004037165A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 干渉計装置 |
JP2004117037A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 干渉計装置の被検体位置調整方法 |
JP2005249576A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Nikon Corp | 干渉測定方法及び干渉計 |
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JP2004037165A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 干渉計装置 |
JP2004117037A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 干渉計装置の被検体位置調整方法 |
JP2005249576A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Nikon Corp | 干渉測定方法及び干渉計 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106595514A (zh) * | 2016-11-25 | 2017-04-26 | 中国商用飞机有限责任公司 | 薄壁件形貌检测装置 |
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