JP2009508142A - 被試験デバイスを試験する試験装置及び方法、及びコンピュータプログラム - Google Patents

被試験デバイスを試験する試験装置及び方法、及びコンピュータプログラム Download PDF

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Abstract

【課題】複雑な試験を行うことに対してリソース効率の良い概念を生成すること。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置は、第1チャネルユニット及び第2チャネルユニットを含む。第1チャネルユニットは被試験デバイスからの信号に対する対応する第1ピン接続と、第1ピン接続から取得したデータを少なくとも部分的に処理するよう適応した対応する第1テストプロセッサと、第1テストプロセッサと連結すると共に、第1テストプロセッサの提供したデータを保存するよう適応した対応する第1メモリとを含む。第1チャネルユニットは、第1ピン接続から取得したデータの少なくとも一部を第2チャネルユニットへと転送データとして転送するよう適応している。第2チャネルユニットは、第1チャネルユニットからの転送データを少なくとも部分的に処理するよう適応した対応する第2テストプロセッサを含む。
【選択図】図1

Description

本発明は一般に、被試験デバイスを試験する試験装置、被試験デバイスを試験する方法、及びコンピュータプログラムに関する。詳細には、本発明はnビット取り込み試験に対して局所的に、そして並列に処理を行うことを可能とする概念に関する。
試験の分野では(例えば、チップ、あるいは搭載した印刷基板を試験する際)、複数の個別のチャネルを用いて種々のテストピン(例えば、チップのピン若しくは試験ポイント、又は搭載した印刷基板のノード)から信号を取り込む。例えば、複数のテストピン(入力ピン、出力ピン、入力/出力ピン、試験ポイント、又は回路ノード)を備えた被試験デバイスを複数の試験チャネルに接続する。各試験チャネルが一つのテストピンの情報を受信する。さらに、典型的にはチャネル毎に取り込んだデータを処理する。
図10を参照して従来の試験システムについて以下で説明する。この説明のため、試験システムの概略ブロック図を図10に示す。図10の試験システム全体は参照番号1000で示す。試験システム1000は被試験デバイス1010と、例えば1020_0から1020_nの(n+1)個のデジタルチャネルを含む。被試験デバイスは(n+1)個の端子又はテストピン1030_0から1030_0をさらに含む。試験チャネル1020_0から1020_nはそれぞれ、デジタルフロントエンド1040_0から1040_nと、テストプロセッサ1044_0から1044_nと、メモリ1048_0から1048_nを含む。bitに対するデジタルチャネル1020_0の構造を以下に示す。
デジタルフロントエンド1040_0の接続部は、bitに対する被試験デバイス1010のテストピン1030_0に連結する。さらに、デジタルフロントエンド1040_0はテストプロセッサ1044_0に連結する。例えばテストプロセッサ1044_0は、デジタルフロントエンド1040_0を介してテストピン1030_0に信号1046_0を出力できる。さらに、デジタルフロントエンド1040_0を介してテストピン1030_0から信号を受信するようテストプロセッサ1044_0を適応させることができる。従って、デジタルフロントエンド1040_0はテストプロセッサ1044_0と被試験デバイスのテストピン1030_0との間のインタフェースを構成する。さらに、テストプロセッサ1044_0は対応するメモリ1048_0に連結する。
従って、例えばデジタルチャネル1020_0については、bitに対するテストピン1030_0に存在するデジタル(又はアナログ)パターンを受信して、テストピン1030_0に存在するパターンをメモリ1048_0に保存するように適応させることができる。同様にn番目のデジタルチャネル1020_nについては、被試験デバイスのn番目のテストピン1030_に存在するアナログ又はデジタルパターンを受信して、それぞれのパターンをメモリ1048_nに保存するように適応させることができる。しかし、被試験デバイス1010から並列して出力されるDUTデータは、ピン毎に取り込まれる。換言すれば、1020_0から1020_nの各デジタルチャネルは、シングルビットのデータからなる(又はシングルビットのデータを含む)。換言すれば、デジタルチャネル1020_0から1020_nのそれぞれがアクセスできるのは、被試験デバイス1010のテストピン1030_0から1030_nのうちの一つに対してのみである。従って、被試験デバイス1010の出力データは並列に取り込まれるが、デジタルチャネル1020_0から1020_nのメモリ1048_0から1048_nにはデータが分散された形になる。
概して、被試験デバイスからの出力データは並列に取り込まれるものの、自動試験装置(ATE)システムにおいてデータが分散されると言える。
さらに、多くの試験(例えばアナログ−デジタル変換器の試験、並列プロトコル試験等)では、試験結果を算出するために完全なデータが必要である。しかし従来の試験システムでは、データはチャネル間で分散した形となり、各チャネルのテストプロセッサは別のチャネルのメモリにアクセスすることができない。従って、単一のテストプロセッサで結果を算出することができない。
最良な費用効果の試験を行うには、自動試験装置(ATE)システムが可能な限り高速に被試験デバイスを試験しなければならない。従来の概念を使用すれば、データが分散することとなり試験時間が増大する。分散したデータは従来的に、試験システムからワークステーションへアップロードされ、ワークステーションで組み合わせられて処理される。なお、アップロードの開始には待ち時間が伴うことが典型的であり、この待ち時間はチャネル毎に発生するのが一般的である。マルチサイトの試験を行う場合(例えば、いくつかの被試験デバイスを同時に試験する場合)、取り込んだデータからの結果の算出は、ワークステーションが並列に処理することができないため、一般的にはサイト毎に順次処理される(少なくとも効率的な方法ではない)。
さらに、取り込んだデータにいくつかのアルゴリズムを適用しなければならない場合、ワークステーションは典型的に並列処理を行うことができないため、ワークステーションでの算出は逐次行われるのが典型的である。さらに、種々の試験に対する刺激として取り込みデータを適用しなければならない場合、組み合わせたデータを再度試験システムにダウンロードしなければならない。
従来の試験に関する上記不利点を鑑み、本発明の目的は、複雑な試験を行うことに対してリソース効率の良い概念を生成することである。
この目的は請求項1に記載する試験装置と、請求項23に記載する被試験デバイスの試験方法と、請求項24に記載するコンピュータプログラムとによって達成される。
本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置を提供する。試験装置は第1チャネルユニットと第2チャネルユニットを含む。第1チャネルユニットは被試験デバイスからの信号に対する対応する第1ピン接続と、第1ピン接続から取得したデータを少なくとも部分的に処理するよう適応した対応する第1テストプロセッサと、第1テストプロセッサと連結すると共に、第1テストプロセッサの提供するデータを保存するよう適応した対応する第1メモリとを含む。第1ピン接続から取得した(又は取り込んだ)データの少なくとも一部を第2チャネルユニットへと転送するよう第1チャネルユニットを適応させる。第2チャネルユニットは、第1チャネルユニットからの転送データを少なくとも部分的に処理するよう適応した対応する第2テストプロセッサを含む。
本発明の主旨は、第1チャネルユニットの取り込んだデータを第2チャネルユニットに分散して、第1チャネルユニットの取り込んだデータに第2チャネルユニットのテストプロセッサがアクセスできるようにすることによって、被試験デバイスを効率的に試験できるようにすることである。このように本発明の概念によれば、第1取り込みユニットが取り込んだデータを他のチャネルユニット(例えば第2チャネルユニットや、その他の更なるチャネルユニット)が利用できるようになる。従って、特定のテストピンへ直接アクセスできないチャネルユニットが、別のテストピンを介して前記特定のテストピンに存在するデータへのアクセスができるようになる。
このように、特定のチャネルユニットのテストプロセッサ(例えば、第2チャネルユニットのテストプロセッサ)が、被試験デバイスの複数のテストピンに存在するデータ信号にアクセスできるようになる。従って、テストアルゴリズムが複数のテストピンに存在するデータに関する情報を必要とする場合でも、特定のチャネルユニットのテストプロセッサが複雑なテストアルゴリズムを実行することができる。従って、或るチャネルユニットが直接アクセスできるテストピンが1本のみである場合や、直接アクセスできるテストピンが全くない場合でも、そのチャネルユニットにおいて複雑なテストアルゴリズムを実行することができる。
従って、本発明の概念によれば、単一チャネルのチャネルユニットのテストプロセッサにおいて複雑なテストアルゴリズム(例えば、複数のテストピンに存在するデータを入力データとして必要とするアルゴリズム)の評価を並列に行うことができる。このようにして、チャネルユニットのテストプロセッサの算出力を最適に利用することができる。専用のワークステーションにおいて複雑な算出を実行するために、取り込んだデータの全てをワークステーションにダウンロードする必要がなくなる。従って、複雑な算出を実行する前にワークステーションに取り込みデータをダウンロードするという試験の概念に比べて、本発明の概念により試験速度を大幅に増大させることができる。そのため、本発明の概念を適用することによって試験時間と試験費用を大幅に減少することができる。
本発明の好適な実施形態を従属請求項により定義する。さらに、本発明は請求項23に記載する被試験デバイスの試験方法と、請求項24に記載するコンピュータプログラムを提供する。
以下、本発明の好適な実施形態について添付の図面を参照して説明する。
図1は、被試験デバイスを試験する本発明の試験装置の概略ブロック図を示す。図1の試験装置全体を参照番号100で示す。試験装置100は第1チャネルユニット110を含む。第1チャネルユニット110は、対応する第1テストプロセッサ112と対応する第1メモリ114を含む。第1メモリ114は第1テストプロセッサ112に連結し、第1テストプロセッサ112の提供するデータを保存するよう適応している。
試験装置100は第2チャネルユニット120をさらに含む。第2チャネルユニット120は、対応する第2テストプロセッサ122と対応する第2メモリ124を含む。第2メモリ124は第2テストプロセッサ122に連結し、第2テストプロセッサ122の提供するデータを保存するよう適応している。
さらに、第1チャネルユニット100はピン接続132を含む。このピン接続132は、図1には図示しない被試験デバイスからの信号を受信するよう適応している。
なお、第1チャネルユニット110はリンク140を介して第2チャネルユニット120に連結する。リンク140は第1チャネルユニット110を第2チャネルユニット120と接続する直接リンクとするのが好ましい。ただし、他のタイプのリンクを使用してもよい。
上記構造に関する説明に基づいて、試験装置100の機能について以下に記載する。なお、第1チャネルユニット110は第1ピン接続132からデータを取得若しくは取り込むよう適応していることが好ましい。よって第1チャネルユニット110は、例えば第1接続ピン132に存在するDUT信号をサンプリングするよう適応させることができる。例えば、第1チャネルユニット110の構造によって、サンプル(一般的には第1接続ピン132に存在する信号に関する情報)をテストプロセッサ112又はメモリ114に供給することができる。このため、例えばチャネルユニット110はアナログフロントエンド又はデジタルフロントエンドを含み、このアナログ又はデジタルフロントエンドは一方で第1接続ピン132に連結し、他方でテストプロセッサ112又はメモリ114に連結する。
しかし、テストプロセッサ112は第1接続ピン132から取得したデータを少なくとも部分的に処理するよう適応していることが好ましい。従って、例えばテストプロセッサ112は、被試験デバイスが適切に動作するかどうかに関する情報を提供するために、第1接続ピン132から取り込んだデータを利用してテストアルゴリズムを実行し得る。換言すれば、第1テストプロセッサ112は第1接続ピン132から取得したデータを処理して、被試験デバイスの合否結果を算出できる中間的な結果を取得するよう、又は合否結果そのものを得るよう適応していることが好ましい。
さらに、第1チャネルユニット110は、第1ピン接続132から取得した又は取り込んだデータの少なくとも一部を第2チャネルユニット120へと転送データとして転送するよう適応している。このために、第1チャネルユニット110と第2チャネルユニット120との間のリンク140を使用することが好ましい。
さらに、第1チャネルユニット110から第2チャネルユニット120に転送された転送データを少なくとも部分的に処理するよう、テストプロセッサ122を適応させる又は構成することが好ましい。
従って、第2チャネルユニット120が直接には利用できないデータを第2チャネルユニット120において処理できることとなり、それによって例えば中間的な結果を取得して、この中間的な結果から被試験デバイスの合否結果を算出できる。
なおチャネルユニット120は、任意の対応する接続ピンからデータを取得又は取り込むよう適応することが可能である。チャネルユニット120が対応する接続ピンを含む場合、第2チャネルユニット120の接続ピンは、第1チャネルユニット110の第1接続ピン132に存在する信号とは異なる信号に接続するのが好ましい。よって上記の場合、テストプロセッサ122は第1チャネルユニット110の第1接続ピン132に存在するデータと、第2チャネルユニットの接続ピンに存在するデータの両方にアクセスすることができる。このようにテストプロセッサ122は、第1チャネルユニット110から転送されたデータを、第2チャネルユニット120の取得した又は取り込んだデータと組み合わせることが可能である。このことにより、第2チャネルユニット120の第2テストプロセッサ122は、被試験デバイスの2つ以上の信号によって並列して提供されるデータに作用する複雑なテストアルゴリズムを実行できることになり、従来の試験装置より試験性能が向上する。
さらに、第2チャネルユニット120の接続ピンが動作しないという代替実施形態においても、第2チャネルユニット120のテストプロセッサ122は第1チャネルユニット110から転送されたデータを利用してテストプログラムを実行することが可能である。従って、チャネルユニット120が第2チャネルユニット120の接続ピンからデータを取り込まない場合でも、第2チャネルユニット120が、一つ以上の他のチャネルユニット(例えば、第1チャネルユニット110)が取り込んだ信号を利用してテストプログラムを実行することにより、試験の推進に関与することができる。
上記の記載から、単一チャネルのチャネルユニット110、120の各々が個々のテストプロセッサ112、122を含み、被試験デバイスの単一信号のみと連結するよう適応している場合に、単一チャネルのチャネルユニットを使用する際にも、本発明の概念によればハイレベルの並列処理を行うことが可能となる。
本発明の試験システム又は試験装置の一例の構造を以下に記載する。このため、本発明の実施形態による本発明の試験装置の概略ブロック図を図2に示す。図2の試験装置全体を参照番号200で示す。
試験装置200は第1チャネルユニット210を含み、第1チャネルユニット210は対応する第1テストプロセッサ212と、対応する第1メモリ214と、対応する第1ピン接続216を含む。試験装置200は第2チャネルユニット220をさらに含む。第2チャネルユニット220は対応する第2テストプロセッサ222と、対応する第2メモリ224と、対応する第2ピン接続226を含む。
試験装置200はまた、第3チャネルユニット230を含む。第3チャネルユニット230は対応する第3テストプロセッサ232と、対応する第3メモリ234と、対応する第3ピン接続236を含む。
なお、チャネルユニット210、220、230は、例えば試験装置100のチャネルユニット110、120と同じであってよい。さらに、第1チャネルユニット210は第1同期信号242に対する入力を含む。第2チャネルユニット220は第2同期信号244に対する入力を含み、第3チャネルユニット230は第3同期信号246に対する入力を含む。なお、第1同期信号242、第2同期信号244、及び第3同期信号246は同一のものであっても、あるいは共通の同期源又はクロック源から得られるものであってもよい。またチャネルユニット210、220、230は対応する同期信号242、244、246を適用して、それぞれのテストプロセッサ212、222、232のタイミングを同期させるよう適応していることが好ましい。従って、テストプロセッサ212、222、232は時間的に同期して動作するものと想定する。
さらに、試験装置200はマッチライン250を含み、このマッチライン250は例えば、第1チャネルユニット210、第2チャネルユニット220、及び第3チャネルユニット230を接続する導電線であり得る。例えばマッチラインを母線とし、この母線に3つのチャネルユニット210、220、230が連結していると考えることができる。なお、マッチライン250は第1チャネルユニット210の取り込んだデータを他のチャネルユニット220、230のいずれにも転送できることが好ましい。さらに、マッチライン250は第2チャネルユニット220が第2ピン接続226から取り込んだデータを他のチャネルユニット210、230のいずれにも転送できることが好ましい。マッチライン250はさらに又は代替的に、第3チャネルユニット230が第3ピン接続236から取り込んだデータを他のチャネルユニット210、220に転送できることが好ましい。チャネルユニット210、220、230の間のデータの転送について、以下に詳述する。
だたし、チャネルユニット210、220、230の全てが対応するピン接続216、226、236を必ずしも含む必要はない。好適な一実施形態では、チャネルユニットのうちの一つのみ、例えば第1チャネルユニット210のみがピン接続216を含み得る。例えば他のチャネルユニット220、230のピン接続226、236は省略してもよく、あるいはチャネルユニット220、230を適切に構成することによりピン接続226、236を無効力化することもできる。
代替的な実施形態では、チャネルユニット210、220、230の全てがピン接続216、226、236を含み、ピン接続216、226、236の全てが動作するようにすることができる。
さらに、好適な実施形態ではチャネルユニット210、220、230が同一のハードウェアを含み、チャネルユニットに適切な構成データを提供することにより、チャネルユニット210、220、230の動作に関する詳細を構成するようにしてもよい。例えば構成データにより、ピン接続216、226、236に存在する信号をサンプリングするかどうかを決めることができる。このように同一のハードウェアを用いても、個別のチャネルユニット210、220、230はそれらの構成によって異なる機能を提供し得る。例えば、第1チャネルユニット210についてはピン接続216に存在する信号をサンプリングするよう適応させ、一方第2チャネルユニット220についてはそのピン接続226に存在する信号をサンプリングしないよう適応させる。
本発明の試験装置の動作に関する更なる詳細について、図3を参照して説明する。図3は、本発明の一実施形態による試験装置の概略ブロック図を示す。図3の試験装置全体を参照番号300で示す。試験装置300は第1チャネルユニット310と、第2チャネルユニット320と、第3チャネルユニット330を含む。チャネルユニット310、320、330は、図2を参照して説明したチャネルユニット210、220、230と同じであってよい。第1チャネルユニット310の接続ピン316は、被試験デバイスの第1信号346に接続する。例えば、第1信号346は論理値列“111”を示す。さらに、第2チャネルユニット320の第2接続ピン326は、被試験デバイスの第2信号348に接続する。例えば、第2信号348は論理値列“100”を示す。第3チャネルユニット330の第3接続ピン336は、被試験デバイスの第3信号350に接続し、被試験デバイスの第3信号350は、例えば論理値列“110”を示す。なお第1信号346は例えば、並列して出力されるDUTデータの最下位ビット“bit”を示す。第2信号348は例えば、並列して出力されるDUTデータの第1ビット“bit”を示し、第3信号350は例えば、並列して出力されるDUTデータの第2ビット“bit”を示す。以下において並列ビット列を示す場合には、最下位ビットは最も右のビットで示す。さらに、時系列のビットで表す場合には、第1ビットが最も左のビットであり、最終ビットが最も右のビットである。なお、3つの信号346、348、350は、ビットの並列ワードを示す。第1時間インスタンスでは、信号346、348、350はワード“111”を示し、第2時間インスタンスでは、これら3つの信号は並列ワード“101”を示し、第3時間インスタンスでは、3つの信号346、348、350は並列ワード“001”を示す。なお、第1チャネルユニット310は単一チャネルユニットであることが好ましい。従って、第1チャネルユニット310は単一のDUT端子、すなわち接続ピン316のみを含む。接続ピン316は第1信号346に連結する。従って、第1チャネルユニット310は、DUTから一つのDUTピンの信号、すなわち信号346を受信する。同様に、第2チャネルユニット320は単一のDUT端子、すなわち第2接続ピン326のみを含む。従って、第2チャネルユニット320はDUTから単一の信号、すなわち信号348のみを受信する。同様に、第3チャネルユニット330は単一チャネルのチャネルユニットであり、単一のDUT端子、即ち第3ピン接続336のみを含む。第3接続ピン336において、第3チャネルユニット330はDUTから信号350を受信する。ただし、3つのチャネルユニット310、320、330の間に連結手段又はインタフェースが存在することにより、取り込んだデータをチャネルユニット同士でやり取りすることができる。従って、取り込んだアナログ又はデジタルデータ(例えば取り込んだビット)をチャネルユニット310、320、330の間で分配することができ、これによりチャネルユニット310、320、330の各々は、3つのDUT信号346、348、350を介して伝送されるデータワード全てを各々のメモリに保持することとなる。図3からわかるように、取り込んだデータをやり取りした後、すべてのチャネルユニットは3つのデータワード“111”、“101”、及び“001”をそれらそれぞれのメモリに保存している。
よって図3から、並列DUT出力データは全ての接続ピン又は単一ピンチャネルユニットにおいて組み合わせられることがわかる。換言すれば、マッチメカニズムを用いることによって並列取り込み試験を行うことでデータが組み合わせられ、図3ではn=3個のチャネル又はチャネルユニットと共にその一例が示されている。
しかし、代替の実施形態では単一のDUTテストピンのみから信号を取り込むだけでよい。例えば、第1チャネルユニット310を利用して信号346を取り込むだけでよい。この場合、第2チャネルユニット320の接続ピン326と第3チャネルユニット330の接続ピン336は動作しない。よって単一の論理値列、即ち第1信号346の論理値列“111”を取り込んで、チャネルユニット同士の間で分配する。このように、第1チャネルユニット310の取り込んだ論理値列“111”を、第2ユニット320と第3チャネルユニット330にも利用することができる。従って、第1チャネルユニット310を介して取り込まれたデータを基に、3つのチャネルユニット310、320、330の全て(例えばそれらのテストプロセッサ)がテストアルゴリズムを実行することができる。
さらに、代替の実施形態では、例えば被試験デバイスから取り込んだ特定のデータワードが単なるフレームワード又は同期ワードであって、所望の情報を有しているものではないという理由から、その特定のデータワードが関連性のないものであると認定される場合もある。この場合には、不要なDUTデータワードの情報(例えばビット)をチャネルユニット310、320、330の間で分配する必要がない。ここでは、例えばDUTデータワードの時間的位置によって、又はより進化したデータストリーム分析アルゴリズムを利用することによって、チャネルユニット310、320、330がDUTデータワードを同期ワードであると認識できたと仮定すると、チャネルユニット310、320、330の間でそれぞれのデータワード若しくはビット“111”を分配することを省略することができる。分配の省略は、例えば無用データ検出アルゴリズム(例えば同期ワード検出アルゴリズム、又は同期ビット検出アルゴリズム)によって制御される。ただし代替的に、テストプログラム内の所定の時間的位置において無用データワード(又は無用データビット)が発生した場合に、チャネルユニット310、320、330の間でのそれぞれのビットの分配を行うことに対する命令を省略するようにしてもよいこと分かる。省略は送信側または受信側のいずれかで行うことができる。送信側で省略をトリガ又は開始した場合には、無用データワード又は無用データビットの伝送を省略できる。省略が受信側で生じた場合には、無用データビット若しくは無用データワードを送信チャネルユニットが送信しても、それらを放置するよう受信側のチャネルユニットを適応させることができる。
さらに、代替の実施形態では、利用可能なチャネルユニットすべての間で、取り込んだDUT出力データをやり取りする必要がない。例えば第3チャネルユニット330について、チャネルユニット330はそれ自身が取り込んだデータを第1チャネルユニット310と第2チャネルユニット320に伝送するものの、第1チャネルユニット210と第2チャネルユニット320の取り込んだデータについては受信しないということが、決定されている場合がある。この場合には、データをやり取りした後、第1チャネルユニット310と第2チャネルユニット320は3つ全てのチャネルユニット310、320、330の取り込んだ利用可能なデータを有するが、第3チャネルユニット330はそれ自身の取り込んだ利用可能なデータのみを有することとなる。
代替の実施形態では、どの取り込みデータをどのチャネルユニットに分配するかを個別に選択することができる。例えば、所定のチャネルユニットの取り込んだ第1セットのデータビットを第1受信チャネルユニットに送り、後続の又は時間的にシフトした第2セットのデータビットについては、所定のチャネルユニットから別の受信チャネルユニットに送る。換言すれば、取り込みデータビットのうちのどれをどのチャネルユニットに分配するかについて、ビット毎に柔軟に決定することができる。
取り込みビットの分配に関する更なる詳細を以下に記載する。このため、本発明の実施形態による本発明の試験装置の概略ブロック図を図4に示す。図4の試験装置全体を参照番号400で示す。試験装置400は、例えば(n×i)個の複数のチャネルユニットを含む。好ましくは、チャネルユニットは単一チャネルのチャネルユニットであり、DUT信号への接続を確立する単一の接続ピンを有する。
チャネルユニットをハードウェアサイトにグループ化することに留意されたい。ここで、例えば各ハードウェアサイトは単一の被試験デバイスを試験する、又は被試験デバイスの個別に試験可能な構成要素を試験するものである。図4の例では、n個の同等のデバイス410_1から410_nを同時に試験することとする。第1ハードウェアサイトはi個のチャネルユニット420_1_1から420_1_iを含み、第n試験サイトはi個のチャネルユニット420_n_1から420_n_iを含む。なお、ここで考慮するチャネルユニットの全て(すなわち少なくとも2つのハードウェアサイトのチャネルユニット)は、単一の同期源から得られる同期信号440を受信する。好適な実施形態では、すべてのチャネルユニット420(あるいは少なくとも2つのハードウェアサイトのチャネルユニット)が同じ同期信号440を受信する。なお、すべてのチャネルユニット420(少なくとも2つのハードウェアサイトのチャネルユニット)は共通のマッチライン450に連結している。好適には、3ステートドライバ、オープンソースドライバ、又はオープンドレインドライバを介してチャネルユニットをマッチライン250に連結することで、チャネルユニットがマッチラインの信号レベル(中立状態)に有意の影響を及ぼさない状態にすることができる。
チャネルユニット同士の間での取り込みデータのやり取りについて、以下に詳細に記載する。このために、同期信号“Sync”と同期間隔のグラフ表示を図5に示す。図5のグラフ表示全体を参照番号500で示す。第1グラフ表示510は、例えば同期信号440の時間的進化を示す。なお、同期信号440は理想的に方形波信号として示している。同期信号440の各エッジをハードウェアサイト、すなわちチャネルユニットグループに関連づける。また、同期信号440の各期間をハードウェアサイトに関連づけるが、これについては2番目のグラフ表示530に示す。換言すれば、同期信号440の第1期間532を、第1ハードウェアサイトに属するチャネルユニットに関連づける。同期信号440の後続の第2期間を、第2ハードウェアサイトに属するチャネルユニットに関連づける。同期信号440の第n期間536については、第nハードウェアサイトに関連づける。さらに、好ましくは同期信号期間とハードウェアサイトとの関連づけを反復して行うことで、同期信号440の第(n+1)期間538については、第1ハードウェアサイトに属するチャネルユニットに再度関連づけることになる。このように、同期信号440には一連の期間が存在し、この同期信号440の期間とハードウェアサイトは関連を有することとなる。同期信号の期間とハードウェアサイトとを関連させることは、そのハードウェアサイトのチャネルモジュールがマッチライン450を使用できる間は、他のハードウェアのチャネルユニットはマッチライン450に関して中立に動作する必要があることを意味している。
一例として、チャネルユニット420_1_1から420_1_iは第1同期間隔532、第(n+1)同期間隔538、第(2n+1)同期間隔、…(概して、第(kn+1)同期間隔、ここでk=1、2、3…)の間は、マッチライン450を使用することができる(即ち、マッチライン450に信号を付与することができる)。他の同期間隔の間(例えば、第2、第3、…、第n同期間隔の間)は、第1ハードウェアサイトのチャネルユニットはマッチライン450に関して中立に動作する必要がある。
さらに、第2ハードウェアサイト(例えば対応するチャネルユニット420_2_1から420_2_i)は第2同期間隔534、第(n+2)同期間隔540…といった同期間隔の間にマッチラインにアクセスできる。他の同期間隔の間は、第2ハードウェアサイトのチャネルユニットはマッチライン450に関して中立に動作しなければならない。このように時間別メカニズムを実行するが、それぞれの同期間隔(又は同期期間)の間にマッチライン450にアクセスできるのはただ一つのハードウェアサイトのみで、他のハードウェアサイトはマッチライン450に関して中立に動作することになる。さらに、好適な実施形態では、一つの同期間隔あるいは同期期間に一つの信号のデータシンボルのみを一つのハードウェアサイトのチャネルユニット同士の間でやり取りすることができる。なお、これは一つの同期間隔の間に単一のチャネルユニットのみにアクセスを付与することによって実行することができる。代替的に、一つの同期間隔の間にハードウェアサイトのすべてのチャネルユニットがマッチライン450にアクセスできるようにし、マッチライン450がワイヤードAND演算又はワイヤードOR演算を実行するようにすることもできる。従って、ハードウェアサイトの複数のチャネルユニットが一つの同期間隔の間にマッチライン450にアクセスすると、チャネルユニットがマッチライン450に提供した値をAND演算又はOR演算することによりマッチラインの値が決定する。ただし、そのマッチラインの出力を高インピーダンス状態に置くことによって、マッチライン450に対して一つのチャネルユニットを中立に動作させるようにすることもできる。マッチライン450がワイヤードAND演算を実行する場合には、マッチラインの出力を“1”という論理値に設定すると、そのマッチラインに関してチャネルユニットを中立に動作させるようにすることもできる。これに対して、マッチライン450がワイヤードOR演算を行う場合には、マッチラインの出力を論理“0”の状態にすると、チャネルユニットはマッチラインに関して中立に動作する。
マッチライン450を介してチャネルユニット同士の間で取り込みデータをやり取りするアルゴリズムについて以下に記載する。ここで、マッチライン450がワイヤードAND演算を行うと仮定する。さらに、関係するチャネルユニットが、それらに関連する時間間隔でマッチライン450にアクセスすれば、衝突が起こらないと仮定する。
図6は、複数のチャネルユニットのテストプロセッサで実行され得るコンピュータプログラムのプログラムリストを示す。図6のコンピュータプログラム全体を参照番号600で示す。さらに、本発明のコンピュータプログラムのフローチャートを示す図8aも同様に参照する。
図4を参照して述べたように、コンピュータプログラム600はマッチラインを介して連結する1セット(n+1)個のチャネルユニットにおける並列処理を示す。コンピュータプログラム600の第1列はメモリアドレスのラベルを示している。第1列を参照番号610で示す。第2列612は、第nチャネルユニットで行われる演算を示す。第3列614は、第1チャネルユニットで実行される演算を示し、第5列616は第0チャネルユニットで実行される演算を示す。なお、通常第nチャネルモジュールが取り込みデータの値“bitn”をそのメモリに保存すると想定する。第1チャネルユニットは取り込んだ情報“bit1”をそのメモリに保存し、第0チャネルユニットは別個の情報“bit0”をそのメモリに保存する。
取り込んだ情報をメモリに保存するとすぐに、サブルーチンが呼び出される。するとメモリアドレス“check_bitn”に到達する。この時点で、チャネルユニットはそれぞれの値をマッチラインに置くことによって、マッチライン450にアクセスする。例えば、第nチャネルユニットが情報“bit_n”をマッチライン450におくと、これが文“jbitn=statebitn”で示される。他のチャネルユニットがマッチライン450に中立状態、例えば論理“1”をおくと、それは文“jbit1=1”及び“jbit0=1”で示される。このように、第nチャネルユニットだけがそのメモリに保存したデータをマッチライン450に置き、一方他のチャネルユニットはマッチライン450に中立のデータを置くか、あるいは他のチャネルユニットはマッチラインへの出力を行わない。
その後ワイヤードAND演算がマッチライン450で行われると、第nチャネルユニットがマッチライン450に置いた情報により、マッチラインの状態が効率的に決まる。その後の命令で、すべてのチャネルユニットはマッチライン450の状態を読み込む。マッチライン450の状態によって、チャネルユニットは論理値“0”及び/又は“1”をそれぞれのメモリに保存する。この演算は“if ... then ... else ...”という文で示されるが、このif文の条件がマッチライン450の状態である。このように、コンピュータプログラム600の第1部分630により、第nチャネルユニットから他のチャネルユニットへの取り込みビットの転送が可能となる。
その後、コンピュータプログラム600の第2部分632において、第1チャネルユニットの取得した情報が他のチャネルユニットに転送される。さらに、コンピュータプログラム600の第3部分634では第0チャネルユニットの取得した情報が他のチャネルユニットに転送される。コンピュータプログラム600の第1部分630に比較すると、同様の文が使用されている。ただし、命令“jbit1=state_bit1”は第1チャネルユニットがマッチラインに取得情報を出力することを示す。さらに、命令“jbit0=state_bit0”は第0チャネルユニットが(接続ピンから取得した)取得情報をマッチラインに適用することを示している。
また、命令“jbitn=1”は第nチャネルユニットが中立情報をマッチラインに適用すること、又はマッチラインに対して中立に動作することを示している。
図8aにプログラムのアルゴリズムを簡素なテキストフォームで示す。図8aのアルゴリズム全体を参照番号800で示す。なお、第1列810に示す命令は第1チャネルユニットで実行され得るものであり、第2列812に示す命令は第2チャネルユニットで実行され、第3列814に示す命令は第3チャネルユニットで実行される。第1列810、第2列812、及び第3列814の命令は、異なるチャネルユニットにおいて時間的に同期して実行され得ることに留意された。さらに第1ブロック820の命令は、関係するチャネルユニットの属する各ハードウェアサイトに関連する第1同期間隔で実行されるのが好ましく、第2ブロック822の命令は、各ハードウェアサイトに関連する第2同期間隔の間に実行されるのが好ましい。第3ブロック824の命令は、ハードウェアサイトに関連する後続の第3同期間隔の間に実行されるのが好ましい。
図3を参照すると、第1ブロック820の命令は、例えば同期間隔532の間に実行され、第2ブロック822の命令は、例えば同期間隔538の間に実行される。
なお第1命令ブロック820の間に、第1チャネルユニットはステップ830において被試験デバイスから第1チャネルユニットが取得したビットをマッチラインに置く。同じ同期間隔の間に、第2チャネルユニットと第3チャネルユニットはステップ831とステップ832においてマッチラインに中立状態を置く。さらに、第2チャネルユニットはステップ833でマッチラインの状態を読み取り、ステップ834でマッチラインの状態によってそのメモリにビットを書き込む。並列して、第3チャネルユニットはステップ835でマッチラインの状態を読み取り、ステップ836ではマッチラインの状態によってそのメモリにビットを書き込む。
任意に、ステップ837において第1チャネルユニットはマッチラインの状態を読み取り、ステップ838においてマッチラインの状態によってそのメモリにビットを書き込む。第2命令ブロック822の間、ステップ840において第2チャネルユニットは取得したビットをマッチラインに置き、第1チャネルユニットと第3チャネルユニットはステップ841、842、843、844、845、846において、マッチラインに中立状態を置き、マッチラインの状態を読み取り、マッチラインの状態によってそれらのメモリにビットを書き込むことによって、リスナーとして動作する。また、ステップ847、848では任意に第2チャネルユニットもマッチラインの状態を読み取って、そのメモリにビットを書き込む。
ステップ850から858によって示されるように、第3命令ブロック824の間に、第3チャネルユニットはDUTから取得したビットを第1チャネルユニットと第2チャネルユニットに転送する。
なお、代替の実施形態では演算の一部を取り消すことができる。例えば、あるチャネルユニットの取得したビットが関係のないものである場合は、それぞれのビットの転送を省くことができる。例えば、第1チャネルユニットの取得したビットが関係のないものである場合には、ブロック820の命令を省くことができる。第2チャネルユニットの取得したビットが関係のないものである場合には、第2ブロック822の命令を取り消すことができ、第3チャネルユニットの取得したビットが関係のないものである場合には、第3ブロック824の命令を取り消すことができる。
さらに、すべてのチャネルユニットがすべてのビットを受信する必要はない。例えば、第1チャネルユニットは第2チャネルユニットの取得したビットを受信する必要がない。この場合、ステップ843と844を省略できる。第1チャネルユニットが第3チャネルユニットの取得したビットを受信する必要がない場合には、ステップ853と854を省略可能である。同様に、ステップ833、834、及び/又はステップ855、856を省略可能である。さらに、ステップ835、836、及び/又はステップ845、846を省略可能である。
さらに、不要なビットの転送、すなわち取得したビットをマッチラインに置くという動作を省略することもできることに留意されたい。同じく、不要なビットの受信、即ちマッチラインの状態の読み取り、そしてマッチラインの状態によって行うビットの書込みを省略することもでき、どのビットを転送する必要があるのか、そしてどのビットをどのチャネルユニットが受信する必要があるのかについて任意に選択を行うこともできる。
図7、図8、及び図8bを参照して本発明のアルゴリズムを以下に記載する。このために、あるチャネルモジュールから別のチャネルモジュールへと取得ビットを転送する本発明のコンピュータプログラムのプログラムリストを図7に示す。図7のコンピュータプログラム全体を参照番号700で示す。なお、図7のコンピュータプログラム700は図6のコンピュータプログラム600に非常に類似しているため、ここでは違いのみを説明する。第1列710は第1列610と同様にメモリアドレスを示す。第2列712は、DUTの信号を取り込むよう適応している第nチャネルモジュールが実行する演算を示している。第4列716は第0チャネルユニットが行う演算を示す。このように、第4列716に示す演算は、コンピュータプログラム600の列616に示す演算と同等である。しかし、コンピュータプログラム700は第5列に付加的なチャネルユニットの行う演算を示しているが、好適な実施形態では、この付加的なチャネルユニットは、DUT接続ピンを介して被試験デバイスからデータを取り込まない構成とする。従って、付加的なチャネルモジュール718は他のチャネルユニットの取り込んだデータを受信する命令を実行するのみであって、他のチャネルユニットに取得データを送信する命令は実行しない。
付加的なチャネルユニットの動作の詳細を図8bに示す。このために、付加的なチャネルユニットで実行される本発明の方法のフローチャートを図8bに示す。図8bに示すフロー全体を参照番号870で示す。なお、図8bの方法は図8aに示す方法に追加されるものと見ることができる。換言すれば、図8bのフローチャート870に示すステップは、フローチャート800の列810、812、814に示すステップと並列して、そしてそれらと時間的に同期して実行されることができる。よってステップ880、881、882はステップ830から838と並列して、そして時間的に同期して実行されることができる。さらにステップ886、887、及び888はステップ840から848と並列して、そして時間的に同期して実行されることができる。さらにステップ890、891、及び892はステップ850から858と並列して、そして時間的に同期して実行されることができる。
従って、図8a及び図8bに示すステップを組み合わせる本発明の方法により、第1チャネルユニット、第2チャネルユニット、そして第3チャネルユニットの間で取り込みデータを完全にやり取りすることができる。さらに、第1チャネルユニット、第2チャネルユニット、及び第3チャネルユニットが取り込んだデータを、それ自体では被試験デバイスからデータを取り込むことのない付加的なチャネルユニットに転送する。
本発明の概念を簡素化したものを、図9を参照して以下に記載する。
図9は被試験デバイスを試験する本発明の方法のフローチャートを示す。図9の方法全体を参照番号900で示す。方法900は、第1チャネルユニットの第1ピン接続からデータを取得する第1ステップを含む。方法900は、第1ピン接続から得たデータの少なくとも一部を第2チャネルユニットへと転送データとして転送する第2ステップ920をさらに含む。方法900は、第1チャネルユニットのテストプロセッサにおいて、第1ピン接続から得たデータを少なくとも部分的に処理する第3ステップ930を含む。
さらに、方法900は、第2チャネルユニットのテストプロセッサにおいて、第1チャネルユニットから転送されたデータを少なくとも部分的に処理する第4ステップ940を含む。
なお図9の方法900は、本発明の概念を参照して説明するステップのいずれかによって補足することができる。
本発明の方法の所定の実行要求によって、本発明の方法はハードウェア又はソフトウェアで実行することができる。例えばディスク、DVD、CD、ROM、PROM、EPROM、EEPROM、あるいは電子的に読み取り可能な制御信号を保存したフラッシュメモリ等のデジタル記憶媒体を用いて実行することができ、これらはプログラム可能なコンピュータシステムと協働して本発明の方法を実行する。概して、本発明は機械可読媒体にプログラムコードを保存したコンピュータプログラム製品であり、プログラムコードは、コンピュータプログラム製品がコンピュータで実行される際に本発明の方法を実行するように動作する。換言すれば、本発明の方法はコンピュータプログラムがコンピュータで実行される際に本発明の方法の少なくとも一つを実行するプログラムコードを備えたコンピュータプログラムである。
以下において本発明を要約する。本発明を適用できる様々な技術分野が存在することに留意されたい。例えば、本発明は自動試験装置(ATE)において被試験デバイスから並列して出力されたデータを取り込む際に、利点を呈する。よって本発明の概念は、例えば並列アナログ−デジタル変換器(ADC)を試験する際に適用することができる。より一般的には、並列プロトコル(又は並列通信プロトコル)を使用する際には常に、本発明を有利に適用することができる。換言すれば、並列データ転送プロトコルを使用する被試験デバイスの試験は、本発明の概念を利用することで向上又は進展する。
さらに、被試験デバイスからの連続的な出力データを自動試験装置に取り込む際に、本発明の概念を適用することができる。例えば、シリアルアナログ−デジタル変換器(ADC)で動作する(又はシリアルADCを試験する)際、本発明の概念を適用することができる。より一般的には、シリアルプロトコル又はシリアルデータ転送プロトコルに関係している際には常に、本発明の概念を有利に使用することができる。要約すると、本発明は自動試験装置において試験結果を局所的且つ並列に算出することができる。
本発明には複数の態様があり、それらについて以下に要約する。
第1の態様に関しては、ATE試験システムのマッチメカニズムを使用することによって並列取り込みを実行することが可能であり、これにより各チャネルが完全な取り込みデータを取得する状況になる。マッチメカニズムによれば、種々のチャネルの蓄積された結果によって条件ジャンプを実行することができる。それぞれのnビットの並列取り込みアルゴリズムについて図6を参照して説明したが、(“bit0”から“bitn”の)各ビットは、一つのデジタルチャネルによって(例えば種々のチャネルユニットを用いて)取り込まれる。図6を参照して記載したアルゴリズムを適用することにより、図3を参照して述べたように、全てのピンにおけるデータが組み合わせられる、又は全てのチャネルユニットにおけるデータが組み合わせられる。
各チャネル(すなわち各チャネルユニット又は各チャネルモジュール)は、完全なデータ(すなわち複数の個別のチャネルユニット又はチャネルモジュールを介して被試験デバイの多数のテストピンから取り込んだデータ)を含む。この概念により、以下のような理由から試験時間を最小限にとどめることができる。
・単一チャネルからのデータをアップロードするだけでよく、チャネル毎にアップロードを行わないため、取り込みデータのアップロードの開始に対する待ち時間が減少する。
・各取り込みチャネルにおける局所的な処理が可能となる;逐次算出結果を出す必要がない。
・各チャネルが完全なデータを有するため、チャネル毎に異なるアルゴリズムを並列処理することが可能となる。
・結果のみをアップロードできる;例えば、取り込みデータより小さいサイズの結果が得られる。
・例えば、蓄積した結果をアップロードできる共通チャネルメカニズムを用いることにより、合否結果を組み合わせてアップロードすることが可能となる。
・逐次アップロードを行うことや、ワークステーション内でデータを組み合わせることが不要になるため、取り込んだデータを直接適用することができる。
上記の利点をまとめると、必要なデータを得るとすぐに、チャネルユニット若しくはチャネルモジュールにおいてデータ処理アルゴリズム又はテストアルゴリズムを並列して適用することができる。好適な実施形態によれば、チャネル同士の間でデータ転送を行う結果、チャネルユニット又はチャネルモジュール毎に異なるアルゴリズムを適用することができる。さらに、種々のアルゴリズムの少なくとも一部がDUTからのデータの複数のビットに作用して得られた結果を、効率的にワークステーションにアップロードできる。また、例えばチャネルユニット同士がマッチラインを介して通信することにより、ワークステーションの算出力を必要とすることなくチャネルユニットのみを利用して、合否結果を出すことができる。さらに、DUTの複数のテストピンから得たデータをアップロードするには、本発明によるチャネルユニット同士間でのデータ転送を行うことによって、複数のチャネルユニットの取り込んだデータを単一のチャネルユニットのメモリに含ませることで、単一のチャネルユニットのメモリ内容のみをワークステーションにアップロードするだけでよい。通信プロトコルオーバヘッドが減少するため、単一のチャネルユニットから多くの量のデータを転送する方が、複数のチャネルユニットからデータをダウンロードするよりも効率的である。
本発明の第2の態様を以下に要約する。第2の態様については、例えば図7のプログラムリストを参照して説明した。なお図7のアルゴリズム700は、図6のアルゴリズムに基づいている。チャネルを付加して、組み合わせた取り込みデータを一つ以上の付加チャネルに保存することにより、図6のアルゴリズム600を変更したものである。なお、“addChan”という表現は、一つ以上の付加チャネル、好ましくは一つのグループのチャネルを示している。本発明の第2の態様によれば、一つ又は複数の付加チャネルには完全なデータが含まれる。以下の理由から、この概念により試験時間を最小にすることができる。
・この概念によれば、チャネル毎に種々のアルゴリズムを最大限に並列処理することができ、種々のアルゴリズムの各々を、例えば1つの異なるチャネルで実行することができる。
・この概念によれば、結果のみをアップロードすることができる。例えば、結果のサイズは取り込みデータのサイズより小さい。
・例えば共通のチャネルメカニズムを使用することにより、この概念によれば合否結果を組み合わせてアップロードすることができる。
換言すれば、付加チャネルのテストプロセッサにおいて付加的なデータ処理を行うことができるが、付加チャネルはDUTの接続ピンを介してDUTからデータを受信しない構成となっている。
本発明の第3の態様を以下に記載する。本発明の第3の態様によれば、図6、図7、図8a、図8bを参照して記載したアルゴリズムを、幾つかのチャネルから“保存”操作をなくすことにより変更することができる。波形を保存しなければならないチャネルの数を最少にすることによって、メモリの使用を最適化することができる。
本発明の第4の態様を以下に記載する。本発明の第4の態様によれば、図6、図7、図8a、図8bを参照して記載したアルゴリズムを、幾つかのビット又は幾つかの列に対して“保存”操作をなくすことにより変更することができる。これにより、不要なビットを省略することでメモリの使用を最適化することができる。さらに、各チャネルのメモリにデータを配置することにより、この概念は局所的処理のスループットを向上させる。
並列アナログ−デジタル変換器試験の一例を以下に記載する。並列アナログ−デジタル変換器試験を行うために、次のステップを適用する。
・アナログ−デジタル変換器に波形を適用する。波形は、例えば試験システムのアナログ出力モジュール若しくはアナログ入力/出力モジュールによって、又は他のアナログ信号生成器によって、出力する。
・(アナログ−デジタル変換器の)並列出力を、いくつかのデジタルチャネル(あるいはチャネルユニット)によって取り込む。
・例えばINL(増分非線形性)、DNL(微分非線形性)、あるいはSNR(信号対雑音比)を算出するアルゴリズム等のいくつかのアルゴリズムを、組み合わせた取り込みデータに適用する。
本発明の第1の態様によれば、取り込んだデータをいくつかのチャネルにおいて組み合わせることができる。各チャネルは完全なデータを有し、局域処理を行うことができる。従って、各チャネルにおいて異なるアルゴリズムを並列に行うことができる。得られた結果は、
・アルゴリズムを実行する各チャネルからアップロードすることができる。
又は、
・共通のチャネルメカニズムを使用して組み合わせた結果としてアップロードすることができる。
シリアルアナログ‐デジタル変換器試験の一例を以下に記載する。シリアルアナログ‐デジタル変換器を試験する場合、以下のステップを実行する。
・アナログ‐デジタル変換器に波形を適用する。
・単一のデジタルチャネルによってシリアル出力を取り込む。
・INL、DNL、又はSNRを算出するアルゴリズム等のいくつかのアルゴリズムを、組み合わせた取り込みデータに適用する。
本発明の第2の態様によるアルゴリズムを用いて、組み合わせた取り込みデータをいくつかのチャネルに保存することができる。従って、チャネル毎に異なるアルゴリズムを並列して実行できる。得られた結果は、
・アルゴリズムを実行する各チャネルからアップロードすることができる。
又は、
・共通のチャネルメカニズムを使用して組み合わせた結果としてアップロードすることができる。
シリアルステレオスピーカの出力試験について、以下に記載する。シリアルステレオスピーカの出力試験に対しては、例えば以下のようシリアルプロトコルを使用する。
・左右の出力に対するnビットのワードをデバイスから得る。
・追加のプロトコル情報も得ることができる。
本発明の第3の態様によれば、不要なプロトコル情報を省略することが可能である。本発明の第4の態様によれば、異なるグループのチャネルにおいて左右の出力に対するデータを取り込むことができる。これにより、左右の出力データに対して幾つかのアルゴリズムを並列して適用することができる。
得られた結果は、
・アルゴリズムを実行する各チャネルからアップロードすることができる。
又は、
・共通のチャネルメカニズムを使用して組み合わせた結果としてアップロードすることができる。
試験装置のマッチメカニズムについて以下に要約する。
なお、テストプロセッサがシーケンサを含むことが好ましい。従って、条件ジャンプを行うためのシーケンサの命令を実行するようテストプロセッサを適応させることが好ましい。シーケンサの命令は、例えばJMPC(条件ジャンプ)を指定する。
JMPC命令は以下の特徴を含むことが好ましい。
・条件を評価し、真である場合にジャンプする。
・ジャンプアドレスは絶対的又は相対的であり得る。
ジャンプの実行に対する条件は、時間別メカニズムを介して試験システム内で分配する。
・各チャネルはハードウェアサイトに属する。
・各チャネルの合否の条件は、構成したハードウェアサイトにおいて時間によって組み合わせられる(ch1&&ch2&& ... &ch n)。
例えば図4及び図5を参照して、マッチメカニズムについて説明した。
本発明の態様の簡潔に要約を以下に示す。なお、本発明は自動試験装置(ATE)での使用に関連することが好ましい。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様は、以下の概念を含む。
・被試験デバイスの出力のnビット取り込み(n∈{1, 2, ..., ∞})
・シングルサイト/マルチサイト
・種々のチャネルのデータの組合せ
・同一の取り込みデータに幾つかの異なるアルゴリズムを並列して適用する
・試験のタイプ(例えばアナログ、デジタル、RF)には依存しない
本発明の実施形態によれば、本発明の第2の態様は以下の概念を含む。
・被試験デバイス出力のnビット取り込み(n∈{1, 2, ..., ∞}
・シングルサイト/マルチサイト
・種々のチャネルのデータの組合せ
・同一の取り込みデータに幾つかの異なるアルゴリズムを並列して適用する
・並列処理を最大限に行う
・試験のタイプ(例えばアナログ、デジタル、RF)には依存しない
本発明の実施形態によれば、本発明の第3の態様は以下の概念を含む。
・被試験デバイスの出力のnビット取り込み(n∈{1, 2, ..., ∞}
・シングルサイト/マルチサイト
・種々のチャネルのデータの組合せ
・同一の取り込みデータに幾つかの異なるアルゴリズムを並列して適用する
・メモリ消費の最小化
・試験のタイプ(例えばアナログ、デジタル、RF)には依存しない
本発明の実施形態によれば、本発明の第4の態様は以下の概念を含む。
・被試験デバイスの出力のnビット取り込み(n∈{1, 2, ..., ∞}
・シングルサイト/マルチサイト
・種々のチャネルのデータの組合せ
・メモリ消費の最小化
・ビットを省略して取り込みデータをメモリ内に配置する
・試験のタイプ(例えばアナログ、デジタル、RF)には依存しない
本発明の別の態様によれば、被試験デバイスを試験しながらデータの組合せを行う。換言すれば、(データの)コピーは余分に時間を費やす後処理プロセス(デバイスの試験を行った後データをコピーするプロセス)ではない。
換言すれば、本発明の概念は、まずデバイスを試験してその後でデータを(ワークステーションに)コピーするという従来の方法とは違う。
チャネルユニット同士の間でデータをやり取りし、デバイスからのデータの出力及び/又はデバイスへのデータの入力を同時に又は並列して行う。代替的に、被試験デバイスに対するデータの入出力と、チャネルユニット同士の間でのデータのやり取りを交互に行ってもよい。従って、チャネルユニット同士の間でデータをやり取りする前の、チャネルユニットとDUTとの間の相互作用を定義する完全なテストプログラムを実行する必要がない。むしろ本発明の一実施形態では、テストプログラムは一方でDUTとチャネルユニットとの間の相互作用を交互に行い、他方でチャネルユニット同士の間のデータのやり取りを行うことを定義することができる。
テストアルゴリズムの実行(例えば、DNL値又はINL値の算出)に関して、本発明の別の態様によれば、波形全体を取り込む前に、(例えば、チャネルユニットにおいてテストプロセッサが実行する)局所的な評価を開始することができる。換言すれば、場合によっては(DNL/INL)、波形を完全に取り込んでいなくても局所的な評価を開始することができる。換言すれば、波形の一部を(例えば、一つ以上のチャネルユニットが)DUTから取得するとすぐに、チャネルユニットにおいて算出を開始することができる。本発明では、好適なことに波形の完全な取り込みが完了する前にチャネルユニット同士の間での取り込みデータのやり取りを行うことができるため、前記のことが可能である。
上記の内容を要約すると、個々のチャネルユニット(例えば単一のチャネル)において幾つかの異なるテストアルゴリズムを並列して処理できるという特に有効な概念について記載した。なお、種々のタイプの被試験デバイスを効率的に試験するために、例えば出願人のV93000SCC試験システムにおいて本発明を使用することができる。
本発明の一実施形態による本発明の試験装置の概略ブロック図である。 本発明の一実施形態による本発明の試験装置の概略ブロック図である。 本発明の一実施形態による本発明の試験装置の概略ブロック図である。 本発明の一実施形態による本発明の試験装置の概略ブロック図である。 本発明の一実施形態による本発明の試験装置におけるタイミングをグラフ表示した図である。 本発明の一実施形態による種々のチャネルユニット同士の間で取り込みデータをやり取りする本発明のプログラムのプログラムリストを示す図である。 本発明の一実施形態による本発明の試験装置を使用して、チャネルユニット同士の間で取り込みデータをやり取りするプログラムのプログラムリストを示す図である。 本発明の一実施形態による試験装置のチャネルユニット同士の間で取り込みデータをやり取りする本発明の方法のフローチャートの第1部分を示す図である。 本発明の一実施形態による試験装置のチャネルユニット同士の間で取り込みデータをやり取りする本発明の方法のフローチャートの第2部分を示す図である。 本発明の一実施形態による被試験デバイスを試験する本発明の方法のフローチャートである。 従来の試験装置の概略ブロック図である。
符号の説明
100、200、300、400 試験装置
110、210、310 第1チャネルユニット
112、212 第1テストプロセッサ
114、214 第1メモリ
132、216、316 第1ピン接続
140、250、450 マッチライン
120、220、320 第2チャネルユニット
122、222 第2テストプロセッサ
226、326 第2ピン接続
230、330 第3チャネルユニット
232 第3テストプロセッサ
234 第3メモリ
236、336 第3ピン接続
410 被試験デバイス

Claims (24)

  1. 被試験デバイスを試験する試験装置(100;200;300;400)であって、
    被試験デバイス(410_1)からの信号(346)に対する対応する第1ピン接続(132;216;316)と、前記第1ピン接続から取得したデータを少なくとも部分的に処理するよう適応した対応する第1テストプロセッサ(112;212)と、前記第1テストプロセッサと連結すると共に、前記テストプロセッサの提供するデータを保存するよう適応した対応する第1メモリ(114;214)とを含む第1チャネルユニット(110;210;310;410_1_1)と、
    第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)と、
    を含み、
    前記第1チャネルユニットが、前記第1ピン接続から取得したデータの少なくとも一部を前記第2チャネルユニットへと転送データとして転送するよう適応し、
    第2チャネルユニットが、前記第1チャネルユニットからの前記転送データを少なくとも部分的に処理するよう適応した対応する第2テストプロセッサ(122;222)を含むこと、
    を特徴とする試験装置。
  2. 前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)が第2ピン接続(226;326)を含み、
    前記第2ピン接続から取得したデータと、前記第1チャネルユニット(110;210;310;410_1_1)から前記第2チャネルユニットへと転送された前記転送データとを組み合わせて処理するよう前記第2テストプロセッサ(122;222)を構成すること、
    を特徴とする請求項1に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  3. 前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)が、前記第2ピン接続(226;326)から取得したデータの少なくとも一部を前記第1チャネルユニットへと転送データとして転送するよう適応し、
    対応するテストプログラムにおいて定義された条件付き分岐命令とメモリアクセス命令とを用いて、前記第2チャネルユニットからの前記転送データを少なくとも部分的に処理するよう前記第1テストプロセッサを構成すること、
    を特徴とする請求項2に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  4. 前記第1ピン接続(132;216;316)から取得したデータと、前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)から前記第1チャネルユニット(110;210;310;410_1_1)へと転送された前記転送データとを組み合わせて処理するよう、前記第1テストプロセッサ(112、212)を構成すること、
    を特徴とする請求項3に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  5. 他のチャネルユニット(110;210;310;330;420_1_1)から前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)へと転送されたピンデータのみを処理するよう、第2テストプロセッサ(122;222)を構成すること、
    を特徴とする請求項1に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  6. 第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)が第2ピン接続(226;326)を含むこと、又は前記第2ピン接続を接続しないこと、又は前記第2ピン接続からのデータを処理しないよう前記第2テストプロセッサ(122;222)を構成すること、
    を特徴とする請求項5に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  7. 前記第1ピン接続(132;216)から取得したデータの厳密な一部のみを前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)へと転送するよう、前記第1チャネルユニット(110;210;310;330;420_1_1)を構成すること、
    を特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  8. 前記第1チャネルユニット(110;210;310;330;420_1_1)と前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)の両方が共通のマッチライン(140;250;450)に連結し、
    前記マッチラインを介して前記第2チャネルユニットへと前記転送データを転送するよう前記第1テストプロセッサ(112;212)を構成すること、
    を特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  9. 前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)が第2ピン接続を含み、
    前記第2ピン接続(226;326)から取得したデータを、前記マッチラインを介して第1チャネルユニット(110;210;310;330;420_1_1)へと転送するよう、前記第2テストプロセッサ(122;222)を構成すること、
    を特徴とする請求項8に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  10. 前記第1チャネルユニット(110;210;310;330;420_1_1)と前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)がマッチライン(140;250;450)に連結し、
    前記マッチラインがワイヤードOR論理関数又はワイヤードAND論理関数を実行し、
    前記第1テストプロセッサ(112;212)と前記第2テストプロセッサ(122;222)を時間的に同期させ、
    第1同期時間間隔(532)においてデータサンプルを前記マッチラインに適用するよう前記第1テストプロセッサを構成し、
    前記第1同期時間間隔内に前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第1同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第1チャネルユニットからの前記転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第2テストプロセッサを構成すること、
    を特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  11. 前記第1チャネルユニット(110;210;310;330;420_1_1)からの前記転送データの前記決定されたデータサンプルを前記第2メモリ(124;224)に保存するよう、第2テストプロセッサ(122;222)を構成すること、
    を特徴とする請求項10に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  12. 第2同期時間間隔(538)において前記マッチライン(140;250;450)にデータサンプルを適用するよう前記第2テストプロセッサ(122;222)を構成し、
    前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)からの前記転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第1テストプロセッサ(112;212)を構成すること、
    を特徴とする請求項10又は11に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  13. 前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)からの前記転送データの前記決定されたデータサンプルを前記第1メモリ(140;240)に書き込むよう、前記第1テストプロセッサを構成すること、
    を特徴とする請求項12に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  14. DUTからの信号に対する対応する第3ピン接続(236;336)と、対応する第3テストプロセッサ(232)と、前記第3テストプロセッサに連結した対応する第3メモリ(234)とを含むと共に、前記第3テストプロセッサの提供したデータを保存するよう適応した第3チャネルユニット(230、330、430_1_i)をさらに含み、
    前記第1チャネルユニット(110;210;310;330;420_1_1)が、前記第1ピン接続(216;316)から取得した第1転送データを前記第2チャネルユニット(220;320;420_1_2)と前記第3チャネルユニット(230;330;420_1_i)に転送するよう適応し、
    前記第2チャネルユニットが、前記第2ピン接続(226;326)から取得した前記第2転送データを前記第1チャネルユニットと前記第3チャネルユニットに転送するよう適応し、
    前記第3チャネルユニットが、前記第3ピン接続(236;336)から取得した第3転送データを前記第1チャネルユニットと前記第2チャネルユニットに転送するよう適応し、
    前記第3チャネルユニットが前記マッチライン(250;450)に連結し、
    前記第3テストプロセッサ(232)が、前記第1テストプロセッサ(212)及び前記第2テストプロセッサ(222)と時間的に同期し、
    第1同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第1同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第1転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第3テストプロセッサを構成し、
    第2同期時間間隔において前記マッチラインに前記第2転送データのデータサンプルを適用するよう前記第2テストプロセッサを構成し、
    前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第2チャネルユニットからの前記第2転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第1テストプロセッサを構成し、
    前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第2チャネルユニットからの前記第2転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第3テストプロセッサを構成し、
    第3同期時間間隔において前記マッチラインに前記第3転送データのデータサンプルを適用するよう前記第3テストプロセッサを構成し、
    前記第3同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第3同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第3チャネルユニットからの前記第3転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第1テストプロセッサを構成し、
    前記第3同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第3同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第3チャネルユニットからの前記第3転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第2テストプロセッサを構成すること、
    を特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  15. 対応する第3テストプロセッサ(232)と、前記第3テストプロセッサに連結した対応する第3メモリ(234)とを含むと共に、前記第3テストプロセッサが提供したデータを保存するよう適応した第3チャネルユニット(230;330;430;430_1_i)をさらに含み、
    前記第1チャネルユニット(110;210;310;410_1_1)が、前記第1ピン接続(216;316)から取得した第1転送データを前記第2チャネルユニット(220;320;420_1_2)と前記第3チャネルユニット(230;330;420_1_i)に転送するよう適応し、
    前記第2チャネルユニットが、前記第2ピン接続(226;326)から取得した第2転送データを前記第1チャネルユニットと前記第3チャネルユニットに転送するよう適応し、
    前記第3チャネルユニットが前記マッチライン(250;450)に連結し、
    前記第3テストプロセッサ(232)が前記第1テストプロセッサ(212)及び前記第2テストプロセッサ(222)と時間的に同期し、
    第1同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第1同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第1転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第3テストプロセッサを構成し、
    第2同期時間間隔において前記マッチラインに前記第2転送データのデータサンプルを適用するよう前記第2テストプロセッサを構成し、
    前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第2チャネルユニットからの前記第2転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第1テストプロセッサを構成し、
    前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第2チャネルユニットからの前記第2転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第3テストプロセッサを構成すること、
    を特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  16. DUTからの信号に対する対応する第3ピン接続(236;336)と、対応する第3テストプロセッサ(232)と、前記第3テストプロセッサに連結した対応する第3メモリ(234)とを含むと共に、前記第3テストプロセッサの提供したデータを保存するよう適応した第3チャネルユニット(230;330;430_1_i)をさらに含み、
    前記第1チャネルユニット(110;210;310;410_1_1)が、前記第1ピン接続(216;316)から取得した前記第1転送データを前記第2チャネルユニット(220;320;420_1_2)に転送するよう適応し、
    前記第2チャネルユニットが、前記第2ピン接続(226;326)から取得した前記第2転送データを前記第1チャネルユニットに転送するよう適応し、
    前記第3チャネルユニットが、前記第3ピン接続(236;336)から取得した前記第3転送データを前記第1チャネルユニット及び前記第2チャネルユニットに転送するよう適応し、
    前記第3チャネルユニットが前記マッチライン(250;450)に連結し、
    前記第3テストプロセッサ(232)が、前記第1テストプロセッサ(212)及び前記第2テストプロセッサ(222)と時間的に同期し、
    第1同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう前記第3テストプロセッサを構成し、
    第2同期時間間隔において前記マッチラインに前記第2転送データのデータサンプルを適用するよう前記第2テストプロセッサを構成し、
    前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第2チャネルユニットからの前記第2転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第1テストプロセッサを構成し、
    前記第2同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう前記第3テストプロセッサを構成し、
    第3同期時間間隔において前記マッチラインに前記第3転送データのデータサンプルを適用するよう前記第3テストプロセッサを構成し、
    前記第3同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第3同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第3チャネルユニットからの前記第3転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第1テストプロセッサを構成し、
    前記第3同期時間間隔において前記マッチラインの状態に対して中立に動作するよう、そして前記第3同期時間間隔において前記マッチラインの状態によって前記第3チャネルユニットからの前記第3転送データのデータサンプルを決定するよう、前記第2テストプロセッサを構成すること、
    を特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  17. 複数のハードウェアサイトのチャネルユニット(420_1_1、420_1_2、420_1_i;420_2_1、420_2_2、420_2_i;420_n_1、420_n_2、420_n_i)が前記マッチライン(450)に連結し、
    第1時間間隔セットの時間間隔(532;538)の間に前記マッチラインにアクセスするよう第1ハードウェアサイトのチャネルユニットを構成し、
    第2時間間隔セットの時間間隔(534;540)の間に前記マッチラインにアクセスするよう第2ハードウェアのチャネルユニットを構成し、
    前記第1セットの時間間隔の時間間隔が、前記第2セットの時間間隔の時間間隔と重なり合わないこと、
    を特徴とする請求項10から16のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  18. 前記第2チャネルユニット(120;220;320;420_1_2)が第2ピン接続を含み、前記第2ピン接続から取得したデータを使用して第1テストアルゴリズムを実行するよう前記第1テストプロセッサ(112)を構成すること、
    を特徴とする請求項1から17のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  19. 前記第1テストプロセッサ(112)が、前記第2ピン接続と前記第1ピン接続の両方から取得したデータを使用して前記第1テストアルゴリズムを実行するよう適応していること、
    を特徴とする請求項18に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  20. 異なるテストアルゴリズムを同時に実行するよう前記第1テストプロセッサ(112)と前記第2テストプロセッサ(122)を構成し、両方のアルゴリズムが前記第1チャネルユニットの前記第1接続ピンから取得したデータを使用すること、
    を特徴とする請求項1から14のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  21. 異なるテストアルゴリズムを同時に実行するよう前記第1テストプロセッサ(112;212)と前記第2テストプロセッサ(122;222)を構成し、両方のアルゴリズムが複数のチャネルユニットの複数の接続ピンから取得したデータを使用すること、
    を特徴とする請求項1から20のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  22. 前記第1テストプロセッサ(112)が、前記第1テストプロセッサに関連するテストプログラムにおいて定義された条件付き分岐命令及びメモリアクセス命令を使用して、前記第1ピン接続(132;260;360)から取得したデータを少なくとも部分的に処理するよう適応し、
    前記第2テストプロセッサ(122;222)が、対応するテストプログラムにおいて定義された条件付き分岐命令及びメモリアクセス命令を使用して、前記第1チャネルユニットからの前記転送データを少なくとも部分的に処理するよう適応していること、
    を特徴とする請求項1から21のいずれか一項に記載の試験装置(100;200;300;400)。
  23. 第1チャネルユニットの第1ピン接続からデータを取得するステップ(910)と、
    前記第1ピン接続から取得したデータの少なくとも一部を第2チャネルユニットへと転送データとして転送するステップ(920)と、
    前記第1ピン接続から取得したデータを、前記第1チャネルユニットのテストプロセッサにおいて少なくとも部分的に処理するステップ(930)と、
    前記第1チャネルユニットからの前記転送データを、前記第2チャネルユニットのテストプロセッサにおいて少なくとも部分的に処理するステップ(940)と、
    を含むことを特徴とする被試験デバイスを試験する方法。
  24. コンピュータで実行される際に請求項23の方法を実行するコンピュータプログラム。
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