JP2009532899A5 - - Google Patents
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- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 2
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US78877706P | 2006-04-03 | 2006-04-03 | |
PCT/US2007/007487 WO2007126767A2 (fr) | 2006-04-03 | 2007-03-26 | Système de mandrin comprenant un réseau de chambres à fluide |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010248309A Division JP2011077529A (ja) | 2006-04-03 | 2010-11-05 | 流体チャンバのアレイを備えるチャック・システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009532899A JP2009532899A (ja) | 2009-09-10 |
JP2009532899A5 true JP2009532899A5 (fr) | 2010-04-22 |
JP4667524B2 JP4667524B2 (ja) | 2011-04-13 |
Family
ID=38656006
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009504203A Active JP4667524B2 (ja) | 2006-04-03 | 2007-03-26 | 流体チャンバのアレイを備えるチャック・システム |
JP2010248309A Pending JP2011077529A (ja) | 2006-04-03 | 2010-11-05 | 流体チャンバのアレイを備えるチャック・システム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010248309A Pending JP2011077529A (ja) | 2006-04-03 | 2010-11-05 | 流体チャンバのアレイを備えるチャック・システム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2007566A4 (fr) |
JP (2) | JP4667524B2 (fr) |
KR (1) | KR20090004910A (fr) |
CN (1) | CN101415535A (fr) |
TW (1) | TWI352874B (fr) |
WO (1) | WO2007126767A2 (fr) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4854383B2 (ja) * | 2006-05-15 | 2012-01-18 | アピックヤマダ株式会社 | インプリント方法およびナノ・インプリント装置 |
US8215946B2 (en) * | 2006-05-18 | 2012-07-10 | Molecular Imprints, Inc. | Imprint lithography system and method |
US8652393B2 (en) * | 2008-10-24 | 2014-02-18 | Molecular Imprints, Inc. | Strain and kinetics control during separation phase of imprint process |
US8309008B2 (en) * | 2008-10-30 | 2012-11-13 | Molecular Imprints, Inc. | Separation in an imprint lithography process |
US8913230B2 (en) * | 2009-07-02 | 2014-12-16 | Canon Nanotechnologies, Inc. | Chucking system with recessed support feature |
JP5875250B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2016-03-02 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及びデバイス製造方法 |
JP5893303B2 (ja) * | 2011-09-07 | 2016-03-23 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
EP3078462A1 (fr) * | 2013-12-03 | 2016-10-12 | Harmotec Co., Ltd. | Dispositif et système de retenue, procédé de commande et dispositif de transport |
JP6333031B2 (ja) | 2014-04-09 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品の製造方法 |
US10620532B2 (en) | 2014-11-11 | 2020-04-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint method, imprint apparatus, mold, and article manufacturing method |
JP6647027B2 (ja) | 2015-12-03 | 2020-02-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
JP6940944B2 (ja) * | 2016-12-06 | 2021-09-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品製造方法 |
JP7132739B2 (ja) | 2018-04-06 | 2022-09-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06244269A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置並びに半導体製造装置におけるウエハ真空チャック装置及びガスクリーニング方法及び窒化膜形成方法 |
JP2000195927A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Sony Corp | 真空チャック装置 |
JP2001127144A (ja) * | 1999-08-19 | 2001-05-11 | Canon Inc | 基板吸着保持方法、基板吸着保持装置および該基板吸着保持装置を用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 |
US6809802B1 (en) * | 1999-08-19 | 2004-10-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate attracting and holding system for use in exposure apparatus |
JP2001127145A (ja) * | 1999-08-19 | 2001-05-11 | Canon Inc | 基板吸着保持方法、基板吸着保持装置および該基板吸着保持装置を用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 |
WO2004044651A1 (fr) | 2002-11-13 | 2004-05-27 | Molecular Imprints, Inc. | Systeme de mandrin et procede de modulation des formes de substrats |
-
2007
- 2007-03-26 CN CNA2007800120092A patent/CN101415535A/zh active Pending
- 2007-03-26 KR KR1020087024314A patent/KR20090004910A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-03-26 JP JP2009504203A patent/JP4667524B2/ja active Active
- 2007-03-26 EP EP07754062A patent/EP2007566A4/fr not_active Withdrawn
- 2007-03-26 WO PCT/US2007/007487 patent/WO2007126767A2/fr active Application Filing
- 2007-03-29 TW TW96111034A patent/TWI352874B/zh not_active IP Right Cessation
-
2010
- 2010-11-05 JP JP2010248309A patent/JP2011077529A/ja active Pending
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