JP2009044876A - アクチュエーター - Google Patents

Abstract

【課題】走査軌跡が安定して得られ、低エネルギーで駆動可能で、振動駆動手段により励振された振動に基づき振動子の回転振動を得るアクチュエーターを提供する。
【解決手段】振動駆動手段１０６，１０７と、振動子１００と、振動駆動手段１００及び振動子１０６の間に配置された第１の対をなす梁１０１，１０２と、振動駆動手段１００及び振動子１０７の間に配置された第２の対をなす梁１０３，１０４とを有する。梁１０１，１０２；１０３，１０４のそれぞれは、一端が振動駆動手段１０６，１０７に接続されこれらからのｘ方向振動の伝達を受け且つ他端が振動子１００に接続されている。振動駆動手段１０６，１０７により発せられる振動を梁１０１，１０２；１０３，１０４の一端に伝達して、梁をそれらの長手方向に並進振動させることにより、梁をｚ方向に逆位相で座屈振動させ、これにより振動子１００をｘ方向軸Ｃの周りで回転振動させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、振動駆動手段によって励振された並進振動に基づき振動子の回転振動を励振するアクチュエーターに関する。このようなアクチュエーターは、たとえば、小型可動ミラーを振動子とする光スキャナ等を構成するのに利用することかができる。

振動駆動源によって励振され加振部に与えられた並進振動に基づき振動子としてのスキャン部の回転振動を励振するアクチュエーターが、特許文献１に提案されている。また、２個の片持ち梁状の圧電バイモルフにより逆位相の曲げ振動を励起し、これらの曲げ振動を圧電バイモルフの自由端側同士を連結する連結部材によってねじり振動に変換し、振動子としてのミラー部の回転振動を得るものが、特許文献２に提案されている。
特開平４−９５９１６号公報 特許第３２４６１０６号公報

特許文献１及び２に記載のいずれの構成においても、振動駆動手段の振動は、振動子の配置されている面（振動子の回転振動の軸方向を含む面）に対して垂直の方向の振動を励振するものである。通常、振動子に回転振動を与える振動モードを加振部に与えるよう調整されているが、外部環境の変動により、振動駆動手段に所要の振動とは別の他の垂直方向の振動モードが現れることがある。このような振動モードが現れた場合、振動子の配置されている面に対して垂直方向の振動を励振するがゆえに、振動子の回転振動に垂直方向振動が重畳されて励起されるという技術的課題があった。このような振動子の垂直方向の振動は、例えば、レーザープリンター等の光スキャナーの振動子を回転振動させる場合には、レーザー光の反射面の揺らぎを引き起こし、形成される画像の解像度の低下につながる。

さらに、特許文献１の構成では、不釣合い構造に加速度を作用させることにより得られる慣性力を利用して加振力を得るものであるため、加速度が外乱として加わった場合に走査軌跡が変動してしまうという技術的課題があった。

本発明は、上記のような技術的問題を解決して、走査軌跡がより安定して得られ、低エネルギーで駆動可能であり、振動駆動手段によって励振された振動に基づき振動子の回転振動を得ることができるアクチュエーターを提供することを目的とする。

この目的を達成するために、本発明によれば、次のようなアクチュエーターが提供される。すなわち、アクチュエーターは、振動駆動手段と、振動子と、前記振動駆動手段及び前記振動子の間に配置された対をなす２本の梁とを有し、前記２本の梁のそれぞれは一端が前記振動駆動手段からの振動の伝達を受け且つ他端が前記振動子に接続されている。前記振動駆動手段により発せられる振動を前記対をなす２本の梁のそれぞれの一端に伝達して、前記対をなす２本の梁をそれらの長手方向に並進振動させる。これによって、前記対をなす２本の梁を逆位相で座屈振動させ、これにより前記振動子を回転振動させる。

本発明の一態様においては、前記対をなす２本の梁と前記振動駆動手段との組は前記振動子の両側に１つずつ設けられている。本発明の一態様においては、前記振動子の前記対をなす２本の梁が接続されている側とは反対側に追加の対をなす２本の梁が設けられており、該追加の対をなす２本の梁のそれぞれは一端が固定部材に接し且つ他端が前記振動子に接続されている。

本発明の一態様においては、前記対をなす２本の梁のうちの一方または前記追加の対をなす２本の梁のうちの一方には、圧縮性の応力を有する薄膜が積層されている。本発明の一態様においては、前記対をなす２本の梁のうちの一方または前記追加の対をなす２本の梁のうちの一方には、引張性の応力を有する薄膜が積層されている。本発明の一態様においては、前記対をなす２本の梁のそれぞれ又は前記追加の対をなす２本の梁のそれぞれは、厚さ寸法より大きな幅寸法を持ち、幅方向に互いに隔てられて配列されている。

本発明の一態様においては、前記振動子は板状であり、前記対をなす２本の梁同士または前記追加の対をなす２本の梁同士は前記振動子の主面と平行な方向に互いに隔てられた位置にて前記振動子と接続されている。前記振動子は前記主面と平行な方向に関して前記対をなす２本の梁との接続位置同士の間または前記追加の対をなす２本の梁との接続位置同士の間を通り前記主面と平行な方向の軸の周りで回転振動する。

本発明の一態様においては、前記対をなす２本の梁または前記追加の対をなす２本の梁に座屈振動の位相を検知する手段が付設されている。本発明の一態様においては、検知された座屈振動の位相と前記振動駆動手段によって励振された前記対をなす２本の梁または前記追加の対をなす２本の梁の並進振動の位相とのずれを検知する。このずれを調節することによって、前記振動子の回転振動の振幅を制御する。

本発明のアクチュエーターによれば、梁にその長手方向（すなわち梁と平行な方向）に並進振動を励振するので、振動子にはその回転振動の軸方向に対し垂直な方向の振動が重畳されて励起される事が少ない。従って、励起される走査軌跡がより安定して得られる。また、振動駆動手段によって梁に励振された並進振動に基づき振動子を回転振動させるので、低エネルギーでの駆動が可能である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。

［実施形態１］
図１は本発明の実施形態１に係るアクチュエーターの概念図である。ここでは、アクチュエーターの全体の平面図がｘｙ面に示され、その可動部分の正面図がｘｚ面に示され、振動子の側面図がｙｚ面に示されており、実線は静止状態を示し、点線は駆動時の動きを示している。

本実施形態のアクチュエーターは、振動駆動手段１０６，１０７と、振動子１００と、第１の対をなす２本の梁１０１，１０２と、第２の対をなす２本の梁１０３，１０４とを有する。第１の対をなす２本の梁１０１，１０２は、振動駆動手段１０６及び振動子１００の間に配置されている。第２の対をなす２本の梁１０３，１０４は、振動駆動手段１０７及び振動子１００の間に配置されている。すなわち、対をなす２本の梁と振動駆動手段との組（梁１０１，１０２と振動駆動手段１０６との組または梁１０３，１０４と振動駆動手段１０７との組）は、振動子１００の両側に１つずつ設けられている。具体的には、対をなす２本の梁と振動駆動手段との組は、ｘ方向に関して振動子１００の一方の側と他方の側とにそれぞれ１つずつ設けられている。

振動子１００は、板状であり、静止時においてほぼｘｙ面に沿って配置され且つｙ方向に延びている。振動子１００は、静止状態において、ｚ方向寸法としての厚さ寸法と、ｘ方向寸法としての幅寸法と、ｙ方向寸法としての長さ寸法とを有しており、ｘｙ面内の互いに平行な２つの主面を有する。第１の対をなす２本の梁１０１，１０２同士は、振動子１００の主面と平行な方向に或る距離だけ互いに隔てられた位置にて振動子１００の一方側の端面と接続されている。第２の対をなす２本の梁１０３，１０４同士は、振動子１００の主面と平行な方向に上記の或る距離と同一の距離だけ互いに隔てられた位置にて振動子１００の他方側の端面と接続されている。すなわち、対をなす２本の梁同士は振動子１００の主面と平行な方向に互いに隔てられた位置にて振動子と接続されている。振動子１００は、後述のようにして、主面と平行な方向に関して第１の対をなす２本の梁１０１，１０２との接続位置同士の間または第２の対をなす２本の梁１０３，１０４との接続位置同士の間を通り主面と平行な方向の軸Ｃの周りで回転振動する。

第１の対をなす２本の梁１０１，１０２は互いに平行にｘ方向に延びており、第２の対をなす２本の梁１０３，１０４も互いに平行にｘ方向に延びている。第１の対をなす２本の梁１０１，１０２のそれぞれは、一端が振動駆動手段１０６に接続されていて該振動駆動手段１０６からの振動の伝達を受け且つ他端が振動子１００に接続されている。同様に、第２の対をなす２本の梁１０３，１０４のそれぞれは、一端が振動駆動手段１０７に接続されていて該振動駆動手段１０７からの振動の伝達を受け且つ他端が振動子１００に接続されている。

第１の対をなす２本の梁１０１，１０２のそれぞれは、厚さ寸法（静止状態においてｚ方向寸法）より大きな幅寸法（静止状態においてｘ方向寸法）を持ち、幅方向に互いに隔てられて配列されている。同様に、第２の対をなす２本の梁１０３，１０４のそれぞれは、厚さ寸法（静止状態においてｚ方向寸法）より大きな幅寸法（静止状態においてｘ方向寸法）を持ち、幅方向に互いに隔てられて配列されている。

振動駆動手段１０６，１０７としては、いずれも２枚の圧電素子１０８，１０９を貼り合わせた構造を持つバイモルフ素子を使用することができる。このバイモルフ素子１０６，１０７は、ｙ方向に関する両端部が固定部材１２５に固着されており、ｙ方向に関するそれ以外の部分が駆動時に固定部材１２５からｘ方向に関し離隔することができる。第１の対をなす２本の梁１０１，１０２のそれぞれ及び第２の対をなす２本の梁１０３，１０４のそれぞれは、バイモルフ素子１０６，１０７のｙ方向に関する中央部に接続されている。

バイモルフ素子１０６，１０７は、それぞれの圧電素子１０８，１０９に位相の異なる交流信号を入力することによって、梁１０１，１０２，１０３，１０４に平行な方向（ｘ方向）の振動を得ることができる。また、圧電素子１０８，１０９に加える電圧の位相を制御することによって、バイモルフ素子１０６，１０７の振動の位相すなわち梁１０１，１０２，１０３，１０４に励振される並進振動の位相を制御することができる。尚、バイモルフ素子１０６，１０７のｙ方向に関する中央部は、それに接続された梁１０１，１０２，１０３，１０４の端部とともに振動するので、これをバイモルフ素子すなわち振動駆動手段１０６，１０７の並進振動ということにする。

尚、振動駆動手段としては、その他、電歪素子または磁歪素子を用いることもできる。

バイモルフ素子１０６，１０７は、駆動時には、中央部が最も大きな振幅でｘ方向に振動し、この振動は、第１の対をなす２本の梁１０１，１０２の端部及び第２の対をなす２本の梁１０３，１０４の端部のそれぞれに伝達される。これにより、第１の対をなす２本の梁１０１，１０２及び第２の対をなす２本の梁１０３，１０４がｘ方向に並進振動する。この並進振動は、第１の対をなす２本の梁１０１，１０２及び第２の対をなす２本の梁１０３，１０４につき同時にｘ方向に関する圧縮力が作用するようになされる。このとき、梁１０１，１０２，１０３，１０４は、座屈を生ずる。

すなわち、本実施形態では、振動駆動手段１０６，１０７により発せられる振動を第１及び第２の対をなす２本の梁１０１，１０２，１０３，１０４のそれぞれの一端に伝達して、これらの梁１０１，１０２，１０３，１０４をそれらの長手方向に並進振動させる。これによって、第１の対をなす２本の梁１０１，１０２を逆位相で座屈振動させ、第２の対をなす２本の梁１０３，１０４を逆位相で座屈振動させる。

本実施形態においては、この座屈により第１の対をなす２本の梁１０１，１０２及び第２の対をなす２本の梁１０３，１０４の振動素子１００と接続された方の端部が曲げられる方向がｚ方向に沿った方向となるようにする。すなわち、座屈の方向が、梁１０１，１０２，１０３，１０４の並進振動の方向（ｘ方向）と直交する方向であって、振動子１００の主面と直交するｚ方向に沿った方向となるようにしている。

座屈は、細長い棒状の部材に対して、その長手方向に圧縮応力を加えると、曲げモーメントにより長手方向からのたわみが急激に大きくなり、荷重分担能力を失う現象である。座屈が生ずるときの応力は、棒状部材の端部の形状、曲げ剛性、細長比などにより異なる。棒状部材である梁１０１，１０２，１０３，１０４が等方性の場合には、座屈の方向は決まっていない。従って、振動子１００が静止している状態においては、振動駆動手段１０６，１０７によって励振された並進振動を加えたとき、振動子１００の回転振動が不安定になることがある。これは、振動子１００が静止している状態においては梁の座屈振動の起こる方向が決まっておらず、梁１０１と梁１０２との座屈振動及び梁１０３と梁１０４との座屈振動が互いに逆の位相にならない不安定な状態となるためである。

このような現象を避け、座屈の方向を所望に設定するために、棒状部材の長手方向に沿った面に圧縮性または引張性の応力を有する薄膜を形成することができる。本実施形態では、梁１０１，１０３の上側面には圧縮性の応力を有する薄膜１２０を積層し、梁１０２，１０４の上側面には引張性の応力を有する薄膜１２１を積層している。すなわち、第１及び第２のそれぞれの対をなす２本の梁のうちの一方１０１または１０３には圧縮性の応力を有する薄膜１２０が積層されている。また、第１及び第２のそれぞれの対をなす２本の梁のうちの一方（梁１０１または１０３に対する他方）１０２または１０４には引張性の応力を有する薄膜１２１が積層されている。これらの薄膜による応力は、振動子１００がｘ方向の回転振動中心Ｃの周りでわずかに傾く程度（たとえば角度１分傾く程度）であればよい。こうすることによって、振動子１００が静止している状態においても、梁は薄膜１２０，１２１の応力によってわずかに湾曲し、湾曲している方向への座屈が容易になる。このことによって、振動子１００の静止している状態からの回転方向を決めてやり、振動子１００の振動開始を容易にすることができる。

尚、上記薄膜１２０，１２１の積層に代えて又はこれら薄膜１２０，１２１の積層に加えて、梁１０１，１０３の下側面に引張性の応力を有する薄膜を積層し、梁１０２，１０４の下側面に圧縮性の応力を有する薄膜を積層してもよい。

座屈振動の固有振動数は梁の幅寸法と厚さ寸法との影響を受ける。梁の幅寸法に対する厚さ寸法の比率をより小さくすることによって、より低い固有振動数での座屈振動が可能となる。梁の座屈振動の固有振動数が振動子１００の固有振動モードのうちの回転方向の振動モードの固有振動数に一致するように、梁を構成する。こうする事で、梁１０１と梁１０２とで座屈振動が逆位相で励起され、梁１０３と梁１０４とで座屈振動が逆位相で励起され、振動子１００の往復回転振動が起こる。すなわち、図１に示されているように、ｚ方向に関して、梁１０１と梁１０２とが逆向きに座屈し、梁１０３と梁１０４とが逆向きに座屈し、しかも梁１０１と梁１０３とが同じ向きに座屈し、梁１０２と梁１０４とが同じ向きに座屈する。これにより、振動子１００が軸Ｃの周りで回転振動する。

振動駆動手段１０６，１０７は、梁１０１，１０２，１０３，１０４の座屈振動の２倍の振動数で、これらの梁に並進振動を励振する。

図３に励振された並進振動の位相と梁の座屈振動の位相との関係の一例を示す。横軸は時間を表し、縦軸は振幅を表している。静止しているときの振幅を０としたときの励振された並進振動の振幅が０になる位相と静止しているときの振幅を０としたときの梁の座屈振動の振幅が０となる位相との差αがほぼ０となる励振された並進振動を実線で表している。位相差αがπ／２となる励振された並進振動を破線で示している。実線の位相のとき、梁の座屈振動の振幅が増加する。一方、破線の位相のとき、梁の座屈振動の振幅が減少する。

励振される並進振動の位相及び振幅を制御することによって、梁１０１，１０２，１０３，１０４の座屈振動の振幅を制御し、振動子１００の往復回転振動の振幅を制御する。

座屈振動の振幅を増加させたいときは、並進振動と座屈振動との位相差αがおおむね０になるように制御する。厳密には空気抵抗による減衰があるため位相遅れβが発生するので、β分調整する。こうして並進運動を励起すれば、パラメータ励振がおこり、座屈振動の振幅は徐々に増加し、梁の弾性力と空気抵抗による減衰項とがバランスする振幅に漸近する。また、座屈振動の振幅を減少させたいときは、並進振動と座屈振動との位相差αを０より大きくし、最大π／２となるように制御する。これによって座屈振動の振幅は徐々に減少する。そして、やがて座屈振動の振幅がほとんどなくなる。従って、並進振動と座屈振動との位相差αを０からπ／２まで増減することによって、座屈振動の振幅の増加及び減少を制御し、振動子１００の往復回転振動の振幅を制御する。すなわち、検知された座屈振動の位相と振動駆動手段１０６，１０７によって励振された対をなす２本の梁１０１，１０２または追加の対をなす２本の梁１０３，１０４の並進振動の位相とのずれを検知する。そして、このずれを調節することによって、振動子１００の回転振動の振幅を制御する。

また、励振される並進振動の振幅を増減させることにより、座屈振動の振幅の増加する速度または減少する速度を増減させることができ、梁の弾性力と空気抵抗による減衰項とがバランスする振幅を増減させることができる。

梁１０１，１０２，１０３，１０４には、梁の座屈振動の位相を検出する手段１０５が付設されている。これによって得られる座屈振動の位相と励振された並進振動の位相とのずれ（位相差α）を検知し、検知された位相ずれを基に位相のずれを増減することによって、座屈振動の振幅を増減させ、振動子１００の往復回転振動の振幅を制御する。具体的には、おおむね位相のずれを０に制御し、梁の弾性力と空気抵抗による減衰項とがバランスする振幅に調整する方法がある。また、別途振動子１００の往復回転振動の振幅を検知し、位相ずれを調整することによって、積極的に振幅を調整する方法がある。振動子１００の往復回転振動の振幅が設定値より増加した場合、座屈振動の位相と励振された並進振動の位相とのずれを０より大きく最大π／２まで増加させることにより、座屈振動の振幅を減少させ、振動子１００の往復回転振動の振幅を減少させる。反対に振動子１００の往復回転振動の振幅が設定値より減少した場合、座屈振動の位相と励振された並進振動の位相とのずれをほぼ０にすることにより、座屈振動の振幅を増加させ、振動子１００の往復回転振動の振幅を増加させる。

梁の座屈振動の位相を検出する手段１０５としては、ピエゾ抵抗素子を用いることができる。ピエゾ抵抗素子による抵抗変化を検出することにより、各梁の座屈振動の位相を検出する。この座屈振動の位相を検知する手段は、圧電素子などを用いて構成することもできる。

このように、本実施形態においては、振動駆動手段１０６，１０７の微小な並進振動によって梁１０１、１０２，１０３，１０４に並進振動及びこれに基づく座屈振動を発生させて、振動子１００の回転振動を誘起することができる。振動駆動手段１０６，１０７の振動は梁１０１，１０２，１０３，１０４に平行な方向（ｘ方向）の振動であるので、振動子１００はその主面に対して垂直な方向（静止状態ではｚ方向）の振動が重畳されて励起される事が少ない。従って、振動子１００に励起される回転振動の走査軌跡がより安定して得られる。また、振動子１００の主面内に振動駆動手段１０６，１０７の振動方向更には梁１０１、１０２，１０３，１０４の並進振動の方向があるので、シリコンチップなどの表面に振動駆動手段１０６，１０７を設けることができる。また、振動駆動手段１０６，１０７によって励振された微小な並進振動により駆動するのでエネルギーロスが少なく、低エネルギーでの駆動が可能である。

［実施形態２］
図２は本発明の実施形態２に係るアクチュエーターの概念図である。図２では、図１における振動子１００、梁１０１，１０２，１０３，１０４、振動駆動手段１０６及び固定部材１２５が、それぞれ振動子２００、梁２０１，２０２，２０３，２０４、振動駆動手段２０６及び固定部材２０５として示されている。振動駆動手段２０６が２枚の圧電素子を貼り合わせた構造を持つバイモルフ素子からなることや、梁２０１，２０２，２０３，２０４に圧縮性の応力を有する薄膜または引張性の応力を有する薄膜が付されていること等は、上記実施形態１と同様である。また、振動子２００が軸Ｃの周りで振動回転することも、上記実施形態１と同様である。

本実施形態では、梁２０３，２０４が、追加の対をなす２本の梁として使用されている。振動子２００の対をなす２本の梁２０１，２０２が接続されている側とは反対側に追加の対をなす２本の梁２０３，２０４が設けられている。すなわち、梁２０３，２０４のそれぞれは、一端が固定部材（固定枠）２０５に当接し且つ他端が振動子１００に接続されている。この構成では、振動駆動手段２０６は、梁２０１，２０２，２０３，２０４と平行な方向（ｘ方向）に振動する。このとき、梁２０１，２０２，２０３，２０４は振動方向に垂直な方向（静止状態ではｚ方向）に座屈を生ずる。

振動駆動手段２０６を一方の側の梁２０１，２０２の駆動のために配置し、他方の側の梁２０３，２０４は振動駆動手段２０６による梁２０１，２０２の駆動の際に振動子１００と固定部材２０５とから受ける圧縮応力に基づき座屈振動させるようにしている。

本実施形態の作用は基本的には実施形態１のものと同様である。但し、本実施形態の構成では、振動子２００が静止している状態において、振動駆動手段２０６により励振された並進振動を梁２０１，２０２，２０３，２０４に加えたとき、実施形態１に比べて振動子２００の振動の安定性が低下する。しかし、振動駆動手段の個数を減らすことができるので、より低コストで作製が可能である。

本発明は、走査光学装置を用いるカラーレーザービームプリンタやカラーデジタル複写機等の画像形成装置のアクチュエーターに適用可能である。

本発明の実施形態１に係るアクチュエーターの概念図である。 本発明の実施形態２に係るアクチュエーターの概念図である。 励振された並進振動の位相と梁の座屈振動の位相との関係を示す図である。

符号の説明

１００ 振動子
１０１，１０２，１０３，１０４ 梁
１０５ 位相検知手段
１０６，１０７ 振動駆動手段
１０８，１０９ 圧電素子
１２０ 圧縮性の応力を有する薄膜
１２１ 引張性の応力を有する薄膜
１２５ 固定部材
２００ 振動子
２０１，２０２，２０３，２０４ 梁
２０５ 固定部材
２０６，２０７ 振動駆動手段

Claims (9)

1. 振動駆動手段と、振動子と、前記振動駆動手段及び前記振動子の間に配置された対をなす２本の梁とを有し、前記２本の梁のそれぞれは一端が前記振動駆動手段からの振動の伝達を受け且つ他端が前記振動子に接続されており、
   前記振動駆動手段により発せられる振動を前記対をなす２本の梁のそれぞれの一端に伝達して、前記対をなす２本の梁をそれらの長手方向に並進振動させることによって、前記対をなす２本の梁を逆位相で座屈振動させ、これにより前記振動子を回転振動させることを特徴とするアクチュエーター。
2. 前記対をなす２本の梁と前記振動駆動手段との組は前記振動子の両側に１つずつ設けられていることを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエーター。
3. 前記振動子の前記対をなす２本の梁が接続されている側とは反対側に追加の対をなす２本の梁が設けられており、該追加の対をなす２本の梁のそれぞれは一端が固定部材に接し且つ他端が前記振動子に接続されていることを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエーター。
4. 前記対をなす２本の梁のうちの一方または前記追加の対をなす２本の梁のうちの一方には、圧縮性の応力を有する薄膜が積層されていることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
5. 前記対をなす２本の梁のうちの一方または前記追加の対をなす２本の梁のうちの一方には、引張性の応力を有する薄膜が積層されていることを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
6. 前記対をなす２本の梁のそれぞれ又は前記追加の対をなす２本の梁のそれぞれは、厚さ寸法より大きな幅寸法を持ち、幅方向に互いに隔てられて配列されていることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
7. 前記振動子は板状であり、前記対をなす２本の梁同士または前記追加の対をなす２本の梁同士は前記振動子の主面と平行な方向に互いに隔てられた位置にて前記振動子と接続されており、前記振動子は前記主面と平行な方向に関して前記対をなす２本の梁との接続位置同士の間または前記追加の対をなす２本の梁との接続位置同士の間を通り前記主面と平行な方向の軸の周りで回転振動することを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
8. 前記対をなす２本の梁または前記追加の対をなす２本の梁に座屈振動の位相を検知する手段が付設されていることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
9. 検知された座屈振動の位相と前記振動駆動手段によって励振された前記対をなす２本の梁または前記追加の対をなす２本の梁の並進振動の位相とのずれを検知し、このずれを調節することによって、前記振動子の回転振動の振幅を制御することを特徴とする、請求項８に記載のアクチュエーター。

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