JP2009506890A - 周縁フィールド除去のための光学絞りを備えたレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- レーザビーム(4)をビーム案内室(5)内で中間集束する集束光学系(6)と、中間焦点(ZF)の領域に配置され前記レーザビーム(4)をビーム成形する光学絞り(9)が設けられているレーザ加工装置(1)たとえばレーザ切断装置またはレーザ溶接装置において、
絞り開口部直径(d)は、中間集束されたレーザビーム(4)の99%ビーム直径(D99%)よりも約1.2〜2.5倍大きいことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1記載のレーザ加工装置において、
前記中間焦点(ZF)は、レーザ共振器(2)の出力結合窓(3)と前記ビーム案内室(5)の偏向ミラーたとえば第1の偏向ミラー(7)との間に配置されていることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1または2記載のレーザ加工装置において、
前記光学絞り(9)は、中間集束されたレーザビーム(4)の中間焦点(ZF)から最大でレイリー距離(RL)だけ隔てて配置されていることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1から3のいずれか1項記載のレーザ加工装置において、
前記集束光学系(6)および/またはレーザ加工ヘッド(8)は非透過性の光学系であることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1から4のいずれか1項記載のレーザ加工装置において、
前記集束光学系(6)および/またはレーザ共振器(2)の出力結合窓(3)および/またはレーザ加工ヘッド(8)は透過性の光学系であり、該光学系の熱的レンズ作用はZnSe光学系よりも小さいことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1から5のいずれか1項記載のレーザ加工装置において、
前記集束光学系(6)は前記出力結合窓(3)に組み込まれていることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1から5のいずれか1項記載のレーザ加工装置において、
前記集束光学系(6)は前記ビーム案内室(5)に配置された外部のミラーであることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1から7のいずれか1項記載のレーザ加工装置において、
前記ビーム案内室(5)はガス洗浄されることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項8記載のレーザ加工装置において、
ガス洗浄された前記ビーム案内室(5)内で前記光学絞り(9)の前方と後方に生じるガス圧力(P1,P2)は等しいまたはほぼ等しいことを特徴とするレーザ加工装置。
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