JP2009295979A - 基板テーブル、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】特に、テーブル上のオブジェクトとテーブル自体との間に毛管路が形成される。毛管路の半径方向内側におけるメニスカス固定特徴部及び/又は過剰圧力の存在は、液体を通路内に保持し、それがさらに半径方向内側に前進するのを防止するのに役立つ。この機能を実行する特徴部は、オブジェクトを囲む部材を伴うか、その中に形成することができる。部材はテーブルの部分から熱的に分離することができる。
【選択図】図6
Description
オブジェクトがテーブル上にある場合に毛管路の第一側を形成する毛管路形成表面であって、オブジェクトの表面が、第一側に対向する毛管路の第二側を形成する、毛管路形成表面と、
毛管路形成表面の半径方向内側に配置され、且つ使用時に毛管路内にある流体のメニスカスの半径方向内側の位置を固定するメニスカス固定特徴部と、
を備えるテーブルが提供される。
オブジェクトがテーブル上にある場合に毛管路の第一側を形成する毛管路形成表面であって、オブジェクトの表面が、第一側に対向する毛管路の第二側を形成する、毛管路形成表面と、
使用時に流路内の気体の過剰圧力が毛管路内にある流体に半径方向外側の力を加えるのに有効であるように構成された流路と、
を備えるテーブルが提供される。
を備えるテーブルが提供される。
オブジェクトがテーブルの上面の窪み内にある場合に毛管路の第一側を形成する毛管路形成表面であって、オブジェクトの表面が、第一側に対向する毛管路の第二側を形成する、毛管路形成表面と、
毛管路を形成する表面の中又はその隣にあり、毛管路に流体を供給する開口と、
を備えるテーブルが提供される。
オブジェクトをテーブル上に配置して、オブジェクトとテーブルの毛管路形成表面との間に毛管路を形成すること、及び
毛管路内にある液体の半径方向内側のメニスカスがテーブルのメニスカス固定特徴部によって所定の位置に固定される位置まで、毛管路内に液体を導入すること、を含むデバイス製造方法が提供される。
オブジェクトをテーブル上に配置して、オブジェクトとテーブルの毛管路形成表面との間に毛管路を形成すること、及び
毛管路形成表面の半径方向内側の流路に気体の過剰圧力を導入して、毛管路内の液体に半径方向外側の力を加えること、を含むデバイス製造方法が提供される。
テーブルの部材がオブジェクトを囲むように、テーブル上にオブジェクトを設けることを含み、部材がテーブルの一部から熱的に分離され、オブジェクトも縁部で流体を取り扱う流体ハンドリング特徴部を有する、デバイス製造方法が提供される。
オブジェクトをテーブル上に配置して、オブジェクトとテーブルの毛管路形成表面との間に毛管路を形成すること、及び
毛管路形成表面の中又はその隣にある開口を通して、毛管路内に液体を導入すること、
を含むデバイス製造方法が提供される。
− 放射ビームB(例えばUV放射又はDUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第一ポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
− 基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第二ポジショナPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
− パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ又は複数のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSとを含む。
Claims (15)
- 液浸リソグラフィ装置のためのテーブルであって、
オブジェクトが前記テーブル上にある場合に毛管路の第一側を形成する毛管路形成表面であって、前記オブジェクトの表面が、前記第一側に対向する前記毛管路の第二側を形成する、毛管路形成表面と、
前記毛管路形成表面の半径方向内側に配置され、且つ使用時に前記毛管路内にある流体のメニスカスの半径方向内側の位置を固定するメニスカス固定特徴部と、
を備えるテーブル。 - 前記メニスカス固定特徴部が前記毛管路形成表面の端部にある鋭利な縁部である、請求項1に記載のテーブル。
- 前記メニスカス固定特徴部が前記毛管路形成表面の半径方向内側の表面であり、前記メニスカス固定特徴部の前記表面が、断面にて前記毛管路形成表面の面に対してある角度で傾斜し、したがって前記メニスカス固定特徴部の前記表面の半径方向で最も内側の縁部が、前記メニスカス固定特徴部の前記表面の半径方向外側の部分よりもさらに前記毛管路形成表面の前記面から離れている、請求項1に記載のテーブル。
- 前記メニスカス固定特徴部の半径方向内側に、使用時に流路内の気体の過剰圧力が前記毛管路内の液体に半径方向外側の力を加えるのに有効であるように構成された流路を、さらに備える、前記請求項のいずれか1項に記載のテーブル。
- 前記毛管路形成表面の半径方向内側に、前記テーブルのオブジェクト支持体を囲む内部突起をさらに備え、使用時に前記オブジェクト支持体上にあるオブジェクトと前記内部突起との間の距離が2μmから20μmである、前記請求項のいずれか1項に記載のテーブル。
- 前記毛管路形成表面が前記テーブルの上面に実質的に平行である、前記請求項のいずれか1項に記載のテーブル。
- 前記毛管路形成表面が親液性である、前記請求項のいずれか1項に記載のテーブル。
- 液浸リソグラフィ装置のためのテーブルであって、
オブジェクトが前記テーブル上にある場合に毛管路の第一側を形成する毛管路形成表面であって、前記オブジェクトの表面が、前記第一側に対向する前記毛管路の第二側を形成する、毛管路形成表面と、
使用時に流路内の気体の過剰圧力が前記毛管路内にある流体に半径方向外側の力を加えるのに有効であるように構成された流路と、
を備えるテーブル。 - 液浸リソグラフィ装置のためのテーブルであって、
オブジェクトを支持するオブジェクト支持体と、
前記オブジェクト支持体を囲み、前記テーブルの一部から熱的に分離され、且つ流体ハンドリング特徴部を有する部材と、
を備えるテーブル。 - 液浸リソグラフィ装置のためのテーブルであって、
オブジェクトが前記テーブルの上面の窪み内にある場合に毛管路の第一側を形成する毛管路形成表面であって、前記オブジェクトの表面が、前記第一側に対向する前記毛管路の第二側を形成する、毛管路形成表面と、
前記毛管路形成表面の中又はその隣にあり、前記毛管路に流体を供給する開口と、を備えるテーブル。 - 前記請求項のいずれか1項に記載のテーブルを備えるリソグラフィ装置。
- オブジェクトをテーブル上に配置して、前記オブジェクトと前記テーブルの毛管路形成表面との間に毛管路を形成すること、及び
前記毛管路内にある液体の半径方向内側のメニスカスが前記テーブルのメニスカス固定特徴部によって所定の位置に固定される位置まで、前記毛管路内に液体を導入すること、を含むデバイス製造方法。 - オブジェクトをテーブル上に配置して、前記オブジェクトと前記テーブルの毛管路形成表面との間に毛管路を形成すること、及び
前記毛管路形成表面の半径方向内側の流路に気体の過剰圧力を導入して、前記毛管路内の液体に半径方向外側の力を加えること、を含むデバイス製造方法。 - テーブルの部材がオブジェクトを囲むように、前記テーブル上に前記オブジェクトを設けることを含み、前記部材が前記テーブルの一部から熱的に分離され、前記オブジェクトも縁部で流体を取り扱う流体ハンドリング特徴部を有する、デバイス製造方法。
- オブジェクトをテーブル上に配置して、前記オブジェクトと前記テーブルの毛管路形成表面との間に毛管路を形成すること、及び
前記毛管路形成表面の中又はその隣にある開口を通して、前記毛管路内に液体を導入すること、を含むデバイス製造方法。
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