CN102301199B - 用于旋转系统的笛卡尔坐标测量 - Google Patents

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Abstract

在用于测量笛卡尔坐标系中的周缘位置的测量装置中，激光源构造成沿旋转体的半径发射激光束，所述激光束适于发生旋转以提供旋转激光束。反射器构造成沿垂直于激光束的路径的方向反射旋转激光束，而具有透明和反射区域的图案的刻度尺定位在测量装置的周缘位置处。检测器构造成通过检测旋转激光束在激光扫描刻度尺的同时发生的反射或透射来提供脉冲序列。所述脉冲序列对应于系统的笛卡尔坐标。

Description

用于旋转系统的笛卡尔坐标测量
技术领域
本发明涉及一种用于测量适于保持工件的载置台系统的笛卡尔坐标系中的周缘位置的测量装置和方法。
背景技术
当使用旋转系统时，精确测量笛卡尔坐标系中的周缘位置是比较困难的。
通常，周缘位置是通过角度测量装置测量的，而笛卡尔坐标是使用角度测量装置确定的半径算出的。常规角度测量装置的一个示例是旋转编码器，该旋转编码器具有圆盘，圆盘具有可被光学地测量的角度间隔开的光栅。
要在常规角度测量装置中计算笛卡尔坐标，半径必须是恒定和预先已知的。但是在具有多个臂的旋转系统中，可能存在多个半径。此外，周缘位置可能因为温度波动、旋转速度、动态机械效应等而发生改变。例如，如果旋转中心发生变化，则在测量角度时不能精确测得周缘位置。这导致在所确定的笛卡尔坐标中发生误差。
发明内容
本发明提供了一种用于测量激光束的位置的测量装置和方法，其中沿旋转体的臂朝位于给定或期望的周缘位置处的刻度尺反射激光束。如以下将详细描述的，刻度尺(或光栅)是透射或反射激光束的透明区域和反射区域的图案。
示例性实施例涉及图案生成系统、测量或检查装置、系统和工具、以及笛卡尔坐标测量方法。
示例性实施例提供用于测量笛卡尔坐标系中的周缘位置的设备和方法。在一个示例中，周缘位置是指由极坐标系中的半径和旋转角给定的周长上的位置。
笛卡尔坐标测量可用于拾取、安置、牵引和/或测量物体，所述物体的位置通过以旋转和直线运动的组合进行移动的系统在笛卡尔坐标中被限定出。在一个示例中，是曝光在一标准笛卡尔XY坐标系中画出的图案的情况。
附图说明
将参考附图来描述示例性实施例，附图中：
图1示出了沿旋转体的臂反射激光束的测量装置或工具的简化的示例性实施例；
图2示出了根据一示例性实施例的包括有旋转体的测量装置；
图3示出了另一示例性实施例的测量装置；
图4示出了根据一示例性实施例的刻度尺配置；
图5示出了根据另一示例性实施例的刻度尺配置；
图6示出了根据一示例性实施例的包括有架空刻度尺的测量装置的一部分；
图7示出了根据另一示例性实施例的测量装置的一部分；
图8示出了根据又一示例性实施例的测量装置的一部分；而
图9示出了使用来自刻度尺的底面的反射的示例性实施例。
具体实施方式
现在将更充分地参考附图来描述示例性实施例，其中只示出了一些示例性实施例。附图中，各层和区域的厚度是夸大的，以便于说明。各图中的相同附图标记代表相同元件。
具体的说明性实施例在本文公开。然而，本文所公开的特定结构和功能详情仅仅是为了描述示例性实施例的目的。示例性实施例可以多种变型进行实施，而不应该解释为只局限于本文给出的示例性实施例。
然而，应该理解的是，没有意图将示例性实施例限制于所公开的特定示例性实施例，相反，示例性实施例应覆盖落于适当范围内的所有变型、等同方案和替代方案。在整个附图的描述中，相同的标记指代相同的元件。
应该理解的是，虽然本文中可能使用第一、第二等术语来描述多种不同的元件，但是这些元件不应该被这些术语限制。这些术语只用于区别元件。例如，在不背离示例性实施例的范围的情况下，第一元件可称为第二元件，并且相似地，第二元件也可称为第一元件。如本文所使用的，术语“和/或”包括相关联的列举项目中的一个或多个的任一个和所有组合。
应该理解的是，当一元件被描述为“连接”或“连结”至另一元件时，它可以是直接连接或连结至另一元件，也可以存在中间元件。对比之下，当一元件被描述为“直接连接”或“直接连结”至另一元件时，则不存在中间元件。用于描述元件之间的关系的其它词语也应该以相同的方式解释(例如“之间”与“直接之间”、“相邻”与“直接相邻”等)。
本文使用的术语只是为了描述特定实施例，而并非旨在限制示例性实施例。如本文所使用的，“一”、“一个”、“该”等单数形式旨在也包括复数形式，除非上下文另有清楚地指明。此外，应理解的是，“包括”、“包含”和/或“含有”等术语在用于本文时，表明所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或组合的存在或添加。
还应注意的是，在一些替代实施方式中，所标示的功能/动作可能不以图中标示的顺序发生。例如，连续示出的两幅图实际上可能基本同时地执行，有时也可能以相反顺序执行，取决于所涉及的功能/动作。
根据示例性实施例，基材或工件的读取和写入/图案形成应广义地理解。例如，读取可包括显微检测、检查(inspection)、度量(metrology)、波谱检测、干涉测量、散射测量、上述一个或多个的组合等。
写入/形成图案可包括使光阻材料曝光、通过光学加热退火、消融(ablating)、通过光束为表面生成任何其它变化等。
基材的示例包括：平板显示器、印刷电路板(PCB)、包装应用中的基材或工件、光伏面板(photovoltaic panel)等。
本发明提供了一种用于测量激光束的位置的测量装置和方法，其中沿旋转体的臂朝位于给定或期望的周缘位置处的刻度尺反射激光束。如以下将详细描述的，刻度尺(或光栅)是透射或反射激光束的透明区域和反射区域的图案。
示例性实施例与包括有旋转体的图案生成器、测量系统、测量装置和测量工具有关。旋转体可包括一个或多个臂(例如2、3、4、5、6个或甚至更多个臂)，各臂可包括构造成写入/形成或读取图案或图像的光学系统。在一个示例中，臂的读取/写入头是静止或基本静止的，而光学图像通过旋转或摇摆的光学系统从旋转轴线附近的位置平移至远离旋转轴线的位置。在一个示例中，旋转系统可包括两个平行的反射镜，因此可在工件上扫描一个圆。
根据示例性实施例确定的测量数据(例如周缘位置数据)可与用于Y位置的其它位置测量装置(例如直线编码器或干涉仪)和用于X位置的旋转编码器组合。该组合能够在系统的完全旋转期间和完全直线运动内提供更绝对的笛卡尔坐标。
示例性实施例可随同连续旋转系统进行利用，所述连续旋转系统与环境交换比较少的或等于零的能量和比较小的振动。
至少一个示例性实施例提供一种测量装置，用于测量笛卡尔坐标系中的周缘位置。至少根据该示例性实施例，所述测量装置包括：激光源、反射器、刻度尺和检测器。所述激光源构造成沿旋转体的半径发射旋转激光束。所述反射器构造成沿垂直于所述激光束的路径的方向反射所述激光束。所述刻度尺具有由透明区域和反射区域形成的图案，并定位在所述测量装置的周缘位置处。所述检测器构造成通过检测旋转激光束在激光束扫描刻度尺的同时发生的反射或透射来提供脉冲序列。所述脉冲序列对应于系统的笛卡尔坐标。
至少一个其它示例性实施例提供一种方法，用于测量笛卡尔坐标系中的周缘位置。根据至少该示例性实施例，沿旋转体的半径发射旋转激光束；沿垂直于所述激光束的路径的方向反射所述旋转激光束；和通过检测所述旋转激光束在扫描位于测量装置的周缘区域的由透明区域和反射区域形成的图案的同时发生的反射或透射来提供脉冲序列。所述脉冲序列对应于系统的笛卡尔坐标。
根据至少一部分示例性实施例，所述旋转体包括多个臂，而所述反射器构造成沿旋转体的多个臂之一反射激光束。脉冲序列中的每隔一个脉冲表示笛卡尔坐标系的第一方向上的位置。连续脉冲之间的时间差表示笛卡尔坐标系的第二方向上的位置。
根据至少一部分示例性实施例，所述检测器可配置在刻度尺的上部。
根据至少一部分示例性实施例，所述测量装置还可包括构造成维持刻度尺与载置台之间的固定的相对距离的支承件，例如气承(air bearing)垫。根据至少一部分示例性实施例，至少一个气承构造成通过在载置台与刻度尺的支持构件之间提供至少一个气承，来在刻度尺与垂直于载置台的运动方向的载置台之间维持固定的相对距离(或位置)。
根据至少一部分示例性实施例，所述测量装置还可包括弹簧加载垫和构造成沿载置台的侧面引导刻度尺的支承件(bearing)。
根据至少一部分其它示例性实施例，所述测量装置可包括至少一个垫，例如气承垫，用于维持刻度尺与载置台之间的相对位置，方法是扩展在载置台的移动方向(Y方向)上沿载置台的侧面的引导(guiding)，以使刻度尺跟随载置台旋转。
根据至少一部分其它示例性实施例，所述测量装置可包括至少两个弹簧加载垫，它们构造成通过以给定或预定的距离沿载置台的侧面的滑动来将刻度尺维持在载置台上方的固定位置处。
根据至少一部分其它示例性实施例，所述测量装置可包括至少一个弹簧加载垫例如气承垫和至少一个第二垫例如气承垫，所述至少一个弹簧加载垫用于沿垂直于载置台的移动方向的方向维持刻度尺的支持构件与载置台之间的距离，所述至少一个第二垫扩展在载置台的移动方向(Y方向)上沿载置台的侧面的引导以使刻度尺跟随载置台旋转。
激光源与构造成发射曝光光束的源是可以是分离的。在该情况下，反射器可构造成沿第一方向朝刻度尺反射激光束，而沿第二方向朝工件反射曝光光束。或者，反射器可构造成沿相同方向反射激光束和曝光光束。在该情况下，激光源发射的激光束也可用作曝光工件的曝光光束。所述反射器可将激光束的第一部分反射向工件以曝光所述工件，而将激光束的第二部分反射向刻度尺。或者，所述激光束的第一部分和所述激光束的第二部分可以是沿相反方向反射的。
根据至少一部分示例性实施例，所述激光束可被反射向所述工件以曝光所述工件，而用以曝光所述工件的激光束的反射部分可反射回所述刻度尺，所述刻度尺配置在所述反射器上方。
图1示出了沿旋转体的臂(或半径)反射激光束的测量装置或工具的简化的示例性实施例。
参考图1，激光束108沿顺时针(或θ)方向扫描刻度尺或光栅110。激光束108的反射和/或透射由一检测器(未示出)检测。检测器基于激光束108的检测到的反射和/或透射而生成由脉冲序列106组成的检测器信号D_S。检测器可为激光束108的各个检测到的反射和/或透射生成脉冲，并且脉冲的序列对应于笛卡尔坐标。
根据至少该示例性实施例，检测器可以是构造成基于光的检测到的反射或透射而生成脉冲序列的任何检测器。在一个示例中，以上参考图1所描述的检测器可以是测量光强的任何标准或常规的光检测器。
仍然参考图1，刻度尺110包括垂直狭缝102和倾斜狭缝104。在本示例中，检测器信号D_S的每隔一个脉冲106-n对应于笛卡尔坐标系中的一个特定X位置，而两个连续脉冲之间的时间Δt对应于笛卡尔坐标系中的一个特定Y位置。
图2示出了根据一示例性实施例的包括旋转体的测量装置或系统。
参考图2，该测量装置包括具有四个臂202的旋转体208。旋转体208配置在基部210上方。载置台212能够保持工件214。
在一示例操作中，激光源206朝旋转体208发射旋转或扫描的激光束200。激光束200沿旋转体208的臂202被反射(例如，被未示出的反射器)向配置于载置台212的周缘处的刻度尺204。
仍然参考图2，另一反射器(图2中也未示出)向上朝刻度尺204反射激光束200。当激光束200扫描刻度尺204时，刻度尺204将激光束200反射回定位于非旋转位置处的检测器。至少在该示例性实施例中，检测器可定位在非旋转位置的激光源附近，而返回光可被45度半透明板(未示出)水平地反射(例如，从图2中的垂直光束起90度)。
当激光束200扫描图2中的刻度尺204时，检测器生成包括有脉冲序列的检测器信号。如以上参考图1所描述的，例如，检测器信号的每隔一个脉冲对应于笛卡尔坐标系中的一个特定X位置，而两个连续脉冲之间的时间Δt对应于笛卡尔坐标系中的一个特定Y位置。因此，给定或期望的周缘位置的笛卡尔坐标可基于生成的检测器信号而得到确定。
与图1的情况一样，以上参考图2所描述的检测器可以是测量光强的任何标准或常规的光检测器。
根据至少一部分示例性实施例，刻度尺204和/或载置台212可构造成沿X和/或Y方向移动，以使刻度尺204能够相对于载置台212定位。
图3示出了另一示例性实施例的测量装置。图3所示测量装置类似于图2所示测量装置，不同之处在于光的透射是在刻度尺的背面测得的。在图2和3中，相同标记指代相同元件。
参考图3，该测量装置包括具有四个臂202的旋转体208。旋转体208配置在载置台210上方。激光源206朝旋转体208发射旋转激光束300。旋转激光束300沿臂202之一被反射器(未示出)反射。激光束300于是被另一反射器(也未示出)朝载置台212的周缘处的刻度尺304向上反射。当激光束300扫描刻度尺304时，激光束300透射穿过刻度尺304并由配置成位于或比较靠近刻度尺304的上表面(例如背面)的检测器306检测。
在该示例性实施例中，检测器生成包括有脉冲序列的检测器信号。如以上参考图1和2所描述的，例如，检测器信号的每隔一个脉冲对应于笛卡尔坐标系中的一个特定X位置，而两个连续脉冲之间的时间Δt对应于笛卡尔坐标系中的一个特定Y位置。因此，给定或期望的周缘位置的笛卡尔坐标可基于生成的检测器信号而得到确定。
与图1和2的情况一样，以上参考图3所描述的检测器可以是测量光强的任何标准或常规的光检测器。
在旋转和分光运动件(prismatic movement)(其中分光运动件是例如移动的载置台)的组合的系统中，在垂直于运动件的方向上的相对位置可用支承件通过沿载置台210的侧面引导刻度尺204、304而测得。要处理载置台212的旋转，可增加两个或更多个引导垫，以使刻度尺204、304跟随载置台212的旋转。
根据示例性实施例，弹簧加载引导垫可借若干方式实施。例如，弹簧加载引导垫可以是气承、套筒支承件、磁力支承件等。垫能够沿正交方向以给定或预定距离沿载置台的侧面滑动，从而维持刻度尺在载置台上方的固定位置。
图4示出了根据一示例性实施例的测量装置的一部分。在该示例性实施例中，刻度尺404安装至弹簧加载垫406，弹簧加载垫406沿载置台210的侧面借支承件引导。
图5示出了构造成类似于图4所示系统的部分的测量装置的一部分，但是多增加有两个垫502和504，以根据载置台旋转来调节刻度尺旋转。在图5中，两个多余的垫502和504扩展了在Y方向上沿载置台的侧面的引导，使得刻度尺跟随载置台旋转。
图6～9示出了根据多个不同示例性实施例的构造成朝刻度尺/在刻度尺上反射测量光束的测量装置的部分。如图所示和以下详细描述的，测量光束可从曝光光束或从完全分离的激光源得到。
图6示出了根据一示例性实施例的包括有架空刻度尺的测量装置的一部分。在该示例性实施例中，测量激光束606从激光源608得到，激光源608与曝光光束614的源是分离的。
参考图6，在一示例操作中，激光源608朝旋转体的臂602发射旋转激光束606。激光束606沿臂602被引导向反射器610。反射器610朝配置在载置台612上方的刻度尺604反射激光束606。激光束606扫描刻度尺604，而激光束606的透射或反射被检测器(未示出)检测到。
在本示例中，检测器能够基于扫描激光束606的检测到的透射或反射而生成检测器信号，而给定或期望的周缘位置的笛卡尔坐标能够基于包括有检测器信号的脉冲序列得到确定。以上参考图7所描述的检测器可以是测量光强的任何标准或常规光检测器。
至少根据图6所示的示例性实施例，反射器610配置在载置台612与刻度尺604之间。
图7示出了根据一示例性实施例的包括有刻度尺的测量装置的一部分。在本示例中，与图6所示示例性实施例相比，刻度尺配置成靠近台架(stage)的表面。图7中的测量激光束706从激光源708得到，激光源708与曝光光束714的源是分离的。
参考图7，激光源708朝旋转体的臂702发射旋转激光束706。一反射器(未示出)沿臂702朝另一反射器710引导激光束706。反射器710向下朝配置在载置台712上方的刻度尺704反射激光束706。当激光束706扫描刻度尺704时，激光束706的透射或反射如上所述由一检测器(未示出)检测到。
如以上参考图6所描述的，检测器能够基于扫描激光束706的检测到的透射或反射而生成检测器信号，而给定或期望的周缘位置的笛卡尔坐标能够基于包括有检测器信号的脉冲序列得到确定。以上参考图7所描述的检测器可以是测量光强的任何标准或常规的光检测器。
在该示例性实施例中，刻度尺704配置在反射器710与载置台712之间。
根据至少一部分示例性实施例，用以曝光工件的光可扫描刻度尺。
图8示出了将用以曝光工件的曝光光束的一部分用来扫描刻度尺并确定周缘位置的笛卡尔坐标的示例性实施例。在该示例性实施例中，测量激光束806从曝光光束得到。
参考图8，在一示例操作中，激光器808朝旋转体的臂802发射激光束806。一反射器(未示出)沿臂802朝另一反射器810反射激光束806。反射器810将激光束806的一部分反射向载置台812，并将激光束806的另一部分向下反射向配置于载置台812上方的刻度尺804。当激光束806扫描刻度尺804时，来自刻度尺804的上表面的激光束806的反射如上所述被一检测器(未示出)检测到。
如上所述，检测器能够基于扫描激光束806的检测到的透射或反射而生成检测器信号，而给定或期望周缘位置的笛卡尔坐标能够基于包括有检测器信号的脉冲序列得以确定。以上参考图8所描述的检测器可以是测量光强的任何标准或常规的光检测器。
图9示出了将来自刻度尺的底面的反射/透射用于确定周缘位置的笛卡尔坐标的示例。在该示例性实施例中，测量激光束906从曝光光束得到。
参考图9，激光器908朝旋转体的臂902发射旋转激光束906。一反射器(未示出)沿旋转体的臂902朝反射器/偏转器910引导激光束906。反射器/偏转器910向上朝刻度尺904引导激光束906。当激光束906扫描刻度尺904时，激光束906被刻度尺904反射回光学元件910。反射回的激光束906回穿过光学元件910，并入射到载置台912上和/或被一检测器(未示出)检测到。
如上所述，检测器能够基于扫描激光束906的检测到的透射或反射而生成检测器信号，而给定或期望的周缘位置的笛卡尔坐标能够基于包括有检测器信号的脉冲序列得以确定。以上参考图9所描述的检测器可以是测量光强的任何标准或常规的光检测器。
以上的描述是为了图示和描述目的。它并非旨在穷举。特定示例性实施例的各元件或特征通常并不局限于该特定示例，而是在适用时是可交换的，并且能够用于即使未具体地图示或描述的所选实施例。同样的事物也可以多种方式发生变型。这种变型不能视为背离示例性实施例，并且所有这种变型旨在包括在本文所述示例性实施例的范围内。

Claims (24)

1.一种用于测量适于保持工件的载置台系统的笛卡尔坐标系中的周缘位置的测量装置，所述测量装置包括：
构造成沿旋转体的半径发射激光束的激光源，所述激光束适于发生旋转以提供旋转激光束；
构造成沿垂直于所述激光束的路径的方向反射所述旋转激光束的反射器；
具有透明区域和反射区域的图案的刻度尺，该刻度尺定位在所述测量装置的周缘位置处；和
检测器，构造成通过检测所述旋转激光束在所述激光束扫描所述刻度尺的同时发生的反射或透射来提供脉冲序列，
其特征在于，所述脉冲序列对应于所述载置台系统的笛卡尔坐标，所述激光源是构造成发射曝光光束以曝光工件的曝光光束，或者与构造成发射曝光光束以曝光工件的源分离。
2.如权利要求1所述的装置，其中，所述旋转体包括多个臂，而所述反射器构造成朝所述刻度尺反射所述旋转激光束。
3.如权利要求1和2中任一项所述的装置，其中，所述脉冲序列中的每隔一个脉冲表示笛卡尔坐标系的第一方向上的一个位置，而连续脉冲之间的时间差表示笛卡尔坐标系的第二方向上的一个位置。
4.如权利要求1和2中任一项所述的装置，其中，所述检测器配置在所述刻度尺的上部，并且所述检测器检测所述旋转激光束透射过所述刻度尺。
5.如权利要求1所述的装置，还包括：
构造成在所述刻度尺与一载置台之间维持固定的相对距离的至少一个支承件和至少一个垫；其中，所述载置台能够保持工件。
6.如权利要求1所述的装置，还包括：
构造成在所述刻度尺与一载置台之间维持固定的相对位置的至少一个支承件和至少一个垫；其中
所述载置台能够保持工件。
7.如权利要求5和6中任一项所述的装置，其中，所述反射器配置在所述载置台与所述刻度尺之间。
8.如权利要求5和6中任一项所述的装置，其中，所述刻度尺配置在所述载置台与所述反射器之间。
9.如权利要求5和6中任一项所述的装置，其中，所述至少一个垫是弹簧加载垫，而所述弹簧加载垫和所述支承件构造成通过沿所述载置台的侧面进行滑动来引导所述刻度尺。
10.如权利要求1所述的装置，还包括：
至少两个弹簧加载垫，构造成以给定或预定距离沿一载置台的侧面进行滑动来将所述刻度尺维持在所述载置台上方的固定位置。
11.如权利要求1所述的装置，其中，所述激光源与构造成发射曝光光束以曝光工件的源是分离的，而所述反射器沿第一方向朝所述刻度尺反射激光束，并沿第二方向朝所述工件反射曝光光束。
12.如权利要求1所述的装置，其中，所述激光源与构造成发射曝光光束以曝光工件的源分离，而所述反射器沿相同方向反射激光束和曝光光束。
13.如权利要求12所述的装置，其中，所述反射器将所述激光束的第一部分反射向所述工件用以曝光所述工件，而将所述激光束的第二部分反射向所述刻度尺。
14.如权利要求13所述的装置，其中，所述激光束的第一部分和所述激光束的第二部分是沿相反方向反射的。
15.如权利要求12所述的装置，其中，所述激光束被反射向所述工件用以曝光所述工件，而用以曝光所述工件的激光束的反射部分被反射回所述刻度尺，所述刻度尺配置在所述反射器上方。
16.一种用于测量适于保持工件的载置台系统的笛卡尔坐标系中的周缘位置的方法，所述方法包括：
沿旋转体的半径发射用于提供旋转激光束的激光束；
沿垂直于所述激光束的路径的方向反射所述旋转激光束；和
通过检测所述旋转激光束在扫描位于测量装置的周缘区域的由透明区域和反射区域形成的图案的同时发生的反射或透射来提供脉冲序列，其特征在于，所述脉冲序列对应于所述载置台系统的笛卡尔坐标，并且沿旋转体的半径发射用于提供旋转激光束的激光束也是发射用于曝光工件的曝光光束，或者是独立于发射用于曝光工件的曝光光束而发射光束。
17.如权利要求16所述的方法，其中，所述脉冲序列中的每隔一个脉冲表示笛卡尔坐标系的第一方向上的一个位置，而连续脉冲之间的时间差表示笛卡尔坐标系的第二方向上的一个位置。
18.如权利要求16-17中任一项所述的方法，还包括：通过沿固定有刻度尺的载置台的侧面进行滑动，来通过垫和支承件引导所述刻度尺。
19.如权利要求16-17中任一项所述的方法，还包括：
通过以给定或预定的距离沿载置台的侧面滑动至少两个垫，来将刻度尺维持在载置台上方的固定位置处；其中所述刻度尺固定于所述载置台。
20.如权利要求16-17中任一项所述的方法，其中，所述反射包括：
沿第一方向朝所述刻度尺反射所述旋转激光束；和
沿第二方向朝工件反射曝光光束。
21.如权利要求16-17中任一项所述的方法，其中，所述反射包括：
沿相同方向反射所述旋转激光束和曝光光束。
22.如权利要求16-17中任一项所述的方法，其中，所述反射包括：
朝工件反射所述旋转激光束的第一部分用以曝光所述工件，并朝所述刻度尺反射所述旋转激光束的第二部分。
23.如权利要求22所述的方法，其中，所述旋转激光束的第一部分和所述旋转激光束的第二部分是沿相反方向反射的。
24.如权利要求16-17中任一项所述的方法，其中，所述反射包括：
朝工件反射所述旋转激光束用以曝光所述工件，其中用以曝光所述工件的所述旋转激光束的反射部分反射回所述刻度尺，所述刻度尺配置在所述反射器上方。
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