JP2009295862A - 高周波樹脂パッケージ - Google Patents
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Abstract
【課題】パッケージ内に搭載される部品の実装性や親回路基板等の他の基板への実装性がよく、放熱性に優れる高周波樹脂パッケージを得ること。
【解決手段】本発明の高周波樹脂パッケージ8は、半導体チップ3と、平板形状を呈し、略平坦な面とされて半導体チップが搭載されたチップ搭載面1aと、チップ搭載面の他方面側であって略平坦な面とされて入出力端子が形成された端子面1bと、を備える樹脂基板1と、チップ搭載面側で樹脂基板を覆うとともに、半導体チップを収容するキャビティ部4aが形成された樹脂多層キャップ4と、を有する。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明の高周波樹脂パッケージ8は、半導体チップ3と、平板形状を呈し、略平坦な面とされて半導体チップが搭載されたチップ搭載面1aと、チップ搭載面の他方面側であって略平坦な面とされて入出力端子が形成された端子面1bと、を備える樹脂基板1と、チップ搭載面側で樹脂基板を覆うとともに、半導体チップを収容するキャビティ部4aが形成された樹脂多層キャップ4と、を有する。
【選択図】 図1
Description
この発明は、電子部品を搭載し、マイクロ波帯やミリ波帯の高周波回路が搭載される高周波樹脂パッケージに関するもので、特に、小型化、高密度化に寄与するとともに実装性に優れた高周波樹脂パッケージに関するものである。
近年、通信用の送受信装置やレーダ装置の多機能化、高性能化のために、フェーズドアレイアンテナ方式の適用が進んでいる。フェーズドアレイアンテナは、複数のアンテナ素子で送受信される高周波信号の位相を制御することでアンテナの指向方向を変えるもので、構成上、各アンテナ素子に対応する送受信用増幅器や移相器をパッケージングした多数の送受信モジュールが必要となる。一方、これらの装置には、高機能化、高性能化に加え、低価格化、小型化の要求が同様に高まっており、とりわけ、限られたスペースに多数使用する送受信モジュール用の高周波樹脂パッケージでは、小型化、高密度化、高放熱性および製造性の良さが求められている。
特許文献1においては、金属カバーで覆われた回路基板上に回路部品を搭載するとともに、回路基板の底面にキャビティ部としての凹部を形成し、該凹部に回路部品を実装し、回路基板の凹部が形成された側の底面を親回路基板に対向させて実装されるハイブリッドモジュールにおいて、凹部の底面にはグランド電極を形成し、凹部の壁面にはグランド電極と接続する金属膜を形成し、凹部の底面にはグランド電極と接続する金属壁を立設しており、回路部品に発生する熱を金属膜及び金属壁を介して効率的に親回路基板に放熱するようにしている。
このような回路基板の基材としてセラミックを用いた多層基板が用いられる。セラミックを用いた多層基板は、絶縁材であるセラミックシートと導電材である導電性ペーストを重ね合わせ、同時に焼成を行って製造される。セラミックシートと導電性ペーストとの両者の焼成時の収縮率の差異から、焼成時に内部応力が発生する。この内部応力は基板内の絶縁材や導体の分布が不均一であったり、構造的に弱い部分があったりする場合に、基板の反りや凹凸等の変形の原因となる。
特許文献1に記載の回路基板は回路部品を実装する凹部(キャビティ部)が形成されているため、基板内の絶縁材や導電材の分布が不均一である。また、キャビティ部の側壁部分は構造的に脆弱である。したがって、回路基板の焼成時に生じる内部応力により、回路基板に反りや凹凸等の変形が生じやすい。
回路基板の反りや凹凸は、キャビティ部に半導体チップを実装する際や、回路基板を親回路基板に実装する際に接続不良を招くとういう課題がある。また、回路基板の反りや凹凸により、半導体チップと回路基板との密着性や、回路基板と親回路基板との密着性が不足して放熱効率の低下を招くという課題がある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、パッケージ内に搭載される部品の実装性や親回路基板等の他の基板への実装性がよく、放熱性に優れる高周波樹脂パッケージを得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の高周波樹脂パッケージは、半導体チップと、平板形状を呈し、略平坦な面とされて半導体チップが搭載されたチップ搭載面と、チップ搭載面の他方面側であって略平坦な面とされて入出力端子が形成された端子面と、を備える樹脂基板と、チップ搭載面側で樹脂基板を覆うとともに、半導体チップを収容するキャビティ部が形成された樹脂多層キャップと、を有する。
この発明によれば、回路基板としての樹脂基板のチップ搭載面と端子面が略平坦な面であるため、構造的な脆弱性を抑えて樹脂基板の変形を抑えることができる。また、チップ搭載面と端子面が略平坦な面であり変形も少ないので、樹脂基板と半導体チップ及び回路基板と親回路基板等の他の基板との密着性がよく、実装性及び放熱性に優れた高周波樹脂パッケージが得られる。
以下に、本発明にかかる高周波樹脂パッケージの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1に係る高周波樹脂パッケージの断面構造を示す図である。高周波樹脂パッケージ8は、樹脂基板1、半導体チップ3、樹脂多層キャップ4を有して構成されている。
図1は、この発明の実施の形態1に係る高周波樹脂パッケージの断面構造を示す図である。高周波樹脂パッケージ8は、樹脂基板1、半導体チップ3、樹脂多層キャップ4を有して構成されている。
樹脂基板1は、平板形状を呈する板状の部材であり、図1において、親回路基板9上に実装されている。樹脂基板1は、略平坦な面とされて半導体チップ3が実装されるチップ搭載面1aを備える。チップ搭載面1aの他方面側は、略平坦な面とされて金属バンプ(突起電極)10aが形成された端子面1bを備える。金属バンプ10aは、高周波樹脂パッケージ8が親回路基板9へ実装される際の入出力端子として機能する。樹脂基板1のチップ搭載面1aと端子面1bとが略平坦な面とされているので、構造的な脆弱部がなく、樹脂基板1の製造工程において焼成した際に反りや凹凸等の変形が生じにくく、焼成後もチップ搭載面1a及び端子面1bの平面度を高く保つことができる。
樹脂基板1には、チップ搭載面1a側と端子面1b側を電気的に接続可能とする複数のビアホール6aが形成されている。複数のビアホール6aのうち、半導体チップ3が搭載される位置に形成されたビアホール6aは、半導体チップ3の搭載位置から端子面1b側に向けて貫通している。端子面1b側におけるビアホール6aの末端位置は、金属バンプ10aが形成される位置に対応しており、ビアホール6aと金属バンプ10aは電気的に接続される。樹脂基板1の内部には導体配線7aが敷設されている。導体配線7aは、樹脂基板1の内部でビアホール6a同士を接続する。樹脂基板1の端子面1bが親回路基板9に対して加熱圧着されて高周波樹脂パッケージ8が親回路基板9に実装される。
なお、樹脂基板1の基板素材としてBTレジンやEL230等の低価格材料を用いれば、高周波樹脂パッケージ8の製造コストを抑制することができる。
半導体チップ3は、樹脂基板1のチップ搭載面1aに実装される。半導体チップ3の樹脂基板と対向する面は略平坦な面となっており、金属バンプ10bが形成されている。この金属バンプ10bは、半導体チップ3がチップ搭載面1aに配置された際に、樹脂基板1に形成されたビアホール6aの末端位置に対応するように形成されている。
半導体チップ3は、樹脂基板1のチップ搭載面1a上に配置した状態で加熱圧着することで実装される。加熱圧着により、半導体チップ3に形成された金属バンプ10bとビアホール6bの末端とが電気的に接続される。金属バンプ10bと接続されるビアホール6bは、半導体チップ3の搭載位置から樹脂基板1の端子面1bに向けて貫通しているので、半導体チップ3で発生した熱を効率よく親回路基板9側に放熱させることができる。
樹脂多層キャップ4は、樹脂基板1のチップ搭載面1aを覆うとともに、半導体チップ3を収容するキャビティ部(凹部)4aが形成されている。キャビティ部4aの周囲は、チップ搭載面1aと対向して略平坦な面とされた周縁部4bとなっている。
樹脂多層キャップ4には、周縁部4bから内部に向けてビアホール6が形成されている。また、樹脂多層キャップ4の内部には導体配線7bが敷設されている。導体配線7bは、ビアホール6b同士を接続する。また、周縁部4bには、ビアホール6の末端に対応する位置に接続部としての金属バンプ10cが形成されている。金属バンプ10cは、樹脂多層キャップ4を樹脂基板1のチップ搭載面1a上に配置した際に、樹脂基板1に形成されたビアホール6bの末端に対応する位置に形成されている。樹脂多層キャップ4は、半導体チップ3が実装された樹脂基板1に対して加熱圧着等により取り付けられる。
上記説明のように構成された本実施の形態1に係る高周波樹脂パッケージ8では、親回路基板9と半導体チップ3がビアホール6a,6b及び導体配線7a,7bを介して接続され、親回路基板9からの入出力信号及び半導体チップ3の入出力信号をビアホール6a,6b及び導体配線7a,7bを介して伝送する。
樹脂基板1のチップ搭載面1aは略平坦な面とされているので、半導体チップ3を加熱圧着した際に、半導体チップ3に形成された複数の金属バンプ10bに対して均等に圧着力が加わるため、バンプ実装の実装性や信頼性に優れる。また、金属バンプ10bを介して半導体チップ3を実装することで、半導体チップ3の周辺にボンディングワイヤ用のスペースを必要とせず、高周波樹脂パッケージ8の小型化や高密度化が可能となる。
また、樹脂基板1のチップ搭載面1aが略平坦な面であり、かつ樹脂多層キャップ4の周縁部4bが略平坦な面であるため、周縁部4bに形成された複数の金属バンプ10cに均等に圧着力が加わるためバンプ実装性や信頼性に優れる。したがって、樹脂多層キャップ4の周縁部4bに多数の金属バンプ10cを形成しても、その金属バンプ10cと樹脂基板1に形成されたビアホール6aとを確実に接続することができる。
また、周縁部4bに多数の金属バンプ10cを形成し、その金属バンプ10cに合わせて導体配線7bを敷設すれば、樹脂多層キャップ4の内部に何重にも導体配線7bを敷設することができる。これにより、樹脂基板1側の導体配線7aを減らすことができ、樹脂基板1の厚さを薄くすることができる。樹脂基板1の導体配線7aを減らすことで、樹脂基板1における樹脂及び導体配線の分布の偏在を抑えることができる。したがって、樹脂基板1を焼成した際に、より一層変形しにくくすることができ、チップ搭載面1a及び端子面1bの平面度を高く保つことができる。
また、樹脂基板1の端子面1bが略平坦な面とされているので、端子面1bに形成された複数の金属バンプ10aに均等に圧着力が加わるためパンプ実装性や信頼性に優れる。また、端子面1bと親回路基板9との密着性もよく、放熱性にも優れる。樹脂基板1の端子面1b全体に金属バンプ10aを形成することができるため、高周波樹脂パッケージ8と親回路基板9との接続数の増加に容易に対応可能となり、高周波樹脂パッケージ8の小型化や高密度化にも寄与することができる。
実施の形態2.
図2は、この発明の実施の形態2に係る高周波樹脂パッケージの断面構造を示す図である。図1と同一又は相当する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。本実施の形態2では、樹脂多層キャップ4のキャビティ部4aに抵抗やコンデンサ等のチップ部品11が実装されている。キャビティ部4aにチップ部品11を実装することで、高周波樹脂パッケージ8のより一層の小型化や高密度化が可能となる。
図2は、この発明の実施の形態2に係る高周波樹脂パッケージの断面構造を示す図である。図1と同一又は相当する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。本実施の形態2では、樹脂多層キャップ4のキャビティ部4aに抵抗やコンデンサ等のチップ部品11が実装されている。キャビティ部4aにチップ部品11を実装することで、高周波樹脂パッケージ8のより一層の小型化や高密度化が可能となる。
実施の形態3.
図3は、この発明の実施の形態3に係る高周波樹脂パッケージの断面構造を示す図である。図2と同一または相当する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。本実施の形態3では、樹脂基板1の内部に平行平板コンデンサ(受動回路)12が内蔵され、樹脂多層キャップ4の内部にスパイラルインダクタ(受動回路)13が内蔵されている。
図3は、この発明の実施の形態3に係る高周波樹脂パッケージの断面構造を示す図である。図2と同一または相当する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。本実施の形態3では、樹脂基板1の内部に平行平板コンデンサ(受動回路)12が内蔵され、樹脂多層キャップ4の内部にスパイラルインダクタ(受動回路)13が内蔵されている。
樹脂基板1及び樹脂多層キャップ4の内部に平行平板コンデンサ12やスパイラルインダクタ13を内蔵したので、チップ部品11の数を削減でき、高周波樹脂パッケージ8のより一層の小型化や高密度化が可能となる。樹脂基板1は、反りや凹凸等の変形が少ないため、内蔵する平行平板コンデンサ12やスパイラルインダクタ13を形成する導体パターンや基板厚の寸法精度が良く、平行平板コンデンサ12の容量値やスパイラルインダクタ13のインダクタ値の高精度化を図ることができる。なお、本実施の形態3では、平行平板コンデンサ12とスパイラルインダクタ13を樹脂基板1と樹脂多層キャップ4とに分けて内蔵しているが、樹脂基板1又は樹脂多層キャップ4のいずれか一方に内蔵させてもよい。
実施の形態4.
図4は、この発明の実施の形態4に係る高周波樹脂パッケージの断面構造を示す図である。図3と同一または相当する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。本実施の形態4では、樹脂基板1のチップ搭載面1aを樹脂多層キャップ4で覆った後に、キャビティ部4aとチップ搭載面1aとで形成される空間に樹脂14を充填している。チップ搭載面1aと樹脂多層キャップ4の間を樹脂14により充填することにより、キャビティ部4a内の半導体チップ3やチップ部品11の気密、保護ができるとともに、半導体チップ3の発生する熱が樹脂14を介して樹脂基板1へ伝熱されるため、放熱性が良くなる。
図4は、この発明の実施の形態4に係る高周波樹脂パッケージの断面構造を示す図である。図3と同一または相当する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。本実施の形態4では、樹脂基板1のチップ搭載面1aを樹脂多層キャップ4で覆った後に、キャビティ部4aとチップ搭載面1aとで形成される空間に樹脂14を充填している。チップ搭載面1aと樹脂多層キャップ4の間を樹脂14により充填することにより、キャビティ部4a内の半導体チップ3やチップ部品11の気密、保護ができるとともに、半導体チップ3の発生する熱が樹脂14を介して樹脂基板1へ伝熱されるため、放熱性が良くなる。
以上のように、本発明にかかる高周波樹脂パッケージは、マイクロ波帯やミリ波帯の高周波回路が搭載される高周波樹脂パッケージに関するもので、特に、高周波樹脂パッケージの小型化、高密度化及び実装性の向上に適している。
1 樹脂基板
1a チップ搭載面
1b 端子面
3 半導体チップ
4 樹脂多層キャップ
4a キャビティ部(凹部)
4b 周縁部
6a,6b ビアホール
7a,7b 導体配線
8 高周波樹脂パッケージ
9 親回路基板
10a,10b,10c 金属バンプ(突起電極)
11 チップ部品
12 平行平板コンデンサ(受動回路)
13 スパイラルインダクタ(受動回路)
14 樹脂
1a チップ搭載面
1b 端子面
3 半導体チップ
4 樹脂多層キャップ
4a キャビティ部(凹部)
4b 周縁部
6a,6b ビアホール
7a,7b 導体配線
8 高周波樹脂パッケージ
9 親回路基板
10a,10b,10c 金属バンプ(突起電極)
11 チップ部品
12 平行平板コンデンサ(受動回路)
13 スパイラルインダクタ(受動回路)
14 樹脂
Claims (8)
- 半導体チップが搭載される平坦なチップ搭載面と、該チップ搭載面の他方面側であって入出力端子が形成された平坦な端子面とを有する平板形状の樹脂基板と、
前記チップ搭載面側で前記樹脂基板を覆うとともに、前記半導体チップを収容する凹部が形成された樹脂多層キャップと、を備え、
前記樹脂多層キャップは、前記凹部の周縁部に前記樹脂多層キャップと前記樹脂基板とを電気的に接続する接続部を有することを特徴とする高周波樹脂パッケージ。 - 前記接続部が、金属バンプであることを特徴とする請求項1に記載の高周波樹脂パッケージ。
- 前記半導体チップは前記チップ搭載面と対向する面に金属バンプを備え、その金属バンプを介して前記チップ搭載面に搭載されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の高周波樹脂パッケージ。
- 前記樹脂基板の入出力端子が金属バンプであることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の高周波樹脂パッケージ。
- 前記樹脂基板には、前記チップ搭載面における前記半導体チップの下部から前記端子面に貫通するビアホールが形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載の高周波樹脂パッケージ。
- 前記凹部にチップ部品を搭載したことを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか1項に記載の高周波樹脂パッケージ。
- 前記樹脂基板又は前記樹脂多層キャップ内部のうち少なくともいずれか一方に受動回路を内蔵したことを特徴とする請求項1から請求項6のうちいずれか1項に記載の高周波樹脂パッケージ。
- 前記凹部に樹脂が充填されていることを特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか1項に記載の高周波樹脂パッケージ。
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---|---|---|---|
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