JP2009300421A - 分光器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 分光器1では、分光部4が設けられた球面35、及び光検出素子5が配置された底面31を有するレンズ部3が、底面31と略直交する側面32、並びに、底面31及び側面32と略直交する側面34を有している。そして、分光モジュール10を収容するパッケージ11が、側面32,34とそれぞれ面接触する側面16,18、及び球面35と接触する接触部22を有している。そのため、レンズ部3の球面35をパッケージ11の接触部22に接触させつつ、レンズ部3の側面32,34をそれぞれパッケージ11の側面16,18に面接触させることで、パッケージ11の光入射窓板25に対して分光部4及び光検出素子5が位置決めされる。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- 光を透過させる本体部と、
前記本体部の所定の面側から前記本体部に入射した光を分光すると共に前記所定の面側に反射する分光部と、
前記所定の面に配置され、前記分光部によって分光された光を検出する光検出素子と、
前記分光部に進行する光を内部に入射させる光入射部を有し、前記本体部、前記分光部及び前記光検出素子を収容するパッケージと、を備え、
前記本体部は、前記所定の面と略直交する第1の平面、前記所定の面及び前記第1の平面と略直交する第2の平面、並びに、前記分光部が設けられ、前記所定の面、前記第1の平面及び前記第2の平面と交差する曲面を有し、
前記パッケージは、前記第1の平面と面接触する第1の内壁面、前記第2の平面と面接触する第2の内壁面、及び前記曲面と接触する接触部を有することを特徴とする分光器。 - 前記第1の平面は、前記分光部のグレーティング溝の配列方向と略平行に形成されており、前記第2の平面は、前記グレーティング溝の配列方向と略垂直に形成されていることを特徴とする請求項1記載の分光器。
- 前記接触部は、前記第1の平面と略直交する方向において前記分光部の両側に位置するように形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の分光器。
- 前記パッケージは、光吸収性材料からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の分光器。
- 前記第1の平面及び前記第2の平面には、光吸収膜が形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の分光器。
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JP2009300418A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光モジュール |
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US8390806B1 (en) * | 2009-05-21 | 2013-03-05 | Lockheed Martin Corporation | MEMS spectrometer and sensing systems therefrom |
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JP6251073B2 (ja) * | 2014-02-05 | 2017-12-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器、及び分光器の製造方法 |
DE102016225344A1 (de) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | System zur Analyse von elektromagnetischer Strahlung und Bauelement zur Herstellung desselben |
EP3372966B1 (en) * | 2017-03-10 | 2021-09-01 | Hitachi High-Tech Analytical Science Limited | A portable analyzer using optical emission spectoscopy |
DE102018221522A1 (de) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | Robert Bosch Gmbh | Spektrometervorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Spektrometervorrichtung |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000065642A (ja) * | 1998-03-11 | 2000-03-03 | Gretag Macbeth Ag | スペクトロメ―タ |
JP2003202463A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-18 | Fujitsu Ltd | 波長多重双方向光伝送モジュール |
JP2004309146A (ja) * | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Olympus Corp | 分光光度計 |
JP2004537750A (ja) * | 2001-08-02 | 2004-12-16 | アイギス セミコンダクター インコーポレイテッド | 同調可能な光学機器 |
JP2004354176A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
JP2005308495A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器及びそれを用いた測定装置 |
WO2008149939A1 (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光器 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3509131A1 (de) * | 1985-03-14 | 1986-09-18 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren zur justierten montage der optischen bauteile eines optischen geraetes |
JP2592081B2 (ja) | 1987-12-28 | 1997-03-19 | スズキ株式会社 | 自動二輪車等のマフラ |
DE4038638A1 (de) | 1990-12-04 | 1992-06-11 | Zeiss Carl Fa | Diodenzeilen-spektrometer |
JPH04287001A (ja) | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Sekinosu Kk | 光回折格子の製造方法 |
JPH06167637A (ja) | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Hitachi Ltd | 多芯光コネクタ |
JPH08145794A (ja) | 1994-11-17 | 1996-06-07 | Shimadzu Corp | 分光器 |
US5995221A (en) * | 1997-02-28 | 1999-11-30 | Instruments S.A., Inc. | Modified concentric spectrograph |
US6303934B1 (en) * | 1997-04-10 | 2001-10-16 | James T. Daly | Monolithic infrared spectrometer apparatus and methods |
DE19717015A1 (de) | 1997-04-23 | 1998-10-29 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Miniaturisiertes optisches Bauelement sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
EP1041372B1 (de) | 1999-04-01 | 2006-03-01 | Gretag-Macbeth AG | Spektrometer |
US6538736B1 (en) * | 1999-12-01 | 2003-03-25 | Hach Company | Concentric spectrometer with mitigation of internal specular reflections |
AU2001276875A1 (en) * | 2000-07-11 | 2002-01-21 | Ibsen Photonics | Monitoring apparatus for optical transmission systems |
US6859274B2 (en) * | 2000-07-28 | 2005-02-22 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Light spectrum detecting apparatus |
US6657723B2 (en) * | 2000-12-13 | 2003-12-02 | International Business Machines Corporation | Multimode planar spectrographs for wavelength demultiplexing and methods of fabrication |
JP2003139611A (ja) | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
JP3818441B2 (ja) | 2002-02-20 | 2006-09-06 | 日本電信電話株式会社 | 基板実装構造及び半導体装置 |
FR2847978B1 (fr) * | 2002-12-02 | 2005-12-02 | Technologie Optique Et Etudes | Spectrometre compact a composant optique monolithique |
JP2004191246A (ja) | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 凹凸検出センサ |
WO2006010367A2 (en) * | 2004-07-26 | 2006-02-02 | Danmarks Tekniske Universitet | On-chip spectroscopy |
US7330258B2 (en) * | 2005-05-27 | 2008-02-12 | Innovative Technical Solutions, Inc. | Spectrometer designs |
JP4811032B2 (ja) | 2006-01-30 | 2011-11-09 | 株式会社島津製作所 | 反射型レプリカ光学素子 |
US7697137B2 (en) * | 2006-04-28 | 2010-04-13 | Corning Incorporated | Monolithic Offner spectrometer |
EP1882916A1 (en) * | 2006-07-20 | 2008-01-30 | Interuniversitair Microelektronica Centrum | Compact catadioptric spectrometer |
JP5182093B2 (ja) | 2006-09-06 | 2013-04-10 | 株式会社ニコン | 光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
JP4891841B2 (ja) | 2007-06-08 | 2012-03-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
EP2063239A4 (en) | 2007-06-08 | 2013-12-25 | Hamamatsu Photonics Kk | SPECTROSCOPIC MODULE |
JP5205238B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
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JP5205240B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000065642A (ja) * | 1998-03-11 | 2000-03-03 | Gretag Macbeth Ag | スペクトロメ―タ |
JP2004537750A (ja) * | 2001-08-02 | 2004-12-16 | アイギス セミコンダクター インコーポレイテッド | 同調可能な光学機器 |
JP2003202463A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-18 | Fujitsu Ltd | 波長多重双方向光伝送モジュール |
JP2004309146A (ja) * | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Olympus Corp | 分光光度計 |
JP2004354176A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
JP2005308495A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器及びそれを用いた測定装置 |
WO2008149939A1 (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
H.W. TEICHMANN, ET.AL.: ""Replizierter mikro-optischer Sensor fuer die industrielle Spektralsensorik"", TM-TECHNISCHES MESSEN, vol. 68, no. 5, JPN6009025094, May 2001 (2001-05-01), pages 200 - 203, XP008147667, ISSN: 0002434375, DOI: 10.1524/teme.2001.68.5.200 * |
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