JP2009300736A - 光スキャナ装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弾性連結部13を捩り変形させながら可動板11を回動させることにより、可動板11で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置の製造方法であって、デバイス基板20に、可動板11、弾性連結部13、及びコイル15を形成する第1の工程と、デバイス基板20上の、支持枠12の境界にミシン目Fを形成する第2の工程と、支持枠12をデバイス基板20を支持するための支持基板30に固定することにより、デバイス基板20と支持基板30を接合する第3の工程と、デバイス基板20の一部をミシン目Fに沿って切り離し、除去する第4の工程と、支持基板30上の、第4の工程でデバイス基板20の一部を除去した領域に、コイル15に磁界を与えるための永久磁石14a,14bを配置する第5の工程とを有する。
【選択図】図3
Description
これにより、第1の基板を第2の基板に固定した後で、ミシン目に沿って第1の基板を折ることにより、除去部分を容易に切り離すことができる。また、ミシン目の形成は可動部及び弾性連結部の形成と一括で行うことができるので、製造工程を増やす必要がない。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1による光スキャナ装置10の構成を示す平面図、図2は、図1のA−B線断面図である。
まず、図3(A)に示すように、デバイス基板20を形成するシリコン基板21を用意する。次に、図3(B),(C)に示すように、シリコン基板21上に、絶縁層22、下層配線層23、層間絶縁層24、上層配線25を形成することによりコイル15のパターンを形成した後、エッチングにより可動板11、弾性連結部13を形成する。
光スキャナ装置10は、例えば、プロジェクタ、レーザープリンタ、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。その結果、優れた描画特性を有する画像形成装置を提供することができる。
例えば、図5に示すようなプロジェクタ(画像形成装置)90について説明する。なお、説明の便宜上、スクリーンSの長手方向を「横方向(水平方向)」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向(鉛直方向)」という。
光源装置911,912,913は、それぞれ赤色光を照出する赤色光源装置911、青色光を照出する青色光源装置912と、緑色光を照出する緑色光源装置913である。
クロスダイクロイックプリズム92は、4つの直角プリズムを貼り合わせて構成され、赤色光源装置911、青色光源装置912、緑色光源装置913のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
ここで、光スキャナ装置93、94の光走査について具体的に説明する。
このような光スキャナ装置93、94として本発明に係る光スキャナ装置を用いることにより、小型で、優れた描画特性を有するプロジェクタ90を提供することができる。
図6は、本発明の実施の形態2による光スキャナ装置40の構成を示す平面図である。
実施の形態1による光スキャナ装置10は主走査または副走査のいずれか一方向の走査が可能であったが、光スキャナ装置40は、主走査および副走査の両方向の走査が可能である。
Claims (2)
- 光反射性を有する領域を備えた可動部と、
前記可動部を支持するための支持部と、
前記可動部を回動可能に前記支持部に連結する弾性連結部と、を備え、
前記弾性連結部を捩り変形させながら前記可動部を回動させることにより、前記可動部で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置の製造方法であって、
第1の基板に、前記可動部、前記弾性連結部、及び前記可動部上に配置され電圧の印加により磁力を発生するコイルを形成する第1の工程と、
前記第1の基板上の、前記支持部の境界に切り離し案内線を形成する第2の工程と、
前記支持部を前記第1の基板を支持するための第2の基板に固定することにより、前記第1の基板と前記第2の基板を接合する第3の工程と、
前記第1の基板の一部を前記切り離し案内線に沿って切り離し、除去する第4の工程と、
前記第2の基板上の、前記第4の工程で前記第1の基板の一部を除去した領域に、前記コイルに磁界を与えるための永久磁石を配置する第5の工程とを有することを特徴とする光スキャナ装置の製造方法。 - 前記切り離し案内線は、ミシン目であることを特徴とする請求項1に記載の光スキャナ装置の製造方法。
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Citations (2)
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JPH11231252A (ja) * | 1997-12-09 | 1999-08-27 | Olympus Optical Co Ltd | 光偏向器及びその製造方法 |
JP2007317747A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Seiko Epson Corp | 基板分割方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
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2008
- 2008-06-13 JP JP2008155123A patent/JP2009300736A/ja active Pending
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