JP2010007835A - 能動型流体封入式防振装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加振部材と可動子の加振方向に直交する方向の位置ずれが許容されると共に、可動子の加振力が流体室に対して効率的に及ぼされて目的とする防振効果を得ることが出来る、新規な構造の能動型流体封入式防振装置を提供すること。
【解決手段】加振部材７２の加振方向に直交して広がる板ばね８０によって、加振部材７２を第二の取付部材１４に支持させる。固定子８６と可動子８８を備えた電磁式駆動手段８２を、可動子８８の駆動中心軸が加振部材７２の加振方向となるように配設する。可動子８８を加振部材７２に連結して駆動力を伝達する駆動力伝達部材１０２を設けて、駆動力伝達部材１０２と可動子８８の連結部に原動側ボールジョイント機構１０４を設けると共に、駆動力伝達部材１０２と加振部材７２の連結部に従動側ボールジョイント機構１１６を設けることにより、駆動力伝達部材１０２を加振部材７２および可動子８８に対して揺動変位可能に連結した。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば自動車のエンジンマウントやボデーマウント等に採用されて、内部に封入された非圧縮性流体の流動作用に基づいて防振効果を発揮する流体封入式防振装置に係り、特に非圧縮性流体が封入された流体室に対してアクチュエータの加振力を及ぼして流体室の圧力を制御することにより、能動的な防振効果を得るようにされた能動型流体封入式防振装置に関するものである。

従来から、振動伝達系を構成する部材間に介装される防振連結体や防振支持体等の防振装置の一種として、内部に非圧縮性流体を封入された流体封入式防振装置が知られている。この流体封入式防振装置は、例えば、防振連結すべき一方の部材に取り付けられる第一の取付金具と、他方の部材に取り付けられる第二の取付金具を、本体ゴム弾性体で相互に連結した構造を有している。更に、流体封入式防振装置には、壁部の一部を本体ゴム弾性体で構成されて非圧縮性流体を封入された流体室が形成されており、流体室に封入された流体の流動作用等を利用して防振効果が発揮されるようになっている。

また、より高度な防振性能を実現する手段として、流体室の壁部の一部を加振板で構成して、加振板をアクチュエータで加振変位させて流体室の圧力を制御することにより、入力振動を相殺的に低減させるようにした能動型の流体封入式防振装置も提案されている。このような能動型流体封入式防振装置は、自動車用エンジンマウント等への適用が検討されており、例えば、特許文献１や特許文献２等に記載のものが、それである。

ところで、このような能動型流体封入式防振装置では、製造工程上の理由等から、アクチュエータが、流体室および加振板を備えた防振装置本体とは別に形成される。そして、加振板とアクチュエータの出力部材が連結ロッドを介して連結されるようになっている。

しかし、このように別体とされた防振装置本体とアクチュエータを連結ロッドによって後から連結固定する構造では、寸法誤差や組付け誤差等による防振装置本体とアクチュエータの相対的な位置のずれが問題となる。特に加振方向に対して直交する方向で位置ずれが生じると、防振装置本体とアクチュエータの連結作業が困難となったり、アクチュエータの加振力を流体室に対して効率的に作用させることが難しくなって、目的とする防振効果を得ることが出来なくなるおそれがあった。

なお、このような問題に対して、例えば特許文献３に示されているように、連結ロッドをアクチュエータの出力部材に対して首振り可能に連結することにより、防振装置本体とアクチュエータの相対的な位置ずれに対応することも考えられる。即ち、特許文献３の構造では、連結ロッド（連結ロッド３９）の上端部を加振板としてのゴム弾性板（第２弾性体１８）によって第二の取付金具（外筒１３）で弾性的に支持させると共に、連結ロッドの下端部をコイルスプリング（コイルばね４１）で支持させることにより、連結ロッドの傾動が許容されている。

しかし、このような構造では、連結ロッドに取り付けられたアクチュエータの可動子が、連結ロッドと共に傾動させられることから、可動子の固定子に対する引っ掛かりや摺動抵抗の増加が問題となり易く、可動子と固定子の当接による傷や磨耗によって耐久性が低下したり、動作不良によって防振性能が低下するおそれがある。

さらに、連結ロッドの上端部がゴム弾性板を介して第二の取付金具で支持されていることから、可動子の加振力が傾斜した連結ロッドに及ぼされると、加振力の分力によって、連結ロッドの上端部が加振方向に対して直交する方向に変位せしめられる。その結果、連結ロッドの加振変位が不規則となって、軸方向加振力の伝達効率が低下し、加振力の作用によって発揮されるべき防振効果が不十分なものとなるおそれがある。特に、ゴム弾性板を加振する際に、繰返し首振りが発生することにより共振状態となって、首振り変位が大きくなるおそれもある。

さらに、加振時において、ゴム弾性板が加振方向に直交する方向で弾性変形させられることから、繰返し入力される歪みによって、ゴム弾性板の耐久性が低下したり、弾性変形によるエネルギーの発散によって、充分な加振力が得られ難いといった問題があった。

特開平６−２６４９５５号公報 特開平１１−３５１３１３号公報 特許３７３６９９１号公報

ここにおいて、本発明は、上述の如き事情を背景として為されたものであって、その解決課題とするところは、加振部材の加振方向に対して直交する方向において加振部材と可動子の位置のずれが許容されると共に、可動子の加振力が加振部材に対して効率的に伝達されて流体室に及ぼされることで、目的とする防振効果を得ることが出来る、新規な構造の能動型流体封入式防振装置を提供することにある。

以下、このような課題を解決するために為された本発明の態様を記載する。なお、以下に記載の各態様において採用される構成要素は、可能な限り任意な組み合わせで採用可能である。また、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに限定されることなく、明細書全体および図面に記載されたもの、或いはそれらの記載から当業者が把握することの出来る発明思想に基づいて認識されるものであることが理解されるべきである。

すなわち、本発明は、第一の取付部材と第二の取付部材が本体ゴム弾性体で相互に連結されていると共に、壁部の一部を本体ゴム弾性体で構成されて非圧縮性流体を封入された流体室が形成されて、流体室の壁部の一部が加振部材で構成されていると共に、加振部材に駆動力を及ぼして加振変位させるアクチュエータが加振部材を挟んで流体室と反対側に配設されている能動型流体封入式防振装置において、アクチュエータによる加振部材の加振変位方向に対して直交する方向に広がる板ばねを採用し、板ばねによって加振部材を第二の取付部材に対して支持せしめる一方、第二の取付部材に対して固定されたコイルを含む固定子と、コイルへの通電により一軸上で駆動せしめられる可動子とを備えた電磁式駆動手段をアクチュエータとして採用して、可動子の駆動中心軸が加振部材の加振方向となるように電磁式駆動手段を配すると共に、電磁式駆動手段における可動子を加振部材に連結して可動子に生ぜしめられる駆動力を加振部材に伝達する駆動力伝達部材を設け、駆動力伝達部材の可動子に対する取付部位に原動側ボールジョイント機構を設けると共に、駆動力伝達部材の加振部材に対する取付部位に従動側ボールジョイント機構を設けて、駆動力伝達部材の加振部材および可動子に対してそれぞれ揺動変位可能に連結せしめたことを特徴とする。

このような本態様に従う構造の能動型流体封入式防振装置においては、駆動力伝達部材が、ボールジョイント機構によって、加振部材と可動子に対してそれぞれ揺動変位可能に連結されている。これにより、駆動力伝達部材が傾斜することによって、加振部材と可動子の相対的な位置のずれが、加振部材の加振方向に対して直交する方向で許容されるようになっている。従って、部品の寸法誤差や組立て時の製造誤差等による組付け不良や動作不良等の不具合を防止することが出来る。

さらに、加振部材が板ばねによって加振方向に対して直交する方向で位置決めされていると共に、アクチュエータが電磁式駆動手段とされていることによって可動子が同方向で位置決めされている。それ故、加振部材と可動子の相対的な位置のずれに起因する、それら加振部材および可動子の傾動を防ぐことが出来て、加振部材および可動子の引っ掛かりと、それに伴う異音の発生や耐久性の低下を回避することが出来る。

しかも、加振部材とアクチュエータが何れも加振方向に直交する方向で位置決めされていることから、加振力の作用による駆動力伝達部材の傾動を防いで、加振部材を軸方向で効率的に加振変位させることが出来る。それ故、加振力の効率的な作用によって、目的とする防振効果を有効に得ることが出来る。

また、本発明に係る能動型流体封入式防振装置においては、加振部材を硬質のピストン部材で構成する一方、ピストン部材の周囲でピストン部材の加振方向に延びる筒状案内面を備えたシリンダ部材を、第二の取付部材に対して固定的に設けて、電磁式駆動手段による駆動によって、ピストン部材がシリンダ部材の筒状案内面に沿って加振変位されるようにすることが望ましい。

このように、加振部材を硬質のピストン部材で構成することにより、加振力が加振部材の変形によって吸収されることなく、流体室に対して効率的に及ぼされて、目的とする防振効果を有効に得ることが出来る。しかも、ピストン部材の周囲に対して、ピストン部材の加振方向に延びる筒状案内面を備えたシリンダ部材を設けることにより、硬質とされたピストン部材の周囲を通じて流体が流動するのを防いで、液圧の逃げによる防振性能の低下を防止することが出来る。

なお、シリンダ部材は、第二の取付部材とは別体とされて、第二の取付部材によって直接的または他部材を介して間接的に固定支持されていても良いし、第二の取付部材の一部を利用して構成されていても良い。

さらに、本発明に係る能動型流体封入式防振装置においては、本体ゴム弾性体とシリンダ部材の対向面間に隔壁部材が配設されており、流体室が隔壁部材を挟んで二分されて、隔壁部材を挟んだ両側に壁部の一部を本体ゴム弾性体で構成された受圧室と壁部の一部を加振部材で構成された加振室とが形成されていると共に、隔壁部材には受圧室と加振室を相互に連通させる通孔が形成されていても良い。

本態様によれば、振動入力によって圧力変動が及ぼされる受圧室と、加振部材からの加振力が及ぼされる加振室が、流体室を仕切る隔壁部材を挟んだ両側に形成されて、それら受圧室と加振室が通孔を通じて連通されている。これにより、例えば、衝撃的な大荷重の入力に際して、加振室の壁部の一部を構成する加振部材に対して、大荷重が直接的に及ぼされるのを回避することが出来る。それ故、過大な荷重の作用によって、電磁式駆動手段が損傷するのを防ぐことが出来て、耐久性の向上を実現出来る。

更にまた、本発明に係る能動型流体封入式防振装置においては、シリンダ部材を挟んで加振室と反対側には壁部の一部を可撓性膜で構成されて非圧縮性流体を封入された平衡室が形成されていると共に、受圧室と平衡室を相互に連通するオリフィス通路が形成されていても良い。

これによれば、加振部材によって流体室に加振力を及ぼすことによる相殺的な防振効果に加えて、オリフィス通路を通じて受圧室と平衡室の間を流動せしめられる流体の共振作用等に基づいた防振効果が発揮されることとなる。それ故、より優れた防振性能を実現することが可能となり、例えば、周波数が異なる複数の振動に対して何れも有効な防振効果を得ることが出来る。

また、本発明に係る能動型流体封入式防振装置では、電磁式駆動手段において、可動子が加振変位方向に延びる筒状外周面を有していると共に、可動子の筒状外周面を案内する筒状内周面を備えたガイド部材が設けられていることが望ましい。

このような構造によれば、ガイド部材の案内作用によって可動子の加振変位を許容しつつ、ガイド部材と可動子の当接によって加振変位方向に直交する方向での変位が制限される。それ故、可動子の傾動や加振変位方向に直交する方向への変位が防止されて、目的とする加振力を安定して得ることが出来ると共に、かじり（引っ掛かり）による異音の発生や耐久性の低下，作動不良等を防止することが出来る。

なお、筒状内周面は、固定子に直接形成されていても良いし、固定子とは別体のガイド部材を設けてその内周面で構成されていても良い。筒状内周面が固定子に直接形成されている場合には、ガイド部材が固定子によって構成されて、部品点数を少なくすることが出来る。一方、固定子とは別体のガイド部材を設ける場合には、ガイド部材の材質の選択自由度を高めることが出来て、可動子とガイド部材の間の摺動抵抗を低減させることが出来る。更に、高精度な筒状内周面を容易に形成することが出来て、可動子の筒状外周面に対する案内作用を効果的に発揮させることが可能となる。

以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。

図１には、本発明に係る能動型流体封入式防振装置の一実施形態として、自動車用エンジンマウント１０が示されている。このエンジンマウント１０は、マウント本体１１を含んで構成されている。更に、マウント本体１１は、第一の取付部材としての第一の取付金具１２と第二の取付部材としての第二の取付金具１４を本体ゴム弾性体１６で相互に連結した構造を有している。そして、第一の取付金具１２がパワーユニットに取り付けられると共に、第二の取付金具１４が車両ボデーに取り付けられることにより、パワーユニットを車両ボデーに対して防振支持せしめるようになっている。なお、以下の説明中、上下方向とは、原則として中心軸方向である図１中の上下方向を言うものとする。また、車両への装着下、エンジンマウント１０には、パワーユニットの分担荷重が中心軸方向に及ぼされて、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４が相互に接近するように本体ゴム弾性体１６が弾性変形せしめられるようになっている。

より詳細には、第一の取付金具１２は、逆向きの略円錐台形状を呈する固着部１８と、固着部１８の上端部において外周側に突出するフランジ部２０と、固着部１８の上端面から上方に向かって突出する取付部２２とを一体的に備えた構造となっている。また、取付部２２には螺子穴２４が形成されており、螺子穴２４に螺着される図示しない取付用ボルトによって、第一の取付金具１２が自動車のパワーユニットに取り付けられるようになっている。

一方、第二の取付金具１４は、大径の略円筒形状を有しており、その下端近くにおいて外周側に広がる段差部２６が形成されている。更に、この段差部２６の外周縁部には、下方に向かって延び出す円筒形状のかしめ部２８が一体形成されている。また、第二の取付金具１４には、ブラケット３０が嵌着固定されている。ブラケット３０は、筒形取付部３２の外周面に複数の固定脚部３４が溶着されて下方に延び出した構造となっており、筒形取付部３２の下端部が第二の取付金具１４に対して外嵌固定されている。そして、ブラケット３０の各固定脚部３４に形成された取付孔に挿通される図示しない固定ボルトにより、ブラケット３０ひいては第二の取付金具１４が車両ボデーに固定されるようになっている。なお、本実施形態では、筒形取付部３２の上端縁部に一体形成された内フランジ状のストッパ部３６が、第一の取付金具１２のフランジ部２０と軸方向で対向位置せしめられており、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４の軸方向の相対変位を制限するリバウンドストッパが構成されている。

また、これら第一の取付金具１２と第二の取付金具１４は、本体ゴム弾性体１６によって連結されている。本体ゴム弾性体１６は略円錐台形状とされており、その小径側端部に対して第一の取付金具１２の固着部１８が所定深さで埋められた状態で加硫接着されている一方、第二の取付金具１４が本体ゴム弾性体１６の大径側端部外周面に加硫接着されている。なお、第一の取付金具１２のフランジ部２０が本体ゴム弾性体１６の小径側端面に重ね合わされて固着されていると共に、フランジ部２０の上面に対して、本体ゴム弾性体１６と一体形成された緩衝ゴムが被着形成されている。また、本体ゴム弾性体１６の大径側端面には、逆向きの略すり鉢状乃至は半球状の大径凹所３８が形成されている。

また、第二の取付金具１４には、可撓性膜としてのダイヤフラム４２が組み付けられている。ダイヤフラム４２は、薄肉の略円板形状を有するゴム弾性膜で形成されており、第二の取付金具１４の下側開口部に組み付けられて、その開口部を蓋している。これにより、第二の取付金具１４内には、外部空間に対して密閉されて非圧縮性流体が封入された流体封入領域４４が形成されている。なお、封入流体としては、水やアルキレングリコール等の低粘性流体が好適に採用される。

また、流体封入領域４４には、仕切部材４６が配設されている。仕切部材４６は、シリンダ部材としての仕切部材本体４８と隔壁部材としての蓋板５０を含んで構成されている。仕切部材本体４８は、厚肉の略円板形状を有する硬質の部材であって、径方向中央部分が下方に突出して厚肉となっている。また、仕切部材本体４８の径方向中間部分には、上面に開口して周方向に半周程度の長さで延びる周溝５２が形成されている。一方、蓋板５０は、薄肉の円板形状を有しており、仕切部材本体４８の上面に重ね合わされて固定されている。

そして、仕切部材本体４８と蓋板５０を備えた仕切部材４６は、本体ゴム弾性体１６とダイヤフラム４２の軸方向対向面間に配置されて、第二の取付金具１４のかしめ部２８によってかしめ固定されている。これにより、流体封入領域４４が仕切部材４６を挟んで上下に二分されており、仕切部材４６を挟んだ上側に対して、壁部の一部を本体ゴム弾性体１６で構成された受圧室５４が形成されていると共に、仕切部材４６を挟んだ下側に対して、壁部の一部をダイヤフラム４２で構成された平衡室５６が形成されている。

さらに、仕切部材本体４８に形成された周溝５２の開口部が蓋板５０によって蓋されていると共に、周溝５２の両端部が、蓋板５０に形成された上側連通孔５８と仕切部材本体４８に形成された下側連通孔６０とを通じて、受圧室５４と平衡室５６に接続されている。これにより、周方向に所定の長さで延びて受圧室５４と平衡室５６を相互に連通するオリフィス通路６２が形成されている。なお、本実施形態では、オリフィス通路６２が、エンジンシェイクに相当する低周波数にチューニングされている。

また、仕切部材本体４８には、径方向中央部分において上面に開口する円形の中央凹所６４が形成されている。そして、中央凹所６４の開口部が蓋板５０によって蓋されることにより、受圧室５４と蓋板５０を挟んだ反対側に加振室としての中間室６６が形成されている。この中間室６６は、内部に非圧縮性流体を封入されており、蓋板５０を板厚方向に貫通する複数の通孔６８を通じて受圧室５４に連通されている。なお、受圧室５４と中間室６６によって本実施形態における流体室が構成されており、流体室が蓋板５０によって受圧室５４と中間室６６に二分されている。

また、仕切部材本体４８の径方向中央部分には、中央凹所６４の底壁部を軸方向に貫通する中央孔７０が形成されている。この中央孔７０は、略一定の円形断面を有しており、中間室６６と平衡室５６を連通するように貫通形成されている。また、中央孔７０が形成されていることによって、仕切部材本体４８が環状となっており、筒状の内周面によって本実施形態における筒状案内面が構成されている。

さらに、中央孔７０には、加振部材としての加振板７２が配設されている。加振板７２は、外周側に向かって下傾するテーパ形状を有していると共に、外周縁部には上方に向かって突出する筒状案内部７３が一体形成されている。このような加振板７２が中央孔７０に配置されていることにより、平衡室５６と中間室６６が加振板７２で隔てられており、中間室６６の壁部の一部が加振板７２で構成されている。なお、本実施形態では、加振板７２が、鉄やアルミニウム合金等の金属や硬質の合成樹脂、ゴム等によって形成された硬質のピストン部材となっている。

また、加振板７２には、連結金具７４が取り付けられている。連結金具７４は、その上端部が加振板７２の中央部分に下方から重ね合わされて固定されている。さらに、連結金具７４の軸方向中間部分には、外周側に向かって広がる固着フランジ７６が一体形成されており、ダイヤフラム４２の中央部分に固着されている。更に、連結金具７４には、下方に向かって突出する略筒状の把持筒部７８が一体形成されている。この把持筒部７８の内周側には、球状の内周面を有して下方に向かって開口する嵌合凹所７９が形成されている。

さらに、連結金具７４の上端部には、板ばね８０が取り付けられている。本実施形態において、板ばね８０は、略円板形状の金属ばねを複数積層させた構造となっている。また、図中必ずしも明らかではないが、板ばね８０には、板厚方向に貫通するスリットが形成されている。このスリットは、例えば、特許３８７３６１８号公報の図２に示されているような構造であって、積層された各板ばね８０のスリットが相互に連通されることにより、板ばね８０を挟んだ両側がスリットを通じて一つの中間室６６として機能するようになっている。

この板ばね８０は、中間室６６において略軸直角方向に広がるように配設されており、その径方向中央部分が連結金具７４の上端面に重ね合わされて固定されていると共に、外周部分が中央孔７０の上側周縁部において仕切部材４６に固定されている。これにより、連結金具７４が板ばね８０を介して仕切部材４６ひいては第二の取付金具１４によって支持されている。そして、連結金具７４が、板ばね８０の板厚方向への弾性変形によって軸方向の変位を許容されていると共に、軸直角方向で所定の位置に位置決めされている。

なお、連結金具７４が板ばね８０で軸直角方向に位置決めされていることにより、連結金具７４に固定された加振板７２が軸直角方向に位置決めされており、加振板７２が中央孔７０と同一中心軸上に配置されている。特に本実施形態では、加振板７２の中央孔７０への配設下、加振板７２の外周面と中央孔７０の内周面の間には、全周に亘って微小な隙間が形成されている。

また、かくの如き構造とされたマウント本体１１の下方には、電磁式駆動手段としての電磁式アクチュエータ８２が配設されている。電磁式アクチュエータ８２は、ダイヤフラム４２よりも下方に配設されており、略カップ形状の強磁性材で形成されたハウジング８４と、ハウジング８４に固定された固定子としての磁極形成部材８６と、磁極形成部材８６に対して軸方向に駆動変位せしめられる可動子としてのアーマチャ８８を含んで構成されている。

より詳細には、磁極形成部材８６は、コイル９０を備えている。コイル９０は、非磁性材で形成されたボビンに巻き付けられてハウジング８４に固定されている。そして、図示しない外部の電源装置からコイル９０に対して通電されることにより、磁界が形成されるようになっている。また、コイル９０には、上ヨーク金具９２が取り付けられている。上ヨーク金具９２は、強磁性材で形成されて、コイル９０の上面および内周面に重ね合わされていると共に、外周縁部がハウジング８４の内周面に当接している。更に、コイル９０には、下ヨーク金具９４が取り付けられている。下ヨーク金具９４は、略環状の強磁性材で形成されて、コイル９０の下面内周部分に重ね合わされており、ハウジング８４の底壁中央部分に形成された円形孔に嵌め込まれている。そして、ハウジング８４と上下ヨーク金具９２，９４によって磁路が形成されており、コイル９０への通電によって、上ヨーク金具９２の内周下端部と下ヨーク金具９４の内周上端部に、それぞれ磁極が形成されるようになっている。

なお、これら上下のヨーク金具９２，９４は、環状のゴム弾性体で形成されたスペーサを軸方向間に挟んで配置されている。また、本実施形態では、下ヨーク金具９４の中央の孔を塞ぐようにゴム層を有するストッパ部材９６が配設されている。以上によって、本実施形態の磁極形成部材８６が形成されている。

また、磁極形成部材８６における上ヨーク金具９２の内周側には、アーマチャ８８が配設されている。アーマチャ８８は、強磁性材で形成されており、軸方向に延びる筒状外周面を備えた略円筒形状を有している。更に、アーマチャ８８は、磁極形成部材８６に対して軸方向に相対変位可能な態様で配設されていると共に、下ヨーク金具９４に対して所定の隙間を隔てて軸方向上側に配置されている。

また、上ヨーク金具９２とアーマチャ８８の径方向間には、ガイド部材としての案内筒部材９８が配設されている。案内筒部材９８は、内周面がアーマチャ８８の外周面に対応する筒状内周面とされた薄肉の略円筒形状を有しており、その上端部が内周側に向かって屈曲せしめられていると共に、下端部が外周側に屈曲せしめられている。そして、下端部が上ヨーク金具９２とスペーサの間に挟持されて、上ヨーク金具９２の内周側に配置されており、案内筒部材９８の内周側にアーマチャ８８が挿入配置されている。これにより、アーマチャ８８は、案内筒部材９８の案内作用によって軸方向への変位が許容されていると共に、軸直角方向への変位が案内筒部材９８との当接によって制限乃至は阻止されている。なお、特に限定されるものではないが、案内筒部材９８の内周面は摩擦抵抗が小さくなっていることが望ましく、例えば、摺動性に優れた合成樹脂で形成されたり、案内筒部材９８の内周面にグリースが塗布される等して摩擦係数が抑えられている。

そして、図示しない電源装置からコイル９０に通電されることにより、上ヨーク金具９２の内周縁部下端と、下ヨーク金具９４の内周縁部に対して、磁極が形成されるようになっている。この磁極によって、強磁性材で形成されたアーマチャ８８が吸引されて、下方に駆動変位せしめられるようになっている。これにより、コイル９０への通電によって、アーマチャ８８に対して軸方向下向きの駆動力を及ぼす電磁式アクチュエータ８２が構成されている。

このような構造とされた電磁式アクチュエータ８２は、ダイヤフラム４２の下方に配置されて、ハウジング８４の上端に設けられた取付用フランジ１００が、第二の取付金具１４のかしめ部２８でかしめ固定されることにより、マウント本体１１に対して取り付けられている。かかる配設下、電磁式アクチュエータ８２のアーマチャ８８の駆動方向が、加振板７２の加振方向であるマウント軸方向となっている。

かくの如きマウント本体１１と電磁式アクチュエータ８２の組付下、マウント本体１１の連結金具７４と、電磁式アクチュエータ８２のアーマチャ８８が、軸方向に所定距離を隔てて対向配置されており、駆動力伝達部材としての連結ロッド１０２によって相互に連結されている。連結ロッド１０２は、軸方向に直線的に延びる硬質軸状の部材とされている。そして、連結ロッド１０２の上端部が連結金具７４に取り付けられると共に、下部がアーマチャ８８に取り付けられることにより、それら連結金具７４とアーマチャ８８が連結ロッド１０２によって相互に連結されている。

そして、電磁式アクチュエータ８２の駆動力が、連結ロッド１０２を介して連結金具７４ひいては加振板７２に伝達されるようになっている。更に、コイル９０への通電と非通電の切換えを繰り返すことによって、連結金具７４が軸方向に微小振幅で加振されるようになっている。即ち、コイル９０に通電されて連結金具７４が下方に引き込まれると、連結金具７４に固定された板ばね８０が弾性変形せしめられる。その後、コイル９０への通電が停止すると、連結金具７４の下方への引込みが解除されて、連結金具７４が板ばね８０の弾性力に基づいて上方に変位せしめられる。これらを交互に繰り返すことで、連結金具７４とそれに固定された加振板７２が軸方向に加振変位されるようになっている。なお、本実施形態では、加振板７２が仕切部材本体４８の中央孔７０に嵌め込まれており、電磁式アクチュエータ８２の加振力によって、加振板７２が中央孔７０で案内されて軸方向に加振変位せしめられるようになっている。

ここにおいて、連結ロッド１０２とアーマチャ８８の接続部位には、原動側ボールジョイント機構としての第一のボールジョイント１０４が設けられている。この第一のボールジョイント１０４は、内側ボール部材１０６と外側把持部材１０８を含んで構成されている。内側ボール部材１０６は、略球形の硬質部材であって、径方向一方向に貫通するロッド挿通孔１１０を有している。一方、外側把持部材１０８は、略筒形状を有しており、内周面が内側ボール部材１０６の表面形状に対応する球状面とされている。そして、内側ボール部材１０６が外側把持部材１０８の内周側に嵌め込まれることにより、第一のボールジョイント１０４が構成されている。かかる構造とされた第一のボールジョイント１０４では、内側ボール部材１０６の外周面が外側把持部材１０８の内周面で案内されることにより、内側ボール部材１０６の外側把持部材１０８に対する相対回転が許容されており、内側ボール部材１０６のロッド挿通孔１１０が軸方向に対して傾動可能とされている。

この第一のボールジョイント１０４は、外側把持部材１０８がアーマチャ８８の内周側に挿入されると共に、アーマチャ８８の内周側に固定されるリング状の固定金具１１２によって軸方向で支持されて、アーマチャ８８に対して取り付けられている。更に、内側ボール部材１０６のロッド挿通孔１１０に対して連結ロッド１０２が挿通されており、連結ロッド１０２の下端に螺着されるナット１１４によって内側ボール部材１０６が連結ロッド１０２に取り付けられている。これらによって、第一のボールジョイント１０４は、アーマチャ８８と連結ロッド１０２を相互に連結するように配設されている。

一方、連結ロッド１０２と連結金具７４の接続部位には、従動側ボールジョイント機構としての第二のボールジョイント１１６が設けられている。第二のボールジョイント１１６は、連結ロッド１０２の上端部に一体形成された略球形の上端球状部１１８が、連結金具７４の嵌合凹所７９に対して嵌め込まれて構成されている。そして、上端球状部１１８の外周面が嵌合凹所７９の内周面で案内されて、上端球状部１１８の把持筒部７８に対する相対的な揺動変位が許容されている。

なお、本実施形態では、上端球状部１１８を把持筒部７８に対して嵌め付けた後で、それら上端球状部１１８と把持筒部７８の間に硬質の合成樹脂層１１７が形成されている。これにより、連結ロッド１０２と連結金具７４のガタツキが抑えられていると共に、合成樹脂層１１７の成形時の収縮によって連結ロッド１０２が連結金具７４に対して揺動可能に取り付けられて、合成樹脂層１１７の内周面によって摺動面が形成されることによりボールジョイント機構が実現されている。この合成樹脂層１１７としては、表面における摩擦抵抗の小さい材料が望ましい。

このように、連結ロッド１０２がアーマチャ８８と連結金具７４に対してそれぞれ揺動可能に取り付けられていることにより、連結ロッド１０２の傾動によってアーマチャ８８と連結金具７４の軸直角方向での相対的な位置ずれが許容されるようになっている。

また、連結ロッド１０２の下側が第一のボールジョイント１０４でアーマチャ８８に対して揺動可能に取り付けられていると共に、連結ロッド１０２の上側が第二のボールジョイント１１６で連結金具７４に対して揺動可能に取り付けられている。しかも、連結ロッド１０２が取り付けられたアーマチャ８８と連結金具７４が、何れも軸直角方向に位置決めされている。即ち、アーマチャ８８は、磁極形成部材８６によって固定支持された案内筒部材９８の内周側に配置されていることにより、軸直角方向への変位が制限されている。一方、連結金具７４は、軸直角方向に広がる板ばね８０で支持されていることにより、軸直角方向への変位が制限されている。その結果、コイル９０への通電によってアーマチャ８８に及ぼされる軸方向の駆動力が、連結金具７４に対して効率的に伝達されて、連結金具７４に取り付けられた加振板７２によって中間室６６に及ぼされる軸方向の加振力を効果的に得ることが出来る。

このような構造とされたエンジンマウント１０の車両への装着下、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４の間に、エンジンシェイクに相当する低周波振動が入力されると、オリフィス通路６２を通じて受圧室５４と平衡室５６の間で積極的な流体流動が生ぜしめられる。それ故、流体の共振作用等の流動作用に基づいて、入力振動に対する有効な防振効果（高減衰効果）が発揮される。

一方、オリフィス通路６２のチューニング周波数よりも高周波数のアイドリング振動や走行こもり音に相当する中乃至高周波振動が入力された場合には、入力振動の周波数に応じて電磁式アクチュエータ８２の作動が制御されて、加振板７２が軸方向に加振駆動されるようになっている。そして、通孔６８を通じて受圧室５４に連通された中間室６６に対して加振力が及ぼされて、入力振動が加振板７２によって及ぼされる加振力で相殺されることにより、目的とする防振効果（低動ばね効果）を有効に得ることが出来る。

そこにおいて、エンジンマウント１０では、加振板７２に固定された連結金具７４と、電磁式アクチュエータ８２のアーマチャ８８が、軸直角方向にずれて位置せしめられている場合にも、アーマチャ８８に及ぼされた加振力が、加振板７２に対して効率的に伝達されて、目的とする防振効果が発揮されるようになっている。

すなわち、連結ロッド１０２が連結金具７４およびアーマチャ８８に対して揺動可能に取り付けられており、更に、連結金具７４が板ばね８０によって軸直角方向で位置決めされていると共に、アーマチャ８８が案内筒部材９８に嵌め込まれて軸直角方向で位置決めされている。これらにより、連結ロッド１０２の傾斜によって連結金具７４に及ぼされる軸直角方向の分力に起因して、加振板７２が不規則に変位せしめられるのを防ぐことが出来る。それ故、目的とする軸方向の加振を効率的に実現することが出来るのである。更に、連結金具７４が金属製の板ばね８０で軸直角方向に位置決めされていることにより、優れた耐久性と耐荷重性を実現することが出来る。

しかも、連結金具７４が、アーマチャ８８との相対的な軸直角方向位置に拘らず所定の位置に配置されて、外力の作用によっても軸直角方向で所定の位置に保持されるようになっている。それ故、連結金具７４に取り付けられる加振板７２を硬質とした場合にも、加振板７２が中央孔７０の内周面に押し付けられたり引っ掛かったりするのを防ぐことが出来る。その結果、加振板７２を硬質とすることによって安定した加振力を得ることが出来ると共に、作動不良やカジリによる異音の発生等を防ぐことが出来る。

さらに、加振板７２の軸直角方向での位置を高精度に設定出来ることから、硬質とされた加振板７２の外周面と仕切部材４６の内周面との対向面間距離を、作動不良や異音の問題を回避しつつ、充分に小さく設定することが可能である。その結果、加振板７２と仕切部材４６の間を通じた中間室６６と平衡室５６の連通が実質的に防止されて、防振性能の低下を防ぐことが出来る。しかも、本実施形態では、加振板７２の外周縁部に略円筒形状の筒状案内部７３を設けると共に、筒状案内部７３と中央孔７０の内周面を僅かな隙間で対向するように位置させている。それ故、加振板７２と仕切部材４６の隙間の流動抵抗が大きくなっており、該隙間を通じた中間室６６と平衡室５６の連通がより一層効果的に防止されている。

更にまた、連結ロッド１０２が、連結金具７４とアーマチャ８８のそれぞれに対して、第一，第二のボールジョイント１０４，１１６を介して揺動可能に取り付けられている。これにより、連結金具７４やアーマチャ８８が、連結金具７４とアーマチャ８８の軸直角方向での相対的な位置ずれによって傾斜するのを防ぐことが出来る。それ故、連結金具７４に対して固着されたダイヤフラム４２の耐久性低下や、アーマチャ８８の案内筒部材９８への引っ掛かり等を防ぐことが出来る。

また、連結ロッド１０２が、連結金具７４およびアーマチャ８８に対して揺動可能に取り付けられていることにより、連結ロッド１０２の傾斜によって連結金具７４とアーマチャ８８の軸直角方向での位置ずれが許容されるようになっている。これにより、受圧室５４および中間室６６を備えたマウント本体１１と、加振板７２を加振変位させる電磁式アクチュエータ８２との組付けに際して、それらマウント本体１１と電磁式アクチュエータ８２の組付け位置が、部品の寸法誤差や組付立て作業時の誤差等によって軸直角方向で所定の位置からずれた場合にも、連結金具７４とアーマチャ８８の連結ロッド１０２による連結を不具合なく実現することが出来る。

また、第一，第二のボールジョイント１０４，１１６によって、連結ロッド１０２が連結金具７４およびアーマチャ８８に対して中心軸回りでの相対回転を許容されている、これにより、連結ロッド１０２が連結金具７４に対して捻られた場合に、捻り方向の力が連結金具７４に伝達されるのを抑えることが出来る。それ故、連結ロッド１０２に作用する捻り方向の力によってダイヤフラム４２が損傷するのを防ぐことが出来る。

また、本実施形態では、アーマチャ８８を案内する案内筒部材９８が、磁極形成部材８６とは別体の部材とされて、磁極形成部材８６に取り付けられている。それ故、案内筒部材９８の材質が制限されるのを回避して、摺動性に優れた（摺動抵抗が小さい）材料で案内筒部材９８を形成することが出来る。その結果、アーマチャ８８の軸方向への加振駆動が効率的に実現されて、有効な加振力を得ることが出来る。更に、アーマチャ８８を軸方向に案内する案内筒部材９８を特別に設けることで、案内筒部材９８の筒状内周面として、凹凸の少ない滑らかな面を容易に且つ高精度に形成することが出来る。それ故、アーマチャ８８の摺動抵抗を効果的に低減させることが出来る。

また、本実施形態では、振動入力に際して圧力変動が及ぼされる受圧室５４と、電磁式アクチュエータ８２によって加振力が及ぼされる中間室６６が、蓋板５０を隔てて形成されており、蓋板５０に貫通形成された通孔６８を通じてそれら両室５４，６６が相互に連通されている。これにより、突起の乗越え等によって受圧室５４に衝撃的な大荷重が入力された際に、入力荷重の加振板７２に対する直接的な作用が防がれるようになっている。それ故、大荷重の作用による電磁式アクチュエータ８２の損傷を防いで、耐久性の向上を図ることが出来る。

以上、本発明の一実施形態について説明してきたが、これはあくまでも例示であって、本発明は、かかる実施形態における具体的な記載によって、何等、限定的に解釈されるものではない。

例えば、前記実施形態では、加振部材として硬質の加振板７２が示されているが、加振部材は、加振室（中間室６６）に対して加振力を及ぼすようになっていれば良く、必ずしも硬質の部材に限定されるものではない。具体的には、例えば、加振部材が略円環板形状のゴム弾性膜で構成されており、加振部材の外周面が仕切部材４６における中央孔７０の内周面に固着されていると共に、内周面が連結金具７４に対して固着されていても良い。このような構造においては、中間室６６の壁部の一部を構成する加振部材が、連結金具７４の加振変位によって軸方向に弾性変形せしめられて、中間室６６に加振力が及ぼされるようになっている。かくの如きゴム弾性膜で構成された加振部材を採用すれば、中央孔７０が加振部材と連結金具７４によって流体密に閉塞されて、中間室６６と平衡室５６が流体密に仕切られることとなる。それ故、受圧室５４の液圧が中央孔７０を通じて平衡室５６に逃がされるのを防いで、特に低周波振動の入力に際してオリフィス通路６２による防振効果を効率的に得ることが出来る。

また、前記実施形態では、第二のボールジョイント１１６を構成する連結金具７４が、加振板７２とは別体の部材とされた構造が示されているが、第二のボールジョイント１１６の一部が、加振板７２と一体的に形成された構造を採用することも出来る。具体的には、例えば、前記実施形態における加振板７２と連結金具７４が、一体形成されて加振部材を構成していても良い。このように、加振部材の具体的な構造は、特に限定されるものではない。

また、ボールジョイント機構の具体的な構造は、前記実施形態における第一，第二のボールジョイント１０４，１１６の構造に限定されるものではない。具体的には、例えば、図２に示された第二のボールジョイント１２０を、従動側ボールジョイント機構として採用することも出来る。なお、以下の説明において、前記実施形態と実質的に同一の部材には、図中に同一の符号を付すことで説明を省略する。また、図２，３中に示されていない部分は、原則として前記実施形態と同一の構造となっている。図２において中心線を挟んで右側と左側は、連結ロッド１０２の中心軸回りで９０度異なる断面を表したものである。

すなわち、第二のボールジョイント１２０は、連結金具１２２と連結ロッド１０２が筒状摺接部材１２４を介して連結された構造となっている。より詳細には、連結金具１２２は、略円筒形状の把持筒部１２６を備えている。この把持筒部１２６は、下方に開口せしめられており、開口部付近の内周面には係止溝１２８が全周に亘って形成されている。そして、把持筒部１２６に対して、連結ロッド１０２の上端球状部１１８側の端部が挿し込まれている。

また、連結ロッド１０２の上端球状部１１８側の端部には、予め筒状摺接部材１２４が取り付けられている。この筒状摺接部材１２４は、図３に示されているように略円筒形状を有しており、例えば、表面の摩擦係数が小さいフッ素樹脂等の合成樹脂材料で形成されている。また、筒状摺接部材１２４の内周面の軸方向中間部分が、上端球状部１１８の外周面に対応する球状の湾曲面となっている。更に、筒状摺接部材１２４には、径方向で対向する部分に一対のスリット１３０が形成されている。スリット１３０は、筒状摺接部材１２４の下端面から軸方向上方に向かって上端までは至らない所定の長さで形成されている。このような一対のスリット１３０が形成されていることで、筒状摺接部材１２４の下側開口部を弾性的に拡開変形させることが可能となっている。そして、連結ロッド１０２の上端球状部１１８側の端部が、筒状摺接部材１２４に対して下側開口部から押し込まれて、上端球状部１１８の外周面と筒状摺接部材１２４の球状湾曲面が重ね合わされている。これにより、連結ロッド１０２が筒状摺接部材１２４に対して揺動可能に取り付けられている。

このように筒状摺接部材１２４を取り付けられた連結ロッド１０２は、連結金具１２２に対して取り付けられている。即ち、筒状摺接部材１２４が、連結金具１２２の把持筒部１２６に挿し込まれると共に、平面視で略Ｃ字形状を呈する係止金具１３２が、把持筒部１２６の係止溝１２８に嵌め付けられて、筒状摺接部材１２４の上端面に重ね合わされている。これにより、筒状摺接部材１２４が連結ロッド１０２に対して固定されて、連結ロッド１０２が連結金具１２２に対して揺動可能に取り付けられている。このような構造の第二のボールジョイント１２０によっても、ボールジョイント機構を実現することが可能である。

また、かかる第二のボールジョイント１２０の如き、スリット入りの筒状摺接部材１２４を採用することにより、全周に亘って連続して摺動面を与える摺接部材を、別途形成して組み付けることが出来る。即ち、図１に示されている如き構造の第一のボールジョイント１０４や第二のボールジョイント１１６では、内側ボール部材１０６や上端球状部１１８の存在下で、合成樹脂材料の射出成形等によって外側把持部材１０８や合成樹脂層１１７を形成することで樹脂収縮に基づく摺動面のクリアランスが形成されることとなるが、上述の如き別体形成された摺動部材を採用することにより、摺動部材の製造が容易となり、材料の選択自由度も大きくなると共に、摺動面のクリアランスの設定も自由となる等の利点がある。

さらに、ボールジョイント機構は、駆動力伝達部材と加振部材および可動子との接続部分にそれぞれ設けられていれば良く、必ずしも駆動力伝達部材の上端部と下端部に位置していなくても良い。

また、前記実施形態では、加振板７２によって及ぼされる加振力が、中間室６６を介して受圧室５４に伝達されるようになっているが、例えば、受圧室５４の壁部において本体ゴム弾性体１６とは異なる部分が加振板７２で構成されて、受圧室５４に対して直接に加振力が及ぼされるようになっていても良い。要するに、前記実施形態における蓋板５０は、必須ではない。

また、前記実施形態では、案内筒部材９８が磁極形成部材８６とは別体とされて、磁極形成部材８６に対して固定されるようになっているが、ガイド部材は、例えば、固定子に一体的に設けられていても良く、例えば、前記実施形態における上ヨーク金具９２の内周面によって筒状内周面が構成されて、ガイド部材が上ヨーク金具９２で構成された構造等も採用可能である。なお、ガイド部材を固定子に一体的に設けることにより、部品点数を少なくすることが出来る。

また、電磁式駆動手段の具体的な構造は、前記実施形態の電磁式アクチュエータ８２によって限定的に解釈されるものではない。具体的には、例えば、特許３９７２２１０号公報等に示されているように、可動子の加振変位方向が、コイルの中心軸方向に対して略直交する方向とされた構造を採用することも出来る。

また、前記実施形態では、受圧室５４と中間室６６を隔てる隔壁部材が、蓋板５０によって構成されていたが、隔壁部材の構造は、前記実施形態の構造に限定されるものではない。例えば、隔壁部材が、軸直角方向に広がって軸方向への微小変位を許容された可動ゴム板を含んで構成されていても良い。より具体的には、例えば、蓋板５０と板ばね８０の軸方向間に軸直角方向に広がる略皿形状の収容金具を配設して、蓋板５０と収容金具の間に収容領域を形成する。そして、この収容領域に対して、略円板形状の可動ゴム板を、軸方向に所定の微小変位を許容された状態で収容配置して、可動ゴム板の両面に受圧室５４と中間室６６の圧力を作用させた構造を採用することも出来る。このような構造の隔壁部材を採用すれば、可動ゴム板の軸方向への微小変位によって走行こもり音に相当する高周波小振幅振動による圧力変動を、受圧室５４と中間室６６の間で相互に伝達させることが出来ると共に、エンジンシェイクに相当する低周波大振幅振動の入力時には、可動ゴム板が軸方向に拘束されて、受圧室５４の圧力変動を効率的に得ることが出来る。その結果、高周波小振幅振動の入力に際して、加振板７２の加振力を中間室６６から受圧室５４に伝達させることで、目的とする防振効果を得ることが出来ると共に、低周波大振幅振動の入力に際して、オリフィス通路６２の防振効果を効率的に発揮させることが出来る。

さらに、上記の如き可動ゴム板を備えた構造では、例えば、中間室６６と平衡室５６を相互に連通して、アイドリング振動に相当する中周波数にチューニングされた流体流路を設けても良い。そして、受圧室５４に及ぼされる中乃至高周波数が、可動ゴム板の変位によって中間室６６に伝達されるようにすることより、中周波数の振動入力に際して、流体流路を通じて流動せしめられる流体の共振作用等に基づいた防振効果が発揮される一方、高周波数の振動入力に際して、加振板７２から及ぼされる加振力に基づく相殺的な防振効果が発揮されるようになっていても良い。

また、本発明の適用範囲は、自動車用に限定されるものではなく、列車等の各種車両や、車両以外の防振にも適用可能である。更に、本発明は、エンジンマウント以外にも、ボデーマウントやサスペンションメンバマウント等にも好適に適用され得る。

その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて種々なる変更，修正，改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもない。

本発明の一実施形態としての自動車用エンジンマウントを示す断面図。 本発明の別の一実施形態としての自動車用エンジンマウントの要部を示す断面図。 同エンジンマウントを構成する筒状摺接部材を示す斜視図。

符号の説明

１０：エンジンマウント、１２：第一の取付金具、１４：第二の取付金具、１６：本体ゴム弾性体、４２：ダイヤフラム、４６：仕切部材、４８：仕切部材本体、５０：蓋板、５４：受圧室、５６：平衡室、６２：オリフィス通路、６６：中間室、６８：通孔、７２：加振板、７４：連結金具、８０：板ばね、８２：電磁式アクチュエータ、８６：磁極形成部材、８８：アーマチャ、９０：コイル、９８：案内筒部材、１０２：連結ロッド、１０４：第一のボールジョイント、１１６：第二のボールジョイント

Claims (5)

1. 第一の取付部材と第二の取付部材が本体ゴム弾性体で相互に連結されていると共に、壁部の一部を該本体ゴム弾性体で構成されて非圧縮性流体を封入された流体室が形成されて、該流体室の壁部の一部が加振部材で構成されていると共に、該加振部材に駆動力を及ぼして加振変位させるアクチュエータが該加振部材を挟んで該流体室と反対側に配設されている能動型流体封入式防振装置において、
   前記アクチュエータによる前記加振部材の加振変位方向に対して直交する方向に広がる板ばねを採用し、該板ばねによって該加振部材を前記第二の取付部材に対して支持せしめる一方、該第二の取付部材に対して固定されたコイルを含む固定子と、該コイルへの通電により一軸上で駆動せしめられる可動子とを備えた電磁式駆動手段を該アクチュエータとして採用して、該可動子の駆動中心軸が該加振部材の加振方向となるように該電磁式駆動手段を配すると共に、該電磁式駆動手段における該可動子を該加振部材に連結して該可動子に生ぜしめられる駆動力を該加振部材に伝達する駆動力伝達部材を設け、該駆動力伝達部材の該可動子に対する取付部位に原動側ボールジョイント機構を設けると共に、該駆動力伝達部材の該加振部材に対する取付部位に従動側ボールジョイント機構を設けて、該駆動力伝達部材の該加振部材および該可動子に対してそれぞれ揺動変位可能に連結せしめたことを特徴とする能動型流体封入式防振装置。
2. 前記加振部材を硬質のピストン部材で構成する一方、該ピストン部材の周囲で該ピストン部材の加振方向に延びる筒状案内面を備えたシリンダ部材を、前記第二の取付部材に対して固定的に設けて、前記電磁式駆動手段による駆動によって、該ピストン部材が該シリンダ部材の該筒状案内面に沿って加振変位されるようにした請求項１に記載の能動型流体封入式防振装置。
3. 前記本体ゴム弾性体と前記シリンダ部材の対向面間に隔壁部材が配設されており、前記流体室が該隔壁部材を挟んで二分されて、該隔壁部材を挟んだ両側に壁部の一部を該本体ゴム弾性体で構成された受圧室と壁部の一部を前記加振部材で構成された加振室とが形成されていると共に、該隔壁部材には該受圧室と該加振室を相互に連通させる通孔が形成されている請求項２に記載の能動型流体封入式防振装置。
4. 前記シリンダ部材を挟んで前記加振室と反対側には壁部の一部を可撓性膜で構成されて非圧縮性流体を封入された平衡室が形成されていると共に、前記受圧室と該平衡室を相互に連通するオリフィス通路が形成されている請求項２又は３に記載の能動型流体封入式防振装置。
5. 前記電磁式駆動手段において、前記可動子が加振変位方向に延びる筒状外周面を有していると共に、該可動子の筒状外周面を案内する筒状内周面を備えたガイド部材が設けられている請求項１乃至４の何れか一項に記載の能動型流体封入式防振装置。

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