JP2009528531A - 位置センサ - Google Patents
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Abstract
記載されている位置センサは、センサ電磁界発生器と、センサ電磁界を閉じ込めるように構成されたスクリーンと、出力部とを備える。出力部は、スクリーンの存在の結果生じる電磁界の磁束圧縮の量によって変化する信号を提供するように構成される。磁束圧縮の量は、センサ電磁界発生器に対するスクリーンの位置に関係付けられる。電磁界発生器およびスクリーンの相対位置を検出する方法をも開示されている。
【選択図】 図2a
【選択図】 図2a
Description
本発明は、リニアおよび/または角度位置を検出するための位置センサ、および位置検知の方法に関する。
リニアおよび/または角度位置を検出するために多くの種類の位置センサが現在利用可能である。高分解能の位置検出には、従来の可変容量センサを使用することができる。代替的に、リニア可変変圧器を使用することができるが、これらは一般的に高価でありかつ嵩張る。さらに、これらの先行技術のセンサの関連温度補償は困難になるおそれがある。加えて、そのようなセンサは、活性表面上の油または切削流体の存在によって役に立たなくなり、かつ流体中に浸漬されると機能しなくなる。
こうした背景の下、本発明の第1態様に従って、センサ電磁界発生器、センサ電磁界を閉じ込めるように構成されたスクリーン、およびスクリーンによる電磁界の磁束圧縮の量に応じて変化する信号を提供するように構成された出力部を含み、磁束圧縮の量がセンサ電磁界発生器に対するスクリーンの位置に関係する、位置センサを提供する。
好適な実施形態では、センサ電磁界発生器は、両方合わせて共振回路を形成するコイルおよび容量性素子を含む。こうして、コイルに対するスクリーンの位置の変化は、スクリーンによるコイルの電磁界の磁束圧縮の変化およびコイルのインダクタンスの関連変化に変換される。これは次に、例えばブリッジ技術によって、または回路の共振周波数もしくはQ因子の変化を観察することによって、回路のインピーダンスを変化させる。
かくして、リニアまたは角度位置を検知するための正確な位置センサが提供される。本発明に係る位置センサは、下述の通り、従前のセンサに比べて複数の利点を有する。
本発明の位置センサは従前のセンサより頑健であり、塵埃または油の侵入による故障または誤動作を生じにくい。本発明のセンサはD.C.ドリフトに影響されず、かつ通常1/fノイズによって生じる問題のどれも経験しない。加えて、本発明のセンサは小型であるだけでなく、製造が安価かつ容易でもある。本発明のセンサは、流体に浸漬しながらまたは高温時に動作することができ、一般的に悪環境に耐える。本発明の位置センサでは先行技術のセンサより高い空間分解能が可能である。さらに、本発明のセンサはシステムの摩耗、軸受摩耗、および機械的振動の作用に対し感応しない。本発明のセンサの使用寿命は、可変容量センサのそれを超えると予想される。所定の測定範囲および分解能に対する本発明の検知装置の長さは、リニア可変変圧器に要求される長さより短い。さらに、本発明のセンサは温度補償され、したがって非温度自動調節用途に理想的に適する。
位置センサの出力は、共振回路の共振周波数に応じて変化する信号を提供するように構成されることが好ましく、共振周波数はスクリーンによる電磁界の磁束圧縮に関係する。
好適な実施形態では、スクリーンがコイルを同軸的に受容するように適応された管状スクリーンであり、かつ管状スクリーンがコイルに対して軸方向に可動である、リニア位置センサを提供する。管状スクリーンはテーパを付けることが好ましい。さらに好ましくは、テーパ付けは、共振周波数が管状スクリーン内のコイルの軸方向位置に線形的に関連付けられるように行なわれる。
別の好適な実施形態では、管状スクリーンは第1筒状スクリーンであり、センサは、第1筒状スクリーンおよびコイルの周囲に同軸的に配置された金属製の外側筒状スクリーンをさらに含む。外側筒状スクリーンはコイルに対して軸方向に固定される一方、第1筒状スクリーンはコイルと外側筒状スクリーンとの間の空間内を軸方向に移動することができる。このようにして、共振回路の共振周波数は、コイルおよび外側筒状スクリーンに対する第1筒状スクリーンの軸方向位置に単調に関係付けられる。センサは第1スクリーンの側方変位、およびしたがってシステムの振動、偏心性、軸受摩耗等に感応しない。
さらなる好適な実施形態では、スクリーンが、コイルを受容するように適応された外側スクリーン、およびコイル内を軸方向に貫通して配置されたワイヤまたはロッドのような長いテーパ付き部品を含んで成る、リニア位置センサを提供する。長いテーパ付き部品は、磁束圧縮がコイルに対する長いテーパ付き部品の軸方向位置に関係付けられるように、コイルに対して軸方向に移動可能である。センサは、長いテーパ付き部品の側方移動に感応せず、したがって正確なセンタリングの必要無しに長いテーパ付き部品の直径に比例する出力を提供するはずである。この方法により、センサは加工誤差および機械的摩耗等に感応しない。
代替的実施形態では、スクリーンが可変寸法の螺旋状凹部を含んで成る角度位置センサを提供する。コイルは少なくとも部分的に凹部内に位置し、かつ、コイルの長手軸が凹部の中心で螺旋状通路に正接し続けるように凹部内で可動である。
別の実施形態では、スクリーンは、凹部の周りの角度位置により変動する深さを有する環状凹部を含む。コイルは少なくとも部分的に凹部内に受容され、コイルの長手軸が凹部の中心で円形通路に正接し続けるように凹部内で可動である。
さらなる実施形態では、スクリーンは外側スクリーンおよび金属部を含む。外側スクリーンは金属部およびコイルを包囲し、磁束圧縮は金属部の回転位置に関係付けられる。
さらに別の実施形態では、スクリーンは、コイルとコイルを貫通して配置された環状テーパ付き部品とを受容するように適応された、外側スクリーンを含む。環状テーパ付き部品は、磁束圧縮がコイルに対する環状テーパ付き部品の回転位置に関係付けられるように、回転可能である。
代替的実施形態では、位置センサは、スクリーンにより第2センサ電磁界を閉じ込めるように構成されて成る第2センサ電磁界発生器と、スクリーンの存在の結果生じる第2電磁界の磁束圧縮の量に応じて変化する第2信号を提供するように構成された第2出力部とをさらに含み、第2電磁界の磁束圧縮の量は、第2センサ電磁界発生器に対するスクリーンの位置に関係付けられる。かくして、ある程度の冗長性がセンサにもたらされる。
本発明の第2態様に従って、電磁界発生器およびスクリーンの相対位置を検出する方法であって、(a)電磁界発生器を使用して電磁界を発生させるステップと、(b)スクリーンを用いて電磁界を閉じ込めるステップと、(c)スクリーンの存在の結果生じる電磁界の磁束圧縮を検出するステップとを含み、磁束圧縮の量が電磁界発生器に対するスクリーンの位置に関係付けられる方法を提供する。
本発明の他の好適な特徴は、付属の特許請求の範囲に記載されている。
本発明の一部の実施形態について、以下で、実施例として添付の図面に関連して説明する。
本発明の理解を深めるために、その根底にある理論を最初に説明し、その後その理論に従って動作する実用的な装置の一部の実施形態について説明する。
これを念頭において、図1aおよび1bは、半径R0の筒状金属スクリーン12内にn巻回、長さl、および半径Riを有するインダクタ10を示す。
最初に、経時変化する電磁界による金属スクリーン12の浸透が無視できるほど小さいことを示す。次いで、インダクタ10およびキャパシタンスCのキャパシタを含む並列同調回路について説明する。特に、インダクタ10に対するスクリーン12の位置の変化は、同調回路を用いて種々の方法で検出することができることを示す。
〔理論〕
経時変化する電磁界が導体に浸透する深さは、印加電磁界の周波数ωに依存する。電界または磁界の存在下の導体は、その表面からの距離により指数関数的に減衰し、かつ表皮深さδでその元の値の1/eまで減衰した、内部電磁界分布を有することを示すことができる。以下の微分に示す通り、δはωの増加と共に減少し、高い導電率および高い透磁率の物質で小さく、したがって高い周波数で、金属は極めて近似的に反磁性体として(すなわち事実上磁束ミラーとして)挙動する。
経時変化する電磁界が導体に浸透する深さは、印加電磁界の周波数ωに依存する。電界または磁界の存在下の導体は、その表面からの距離により指数関数的に減衰し、かつ表皮深さδでその元の値の1/eまで減衰した、内部電磁界分布を有することを示すことができる。以下の微分に示す通り、δはωの増加と共に減少し、高い導電率および高い透磁率の物質で小さく、したがって高い周波数で、金属は極めて近似的に反磁性体として(すなわち事実上磁束ミラーとして)挙動する。
始めにマクスウェル式は次の通りである。
式(1)にJ=σE,およびD=εEを代入すると、
となる。
式(2)にB=μHを代入すると、
となる。
式(4)の回転を取ると、
となる。
式(3)を代入すると、
となる。
左辺を展開し、式(1)の発散は零であるので、∇・E=0であることに注目すると、
であることが分かる。
式(6)に代入すると、
となる。
式中xは導体の表面に垂直な導体内部への距離と仮定する。
式(9)を式(8)に代入すると、
となる。ゆえに、
となる。良導体の場合、式(11)の角括弧内の第2項が支配的であるので、
となる。
式(12)を式(9)に代入すると、
となる。
式(2)にB=μHを代入すると、
式(4)の回転を取ると、
式(3)を代入すると、
左辺を展開し、式(1)の発散は零であるので、∇・E=0であることに注目すると、
式(6)に代入すると、
式(9)を式(8)に代入すると、
式(12)を式(9)に代入すると、
次に、磁界の場合を考えると、式(3)から、σが大きい場合、
となることが分かる。式(17)の回転を取り、かつ∇・B=0であり、ゆえにμはスカラーであるので、∇・H=0であることに注目すると、
となる。
式(15)の右辺を展開すると、
となる。式(15)に式(2)および(16)を代入すると、
となる。ここで、標準形のHの解:
を代入すると、
となることが分かる。
ゆえに、
となり、これは式(12)と同一である。その結果、磁界の解は電界の解と同形になる。
式(13)および(20)内のxの虚像係数は、印加電磁界が導体内でいかに減衰するかを記述するので、xが表皮深さ、すなわち
に達したときに、電磁界がその元の強度の1/eに減衰していることが分かる。
式(15)の右辺を展開すると、
ゆえに、
式(21)は、ω、μ、およびσが増加すると、δが減少し、したがって高い周波数時に高い透磁率を持つ良導体の場合は小さいことを示している。例えば銅の場合、1MHz時にσ=6×107Ω-1m-1、μ0=4π×10-7Hm-1、|μr|≒1である。ゆえにδ=65μmである。かくして、1MHz時に経時変化する電磁界による銅製スクリーンの浸透は無視できるほど小さく、スクリーンは効果的な磁束ミラーとして挙動する。σが同一である磁気スクリーンの場合、物質の透磁率はμ=μrμ0>μ0によって与えられ、したがってδはずっと小さくなり、よってはるかに顕著な「磁束ミラー」性能がもたらされる。
次に、dc電流Iが流れる空気充填巻線型インダクタついて考える。磁界が発生し、その値は次式によって近似的に求められる。
式中、nは単位長さ当たりの巻回数であり、Bはインダクタ内部の磁界強度であり、μ0は自由空間の透磁率である。
インダクタの周囲および内部の磁界パターンは、棒磁石のそれに類似している。インダクタ内部には、磁束の線が均等にかつコイルの軸線と平行に分布する。磁束の閉じたループはコイルの体積の外側の空間に延び、一端から入り、他端から出、インダクタ外の磁界の強さはその中心からの距離と共に減衰する。
正弦波的に変化する電流I(t)がコイルに印加されると、コイルの領域に生じる磁界の大きさは変調電流の周波数ωで正弦波的に変動し、その極性は半減期毎に逆転する。
図1aおよび1bのように、金属スクリーン12がインダクタ10上に配置される場合、磁束は、式(20)にある通り印加電流の周波数で金属スクリーン12の表皮深さのみに有意に浸透する。ゆえに、スクリーン外径より大きい半径位置の磁束浸透は無視できるほど小さい。
図1aおよび1bの構成では、インダクタ10は断面積Ac=πRi 2を有する。インダクタ10とスクリーン12との間の円環14の断面積AAは、関係πRi 2+AA=πR0 2によって求められる。
導電性スクリーン12が所定の位置に配置されると、インダクタの交番磁界の存在のため、その内面に単位長さ当たりの誘導電流Jscreenが存在する。この誘導電流が今度は、インダクタ10の電流によって生じる磁界に対抗しかつそれを変化させる、追加磁界を発生させる。
BAおよびBcは、インダクタ10の円環14内および中心の磁界をそれぞれ表わす。∇・B=0であるので、
となる。式(22)から類推して、
および
となる。式中、nは単位長さ当たりの巻回数であり、Jcoil=nIは、コイルの単位長さ当たりの実効電流である。ゆえに、有限長効果を無視すると、単位長さ当たりのインダクタンスLは、次式によって求められる。
式(23)を式(26)に代入すると、
となる。式(27)は、AAが無限大に向かうにつれて、システムの単位長さ当たりのインダクタンスがLmax=2μ0n2Acの最大値に向かい、AAが零に向かうにつれて、Lもそうなることを示している。
このインダクタ/スクリーンシステムの微分長dxの等価回路は、図1cに見られる「遅波線路」のそれに類似している。図中、
Lは、式(27)からの単位長さあたりのインダクタンスである。
L′は、システムの単位長さ当たりの同軸インダクタンスである。
C′は、システムの単位長さ当たりの同軸キャパシタンスである。
C″は、システムの単位長さ当たりの巻線間キャパシタンスである。
rcoilおよびrscreenはそれぞれコイルおよびスクリーンの単位システム長さ当たりの損失等価抵抗である。
Lは、式(27)からの単位長さあたりのインダクタンスである。
L′は、システムの単位長さ当たりの同軸インダクタンスである。
C′は、システムの単位長さ当たりの同軸キャパシタンスである。
C″は、システムの単位長さ当たりの巻線間キャパシタンスである。
rcoilおよびrscreenはそれぞれコイルおよびスクリーンの単位システム長さ当たりの損失等価抵抗である。
実際には、動作周波数で、L′≪LかつアドミタンスYC″≪YLである。したがって、rscreenおよびL′を参照して(A、B、およびCが同等である図1dに示す通り)、r=rcoil+rscreenでありかつL*がC′′および(L+L′)の並列組合せである、図1eに示す等価回路がもたらされる。
図1fに示すように、直列インピーダンスZおよびシャントアドミタンスYを持つ伝送線路としてシステムを解析すると、線路の特性インピーダンスZ0は、
によって求められ、線路の入力インピーダンスは、線路の長さlの関数として、
によって求められ、式中ZLは負荷インピーダンスであり、βは伝搬係数である。モデルでは、線路は負荷端で短絡され、ゆえにZLは零であり、かつ
であるので、線路を無損失として概算すると(すなわちr≪ωL*)、
となる。リアクタンスがこのZinに並列に加えられると、全アドミタンスは、L*およびしたがってセンサスクリーンの変位によって異なる周波数ωで零となる。ωのこの値を追跡することにより、変位を測定する手段がもたらされる。
解析は、波長λ≫lとなる(すなわち線路長が伝搬波の波長よりはるかに小さい)ように、周波数についてさらになる展開することができる。
βは周波数に依存する伝搬係数であり、
によって求められる。したがって、式(33)を式(32)に代入すると、
となる。最後に、全線路インダクタンスL*lをLTによって表わすと、
となる。外部並列コンデンサCxにより、このシステムは、
によって求められる周波数で共振する(すなわちアドミタンスが零になる)。したがって、共振周波数は、
となる。
ゆえに、式(36)および(37)から、インダクタンスLの減少は共振ω0の周波数の増加に対応することが分かる。したがって磁束圧縮の増加は、周波数の増加として測定可能である。
記載する共振回路のクオリティ因子Qは、
によって概算される。式中、rはシステムの単位長さ当たりの損失等価直列抵抗rscreen+rcoilであり、ω0はその共振周波数である。ゆえに、式(36)を代入すると、
となる。式中rscreenは、単位長さ当たりのスクリーンの消散損失が1/2・I2 coilrscreenによって得られるように定義される。
スクリーンの内面に誘起される電流は、式(21)に定義される通り、金属の表皮深さまでだけで有意である。ゆえに、
となる。式(24)および(25)から、
となる。式(23)を式(41)に代入すると、
となる。式(42)を式(40)に代入すると、
となる。ゆえに、
となる。同様に、
であり、ρscreen=ρcoil=ρ、かつδscreen=δcoil=δであるならば、
となる。ゆえに、式(39)および(46)から、外側スクリーンの半径が減少するにつれて、共振回路のQが低下することが分かる。
かくして、上述の通り、共振システム内の巻線型インダクタの周囲に可変半径R0(x)の金属スクリーンを導入することにより、その回路のQが変化し、したがって次の3つの相互接続メカニズムによって測定可能な出力が生成される。
1)R0が低下すると、Lは式(27)の通り低下し、ゆえにω0は式(37)の通り増加する。
2)R0が低下すると、rscreenは式(44)の通り増加する。
3)ωが増加すると、δは式(21)の通り低下し、ゆえにrcoilおよびrscreenは増加する。
4)上記1、2、および3の結果、
R0が低下すると、
は低下する。
1)R0が低下すると、Lは式(27)の通り低下し、ゆえにω0は式(37)の通り増加する。
2)R0が低下すると、rscreenは式(44)の通り増加する。
3)ωが増加すると、δは式(21)の通り低下し、ゆえにrcoilおよびrscreenは増加する。
4)上記1、2、および3の結果、
R0が低下すると、
高速低分解能用途の場合、Qの監視は周波数カウントより安価かつ効果的な解決策である。
上記解析は、磁束ミラーが磁束を含む領域に侵入する低対称性の事例、例えば、通過するギアの歯がコイルの磁束を圧縮するように、例えばコイルの近くで回転する歯車またはギアホイールに拡張可能である。コイルのQの関連する変化を使用して、ギアの速度を監視することができる。さらなる詳細については、説明の最後の方にある「ギア検知用途」の項を参照されたい。
上述したメカニズムを使用して、スクリーンに対するインダクタの位置(またはその逆)を正確に測定することが可能な位置センサを提供することができる。そのようなセンサの性能はドリフトおよび1/fノイズに感応せず、瞬時ウェークアップが特徴である(すなわち、電源を投入すると、センサは、較正のための外部対話無く、直ちに正確な位置値を出力する)。必要な場合、デジタル温度補償を組み込むことができる。
そのようなセンサの動作周波数は、ワーキングコイルのインダクタンスの累乗根に反比例する(式37参照)。高い動作周波数およびしたがって最小限のインダクタンスが望ましい。
〔リニア位置センサ〕
根底にある理論を説明したので、次にその適用例を幾つか説明する。最初に図2a、2b、および2cを参照すると、本発明の1実施形態に係るリニア位置センサ20が示されている。
根底にある理論を説明したので、次にその適用例を幾つか説明する。最初に図2a、2b、および2cを参照すると、本発明の1実施形態に係るリニア位置センサ20が示されている。
リニア位置センサ20は、内径R1を有する外側接地筒状スクリーン22、内径R2(R2<R1)を有する内側接地筒状スクリーン24、および内径R3(R3<R2<R1)を有する巻線型インダクタコイル26を含む。スクリーン22および24はコイル26と同軸である。コイル26は長さLを有し、巻き型28に巻回される。センサ20はさらに、コイル26に接続された発振回路(図示せず)を含む。
スクリーン22および24は金属製であり、良導体である。代替的に、スクリーンはドープ半導体から製造することができる。スクリーン22および24は銅から作ることが好ましい。巻き型28は不良導体である。巻き型28はPTFEから作ることが好ましい。しかし、本発明の範囲内で(センサ20のこれらおよび他の構成要素のための)他の材料も予想される。例えば巻き型28は代替的に、マシナブルセラミック、タフノル(Tufnol)、ナイロン、ガラスファイバ、またはデルリンから作ることができる。
外側スクリーン22は、所定の位置にはんだ付けまたは溶接される銅円板のようなエンドキャップ30によって、一端を閉鎖される。エンドキャップ30は、コイル26を発振回路に接続する同軸ケーブル(図示せず)を受け入れるように、中心アパーチャ32を含む。外側スクリーン22は、スタンドまたは土台(図示せず)に取り付けることができる。
巻き型28は、半径R1に等しい半径を有する第1筒状部分34を含む。巻き型28はさらに、第1筒状部分34と同軸でありかつそこから突出する第2筒状部分36を含む。コイル26は、第2筒状部分36の周りに巻回される。第2筒状部分36の半径は半径R2に等しい。
第1筒状部分34は外側スクリーン22に固定される。これは、外側スクリーン22のアパーチャ40から第1筒状部分34のねじ付きアパーチャ42内にねじ38をねじ込むことによって達成することができる。第1筒状部分34の第1端44は、エンドキャップ30の表面と面一である。第1筒状部分34は、第1端44から第1筒状部分34内へ同軸的に延びる中央筒状凹部46を含む。凹部46は、発振器、電源、および接地への電気的接続を行なうことを可能にする。代替的実施形態では、発振回路構成等を収容するために、エンドキャップ30と第1筒状部分34との間に空間が設けられる。
種々のワイヤを受け入れるために、2つのストレート穴が巻き型28に完全に貫通穿孔される。第1穴48は巻き型28の軸線に沿って延びる。第2穴50は凹部46から第1筒状部分34の第2端54まで延び、第2端54のR3をちょうど超えた半径方向位置に抜け出る。第1および第2穴48および50は、コイル26の両端に接続されたワイヤを受け入れる。
内側スクリーン24は、外側スクリーン22に固定された管状PTFEスペーサ58を用いて、外側スクリーン22から一定の半径方向距離に維持される。内側スクリーン24は軸方向に、スペーサ58に対して自由に移動可能とすることができる。
内側スクリーン24は、コイル26から遠い方の端を金属エンドキャップ60によって閉鎖される。エンドキャップ60は、内側スクリーン24の内側に密嵌しかつそれに固定される第1筒状部分62を含む。エンドキャップ60はさらに、外側スクリーン22の内径に略等しい半径を有する第2筒状部分64を含み、この部分にOリング溝が切り込まれ、その中にコイルばねまたは導電性編組片が挿入されるので、第2筒状部分64は外側スクリーン22と適正に電気的に接触するが、それに対して軸方向に移動することができる。コイル26から遠い方の第2筒状部分64の端66は、端66から第2筒状部分64内に同軸的に延びる中央筒状凹部68を含む。装置の実証のために、凹部68は、マイクロメータシャフト(図示せず)の端を受け入れるように適応される。この実施形態の実際の適用ではマイクロメータを可動物体または装置と置換することが考えられ、その位置を測定することが望ましい。マイクロメータはスタンドまたは土台に取り付けられ、内側スクリーン24が外側スクリーン22に対して移動することを可能にする。
内側スクリーン24は、スペーサ58とエンドキャップ60との間の軸方向空間内、およびスクリーン22および24の間の半径方向空間内に存在する、同軸ばね70を用いてばね付勢される。代替的実施形態では、内側スクリーンの移動はばね付勢されない。
R1、R2、R3、およびLの比は、所望の装置周波数変位関係を達成するように決定される。
使用時に、センサ20は物体(図示せず)の位置を検知するために使用することができる。物体は移動物体である。これは、物体が移動すると内側スクリーン24も移動するように、直接または間接的に物体を内側スクリーン24に取り付けることによって達成される。例えば上述の通り、凹部68は物体を受容するように適応することができる。かくして、内側スクリーン24の位置を検知することによって、物体の絶対位置または相対位置も検知される。
内側スクリーン24は、図2aに示すようにそれがコイル26を完全に遮蔽する第1位置と、図2cに示すようにそれがコイル26から完全に離れる第2位置との間で移動することができる。図2cの第2位置で、コイルは、内側スクリーン24ではなく、外側スクリーン22によって遮蔽される。図2bは中間位置を示す。
上述した磁束圧縮の程度に関係付けられる発振回路の出力共振周波数は、内側スクリーン24の軸方向位置に依存する。内側スクリーン24の単位リニア変位に対するセンサ20の応答は、単調な周波数であると予想される。センサ20の形状は移動均等性を示すので、プロファイル依存末端効果は発生しない。そのような装置は、高速運動する往復動部品の位置を正確に測定するために使用することができる。107分の1の安定性と、最大および最小遮蔽状態の間で1MHzの搬送周波数の最大変化とを持ち、10MHzで動作する発振器で、kHz測定周波数に対し104の分解能が期待される(ナイキスト基準により、測定周波数は物体の運動の最大周波数成分の少なくとも2倍に等しい)。センサ20の範囲はコイル26の長さによって決定される。したがって、そのようなシステムのインダクタンスを最小化するために、約1の巻回空間比を持つコイルが好適である。
動作無線周波数電磁界の均質性を改善するために、平型銅線を使用することができる。代替的に、単一コイルの代わりに、2つ、3つ、または4つのコイルを並列に使用することができる。コイルはねじ切り技術(すなわち2条/3条/4条ねじ切り)によって製造することができる。2条ねじでは、コイルのピッチは必然的に2倍になり、単位長さ当たりのインダクタンスは2分の1になり、コイルは完全に結合される。したがって、2つのインダクタが並列に接続されると、インダクタンスは1条コイルのそれに等しい。
センサ20の挙動は、コイル26とスクリーン22および24との間の浮遊キャパシタンスの変動によって影響される。したがって、好適な実施形態では、この影響を最小化するために、2部品パロットケージスクリーン(PCS)74が嵌合される。PCSは、センサ20の挙動が依存する無線周波数電磁界への影響が無視できるほど小さくなるように、製造することができる。PCSの第1部品74aは、図2dに示す通りコイル26の周りに同軸的に取り付けられ、PCSの第2部品74bは、図2eに示す通りコイル26の端部に取り付けられる。図2dで、第1部品74aは、その外周の小さい弧が欠如している円形を形成するように成形された接地線76aを含む。平行なワイヤ78aが接地線76aから、円の面に垂直な方向に、円の周りに規則的な間隔で延びる。使用時に、第1部品74aは、ワイヤ78aがコイル26の軸線と平行に延びるように、コイル26上に同軸的に配置される。第2部品74bは、コイル26の端を容量効果から遮蔽するように、コイル26の端に取り付けられるように設計される。第2部品74bは、接地線ループ76bから半径方向内向きに延びる複数のワイヤ78bが取り付けられた、さらなる不完全な接地線ループ76bから構成される。図2dおよび2eに示すようなPCSは、下述する他のセンサの実施形態と共に使用することもできる。
図3aは、本発明の別の実施形態に係るリニア位置センサ80aを示す。この実施形態は、記載する明白な違いを除き、これまでの実施形態とほぼ同様である。
リニア位置センサ80aは、テーパ付きスクリーン82aと、巻き型86上に巻回された巻線型インダクタコイル84aと、コイル84aに接続された発振回路88aとを含む。これまでの実施形態とは対照的に、第2スクリーンは存在しない。
コイル84aは、図2に鎖線で示す長手軸を持つ略円筒状である。テーパ付きスクリーン82aはコイル84aと同軸であり、軸方向に変化する半径の円形断面を有する。テーパ付きスクリーン82aは、コイル84aに対し軸方向に移動することができる。
上述の通り磁束圧縮の程度に関係付けられる発振回路88aの出力共振周波数は、テーパ付きスクリーン82a内のコイル84の軸方向位置に依存する。
テーパ付きスクリーン内への移動とシステムの周波数偏移との間のリニア関係を得るために(すなわちf∝Kx)、式(37)から次のことが想起される。
式中、ω=2πfであり、したがって、
となる。ゆえに、リニア関係の場合、
となるように構成しなければならないことを示すことが可能である。
式(49)によるテーパ付きスクリーン82bを有する位置センサ80bを、図3bに概略的に示す。
式(49)によるテーパ付きスクリーン82bを有する位置センサ80bを、図3bに概略的に示す。
式(49)を導く解析は、システムの長さ(すなわちテーパ付きスクリーン82の長さ)に比べてコイル84の長さが短いことを前提とすることに留意されたい。末端効果は理想的システムでは無視されるが、実際の装置の挙動に影響することが予想される。
そのようなセンサは、高速運動する往復動部品の位置を正確に測定するために使用することができる。107分の1の安定性と、最大および最小遮蔽状態の間で1MHzの搬送周波数の最大変化とを持ち、10MHzで動作する発振器で、kHz測定周波数に対し104の分解能が期待される(ナイキスト基準により、測定周波数は物体の運動の最大周波数成分の少なくとも2倍に等しい)。センサ80の出力は、テーパ付きスクリーン82のアパーチャ(テーパ)関数およびコイル84に使用するワイヤのプロファイルの畳み込みによって求められる。したがってセンサ80の性能は、ワイヤの局所的表面またはバルク不均質性に感応しない。
上述のリニア位置センサ20および80で使用されるコイル26および84は、センサ応答を線形化するために、可変断面積のワイヤから巻回することができる。代替的実施形態では、コイル26および84は、所望の非線形特性を持つセンサ20および80を生成するように可変断面積のワイヤから巻回することができる。コイル26および84をプリント回路基板上にエッチングすることが考えられる。
図4は、本発明のさらなる実施形態に係るリニア位置センサ140の断面図を示す。センサ140は、コイル142および同軸筒状金属スクリーン144を含む。これまでの実施形態と同様に、センサ140はさらに、コイル142に取り付けられた発振回路(図示せず)を含む。
使用時に、可変半径の金属ワイヤまたはロッド146がコイル142内に同軸的に配置され、軸方向に可動である。コイル142の中心におけるワイヤまたはロッド146の軸方向移動は、上述した磁束圧縮メカニズムにより、ワイヤまたはロッド146の半径に比例するQまたは周波数偏移を生じる。かくしてセンサ140は、コイル142内のワイヤまたはロッド146の軸方向位置を検出するために使用することができる。
センサ140は、ワイヤまたはロッド146のその軸線に垂直な移動に感応しない。したがってセンサ140は、エンドフロートに感応しない角度位置測定装置の基礎として使用することができる。代替的実施形態では、センサ140は、(任意の直径の)金属ワイヤ、シリンダ、またはロッドの直径を高感度実時間監視または測定するために使用することができる。
〔角度位置センサ〕
図5は、本発明の実施形態に係る角度位置センサ100の断面図を示す。センサ100は、ベースプレート(図示せず)の片面の凹部内に部分的に位置するコイル102と、金属円板103とを含む。これまでの実施形態と同様に、センサ100はさらに、コイル102に取り付けられた発振回路(図示せず)を含む。
図5は、本発明の実施形態に係る角度位置センサ100の断面図を示す。センサ100は、ベースプレート(図示せず)の片面の凹部内に部分的に位置するコイル102と、金属円板103とを含む。これまでの実施形態と同様に、センサ100はさらに、コイル102に取り付けられた発振回路(図示せず)を含む。
円板103は、片面にテーパ付き螺旋状凹部104を有する。螺旋状凹部104は、円板103の中心付近から始まりかつ円板103の縁に達する前に終端する、外側に向かう螺旋を形成する。螺旋状凹部104は、その幅が螺旋の中心に向かって減少するようにテーパを付けられる。
使用時に、ベースプレートは、ベースプレート凹部がベースプレートの上面に位置するように、水平方向に向けられる。コイル102は水平長手軸を有し、部分的にベースプレート凹部内に収容される。円板103は次いで、ベースプレートと平行に、その上に配置される。円板103は、螺旋状凹部104が円板103の下面に位置するように向けられる。かくしてコイル102は、ベースプレート凹部および螺旋状凹部104を含む密閉容積内に収容される。コイル102は、その長手軸が円板103の下面およびベースプレートの下面と同一平面内に存するように位置する(すなわちコイル102は半分がベースプレート凹部内に収容され、かつ半分が螺旋状凹部104内に収容される)ことが好ましい。
円板103は、矢印Xで示される角度方向に移動することができる。かくしてコイル102は、コイル102の軸線が常に螺旋状凹部104の中心で螺旋状通路(すなわち破線)に正接するように、図4に示す破線に沿って螺旋状凹部104内で移動することができる。
磁束圧縮の程度に関係付けられる発振回路の出力共振周波数は、螺旋状凹部104内のコイル102の角度位置に依存する。かくしてこの構成は、0.1度未満の達成可能な分解能を持つマルチターン角度位置センサを提供する。
センサ100の代替的方向付けを使用することもできることは理解されるであろう。
図6は、本発明の別の実施形態に係る角度位置センサ110を示す。センサ110は、ベースプレート(図示せず)の片面の凹部内に部分的に位置するコイル112、および深さDの円板114を含む。これまでの実施形態と同様に、センサ110はさらに、コイル112に取り付けられた発振回路(図示せず)を含む。図6aは、横断面図であり、図6bはAA′に沿った縦断面図であり、図6cおよび6dはそれぞれBおよびCの方向に見たOXに沿った縦断面図であり、方向図6eはOYに沿った縦断面図である。
円板114は、片面に同軸環状凹部116を有する。凹部116は、コイル112の少なくとも一部分を受け入れるように適応される。凹部116の深さは、最大深さの領域が最小深さの領域と一致する0/360度を除き、円板114の周囲の角度位置により円滑に変化する(図6aの線OXを参照されたい)。好適な実施形態では、円板114は、導電層を被覆した射出成形プラスチックから製造することができる。
使用時に、ベースプレートは、ベースプレート凹部がベースプレートの上面に位置するように水平方向に向けられる。コイル112は水平長手軸を有し、ベースプレート凹部内に部分的に収容される。円板114は次いでベースプレートと平行に、かつその上に配置される。円板114は、環状凹部116が円板114の下面に位置するように方向付けられる。かくしてコイル112は、ベースプレート凹部および環状凹部116を含む密閉容積内に収容される。図6eに示す通り、コイル112は長手軸が円板114の下面およびベースプレートの上面と同一平面内に存するように位置する(すなわちコイル112は半分がベースプレート凹部内に収容され、かつ半分が螺旋状凹部116内に収容される)ことが好ましい。
円板114は、その中心(図5aの点O)の周りを回転自在である。かくして円板114によるコイル112の磁束圧縮の程度は、円板114の角度位置に応じて変化する。同様に、発振回路の周波数出力も角度位置に応じて変化する。0/360度における周波数の段階的変化は、デジタル回路構成によって記録することができる。かくして高精度マルチターン角度位置センサ110が提供される。
本発明に係る角度位置センサ120のさらなる代替的実施形態を図7に示す。センサ120はコイル122と、凹部126を有するベースプレート124と、金属部品128と、トッププレート(図示せず)とを含む。これまでの実施形態と同様に、センサ100はさらに、コイル102に取り付けられた発振回路(図示せず)を含む。
図7の実施形態では、ベースプレート124は略筒状であり、その半径より小さい深さを有する。凹部126もまた筒状であり、ベースプレート124と同軸状である。代替的に、凹部は筒状かつ/または同軸状である必要はない。コイル122は、その軸線がベースプレートの軸線に垂直な凹部126内の略中心に位置する。トッププレートは、ベースプレート124の凹部126内に垂直に磁束を閉じ込める。
金属部128は、コイル122の軸線に垂直な方向にコイル122に隣接して、凹部126内に位置する。この実施形態では、金属部128は、円板の軸線およびベースプレート124の軸線と平行な偏心回転軸線130を有する円板である。それでもなお、代替的構成も可能であることは理解されるであろう。例えば金属部品128は、その金属表面のセクションとコイル124との間の距離が変化するように、凹部126内で回転することのできる用途特定的決定可能な形状を持つ金属材の部片とすることができる。
使用時に、コイル124の磁束圧縮の程度に関係付けられる発振回路の出力共振周波数は、その偏心軸線130を中心とする金属部品128の角度位置に依存する。
図8は、本発明の別の実施形態に係る角度位置センサ150を示す。センサ150はコイル152と、外側スクリーン(図示せず)と、金属テーパ付き構成要素154とを含む。これまでの実施形態と同様に、センサ150はさらに、コイル152に取り付けられた発振回路(図示せず)を含む。
この実施形態では、テーパ付き構成要素154は円形断面を有し、第1端154aと第2端154bとの間でテーパを付けられる。テーパ付き構成要素154は大まかに、第1および第2端154aおよび154bが相互に隣接して位置するように、中心点Oを有する円形に成形される。テーパ付き構成要素154はコイル152内を通過する。
使用時に、コイル152は固定位置を有する一方、テーパ付き構成要素は矢印Xで示すように、点Oを中心に360度回転可能である。テーパ付き構成要素154および外側スクリーンによってコイル154の磁束圧縮の程度に関係付けられる発振回路の出力共振周波数は、点Oを中心とするテーパ付き構成要素154の角回転に依存する。センサ150はコイル152内のテーパ付き構成要素154の側方移動には応答しないので、不充分なベアリングで動作する場合でも、高い角分解能をもたらす。
〔デュアルレーン位置センサ〕
用途によっては、デュアルレーン位置センサを有する(すなわち1つがある程度の冗長性を示す)ことが望ましいことが予想される。以下のスキームは、これを達成するための可能な方法を示すが、以下に示すのは決して包括的なリストを構成するものではない。
用途によっては、デュアルレーン位置センサを有する(すなわち1つがある程度の冗長性を示す)ことが望ましいことが予想される。以下のスキームは、これを達成するための可能な方法を示すが、以下に示すのは決して包括的なリストを構成するものではない。
本発明に係るデュアルレーン位置センサの第1実施形態では、2つのコイルが相互巻回される。1組の電子機器が両方のコイルを交互に作動させる。これは、3位スイッチによるコイル間の高速切替えによって達成される。動作のシーケンスは次の通り(または同様)、すなわちコイル1がアクティブ、両方のコイルがアクティブ、コイル2がアクティブである。コイルは完全に結合され、したがって所与の位置入力に対する出力は、3つの動作レジーム全部で同一となることが予想される。上述したリニアまたは角度位置センサはいずれも、このタイプのデュアルレーン位置センサになるように一部変更することができることを理解されたい。
デュアルレーン位置センサ200の第2実施形態を図9に示す。2つのコイル202および204はスクリーン206内に配置される。スクリーン206は図9の線AA′を中心に対称であり、(リニア応答を得るために)各半分が図3bのテーパ付きスクリーンの実施形態のそれと同様のプロファイルを有する。
コイルは、例えばエポキシ製の絶縁ロッド208内に設置することができる。かくして、ロッド208を動かすことにより、コイル202および204をスクリーン206内で軸方向に移動させることができる。スクリーン206の内面210は導電性である。それは機械加工するか、またはプラスチックから射出成形することができる。射出成形される場合、スクリーン206は内側または外側のいずれかを金属メッキすることができる。いずれの場合も満足できるスクリーンが得られる。2つのコイル202および204は、別々の電子機器によって作動させることができる。
デュアルレーン位置センサ210の第3実施形態を図10に示す。センサ210は、単純なデュアルレーンシステム内に組み込まれた2つの独立動作コイル212および214を含む。磁束は外側スクリーン216および内側スクリーン218によって閉じ込められる。内側スクリーン218は、コイル212および214に対して相対的に移動可能である。
デュアルレーン位置センサ220の第4実施形態を図11に示す。センサ220は、2つのコイル222および224、ならびに磁束を閉じ込めるための外側スクリーン226および内側スクリーン228を含む。内側スクリーン228は、コイル222および224に対して相対的に移動可能である。
デュアルレーン位置センサ230の第5実施形態を図12に示す。センサ230は、2つのコイル232および234、ならびに磁束を閉じ込めるための外側スクリーン236および内側スクリーン238を含む。内側スクリーン238は、コイル232および234に対して相対的に移動可能である。
製造公差を補償し、かつ両方のセンサコイルの出力が一致することを確実にするために、デュアルレーン位置センサを同調するための機構が必要になるかもしれないことが予想される。そのようなシステム240を図13に示す。コイル246は、非導電性「充填材」248に埋設される。同調は、コイル246の一方または両方の中心244内に金属ロッド242をねじ込むか、またはねじ戻すことによって達成される。ロッド242の動きは矢印Xによって示される。ロッド242が移動すると、磁束の遮蔽およびしたがってセンサの出力が影響を受ける。このようにして、センサ出力を同調させることができる。
代替的に、コイルの一方にシムを入れ、他方に対して水平にすることができる。
〔温度補償〕
非温度自動調節による位置検知用途の場合、位置センサの温度補償手段が必要になることが予想される。実際、現行技術より優れた本発明の位置センサの1つの利点は、熱的補償が容易に行なわれることである。以下では可能な温度補償スキームについて説明するが、本発明の範囲内で他のスキームも考えられる。
非温度自動調節による位置検知用途の場合、位置センサの温度補償手段が必要になることが予想される。実際、現行技術より優れた本発明の位置センサの1つの利点は、熱的補償が容易に行なわれることである。以下では可能な温度補償スキームについて説明するが、本発明の範囲内で他のスキームも考えられる。
第1温度補償スキームでは、RF磁界が占める容積の近傍に非導電性磁性粒子が導入される。例えば、希釈ガーネットを導入することができ、希釈度は、センサの動作温度範囲に従って磁気秩序温度を生み出すように選択される。強磁性種、反強磁性種、および常磁性種を(それらの秩序温度よりわずかに高い温度で使用して)、導入することができる
次の関係を使用して、最適温度補正に必要な各種の量が決定される。
式中、Ci、j、kは、キュリー定数および導入される磁性種の量によって決定される。(下付き添え字i、j、およびkはそれぞれ常磁性種、強磁性種、および反強磁性種を指す)。Ci、Cj、Ckは、θj、TNkは、必要な温度範囲全体で温度補正が達成されるように選択する必要がある。
第2温度補償スキームでは、コイルの伸縮方向を決定するために、その軸線に沿ってシステム内の特定の点でコイルを固定することによって、温度補償が達成される。そのようなスキームは、特定のセンサ実施形態と共に使用するためにだけ適している。
第3温度補償スキームでは、センサまたはコイルが取り付けられるシャフトは、異なる(既知の)熱膨張係数を持つ材料から製造することができる。このようにして、熱膨張効果を無効にすることができる。
〔駆動回路構成〕
図14a、14b、および14cは、本発明に係る位置センサのための駆動回路構成の3つの実施例を示す。これらのスキームは、単に例証を目的とするだけであり、多くの他のスキームを実現することができる。図14a、14b、および14cの各々で、センサ「ヘッド」は破線Yで示される。図14cで、インダクタL1およびL1 *は静的対である。
図14a、14b、および14cは、本発明に係る位置センサのための駆動回路構成の3つの実施例を示す。これらのスキームは、単に例証を目的とするだけであり、多くの他のスキームを実現することができる。図14a、14b、および14cの各々で、センサ「ヘッド」は破線Yで示される。図14cで、インダクタL1およびL1 *は静的対である。
〔分解能帯域幅解析〕
本発明に係るセンサの分解能帯域幅解析は、以下の通り実行することが可能である(図15も参照されたい)。そのような解析は、本発明のセンサにより可能な高分解能を例証する。
本発明に係るセンサの分解能帯域幅解析は、以下の通り実行することが可能である(図15も参照されたい)。そのような解析は、本発明のセンサにより可能な高分解能を例証する。
センサの分解能は、分解可能な全センサ行程のごく一部分(すなわち、[測定範囲/最小測定可能変位])と定義される。センサの帯域幅は、測定することのできる可動物体の最大周波数fobと定義され、それは
によって測定周波数fmに関係付けられる。さらに、測定範囲での搬送周波数の最大変化をΔfCによって表わし、かつノイズによる周波数の最大変化をΔfnと表わすことにする。
演算増幅器の利得帯域幅積から類推して、センサはΔfC/2に等しい分解能帯域幅積を有する。
〔ギア検知用途〕
本発明に係る角度位置センサは、歯車またはカムの位置を検出するために使用することができる。該技術を用いて高精度装置を実現する方法は多く存在することを理解されたい。1つの可能な装置構成を、対応する性能特性と共に下述する。
本発明に係る角度位置センサは、歯車またはカムの位置を検出するために使用することができる。該技術を用いて高精度装置を実現する方法は多く存在することを理解されたい。1つの可能な装置構成を、対応する性能特性と共に下述する。
以下の説明で、用語「ギア」は、その位置を測定することが望ましい歯車/カム等を記載するために使用される。
歯数Nのギアの位置は、そのギアの歯を「ターゲット」として使用して測定される。すなわち、ギアの歯は角度位置センサの可動スクリーンとして働く。τgearはギアが1回転するのに要する時間と定義され、fgearはギアの回転周波数(すなわち1/τgear)であり、1つの歯の幅は360/N度と定義される。
2つのセンサヘッドが使用される。これらは、相互に(2n+1/2)×歯幅だけ変位してギアの外周に配置される。ここでnは整数である(1≦n≦N/2)。各センサヘッドの有感体積は1歯幅に等しい。各センサヘッドに対し、ギアの歯が装置の有感体積を占めるときに最大限の遮蔽が行なわれ、歯間の空間が有感体積内に存するときに、最小限の遮蔽が行なわれる。
1つの歯が1つのセンサヘッドを通過するのに要する時間内にM個のサンプルが採取される。歯が装置を通過するにつれて、図16に概略的に示すように、遮蔽状態は最大から最小に変化し、電子搬送周波数fCの周波数偏移ΔfCを引き起こす(グラフは縮尺通りではなく、グラフの形は解説のために三角波に簡素化されている)。サンプリング時間τSは次のように定義される。
ギアが回転するときに、2つのセンサが受け取る信号は直交する(すなわち正確に90度位相がずれる)。歯がセンサヘッドを通過するときに、最大変化率を示す信号領域内でデータが連続的に読み出されるように、2つのセンサから交互にデータが読み出される。(ギアの単位角度変位に対する装置の応答は非線形になり、データ処理のためにデジタル「ルックアップ」法を使用することが考えられる)。
周波数分解能を次式によって定義する。
ここでΔfCは搬送周波数偏移(ピークトゥピーク)である。図16から、
が明らかである。したがって、式(55)および(56)を組み合わせることにより、
となることが分かる。装置の性能指数は次式:
によって求められ、装置の度単位の分解能は、次式:
によって求められる。式中、αはフラクショナル最大搬送周波数偏移に等しい定数である(例えば10%効果の場合、0.1)。
装置は、現在使用されている技術(例えば帰納法、磁気コードホイール読取器)に比べて以下の重要な利点を有する。
・ギアの歯をセンサのターゲットとして使用することができるので、コードホイールもしくは磁気ターゲット、またはギアの面の一部変更が不要である。
・優れた分解能
・耐久性および信頼性
・温度補償が容易に達成される。
・ギアの歯をセンサのターゲットとして使用することができるので、コードホイールもしくは磁気ターゲット、またはギアの面の一部変更が不要である。
・優れた分解能
・耐久性および信頼性
・温度補償が容易に達成される。
ギアの回転方向は、装置の出力から得ることができる。装置は、ギアの歯の1つに「マーカ」(すなわち小さい不規則性)が存在する場合、または歯の配列が既知かつ非対称である場合、装置はギアの絶対位置を生み出すことができる。
本発明の好適な実施形態について説明したが、これらは単なる実施例であって、様々な変形が考えられることを理解されたい。例えば、上述したギア検知用途は、本発明に係る位置センサの単なる1つの適用例にすぎない。本発明の範囲内で多くの他の適用例、例えば燃料計のプランジャの位置の検知、旋盤のトップスライドの位置の検知が考えられることも理解されるであろう。
Claims (26)
- センサ電磁界発生器と、
センサ電磁界を閉じ込めるように構成されたスクリーンと、
前記スクリーンの存在の結果生じ、前記センサ電磁界発生器に対する前記スクリーンの位置に関係付けられる前記電磁界の磁束圧縮の量に応じて変化する、信号を提供するように構成された出力部と、を備える位置センサ。 - 前記センサ電磁界発生器が交番電流界を発生させるように適応された、請求項1に記載の位置センサ。
- 前記センサ電磁界発生器が、交番電流を通すように構成された導電性コイルを備える、請求項1または2に記載の位置センサ。
- 前記センサ電磁界発生器が、一緒に共振回路を形成するコイルおよび容量性素子を備える、請求項1ないし3のいずれかに記載の位置センサ。
- 前記出力が、前記共振回路の共振周波数に応じて変化する信号を提供するように構成され、前記共振周波数が前記スクリーンの存在の結果生じる電磁界の磁束圧縮の量に関係付けられる、請求項4に記載の位置センサ。
- 前記出力が、前記共振回路のQ因子に応じて変化する信号を提供するように構成され、前記Q因子が前記スクリーンの存在の結果生じる電磁界の磁束圧縮の量に関係付けられる、請求項4に記載の位置センサ。
- 前記コイルと前記スクリーンとの間の浮遊キャパシタンスの変化を低減するように、前記センサが、前記コイルを中心に同軸的に配置されたパロットケージスクリーンをさらに備える、請求項3ないし6のいずれかに記載の位置センサ。
- 前記センサがリニア位置センサであり、前記磁束圧縮が、前記センサ電磁界発生器に対する前記スクリーンのリニア位置に関係付けられる、請求項1ないし7のいずれかに記載の位置センサ。
- 前記スクリーンが、前記コイルを同軸的に受容するように適応された管状スクリーンを備え、前記管状スクリーンが前記コイルに対して軸方向に可動である、請求項5に従属するときの請求項8に記載のリニア位置センサ。
- 前記管状スクリーンにテーパが付けられる、請求項8に記載のリニア位置センサ。
- 前記共振周波数が前記管状スクリーン内の前記コイルの軸方向位置に線形的に関係付けられるように、前記テーパ付けが行なわれる、請求項10に記載のリニア位置センサ。
- 前記管状スクリーンが第1筒状スクリーンであり、前記センサがさらに、前記第1筒状スクリーンおよび前記コイルの周囲の同軸的に配置された金属製の外側筒状スクリーンを備え、前記外側筒状スクリーンが前記コイルに対して軸方向に固定され、前記共振周波数が前記コイルおよび前記外側筒状スクリーンに対する前記第1筒状スクリーンの軸方向位置に単調に関係付けられるように、前記第1筒状スクリーンが前記コイルと前記外側筒状スクリーンとの間の空間内で軸方向に移動可能である、請求項9に記載のリニア位置センサ。
- 前記スクリーンが、前記コイルを受容するように適応された外側スクリーンと、前記コイル内に軸方向に配置された長いテーパ付き部品とを備え、前記磁束圧縮が前記コイルに対する前記長いテーパ付き部品の軸方向位置に関係付けられるように、前記長いテーパ付き部品が前記コイルに対して軸方向に移動可能である、請求項5に従属するときの請求項8に記載のリニア位置センサ。
- 前記センサが角度位置センサであり、前記磁束圧縮が前記センサ電磁界発生器に対する前記スクリーンの角度位置に関連付けられる、請求項1ないし6のいずれかに記載の位置センサ。
- 前記スクリーンが螺旋状凹部を備え、前記コイルが少なくとも部分的に前記凹部内に位置し、かつ前記コイルの長手軸が前記凹部の中心で螺旋状通路に正接し続けるように、前記コイルが前記凹部内で移動可能である、請求項5に従属するときの請求項14に記載の角度位置センサ。
- 前記凹部の半径が前記螺旋の中心に向かって減少するように、前記凹部にテーパを付ける、請求項15に記載の角度位置センサ。
- 前記スクリーンが、前記凹部の周りの角度位置により変化する深さを有する環状凹部を備え、前記コイルが少なくとも部分的に前記凹部内に受容され、前記コイルの長手軸が前記凹部の中心で円形通路に正接し続けるように、前記コイルが前記凹部内で移動可能である、請求項5に従属するときの請求項14に記載の角度位置センサ。
- 前記スクリーンが外側スクリーンおよび金属部品を備え、前記外側スクリーンが前記金属部品および前記コイルを取り囲み、かつ前記磁束圧縮が前記金属部品の回転位置に関係付けられる、請求項5に従属するときの請求項14に記載の角度位置センサ。
- 前記金属部品が、前記コイルの軸線に垂直なd方向にコイルに隣接して位置する、請求項18に記載の角度位置センサ。
- 前記金属部品が、円板の軸線に平行かつ前記d方向に垂直な偏心回転軸線を有する円板である、請求項19に記載の角度位置センサ。
- 前記スクリーンが前記コイルを受容するように適応された外側スクリーンと、前記コイル内に配置された環状テーパ付き部品とを備え、前記磁束圧縮が前記コイルに対する前記環状テーパ付き部品の回転位置に関係付けられるように、前記環状テーパ付き部品が回転自在である、請求項5に従属するときの請求項14に記載の角度位置センサ。
- 前記スクリーンがさらに第2センサ電磁界を閉じ込めるように構成されて成る第2センサ電磁界発生器と、
前記スクリーンの存在の結果生じる前記第2電磁界の磁束圧縮の量に応じて変化する第2信号を提供するように構成された第2出力部と、をさらに含み、前記第2電磁界の磁束圧縮の量が、前記第2センサ電磁界発生器に対する前記スクリーンの位置に関係付けられる、請求項1ないし21のいずれかに記載の位置センサ。 - 電磁界発生器およびスクリーンの相対位置を検出する方法であって、
(a)前記電磁界発生器を使用して電磁界を生成するステップと、
(b)前記スクリーンを使用して前記電磁界を閉じ込めるステップと、
(c)前記スクリーンの存在の結果生じ、前記電磁界発生器に対する前記スクリーンの位置に関係付けられる前記電磁界の磁束圧縮の量を検出するステップと、を含む方法。 - 前記電磁界発生器が、一緒に共振回路を形成するコイルおよび容量性素子を備える、請求項21に記載の方法。
- 前記ステップ(c)が、前記共振回路の共振周波数を測定するステップを含み、前記共振周波数が、前記スクリーンの存在の結果生じる電磁界の磁束圧縮の量に関係付けられる、請求項22に記載の方法。
- 前記ステップ(c)が、前記共振回路のQ因子を測定するステップを含み、前記Q因子が、前記スクリーンの存在の結果生じる電磁界の磁束圧縮の量に関係付けられる、請求項22に記載の方法。
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