JP2010002780A - 光走査装置及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板100には、入射したビーム光を反射するミラー部130、このミラー部130を支持する一対の梁120、並びに、ミラー部130の梁120を軸とする回動振動を起こさせる板波を発生する振動源116、117が形成されている。この振動源116、117に予め設定された周波数の交流信号を印加することで、ミラー部130を梁120を軸とする回転振動させる。また、振動源116、117に対し、逆相の直流駆動信号を重畳させることで、ミラー部130の面倒れを補正する。
【選択図】 図3
Description
入射したビーム光を反射するミラー部と、該ミラー部を支持する一対の梁が形成された基板と、
該基板を端部で固定する固定部材と、
前記基板を振動及び変形させる振動源と、
該振動源の駆動信号を生成する駆動回路とを有し、前記基板に発生する板波により前記ミラー部が回転振動する光走査装置であって、
前記駆動信号により、前記板波によって前記ミラー部を前記梁を軸として回転振動させると共に、前記梁の軸の方向を前記基板の厚みの方向の面内で移動させることを特徴とする。
図2(a)、(b)は本実施形態の光走査装置を上面図、及び、側面図である。ミラー部130とそれを支持する捩れ梁120が形成された基板100上に、振動源116、及び、117が配置される。また、基板100の一方の端部が固定部材160に固定されている。振動源116、及び、117は、図示していない電極を介して駆動回路208、及び、209に接続されている。
(nV,-nV),((n-1)V,(-(n-1)V),…,(-(n-1)V,(n-1)V),(-nV,nV)
図5(a)、(b)は本発明の第2の実施形態の光走査装置2の上面図、及び、側面図である。図2(a),(b)と同様の部材は同じ符号で表している。異なる点は、振動源116、117に変えて、振動源110、111、112を設けた点である。この内、振動源110は、板並みを発生するために用いるために交流駆動信号を発生する駆動回路201が接続され、振動源111、112はミラー部130の面倒れ補正に用いるために直流駆動信号を発生する駆動回路202が接続される。
図7に本発明の光走査装置を装着したレーザビームプリンタ3に実装した場合のブロック構成図を示す。同図において、図3、及び、図6と同様の部材は同じ符号で表している。なお、ここでは、第2の実施形態の構成を基礎にした場合を説明するが、第1の実施形態を提供する場合には、以下の説明における振動源111、112を振動源116、117と読みかえ、板並みを発生する振動源110を、振動源116、117と読み変えれば良いであろう。
図9(a),(b)に本発明の第3の実施形態における光走査装置4の上面図と側面図を示す。上記第1,第2の実施形態と同様の部材は同じ符号で表している。基板101には捻り梁121が設けられ、ミラー部130が、図のy軸中心に回転可能となっている。振動源110により発生される板波により、ミラー部130が捻り梁120によりy軸中心に回転することは、上記の第1,第2の実施形態と同様である。振動源111、及び、112は、駆動回路203、及び、204により駆動され、振動源110の駆動回路201の周波数f1とは異なる周波数f2で駆動される。振動源111、及び、112は互いに逆相で駆動されて、図10に示すように捻り梁121に回転振動を励起し、図では省略されているミラー部をx軸中心に回転させる。ここで、f2による振動は、板波によるものではない。本実施形態においても、上記実施形態と同様に、振動源にDC信号を重畳させることにより、基板101に静的な変形を加えることができ、ミラー軸の位置調整や、ミラーの面倒れ補正が可能である。
図11(a)、(b)は本発明の第4の実施形態における光走査装置5の上面図と側面図を示す。上記の実施形態と同様の部材は同じ符号で表している。基板102には捻り梁121と122が形成されて、固定部材160、及び、161により両側を支持されている。ミラー部130の両側に、板波を発生させるための振動源110、及び、113が配置され、さらに、捻り梁121、及び、121に回転振動を励起するための振動源111、112、及び、114、115が配置されている。駆動方法は第3の実施形態と同様であり、駆動回路206、207により、振動源114、115が互いに逆相に駆動される。
図12(a)、(b)は本発明の第4の実施形態における光走査装置6の上面図と側面図を示す。上記実施形態と同様の部材は同じ符号で表している。本実施形態では、振動源111、112、及び、114,115に、板波を励起して捻り梁120に回転振動を励起する周波数f1の信号と、捻り梁121、122に回転振動を励起する周波数f2の振動を重畳させて印加することにより、第4の実施形態と同様の動作を可能にしている。
図13に本発明を二次元走査装置(ディスプレイがその代表的な装置である)に実装した構成を示す。上記実施形態と同様の部材は同じ符号で表している。振動源などは図示を省略しているが、ミラー駆動部は、図9、図11、または、図12の構成と同様のものを用いることができる。光源300から射出されたレーザー光は水平、及び、垂直方向に走査され、スクリーン810に照射される。BDセンサ330、及び、331の出力信号により、駆動回路203〜207の駆動信号を調整してミラー130の回転角を制御し、また、光走査に同期させてドライバー回路220により光源300を制御し、画像をスクリーン810に描画する。なお、BDセンサ330、331は、二次元スキャン領域の中心点を通る水平軸上、及び、垂直軸上に設ける。そして、ミラー部130の回転振動を行ってBDセンサ330による適正なビーム光を検出した後、今度は、ミラー部130の回転振動を止め、深度源111乃至115を駆動することで、垂直方向にスキャンされる適正なビーム光を検出するように制御する。この後、二次元スキャンを実行すればよいであろう。
Claims (6)
- 入射したビーム光を反射するミラー部と、該ミラー部を支持する一対の梁が形成された基板と、
該基板を端部で固定する固定部材と、
前記基板を振動及び変形させる振動源と、
該振動源の駆動信号を生成する駆動回路とを有し、前記基板に発生する板波により前記ミラー部が回転振動する光走査装置であって、
前記駆動信号により、前記板波によって前記ミラー部を前記梁を軸として回転振動させると共に、前記梁の軸の方向を前記基板の厚みの方向の面内で移動させる
ことを特徴とする光走査装置。 - 前記駆動信号は、異なる周波数の信号を重畳させた信号であることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
- 複数の振動源を有し、
該複数の駆動源は異なる周波数の駆動信号で駆動されることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。 - 前記振動源は、前記基板上の前記梁の軸方向に配置された少なくとも2つの振動素子で構成され、
該2つの振動素子それぞれに逆極性の直流電圧を印加することで、前記梁の軸の方向を前記基板の厚みの方向の面内で移動させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記ミラー部で反射したビーム光を検出する、スキャン対象物の近傍であって、スキャン線上に設けられたビーム光検出手段と、
前記ビーム光検出手段で検出したビーム光強度が、予め設定された閾値以上であるか否かを判定する判定手段とを備え、
前記判定手段が前記ビーム光強度が予め設定された閾値未満であると判定される場合に、前記制御手段は前記駆動回路を制御して、前記梁の軸の方向を前記基板の厚みの方向の面内で移動させることを特徴とする請求項4に記載の光走査装置。 - 入射したビーム光を反射するミラー部と、該ミラー部を支持する一対の梁が形成された基板と、
該基板を端部で固定する固定部材と、
前記基板を振動及び変形させる振動源と、
該振動源の駆動信号を生成する駆動回路とを有し、前記基板に発生する板波により前記ミラー部が回転振動する光走査装置の制御方法であって、
前記駆動信号により、前記板波によって前記ミラー部を前記梁を軸として回転振動させると共に、前記梁の軸の方向を前記基板の厚みの方向の面内で移動させる
ことを特徴とする光走査装置の制御方法。
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