JP2009509156A - 物体の運動を検出するシステム - Google Patents
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Abstract
Description
・ 第1又は第2の細長い格子ストリップに対して入射光ビームを与える段階、及び、
・ 対象の運動を検出するよう光学検出手段において第1及び第2の細長い格子ストリップから回折される1つ又はそれより多い光ビームを受ける段階、
を有する。
Claims (18)
- 物体の運動を検出するシステムであって、
前記物体に対して結合される第1の細長い格子ストリップと、
該第1の細長い格子ストリップに交差する、別個の実質的に固定された第2の細長い格子ストリップと、
を有し、
更には、前記物体の運動を検出するために前記第1及び第2の細長い格子ストリップにおいて回折される1つ又はそれより多い光ビームを受けるよう配置される光学検出手段を有する、
システム。 - 前記固定された第2の細長い格子ストリップに対して前記光学検出手段を動かすよう配置される運搬手段を有する、
請求項1記載のシステム。 - 前記光学検出手段は、当該システム内において実質的に固定して配置され、
当該システムは更に、光方向変更手段を有し、前記光学検出手段が前記光ビームを受け得るようにする、
請求項1記載のシステム。 - 前記光学検出手段は、第1の固定検出手段と、第2の可動検出手段とを有する、
請求項1記載のシステム。 - 前記第1及び第2の細長い格子ストリップは、望ましくは直交する、1つ又はそれより多い方向において周期的である格子パターンを有する、
請求項1記載のシステム。 - 前記第1及び第2の細長い格子ストリップの少なくとも一方は、望ましくは直交する、1つ又はそれより多い方向において周期的である格子パターンを有し、前記ストリップの一方は、前記パターン間における位相差を有する同一の方向において周期的である少なくとも2つの格子パターンを有する、
請求項1記載のシステム。 - 前記第1の細長い格子ストリップを有する第1の平面の法線は、前記第2の細長い格子ストリップを有する第2の平面の法線と角度を成す、
請求項1記載のシステム。 - 入射光ビームを実質的に対向する方向へと方向変更する逆反射手段を更に有する、
請求項1記載のシステム。 - 前記第1の格子ストリップ及び前記第2の格子ストリップは、透過型及び/又は反射型格子を有する、
請求項1記載のシステム。 - 前記第1の格子ストリップ及び前記第2の格子ストリップは、夫々第1の方向及び第2の方向において延在し、該第1の方向及び第2の方向は、互いに対して垂直である、
請求項1記載のシステム。 - 前記第1の格子ストリップ及び前記第2の格子ストリップは、10mmより小さい横方向寸法を有する、
請求項1記載のシステム。 - 物体加工及び/又は検査システムであって、
該物体に対する物体位置決めテーブルを収容する加工及び/又は検査チャンバを有し、
第1の細長い格子ストリップは、前記物体位置決めテーブル上に取り付けられ、前記第1の細長い格子ストリップに交差する第2の細長い格子ストリップは、前記チャンバに対して実質的に固定されて取り付けられ、前記第1及び第2の細長い格子ストリップ及び光学検出手段は、前記物体位置決めテーブルの運動が検出され得るよう配置される、
物体加工及び/又は検査システム。 - システムにおいて物体の運動を検出する方法であって、
前記システムは、前記物体に対して結合される第1の細長い格子ストリップと、該第1の細長い格子ストリップに交差する別個の実質的に固定された第2の細長い格子ストリップと、光学検出手段とを有し、
当該方法は:
・ 前記第1又は第2の細長い格子ストリップに対して入射光ビームを与える段階と、
・ 対象の運動を検出するよう前記光学検出手段において前記第1及び第2の細長い格子ストリップから回折される1つ又はそれより多い光ビームを受ける段階と、
を有する、
方法。 - 前記固定される第2の細長い格子ストリップに沿って前記光学手段を動かす段階を更に有する、
請求項13記載の方法。 - 前記第1及び第2の細長い格子ストリップのうち少なくとも一方は、望ましくは直交する1つ又はそれより多い方向において周期的である格子パターンを有し、前記ストリップの一方は、前記パターン間における位相差を有する同一の方向において周期的である少なくとも2つの格子パターンを有し、
更には、前記格子パターンの各々に対して入射光ビームを与え、前記光学検出手段において前記格子パターンから回折される対応する光ビームを受ける段階、を有する、
請求項13記載の方法。 - 細長い格子ストリップであって、
少なくとも1つの方向において周期的である格子パターンを有し、
前記細長い格子ストリップは、15mmより小さい横方向寸法を有する、
細長い格子ストリップ。 - 前記格子ストリップは、細長い方向において周期的である第1の格子パターンと、前記横方向寸法の方向において周期的である第2の格子パターンとを有する、
請求項17記載の細長い格子ストリップ。 - 前記格子ストリップは、前記細長い方向及び前記横方向寸法の方向のいずれにおいても周期的である単一格子パターンを有する、
請求項17記載の細長い格子ストリップ。
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