JP2009290050A - 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】隣接するスピン注入型磁気抵抗効果素子に起因したディスターブ現象が発生し難い構成、構造を有する磁気抵抗効果素子を提供する。
【解決手段】磁気抵抗効果素子30は、電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層53が設けられた積層構造体50を備えており、記録層53の外縁部は、絶縁領域170を介して磁気シールド層180によって囲まれており、磁気シールド層180は、記録層53の延在部53Aから構成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】磁気抵抗効果素子30は、電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層53が設けられた積層構造体50を備えており、記録層53の外縁部は、絶縁領域170を介して磁気シールド層180によって囲まれており、磁気シールド層180は、記録層53の延在部53Aから構成されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、磁気抵抗効果素子及びその製造方法に関し、より具体的には、スピン注入型磁気抵抗効果素子(所謂スピンRAM)及びその製造方法に関する。
情報通信機器、特に携帯端末等の個人用小型機器の飛躍的な普及に伴い、これらを構成するメモリ素子やロジック素子の各種半導体装置には、高集積化、高速化、低電力化等、一層の高性能化が要請されている。特に不揮発性メモリは、ユビキタス時代に必要不可欠であると考えられている。電源の消耗やトラブル、サーバーとネットワークとが何らかの障害により切断された場合でも、不揮発性メモリによって重要な情報を保存、保護することができる。また、最近の携帯機器は不要の回路ブロックをスタンバイ状態とし、出来る限り消費電力を抑えるように設計されているが、高速のワークメモリと大容量ストレージメモリを兼ねることができる不揮発性メモリが実現できれば、消費電力とメモリの無駄を無くすことができる。また、電源を投入すると瞬時に起動できる「インスタント・オン」機能も、高速、且つ、大容量の不揮発性メモリが実現できれば可能となる。
不揮発性メモリとして、半導体材料を用いたフラッシュメモリや、強誘電体材料を用いた強誘電体型不揮発性半導体メモリ(FERAM,Ferroelectric Random Access Memory)等を挙げることができる。しかしながら、フラッシュメモリは、書込み速度がマイクロ秒のオーダーであり、書込み速度が遅いという欠点がある。一方、FERAMにおいては、書換え可能回数が1012〜1014であり、SRAMやDRAMをFERAMに置き換えるにはFERAMの書換え可能回数が十分とは云えず、また、強誘電体層の微細加工が難しいという問題が指摘されている。
これらの欠点を有さず、しかも、より少ない電流にて情報の記録、読み出しを行うことができる、スピン注入による磁化反転を応用したスピン注入型磁気抵抗効果素子(スピンRAM)が注目されている(例えば、特開2003−17782参照)。ここで、スピン注入による磁化反転とは、磁性体の中を通過してスピン偏極された電子が他の磁性体に注入されることにより、他の磁性体において磁化反転が生じる現象である。スピン注入型磁気抵抗効果素子にあっては、具体的には、磁性体の膜面に垂直な方向に電流を流すことにより、少なくとも一部の磁性体の磁化の向きを反転させることができる。そして、スピン注入による磁化反転は、素子が微細化されても、電流を増やさずに磁化反転を実現することができるといった利点を有しており、より一層の素子の微細化が可能となる。
スピン注入型磁気抵抗効果素子の概念図を図13の(A)に示す。このスピン注入型磁気抵抗効果素子は、GMR(Giant MagnetoResistance,巨大磁気抵抗)効果を有する積層膜、あるいは、TMR(Tunnel MagnetoResistance)効果を有する積層膜から成る磁気抵抗効果積層膜が2つの配線41,42で挟まれた構造を有する。即ち、情報を記録する機能を担う記録層(磁化反転層あるいは自由層とも呼ばれる)53と、磁化方向が固定されており、スピンフィルターとして機能する磁化参照層(固着層とも呼ばれる)51が、非磁性体膜52を介して積層された構造を有し、電流は膜面に垂直に流れる(図13の(A)参照)。記録層53の大きさは、模式的な平面図を図13の(B)に示すが、記録層53を構成する磁性材料の種類や膜厚に依るが、単磁区化を促進し、且つ、スピン注入磁化反転の臨界電流Icを低減するため、概ね200nm以下である。記録層53は、適当な磁気異方性により2以上の複数の磁化方向(例えば、図13の(A)に水平方向の矢印にて示す2方向である第1の方向及び第2の方向)を取ることができ、各磁化方向は記録される情報に対応する。図13の(B)においては、記録層53の平面形状を長楕円形状にすることによって、形状磁気異方性を付与した例を示す。即ち、記録層53は、第1の方向及び第2の方向に平行な磁化容易軸と、この磁化容易軸に直交する磁化困難軸とを有しており、磁化容易軸に沿った記録層53の長さは、磁化困難軸に沿った記録層53の長さよりも長い。
ところで、スピン注入型磁気抵抗効果素子の微細化が進むに従い、隣接するスピン注入型磁気抵抗効果素子にて発生した漏洩磁界に起因して記録層の磁化が乱されるといったディスターブ現象が発生し、スピン注入型磁気抵抗効果素子のデータ保持特性が著しく劣化するといった問題が生じている。このようなディスターブ現象の発生を避けるために、図14の(A)あるいは(B)に模式的な部分的平面図を示すように、隣接するスピン注入型磁気抵抗効果素子をオフセット配置することが提案されている。尚、図14の(A)及び(B)においては、積層構造体及び接続孔(これらについては、後述する実施例を参照)を、それぞれ、実線の楕円形及び円形で示し、ビット線及びワード線(これらについても、後述する実施例を参照)を、それぞれ、点線及び一点鎖線で示す。更には、1つのスピン注入型磁気抵抗効果素子が占める領域を二点鎖線で示す。このようなオフセット配置によって、漏洩磁界による悪影響は少なくなるものの、抜本的な解決策とはなっていない。また、場合によっては、スピン注入型磁気抵抗効果素子の磁化参照層にて発生した漏洩磁界によって、Hf(印加磁場・磁気抵抗曲線R−Hのシフト量)が変化する結果、データ保持特性がばらつくといった問題も生じる。
従って、本発明の目的は、隣接するスピン注入型磁気抵抗効果素子にて発生した漏洩磁界に起因して記録層の磁化が乱されるといったディスターブ現象が発生し難い構成、構造を有する磁気抵抗効果素子及びその製造方法を提供することにある。
上記の目的を達成するための本発明の第1の態様〜第4の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法は、電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層の外縁部が絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれており、磁気シールド層は記録層の延在部から構成されている磁気抵抗効果素子の製造方法である。
そして、本発明の第1の態様あるいは第2の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法は、
(A)最上層に記録層が設けられた積層構造体を形成した後、積層構造体上に、記録層側から第1マスク層及び第2マスク層を形成し、
(B)第2マスク層及び第1マスク層をパターニングし、更に、パターニングされた第1マスク層にアンダーカット部を設けた後、
(C)第1マスク層のアンダーカット部の下方を除き、記録層上に保護層を形成する、
各工程を含む。
(A)最上層に記録層が設けられた積層構造体を形成した後、積層構造体上に、記録層側から第1マスク層及び第2マスク層を形成し、
(B)第2マスク層及び第1マスク層をパターニングし、更に、パターニングされた第1マスク層にアンダーカット部を設けた後、
(C)第1マスク層のアンダーカット部の下方を除き、記録層上に保護層を形成する、
各工程を含む。
そして、本発明の第1の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法にあっては、次いで、
(D)保護層で覆われていない記録層の部分に絶縁化処理を施す、
工程を含み、本発明の第2の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法にあっては、次いで、
(D)保護層で覆われていない記録層の部分を除去して絶縁領域を形成する、
工程を含む。
(D)保護層で覆われていない記録層の部分に絶縁化処理を施す、
工程を含み、本発明の第2の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法にあっては、次いで、
(D)保護層で覆われていない記録層の部分を除去して絶縁領域を形成する、
工程を含む。
本発明の第1の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法にあっては、前記工程(D)における絶縁化処理は、保護層で覆われていない記録層の部分の酸化処理、フッ化処理、又は、窒化処理である形態とすることができる。
一方、本発明の第2の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法にあっては、前記工程(D)の後、
(E)記録層の除去された部分を絶縁材料にて埋め込み、絶縁領域を形成する、
工程を含む形態とすることができる。
(E)記録層の除去された部分を絶縁材料にて埋め込み、絶縁領域を形成する、
工程を含む形態とすることができる。
上記の好ましい形態を含む本発明の第1の態様あるいは第2の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法にあっては、前記工程(B)において、反応性イオンエッチング法(RIE法)に基づきパターニングを行い、更に、パターニングされた第1マスク層にアンダーカット部を設ける形態とすることが好ましい。
本発明の第3の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法は、
(A)記録層が設けられた積層構造体を形成し、次いで、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分をその厚さ方向に一部分除去した後、
(B)マスク層に隣接した記録層の残された部分に絶縁化処理を施すことで、絶縁領域を形成する、
各工程を含む。
(A)記録層が設けられた積層構造体を形成し、次いで、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分をその厚さ方向に一部分除去した後、
(B)マスク層に隣接した記録層の残された部分に絶縁化処理を施すことで、絶縁領域を形成する、
各工程を含む。
本発明の第3の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法にあっては、前記工程(B)において、磁気シールド層とすべき記録層の延在部の部分の表面領域にも、絶縁化処理を施す形態とすることができ、更には、絶縁化処理は、マスク層に隣接した記録層の残された部分及び磁気シールド層とすべき記録層の延在部の部分の表面領域の酸化処理、フッ化処理、又は、窒化処理である形態とすることができる。
また、本発明の第4の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法は、
(A)記録層が設けられた積層構造体を形成し、次いで、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分を除去した後、
(B)マスク層に隣接した記録層の除去された部分を絶縁材料で埋め込み、絶縁領域を形成する、
各工程を含む。
(A)記録層が設けられた積層構造体を形成し、次いで、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分を除去した後、
(B)マスク層に隣接した記録層の除去された部分を絶縁材料で埋め込み、絶縁領域を形成する、
各工程を含む。
上記の好ましい形態を含む本発明の第3の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法にあっては、前記工程(A)において、イオンミーリング法(イオンビームエッチング法)に基づき、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分をその厚さ方向に一部分除去することが望ましい。一方、本発明の第4の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法にあっては、前記工程(A)において、イオンミーリング法(イオンビームエッチング法)に基づき、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分を除去することが望ましい。磁気抵抗効果素子にあっては、異なる組成を有する多層構造をパターニングする必要があるので、反応性イオンエッチング(RIE)法にて異なる組成を有する多層構造をパターニングすることには困難を伴う場合がある。一方、イオンミーリング法に基づき、異なる組成を有する多層構造をパターニングすることは、比較的、容易である。
上記の目的を達成するための本発明の磁気抵抗効果素子は、
電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層が設けられた積層構造体を備えており、
記録層の外縁部は、絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれており、
磁気シールド層は、記録層の延在部から構成されている。
電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層が設けられた積層構造体を備えており、
記録層の外縁部は、絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれており、
磁気シールド層は、記録層の延在部から構成されている。
本発明の磁気抵抗効果素子において、絶縁領域は、記録層の外縁部に隣接した記録層の延在部の部分から成り、この部分には絶縁化処理が施されている構成とすることができる。そして、この場合、絶縁化処理は、この部分の酸化処理、フッ化処理、又は、窒化処理である構成とすることができる。あるいは又、絶縁領域は、記録層の外縁部に隣接した記録層の延在部の部分が酸化物、フッ化物又は窒化物にて置き換えられて成る構成とすることができる。
以上に説明した各種の好ましい構成、形態を含む本発明の第1の態様〜第4の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法あるいは磁気抵抗効果素子において、絶縁領域の幅は、磁気シールド層と記録層との間の磁気的干渉を確実に無くすために、10nm以上であることが望ましい。絶縁領域の幅の上限は、磁気抵抗効果素子に要求される集積度(磁気抵抗効果素子の形成密度)等を考慮して決定すればよい。
以上に説明した各種の好ましい構成、形態を含む本発明の第1の態様、第2の態様、第3の態様、第4の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法を、以下、『本発明の第1の態様に係る製造方法』、『本発明の第2の態様に係る製造方法』、『本発明の第3の態様に係る製造方法』、『本発明の第4の態様に係る製造方法』と呼ぶ場合がある。また、以上に説明した各種の好ましい構成、形態を含む本発明の第1の態様〜第4の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法によって得られる磁気抵抗効果素子、あるいは又、以上に説明した各種の好ましい構成、形態を含む本発明の磁気抵抗効果素子を、総称して、『本発明の磁気抵抗効果素子等』と呼ぶ場合がある。
本発明の磁気抵抗効果素子等は、より具体的には、スピン注入による磁化反転を応用したスピン注入型磁気抵抗効果素子である。ここで、本発明の磁気抵抗効果素子等において、記録層あるいは積層構造体の平面形状として、楕円形、長円形(2つの半円と2本の線分とが組み合わされた図形)、放物線や双曲線によって囲まれた形状、広くは2次関数あるいは3次以上の関数で表現し得る図形から構成された形状、正多角形(長方形、正5角形以上の正多角形、頂点が丸みを帯びた長方形、頂点が丸みを帯びた正5角形以上の正多角形が含まれる)、扁平な円形(円形を一方向から押し潰したような図形)を挙げることができるし、楕円形と線分との組合せ、放物線と線分との組合せ、双曲線と線分との組合せ、広くは、2次関数と1次関数との組合せ、あるいは3次以上の関数と1次関数との組合せを含むことができる。あるいは又、湾曲した形状とすることができる。
スピン注入型磁気抵抗効果素子にあっては、磁化参照層(固着層とも呼ばれる)、非磁性体膜、及び、情報を記憶する記録層(磁化反転層あるいは自由層とも呼ばれる)によって、TMR効果あるいはGMR効果を有する積層構造体が構成されている。ここで、磁化参照層、非磁性体膜及び記録層によって、TMR効果を有する積層構造体が構成されるとは、磁性材料から成る磁化参照層と、磁性材料から成る記録層との間に、トンネル絶縁膜として機能する非磁性体膜が挟まれた構造を指す。
本発明の第1の態様に係る製造方法あるいは第2の態様に係る製造方法によって得られる磁気抵抗効果素子において、積層構造体の具体的な構成として、下から、磁化参照層、非磁性体膜及び記録層の積層構造(記録層が最上層)を挙げることができる。一方、本発明の第3の態様に係る製造方法あるいは第4の態様に係る製造方法によって得られる磁気抵抗効果素子、以上に説明した各種の好ましい構成、形態を含む本発明の磁気抵抗効果素子において、積層構造体の具体的な構成として、下から、磁化参照層、非磁性体膜及び記録層の積層構造(記録層が最上層)、あるいは又、記録層、非磁性体膜及び磁化参照層の積層構造(磁化参照層が最上層)を挙げることができる。
スピン注入型磁気抵抗効果素子における記録層(磁化反転層)、磁化参照層を構成する材料として、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、コバルト(Co)といった強磁性材料、これらの強磁性材料の合金(例えば、Co−Fe、Co−Fe−Ni、Ni−Fe等)、これらの合金に非磁性元素(例えば、タンタル、ホウ素、クロム、白金、シリコン、炭素、窒素等)を混ぜた合金(例えば、Co−Fe−B等)、Co、Fe、Niの内の1種類以上を含む酸化物(例えば、フェライト:Fe−MnO等)、ハーフメタリック強磁性材料と呼ばれる一群の金属間化合物(ホイスラー合金:NiMnSb、Co2MnGe、Co2MnSi、Co2CrAl等)、酸化物(例えば、(La,Sr)MnO3、CrO2、Fe3O4等)を挙げることができる。記録層、磁化参照層の結晶性は、本質的に任意であり、多結晶であってもよいし、単結晶であってもよいし、非晶質であってもよい。更には、各種磁性半導体の使用も可能であるし、軟磁性(ソフト膜)であっても硬磁性(ハード膜)であってもよい。
あるいは又、スピン注入型磁気抵抗効果素子における磁化参照層は、積層フェリ構造[反強磁性的結合を有する積層構造であり、合成反強磁性結合(SAF:Synthetic Antiferromagnet)とも呼ばれる]を有する構成とすることができるし、静磁結合構造を有する構成とすることができる。積層フェリ構造とは、例えば、磁性材料層/ルテニウム(Ru)層/磁性材料層の3層構造(具体的には、例えば、CoFe/Ru/CoFeの3層構造、CoFeB/Ru/CoFeBの3層構造)を有し、ルテニウム層の厚さによって、2つの磁性材料層の層間交換結合が、反強磁性的あるいは強磁性的になる構造を指し、例えば、 S. S. Parkin et. al, Physical Review Letters, 7 May, pp 2304-2307 (1990) に報告されている。尚、2つの磁性材料層の層間交換結合が強磁性的になる構造を、積層フェロ構造と呼ぶ。また、2つの磁性材料層において、磁性材料層の端面からの漏洩磁界によって反強磁性的結合が得られる構造を、静磁結合構造と呼ぶ。記録層(磁化反転層)を、合成反強磁性結合を有する多層構造とすることもできる。磁化参照層は、反強磁性体層との交換結合によってピニング(pinning)される。反強磁性体層を構成する材料として、鉄−マンガン合金、ニッケル−マンガン合金、白金−マンガン合金、イリジウム−マンガン合金、ロジウム−マンガン合金、コバルト酸化物、ニッケル酸化物を挙げることができる。後述する第1配線あるいは第2配線と反強磁性体層との間には、反強磁性体層の結晶性向上のために、Ta、Cr、Ru、Ti等から成る下地膜を形成してもよい。
スピン注入型磁気抵抗効果素子において、TMR効果を有する積層構造体を構成する非磁性体膜を構成する材料として、マグネシウム酸化物(MgO)、マグネシウム窒化物、アルミニウム酸化物(AlOX)、アルミニウム窒化物(AlN)、シリコン酸化物、シリコン窒化物、TiO2あるいはCr2O3、Ge、NiO、CdOX、HfO2、Ta2O5、BN、ZnS等の絶縁材料を挙げることができる。一方、GMR効果を有する積層構造体を構成する非磁性体膜を構成する材料として、Cu、Ru、Cr、Au、Ag、Pt、Ta等、あるいは、これらの合金といった導電性材料を挙げることができるし、導電性が高ければ(抵抗率が数百μΩ・cm以下)、任意の非金属材料としてもよいが、記録層や磁化参照層と界面反応を起こし難い材料を、適宜、選択することが望ましい。
積層構造体を構成するこれらの層は、例えば、スパッタリング法、イオンビーム堆積法、真空蒸着法に例示される物理的気相成長法(PVD法)、ALD(Atomic Layer Deposition)法に代表される化学的気相成長法(CVD法)にて形成することができる。
また、非磁性体膜は、例えば、スパッタリング法にて形成された金属膜を酸化若しくは窒化することにより得ることができる。より具体的には、非磁性体膜を構成する絶縁材料としてアルミニウム酸化物(AlOX)、マグネシウム酸化物(MgO)を用いる場合、例えば、スパッタリング法にて形成されたアルミニウムやマグネシウムを大気中で酸化する方法、スパッタリング法にて形成されたアルミニウムやマグネシウムをプラズマ酸化する方法、スパッタリング法にて形成されたアルミニウムやマグネシウムをIPCプラズマで酸化する方法、スパッタリング法にて形成されたアルミニウムやマグネシウムを酸素中で自然酸化する方法、スパッタリング法にて形成されたアルミニウムやマグネシウムを酸素ラジカルで酸化する方法、スパッタリング法にて形成されたアルミニウムやマグネシウムを酸素中で自然酸化させるときに紫外線を照射する方法、アルミニウムやマグネシウムを反応性スパッタリング法にて成膜する方法、アルミニウム酸化物(AlOX)やマグネシウム酸化物(MgO)をスパッタリング法にて成膜する方法を例示することができる。
本発明の第1の態様に係る製造方法あるいは第2の態様に係る製造方法において、第1マスク層を、例えば、Ti、Cu、W、Zn、Al、Si等の金属、あるいは、これらのいずれかを含む合金、電気抵抗率が低い酸化物等から構成することができる。第1マスク層をキャップ層として機能させてもよいし、第1マスク層の下に、別途、例えば、Ta層、Ru層、Pt層、MgO層、Ru膜/Ta膜の積層構造から成るキャップ層を設けてもよい。また、第1マスク層をこれらの材料層から構成する場合、第2マスク層を構成する材料として、Ru、Rh、Au、Pt、Ag等の貴金属、Cr、Ti、Ni、Zn、W、Mo、Ta等の金属、あるいは、これらのいずれかを含む合金、WN、TiN等の窒化物を挙げることができる。これらの第1マスク層及び第2マスク層の形成方法として、以下に例示するPVD法を挙げることができるし、これらの第1マスク層及び第2マスク層のパターニング方法として、上述したように、RIE法を挙げることができる。あるいは又、(第1マスク層を構成する材料,第2マスク層を構成する材料)の組合せとして、(ポリイミド樹脂,フォトレジスト材料)、(ポリイミド系反射防止膜、フォトレジスト材料)を挙げることができるし、単体でアンダーカット形状が得られる画像反転型のフォトレジスト材料を挙げることもできる。これらの第1マスク層及び第2マスク層は、周知の方法で形成することができる。更には、これらのマスク層のパターニング方法として、第2マスク層にあってはフォトリソグラフィ技術に基づきパターニングを行えばよいし、第1マスク層にあってはRIE法に基づきパターニングを行えばよい。あるいは又、(第1マスク層を構成する材料,第2マスク層を構成する材料)の組合せとして、(Ti,TiN)を挙げることもできる。PVD法として具体的には、電子ビーム加熱法、抵抗加熱法、フラッシュ蒸着法等の各種真空蒸着法;プラズマ蒸着法;2極スパッタ法、直流スパッタ法、直流マグネトロンスパッタ法、高周波スパッタ法、マグネトロンスパッタ法、イオンビームスパッタ法、バイアススパッタ法等の各種スパッタ法;DC(Direct Current)法、RF法、多陰極法、活性化反応法、HCD(Hollow Cathode Discharge)法、電界蒸着法、高周波イオンプレーティング法、反応性イオンプレーティング法等の各種イオンプレーティング法;IVD法(イオン・ベーパー・デポジション法)、イオンビーム堆積法を挙げることができる。
尚、第1マスク層を上述した金属材料層や合金材料層から構成する場合、第1マスク層は、最終的に磁気抵抗効果素子に残され、積層構造体に電気的に接続された第2配線(後述する)を構成する原子と記録層を構成する原子の相互拡散の防止、接触抵抗の低減、及び、記録層の酸化防止を担うキャップ層として機能する。また、第2マスク層を構成する材料を、上述した金属材料や合金材料から構成する場合、第2マスク層は、最終的に磁気抵抗効果素子に残され、キャップ層として機能する第1マスク層と第2配線とを接続する接続部(ピラー)として機能する。一方、(第1マスク層を構成する材料,第2マスク層を構成する材料)が、上述したように、(ポリイミド樹脂,フォトレジスト材料)等の組合せから構成される場合、これらの第1マスク層及び第2マスク層は除去され、後の工程で、接続部(ピラー)が積層構造体上に形成される。
更には、本発明の第1の態様に係る製造方法あるいは第2の態様に係る製造方法において、パターニングされた第1マスク層にアンダーカット部を設けるためには、RIE法における条件の最適化を図ればよい。尚、絶縁領域の幅は、具体的には、第1マスク層に形成されるアンダーカット部の幅(第2マスク層を積層構造体に射影したときの射影像の大きさと、第1マスク層を積層構造体に射影したときの射影像の大きさとの差)に基づいて規定される。
また、本発明の第1の態様に係る製造方法あるいは第2の態様に係る製造方法において、保護層を構成する材料として、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、Al2O3、AlNやMgO、ZrO2、CeO2、CrO2等の酸化物や窒化物を挙げることができる。保護層の厚さは、保護層で覆われていない記録層の部分に絶縁化処理を施すとき、保護層で覆われている記録層の部分には絶縁化処理が確実に施されない厚さとすればよい。あるいは又、保護層の厚さは、保護層で覆われていない記録層の部分を除去して絶縁領域を形成するとき、保護層で覆われている記録層の部分は確実に除去されない厚さとすればよい。保護層の形成方法は、保護層を形成する材料に依存して適宜選択すればよく、上述した各種のPVD法を挙げることができる。尚、PVD法を採用することで、第1マスク層のアンダーカット部の下方を除き、記録層上に保護層を確実に形成することができる。
本発明の第1の態様に係る製造方法において、保護層で覆われていない記録層の部分の酸化処理方法として、また、本発明の第3の態様に係る製造方法において、保護層で覆われていない記録層の部分及び磁気シールド層とすべき記録層の延在部の部分の表面領域の酸化処理方法として、また、本発明の磁気抵抗効果素子における絶縁化処理である酸化処理として、具体的には、プラズマ酸化法、所謂アッシング処理、熱酸化法、酸素イオンのイオン注入法といった方法を挙げることができる。また、本発明の第1の態様に係る製造方法において、保護層で覆われていない記録層の部分のフッ化処理方法として、また、本発明の第3の態様に係る製造方法において、保護層で覆われていない記録層の部分及び磁気シールド層とすべき記録層の延在部の部分の表面領域のフッ化処理方法として、また、本発明の磁気抵抗効果素子における絶縁化処理であるフッ化処理として、具体的には、プラズマによるフッ化処理、フッ素イオンのイオン注入法といった方法を挙げることができる。更には、本発明の第1の態様に係る製造方法において、保護層で覆われていない記録層の部分の窒化処理方法として、また、本発明の第3の態様に係る製造方法において、保護層で覆われていない記録層の部分及び磁気シールド層とすべき記録層の延在部の部分の表面領域の窒化処理方法として、また、本発明の磁気抵抗効果素子における絶縁化処理である窒化処理として、具体的には、プラズマによる窒化処理、窒素イオンのイオン注入法、窒素雰囲気中での熱処理といった方法を挙げることができる。尚、本発明の第1の態様に係る製造方法において、保護層で覆われていない記録層は、その厚さ方向の全てにおいて絶縁化処理が施される。一方、本発明の第3の態様に係る製造方法において、保護層で覆われていない記録層の部分は、その厚さ方向の全てにおいて絶縁化処理が施され、磁気シールド層とすべき記録層の延在部の部分の表面領域は絶縁化処理が施されるが、表面領域よりも下に位置する記録層の延在部の部分の領域には絶縁化処理が施されない。
一方、本発明の第2の態様に係る製造方法において、保護層で覆われていない記録層の部分の除去は、記録層を構成する材料に依るが、ドライエッチング法やウエットエッチング法にて行えばよい。記録層が除去された部分の下に位置する部分は、若干、エッチングされても特段の問題は生じない。記録層の除去された部分を絶縁材料にて埋め込む方法として、各種CVD法を挙げることができ、絶縁材料として、後述する層間絶縁層を構成する材料を挙げることができる。
本発明の第3の態様に係る製造方法あるいは第4の態様に係る製造方法におけるマスク層として、本発明の第1の態様に係る製造方法あるいは第2の態様に係る製造方法における金属材料層あるいは合金材料層から構成された第1マスク層と第2マスク層の積層構造と同じ構成、構造を挙げることができるし、マスク層の形成方法も、これらの第1マスク層や第2マスク層の形成方法と同様とすればよい。マスク層の上に、SiO2、SiN、Al2O3、AlNといった材料から成る絶縁物ハードマスク層を設けてもよい。絶縁物ハードマスク層の形成方法として、スパッタリング法に例示されるPVD法や各種CVD法を挙げることができる。本発明の第3の態様に係る製造方法においては、マスク層に隣接した記録層の部分をその厚さ方向に一部分除去し、本発明の第4の態様に係る製造方法においては、マスク層に隣接した記録層の部分を除去するが、係る記録層の除去は、マスク層の例えばイオンミーリング法に基づくパターニングと同時に行われる。即ち、マスク層のイオンミーリング法に基づくパターニング時に生じるマイクロトレンチング効果によって、より具体的には、マスク層の側面に衝突したイオンがマスク層の側面において反射され、マスク層に隣接した記録層の部分に衝突し、マスク層に隣接した係る記録層の部分が、厚さ方向において、部分的に、あるいは、全て、除去される。ここで、マスク層に隣接した記録層の部分の厚さ方向の除去量及び幅方向の除去量は、係るマイクロトレンチング効果の制御に基づき規定することができる。本発明の第3の態様に係る製造方法においては、マスク層に隣接した記録層の部分をその厚さ方向に一部分除去するが、厚さ方向の除去量として、限定するものではないが、全体の厚さの50%乃至80%を例示することができる。一方、本発明の第4の態様に係る製造方法においては、マスク層に隣接した記録層の部分を除去するが、記録層の係る部分の除去は、記録層の厚さ方向の全てである。
一方、本発明の第4の態様に係る製造方法において、マスク層に隣接した記録層の除去された部分を絶縁材料で埋め込むが、具体的には、各種CVD法に基づき、SiO2、Al2O3、MgO、ZrO2、CeO2、CrO2といった酸化物、SiN、AlNといった窒化物にて、マスク層に隣接した記録層の除去された部分を埋め込む方法を例示することができる。本発明の磁気抵抗効果素子において、記録層の外縁部に隣接した記録層の延在部の部分が酸化物、又は、窒化物にて置き換えられている場合の酸化物、又は、窒化物も、上述した酸化物、又は窒化物とすればよい。
本発明の磁気抵抗効果素子等は、積層構造体の下部に電気的に接続された第1配線、及び、積層構造体の上に接続部を介して接続された第2配線を備えている構造とすることができる。また、第1配線の下方に、電界効果型トランジスタから成る選択用トランジスタを有する構造とすることができる。ここで、第2配線(例えば、ビット線)の延びる方向は、電界効果型トランジスタを構成するゲート電極(ワード線)の延びる方向と平行である形態とすることができるし、第2配線の延びる方向の射影像は、電界効果型トランジスタを構成するゲート電極の延びる方向の射影像と直交する形態とすることもできる。尚、第1配線の下方に、電界効果型トランジスタから成る選択用トランジスタが形成されている場合、具体的には、選択用トランジスタは下層絶縁層で覆われ、下層絶縁層上に第1配線が形成され、下層絶縁層に設けられた接続孔(あるいは接続孔とランディングパッド部や下層配線)を介して、選択用トランジスタの一方のソース/ドレイン領域と第1配線とが接続されている構成とすることができる。また、層間絶縁層は、下層絶縁層及び第1配線を覆い、積層構造体及び接続部を取り囲んでおり、第2配線は層間絶縁層上に形成されている構成とすることができる。即ち、より具体的な構成として、例えば、限定するものではないが、
半導体基板に形成された選択用トランジスタ、及び、
選択用トランジスタを覆う下層絶縁層、
を備え、
下層絶縁層上に第1配線が形成されており、
第1配線は、下層絶縁層に設けられた接続孔(あるいは接続孔とランディングパッド部や下層配線)を介して選択用トランジスタに電気的に接続されており、
層間絶縁層は、下層絶縁層及び第1配線を覆い、積層構造体を取り囲んでおり、
第2配線は層間絶縁層上に形成されている構成を例示することができる。
半導体基板に形成された選択用トランジスタ、及び、
選択用トランジスタを覆う下層絶縁層、
を備え、
下層絶縁層上に第1配線が形成されており、
第1配線は、下層絶縁層に設けられた接続孔(あるいは接続孔とランディングパッド部や下層配線)を介して選択用トランジスタに電気的に接続されており、
層間絶縁層は、下層絶縁層及び第1配線を覆い、積層構造体を取り囲んでおり、
第2配線は層間絶縁層上に形成されている構成を例示することができる。
場合によっては、選択用トランジスタは不要である。第1配線や、第2配線(例えば、所謂ビット線として機能する)は、Cu、Au、Pt等の単層構造から成り、あるいは又、CrやTi等から成る下地層と、その上に形成されたCu層、Au層、Pt層等の積層構造を有していてもよいし、更には、W、Ru、Ta等の単層あるいはCu、Cr、Ti等との積層構造から構成することもできる。これらの配線は、例えば、スパッタリング法に例示されるPVD法にて形成することができる。
層間絶縁層を構成する材料として、SiO2、NSG(ノンドープ・シリケート・ガラス)、BPSG(ホウ素・リン・シリケート・ガラス)、PSG、BSG、AsSG、SbSG、SOG(スピンオングラス)等のSiOX系材料(シリコン系酸化膜を構成する材料)、SiN、SiON、SiOC、SiOF、SiCN、低誘電率絶縁材料(例えば、フルオロカーボン、シクロパーフルオロカーボンポリマー、ベンゾシクロブテン、環状フッ素樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、アモルファス・テトラフルオロエチレン、フッ化アリールエーテル、フッ化ポリイミド、アモルファスカーボン、有機SOG、パリレン、フッ化フラーレン)、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂、Silk(The Dow Chemical Co. の商標であり、塗布型低誘電率層間絶縁膜材料)、Flare(Honeywell Electronic Materials Co. の商標であり、ポリアリルエーテル(PAE)系材料)を例示することができる。
磁化参照層と第1配線(あるいは第2配線)の電気的な接続状態として、第1配線(あるいは第2配線)が、直接、磁化参照層に接続されている形態を挙げることができるし、あるいは又、第1配線(あるいは第2配線)が、反強磁性体層を介して磁化参照層に接続されている形態を挙げることができる。また、第1配線が反強磁性体層を兼ねている構成とすることもできる。磁化参照層が第1配線に接続されている場合、第1配線から磁化参照層を介して、また、磁化参照層が第2配線に接続されている場合、第2配線から磁化参照層を介して、偏極スピン電流を記録層内に注入することにより、記録層における磁化の方向を第1の方向(磁化容易軸と平行な方向)あるいは第2の方向(第1の方向とは反対の方向)とすることで、記録層に情報が書き込まれる。
選択用トランジスタは、例えば、周知のMIS型FETやMOS型FETから構成することができる。第1配線と選択用トランジスタとを電気的に接続する接続孔は、不純物がドーピングされたポリシリコンや、タングステン、Ti、Pt、Pd、Cu、TiW、TiNW、WSi2、MoSi2等の高融点金属や金属シリサイドから構成することができ、CVD法や、スパッタリング法に例示されるPVD法に基づき形成することができる。また、下層絶縁層を構成する材料として、酸化シリコン(SiO2)、窒化シリコン(SiN)、SiON、SOG、NSG、BPSG、PSG、BSGあるいはLTOを例示することができる。
本発明の第1の態様乃至第4の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法、あるいは又、磁気抵抗効果素子にあっては、電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層の外縁部が絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれている。従って、隣接するスピン注入型磁気抵抗効果素子にて発生した漏洩磁界に起因して記録層の磁化が乱されるといったディスターブ現象が発生し難い。しかも、磁気シールド層は記録層の延在部から構成されているので、磁気抵抗効果素子の構成、構造の簡素化を図ることができる。
以下、図面を参照して、実施例に基づき本発明を説明する。
実施例1は、本発明の磁気抵抗効果素子、及び、本発明の第1の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法に関する。実施例1の磁気抵抗効果素子の模式的な一部断面図を図1に示す。
実施例1、あるいは、後述する実施例2〜実施例4の磁気抵抗効果素子30は、具体的には、スピン注入による磁化反転を応用したスピン注入型磁気抵抗効果素子であり、
電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層53が設けられた積層構造体50を備えており、
記録層53の外縁部は、絶縁領域170,270,370,470を介して磁気シールド層80,380によって囲まれており、
磁気シールド層80,380は、記録層53の延在部53Aから構成されている。
電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層53が設けられた積層構造体50を備えており、
記録層53の外縁部は、絶縁領域170,270,370,470を介して磁気シールド層80,380によって囲まれており、
磁気シールド層80,380は、記録層53の延在部53Aから構成されている。
ここで、実施例1、あるいは、後述する実施例2〜実施例4の磁気抵抗効果素子30は、積層構造体50の下部に電気的に接続された第1配線41、及び、積層構造体50の上部に接続部としても機能する第2マスク層62を介して接続された第2配線42(ビット線として機能する)を備えている。また、実施例1、あるいは、後述する実施例2〜実施例4の磁気抵抗効果素子にあっては、更に、第1配線41の下方に、電界効果型トランジスタから成る選択用トランジスタTRを有している。
尚、図1に示す模式的な一部断面図において、図面の関係上、一点鎖線の上側の「A」の領域と、下側の「B」の領域では、磁気抵抗効果素子の断面を眺める方向が90度異なっている。即ち、「A」の領域は、磁気抵抗効果素子の断面を磁化困難軸と平行な方向から眺めており、「B」の領域は、磁気抵抗効果素子の断面を磁化容易軸と平行な方向から眺めている。従って、図1では、第2配線(実施例1にあっては、ビット線)42の延びる方向の射影像と、電界効果型トランジスタを構成するゲート電極(ワード線)12の延びる方向の射影像とは直交しているように図示しているが、実際には、平行である。図5、図7及び図10に示す実施例2〜実施例4の磁気抵抗効果素子においても同様である。
ここで、積層構造体50を構成する記録層53は、磁化容易軸、及び、この磁化容易軸と直交する磁化困難軸を有している。実施例1にあっては、磁化容易軸は第2配線42と平行である。また、積層構造体50の上部と第2配線42との間には、上述したとおり、接続部としても機能する第2マスク層62がスパッタリング法にて形成されている。ここで、第2マスク層(接続部)62は、ルテニウム(Ru)から構成されている。また、積層構造体50と第2マスク層(接続部)62との間には、厚さ約5nmのTi層から成るキャップ層としても機能する第1マスク層61がスパッタリング法にて形成されている。第1マスク層(キャップ層)61は、配線や第2マスク層(接続部)62を構成する原子と記録層53を構成する原子の相互拡散の防止、接触抵抗の低減、及び、記録層53の酸化防止を担っている。
更には、上述したとおり、第1配線41の下方に、電界効果型トランジスタから成る選択用トランジスタTRが設けられており、第2配線(ビット線)42の延びる方向は、電界効果型トランジスタを構成するゲート電極(ワード線)12の延びる方向と平行である。具体的には、選択用トランジスタTRは、素子分離領域11によって囲まれたシリコン半導体基板10の部分に形成されており、下層絶縁層21,24によって覆われている。そして、一方のソース/ドレイン領域14Bは、タングステンプラグから成る接続孔22を介して、第1配線41に接続されている。また、他方のソース/ドレイン領域14Aは、タングステンプラグ15を介してセンス線16に接続されている。図中、参照番号13はゲート絶縁膜を示す。
図13の(A)に概念図を示すように、積層構造体50は、以下の構成、構造を有しており、スパッタリング法にて形成されている。尚、磁化参照層51は、反強磁性体層54(図13参照。図1等には図示せず)のPt−Mnとの交換結合によって、磁化の方向がピニング(pinning)される。また、記録層53においては、電流の流れる方向により、その磁化の方向が、磁化参照層51に対して平行又は反平行に変えられる。
具体的には、実施例1におけるスピン注入型磁気抵抗効果素子は、GMR効果を有する積層膜、あるいは、TMR効果を有する積層膜から成る磁気抵抗効果積層膜が2つの配線41,42で挟まれた構造を有する。即ち、情報を記録する機能を担う記録層(磁化反転層あるいは自由層とも呼ばれる)53と、磁化方向が固定されており、スピンフィルターとして機能する磁化参照層(固着層とも呼ばれる)51が、非磁性体膜52を介して積層された構造を有し、電流は膜面に垂直に流れる(図13の(A)参照)。記録層53の大きさは、模式的な平面図を図13の(B)に示すが、記録層53を構成する磁性材料の種類や膜厚に依るが、単磁区化を促進し、且つ、スピン注入磁化反転の臨界電流Icを低減するため、概ね200nm以下である。記録層53は、適当な磁気異方性により2以上の複数の磁化方向(例えば、図13の(A)に水平方向の矢印にて示す2方向である第1の方向及び第2の方向)を取ることができ、各磁化方向は記録される情報に対応する。図13の(B)においては、記録層53の平面形状を長楕円形状にすることによって、形状磁気異方性を付与した例を示す。即ち、記録層53は、第1の方向及び第2の方向に平行な磁化容易軸と、磁化困難軸とを有しており、磁化容易軸に沿った記録層53の長さは、磁化困難軸に沿った記録層53の長さよりも長い。
磁化参照層51は、通例、反強磁性体層54との交換結合により、その磁化方向が固定されている(図13の(C)参照)。磁化参照層51A,51Bを、記録層53の上下に、非磁性体膜52A,52Bを介して配置して、スピン注入磁化反転の効率を向上させたダブル・スピンフィルター構造も知られている(図13の(D)参照)。ここで、参照番号54A,54Bは、反強磁性体層である。尚、図13の(A)、(C)及び(D)に示した例においては、記録層53、磁化参照層51(磁化参照層が2層51A,51Bの場合には、いずれか一方の層)を、積層フェリ構造(SAF積層構造)としてもよい。非磁性体膜52,52A,52Bは、金属材料あるいは絶縁材料から構成されている。図13の(A)あるいは、図13の(C)に示す構造において、磁化参照層51から記録層53への漏洩磁界を抑制するために、即ち、磁化参照層51と記録層53とが静磁気的に結合することを防ぐために、磁化参照層51を記録層53に比して十分大きくする構造も採用されている。いずれにしても、スピン注入磁化反転を適用した不揮発性磁気メモリ素子(スピン注入型磁気抵抗効果素子)は、磁気抵抗効果積層膜の上下を配線で挟んだ、2端子スピントランスファー素子構造を有する。
[積層構造体50]
記録層53
厚さ約3nmのCo−Fe−B層
非磁性体膜(トンネル絶縁膜)52
厚さ1.0nmのMgO膜
磁化参照層(SAFを持つ多層膜)51(図面では1層で示す)
上層:Co−Fe−B層
中層:Ru層
下層:Co−Fe層、
反強磁性体層54
厚さ20nmのPt−Mn層
記録層53
厚さ約3nmのCo−Fe−B層
非磁性体膜(トンネル絶縁膜)52
厚さ1.0nmのMgO膜
磁化参照層(SAFを持つ多層膜)51(図面では1層で示す)
上層:Co−Fe−B層
中層:Ru層
下層:Co−Fe層、
反強磁性体層54
厚さ20nmのPt−Mn層
第1配線41は、20nm厚さのPt−Mn合金から成る反強磁性体層から成る上層と10nm厚さのTa層から成る下層の2層構造を有する。尚、図面においては、第1配線41を1層で表示する。第2配線42は、例えば、Ta、TiあるいはAl−Cuから成る。積層構造体50を囲む層間絶縁層26は、SiN又はSiO2から成る。
以下、下層絶縁層24等の模式的な一部端面図である図2の(A)及び(B)、図3の(A)及び(B)、図4の(A)及び(B)を参照して、実施例1の磁気抵抗効果素子の製造方法を説明する。尚、磁気抵抗効果素子の製造方法を説明する図面においては、選択用トランジスタTRの図示を省略し、また、下層絶縁層24に設けられた接続孔22の図示も省略している。
[工程−100]
先ず、周知の方法に基づき、シリコン半導体基板10に素子分離領域11を形成し、素子分離領域11によって囲まれたシリコン半導体基板10の部分に、ゲート酸化膜13、ゲート電極(ワード線)12、ソース/ドレイン領域14A,14Bから成る選択用トランジスタTRを形成する。次いで、第1下層絶縁層21を形成し、ソース/ドレイン領域14Aの上方の第1下層絶縁層21の部分にタングステンプラグ15を形成し、更には、第1下層絶縁層21上にセンス線16を形成する。その後、全面に第2下層絶縁層24を形成し、ソース/ドレイン領域14Bの上方の下層絶縁層21,24の部分にタングステンプラグから成る接続孔22を形成する。こうして、下層絶縁層21,24で覆われた選択用トランジスタTRを得ることができる。
先ず、周知の方法に基づき、シリコン半導体基板10に素子分離領域11を形成し、素子分離領域11によって囲まれたシリコン半導体基板10の部分に、ゲート酸化膜13、ゲート電極(ワード線)12、ソース/ドレイン領域14A,14Bから成る選択用トランジスタTRを形成する。次いで、第1下層絶縁層21を形成し、ソース/ドレイン領域14Aの上方の第1下層絶縁層21の部分にタングステンプラグ15を形成し、更には、第1下層絶縁層21上にセンス線16を形成する。その後、全面に第2下層絶縁層24を形成し、ソース/ドレイン領域14Bの上方の下層絶縁層21,24の部分にタングステンプラグから成る接続孔22を形成する。こうして、下層絶縁層21,24で覆われた選択用トランジスタTRを得ることができる。
[工程−110]
その後、最上層に記録層53が設けられた積層構造体50Aを形成し、次いで、積層構造体50Aの上に、記録層53Aの側から第1マスク層61及び第2マスク層62を形成する。具体的には、先ず、第1配線上に、パターニングされていない積層構造体を形成する。より具体的には、スパッタリング法にて、真空中での連続成膜にて、全面に、パターニングされていない2層構造の第1配線41A、積層構造体50A(磁化参照層51A、非磁性体膜(トンネル絶縁膜)52A、記録層53A)、第1マスク層61A、第2マスク層62Aを形成する。尚、これらの層は、パターニングされていないので、参照番号の末尾に「A」を付している。また、磁化参照層51Aは、1層で示している。
その後、最上層に記録層53が設けられた積層構造体50Aを形成し、次いで、積層構造体50Aの上に、記録層53Aの側から第1マスク層61及び第2マスク層62を形成する。具体的には、先ず、第1配線上に、パターニングされていない積層構造体を形成する。より具体的には、スパッタリング法にて、真空中での連続成膜にて、全面に、パターニングされていない2層構造の第1配線41A、積層構造体50A(磁化参照層51A、非磁性体膜(トンネル絶縁膜)52A、記録層53A)、第1マスク層61A、第2マスク層62Aを形成する。尚、これらの層は、パターニングされていないので、参照番号の末尾に「A」を付している。また、磁化参照層51Aは、1層で示している。
[2層構造の第1配線41A]
プロセスガス :アルゴン=100sccm
成膜雰囲気圧力:0.6Pa
DCパワー :200W
[磁化参照層51A]
下層
プロセスガス :アルゴン=50sccm
成膜雰囲気圧力:0.3Pa
DCパワー :100W
中層
プロセスガス :アルゴン=50sccm
成膜雰囲気圧力:0.3Pa
DCパワー :50W
上層
プロセスガス :アルゴン=50sccm
成膜雰囲気圧力:0.3Pa
DCパワー :100W
[非磁性体膜52A]
プロセスガス :アルゴン=100sccm
成膜雰囲気圧力:1.0Pa
RFパワー :500W
[記録層53A]
プロセスガス :アルゴン=50sccm
成膜雰囲気圧力:0.3Pa
DCパワー :200W
[第1マスク層61A]
プロセスガス :アルゴン=100sccm
成膜雰囲気圧力:0.6Pa
DCパワー :200W
[第2マスク層62A]
プロセスガス :アルゴン=30sccm
反応性ガス :N2=70sccm
成膜雰囲気圧力:0.7Pa
DCパワー :10kW
プロセスガス :アルゴン=100sccm
成膜雰囲気圧力:0.6Pa
DCパワー :200W
[磁化参照層51A]
下層
プロセスガス :アルゴン=50sccm
成膜雰囲気圧力:0.3Pa
DCパワー :100W
中層
プロセスガス :アルゴン=50sccm
成膜雰囲気圧力:0.3Pa
DCパワー :50W
上層
プロセスガス :アルゴン=50sccm
成膜雰囲気圧力:0.3Pa
DCパワー :100W
[非磁性体膜52A]
プロセスガス :アルゴン=100sccm
成膜雰囲気圧力:1.0Pa
RFパワー :500W
[記録層53A]
プロセスガス :アルゴン=50sccm
成膜雰囲気圧力:0.3Pa
DCパワー :200W
[第1マスク層61A]
プロセスガス :アルゴン=100sccm
成膜雰囲気圧力:0.6Pa
DCパワー :200W
[第2マスク層62A]
プロセスガス :アルゴン=30sccm
反応性ガス :N2=70sccm
成膜雰囲気圧力:0.7Pa
DCパワー :10kW
[工程−120]
その後、第2マスク層62Aの上に、パターニングされたレジスト層63を、周知のフォトリソグラフィ技術に基づき形成する(図2の(A)参照)。
その後、第2マスク層62Aの上に、パターニングされたレジスト層63を、周知のフォトリソグラフィ技術に基づき形成する(図2の(A)参照)。
[工程−130]
そして、係るレジスト層63をエッチング用マスクとして、第2マスク層62A、第1マスク層61Aを、ドライエッチング法の一種であるRIE法にてパターニングして、パターニングされた第2マスク層62、第1マスク層61を得る。そして、これに引き続き、パターニングされた第1マスク層61にアンダーカット部61aを設ける。こうして、図2の(B)に示す構造を得ることができる。第2マスク層62A、第1マスク層61AのRIE条件を以下に例示する。尚、アンダーカット部61aの幅を20nmとした。
そして、係るレジスト層63をエッチング用マスクとして、第2マスク層62A、第1マスク層61Aを、ドライエッチング法の一種であるRIE法にてパターニングして、パターニングされた第2マスク層62、第1マスク層61を得る。そして、これに引き続き、パターニングされた第1マスク層61にアンダーカット部61aを設ける。こうして、図2の(B)に示す構造を得ることができる。第2マスク層62A、第1マスク層61AのRIE条件を以下に例示する。尚、アンダーカット部61aの幅を20nmとした。
[Ruから成る第2マスク層62AのRIE法に基づくエッチング]
エッチング圧力:0.2Pa
使用ガス :Ar=20sccm
ソースパワー :400W
バイアスパワー:120W
[Tiから成る第1マスク層61AのRIE法に基づくエッチング]
エッチング圧力:0.2Pa
使用ガス :Cl2/BCl3=10sccm/10sccm
ソースパワー :400W
バイアスパワー:120W
エッチング圧力:0.2Pa
使用ガス :Ar=20sccm
ソースパワー :400W
バイアスパワー:120W
[Tiから成る第1マスク層61AのRIE法に基づくエッチング]
エッチング圧力:0.2Pa
使用ガス :Cl2/BCl3=10sccm/10sccm
ソースパワー :400W
バイアスパワー:120W
[工程−140]
次いで、第1マスク層61のアンダーカット部61aの下方を除き、記録層53上に保護層64を形成する(図3の(A)参照)。具体的には、スパッタリング法に基づき、SiO2から成る保護層64を形成する。スパッタリング法による保護層64の形成にあっては、第1マスク層61のアンダーカット部61aの下方は第1マスク層61の影の部分に相当し、アンダーカット部61aの下方にはSiO2は堆積しない。
次いで、第1マスク層61のアンダーカット部61aの下方を除き、記録層53上に保護層64を形成する(図3の(A)参照)。具体的には、スパッタリング法に基づき、SiO2から成る保護層64を形成する。スパッタリング法による保護層64の形成にあっては、第1マスク層61のアンダーカット部61aの下方は第1マスク層61の影の部分に相当し、アンダーカット部61aの下方にはSiO2は堆積しない。
[工程−150]
その後、保護層64で覆われていない記録層53の部分に絶縁化処理を施す。具体的には、プラズマ酸化法に基づき、保護層64で覆われていない記録層53の部分の酸化処理といった絶縁化処理を行う。尚、代替的に、プラズマによるフッ化処理に基づき、保護層64で覆われていない記録層53の部分のフッ化処理といった絶縁化処理を行ってもよいし、プラズマによる窒化処理に基づき、保護層64で覆われていない記録層53の部分の窒化処理といった絶縁化処理を行ってもよい。こうして、保護層64で覆われていない記録層53の部分に絶縁領域170を得ることができ、更には、記録層53の延在部53Aから構成された磁気シールド層80を得ることができる(図3の(B)参照)。尚、記録層53の外縁部は、絶縁領域170を介して磁気シールド層80によって囲まれている。
その後、保護層64で覆われていない記録層53の部分に絶縁化処理を施す。具体的には、プラズマ酸化法に基づき、保護層64で覆われていない記録層53の部分の酸化処理といった絶縁化処理を行う。尚、代替的に、プラズマによるフッ化処理に基づき、保護層64で覆われていない記録層53の部分のフッ化処理といった絶縁化処理を行ってもよいし、プラズマによる窒化処理に基づき、保護層64で覆われていない記録層53の部分の窒化処理といった絶縁化処理を行ってもよい。こうして、保護層64で覆われていない記録層53の部分に絶縁領域170を得ることができ、更には、記録層53の延在部53Aから構成された磁気シールド層80を得ることができる(図3の(B)参照)。尚、記録層53の外縁部は、絶縁領域170を介して磁気シールド層80によって囲まれている。
記録層をCo−Feから構成し、プラズマ酸化法にて係る記録層を酸化したときのプラズマ酸化の時間と、記録層の表面からどの程度の深さまで酸化が進行したかを調べた結果を図12に示すが、約2分で、記録層の表面から3nmの深さまで酸化が進行することが判った。
[工程−160]
その後、周知の方法に基づき、保護層64を除去し、更には、レジスト層63を除去する(図4の(A)参照)。
その後、周知の方法に基づき、保護層64を除去し、更には、レジスト層63を除去する(図4の(A)参照)。
[工程−170]
次いで、磁気シールド層52A、磁化参照層51A、第1配線41Aを周知の方法でパターニングすることで、第1配線41、並びに、磁化参照層51、磁気シールド層52及び記録層53から成る積層構造体50を得ることができる。その後、全面に、プラズマCVD法にて層間絶縁層26を成膜し、層間絶縁層26を化学的機械的研磨法(CMP法)にて平坦化し、第2マスク層(接続部)62を露出させる(図4の(B)参照)。
次いで、磁気シールド層52A、磁化参照層51A、第1配線41Aを周知の方法でパターニングすることで、第1配線41、並びに、磁化参照層51、磁気シールド層52及び記録層53から成る積層構造体50を得ることができる。その後、全面に、プラズマCVD法にて層間絶縁層26を成膜し、層間絶縁層26を化学的機械的研磨法(CMP法)にて平坦化し、第2マスク層(接続部)62を露出させる(図4の(B)参照)。
[工程−180]
次に、層間絶縁層26上に、第2マスク層(接続部)62に接する第2配線(ビット線)42を、周知の方法で形成することで、図1に示した磁気抵抗効果素子を得ることができる。
次に、層間絶縁層26上に、第2マスク層(接続部)62に接する第2配線(ビット線)42を、周知の方法で形成することで、図1に示した磁気抵抗効果素子を得ることができる。
実施例1、あるいは、後述する実施例2にあっては、パターニングされた第1マスク層にアンダーカット部を設けた後、第1マスク層のアンダーカット部の下方を除き、記録層上に保護層を形成する。そして、保護層で覆われていない記録層の部分に絶縁化処理を施することで絶縁領域を形成し、あるいは又、保護層で覆われていない記録層の部分を除去することで絶縁領域を形成する。従って、得られた磁気抵抗効果素子にあっては、電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層の外縁部は絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれている。それ故、隣接するスピン注入型磁気抵抗効果素子にて発生した漏洩磁界に起因して記録層の磁化が乱されるといったディスターブ現象が発生し難い。しかも、磁気シールド層は記録層の延在部から構成されているので、磁気抵抗効果素子の構成、構造の簡素化を図ることができる。また、磁化参照層にて発生した漏洩磁界によって、Hf(印加磁場・磁気抵抗曲線R−Hのシフト量)が変化するといった現象も、磁気シールド層が存在するが故に、発生し難い。更には、磁気抵抗効果素子の特性の安定化、均一化、耐圧特性の向上を図ることができるし、マスク層のエッチング時に発生する残渣のマスク層等への再付着に起因した短絡等の発生といった問題を回避することもでき、より高い性能、信頼性を有する磁気抵抗効果素子を提供することができる。
実施例2は、本発明の第2の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法に関する。実施例2の磁気抵抗効果素子の製造方法によって得られる磁気抵抗効果素子(模式的な一部断面図を図5に示す)の構成、構造は、絶縁領域270の構造が若干異なる点を除き、実施例1にて得られた磁気抵抗効果素子の構成、構造と、実質的に、同じであるが故に、詳細な説明は省略する。
以下、下層絶縁層24等の模式的な一部端面図である図6の(A)及び(B)を参照して、実施例2の磁気抵抗効果素子の製造方法を説明する。
[工程−200]
実施例2にあっては、先ず、
(A)最上層に記録層53が設けられた積層構造体50を形成した後、積層構造体50上に、記録層側から第1マスク層61A及び第2マスク層62Aを形成し、
(B)第2マスク層62A及び第1マスク層61Aをパターニングし、更に、パターニングされた第1マスク層61にアンダーカット部61aを設けた後、
(C)第1マスク層61のアンダーカット部61aの下方を除き、記録層53上に保護層64を形成する。具体的には、実施例1の[工程−100]〜[工程−140]までと同じ工程を実行する。
実施例2にあっては、先ず、
(A)最上層に記録層53が設けられた積層構造体50を形成した後、積層構造体50上に、記録層側から第1マスク層61A及び第2マスク層62Aを形成し、
(B)第2マスク層62A及び第1マスク層61Aをパターニングし、更に、パターニングされた第1マスク層61にアンダーカット部61aを設けた後、
(C)第1マスク層61のアンダーカット部61aの下方を除き、記録層53上に保護層64を形成する。具体的には、実施例1の[工程−100]〜[工程−140]までと同じ工程を実行する。
[工程−210]
その後、実施例2にあっては、保護層64で覆われていない記録層53の部分を除去して絶縁領域270を形成する。具体的には、保護層64を一種のエッチング用マスクとして、Cl2ガスを用いたドライエッチング法にて保護層64で覆われていない記録層53の部分を除去することで、除去部分65に相当する絶縁領域270を得ることができる(図6の(A)参照)。
その後、実施例2にあっては、保護層64で覆われていない記録層53の部分を除去して絶縁領域270を形成する。具体的には、保護層64を一種のエッチング用マスクとして、Cl2ガスを用いたドライエッチング法にて保護層64で覆われていない記録層53の部分を除去することで、除去部分65に相当する絶縁領域270を得ることができる(図6の(A)参照)。
[工程−220]
次いで、実施例1の[工程−160]〜[工程−180]と同じ工程を実行する。ここで、実施例1の[工程−170]と同じ工程にあっては、全面に、CVD法にて層間絶縁層26を成膜したとき、記録層53の除去された部分が、層間絶縁層26を構成する絶縁材料にて埋め込まれ、絶縁領域270が形成される(図6の(B)参照)。
次いで、実施例1の[工程−160]〜[工程−180]と同じ工程を実行する。ここで、実施例1の[工程−170]と同じ工程にあっては、全面に、CVD法にて層間絶縁層26を成膜したとき、記録層53の除去された部分が、層間絶縁層26を構成する絶縁材料にて埋め込まれ、絶縁領域270が形成される(図6の(B)参照)。
実施例3は、本発明の第3の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法に関する。実施例3の磁気抵抗効果素子の製造方法によって得られる磁気抵抗効果素子(模式的な一部断面図を図7に示す)の構成、構造は、絶縁領域370及び磁気シールド層380の構造が若干異なる点を除き、実施例1にて得られた磁気抵抗効果素子の構成、構造と、実質的に、同じであるが故に、詳細な説明は省略する。
以下、下層絶縁層24等の模式的な一部端面図である図8の(A)及び(B)、図9の(A)及び(B)を参照して、実施例3の磁気抵抗効果素子の製造方法を説明する。
[工程−300]
実施例3にあっては、先ず、記録層53が設けられた積層構造体50を形成し、次いで、積層構造体50上にマスク層60A(第1マスク層61A、第2マスク層62A)を形成する。具体的には、実施例1の[工程−100]〜[工程−120]までと同じ工程を実行する。但し、実施例3にあっては、第2マスク層62Aの上に、SiO2から成る絶縁物ハードマスク層66をバイアス高密度プラズマCVD(HDP−CVD)法にて形成し、絶縁物ハードマスク層66の上に、パターニングされたレジスト層63を、周知のフォトリソグラフィ技術に基づき形成する。そして、レジスト層63をエッチング用マスクとして、絶縁物ハードマスク層66をRIE法に基づきパターニングする(図8の(A)参照)。尚、第1マスク層61AをTiから構成し、第2マスク層62AをTiNから構成した。
実施例3にあっては、先ず、記録層53が設けられた積層構造体50を形成し、次いで、積層構造体50上にマスク層60A(第1マスク層61A、第2マスク層62A)を形成する。具体的には、実施例1の[工程−100]〜[工程−120]までと同じ工程を実行する。但し、実施例3にあっては、第2マスク層62Aの上に、SiO2から成る絶縁物ハードマスク層66をバイアス高密度プラズマCVD(HDP−CVD)法にて形成し、絶縁物ハードマスク層66の上に、パターニングされたレジスト層63を、周知のフォトリソグラフィ技術に基づき形成する。そして、レジスト層63をエッチング用マスクとして、絶縁物ハードマスク層66をRIE法に基づきパターニングする(図8の(A)参照)。尚、第1マスク層61AをTiから構成し、第2マスク層62AをTiNから構成した。
[工程−310]
その後、レジスト層63及び絶縁物ハードマスク層66をマスクとして、マスク層60A(第2マスク層62A及び第1マスク層61A)を、イオンミーリング法にてパターニングして、パターニングされたマスク層60(第2マスク層62及び第1マスク層61)を得る。併せて、マスク層60に隣接した記録層53の部分53Bをその厚さ方向に一部分除去する。第2マスク層62A及び第1マスク層61Aのイオンミーリング法によるパターニング条件を、以下に例示する。尚、その厚さ方向に一部分が除去された記録層53の部分53Bの幅が20nm、深さが5nmとなるように、イオンミーリングの条件を設定した。尚、マスク層60の側面に衝突したイオンがマスク層の側面において反射され、マスク層60に隣接した記録層53の部分53Bに衝突するが、係る反射したイオンの記録層53への入射角が約10度となるように、イオンミーリングの条件を設定した。ここで、記録層53の除去部分を参照番号67で示した。
その後、レジスト層63及び絶縁物ハードマスク層66をマスクとして、マスク層60A(第2マスク層62A及び第1マスク層61A)を、イオンミーリング法にてパターニングして、パターニングされたマスク層60(第2マスク層62及び第1マスク層61)を得る。併せて、マスク層60に隣接した記録層53の部分53Bをその厚さ方向に一部分除去する。第2マスク層62A及び第1マスク層61Aのイオンミーリング法によるパターニング条件を、以下に例示する。尚、その厚さ方向に一部分が除去された記録層53の部分53Bの幅が20nm、深さが5nmとなるように、イオンミーリングの条件を設定した。尚、マスク層60の側面に衝突したイオンがマスク層の側面において反射され、マスク層60に隣接した記録層53の部分53Bに衝突するが、係る反射したイオンの記録層53への入射角が約10度となるように、イオンミーリングの条件を設定した。ここで、記録層53の除去部分を参照番号67で示した。
[第2マスク層62A及び第1マスク層61Aのイオンミーリング法に基づくパターニング]
エッチング圧力:3×10-2Pa
使用ガス :Ar=12sccm
加速電圧 :400V
加速電流 :110mA
減速電圧 :−300V
ビーム角度 :−10度(基板面に垂直入射を0度として)
エッチング圧力:3×10-2Pa
使用ガス :Ar=12sccm
加速電圧 :400V
加速電流 :110mA
減速電圧 :−300V
ビーム角度 :−10度(基板面に垂直入射を0度として)
[工程−320]
その後、マスク層60に隣接した記録層53の残された部分53Bに絶縁化処理を施すことで、絶縁領域370を形成する(図9の(A)参照)。尚、この工程においては、磁気シールド層380とすべき記録層53の延在部53Aの部分の表面領域にも、絶縁化処理が施される。ここで、絶縁化処理は、マスク層60に隣接した記録層53の残された部分53B、及び、磁気シールド層80とすべき記録層53の延在部53Aの部分の表面領域の酸化処理とする。より具体的には、実施例1の[工程−150]と同様に、プラズマ酸化法に基づき絶縁化処理を行えばよい。あるいは又、実施例1の[工程−150]にて説明したと同様に、フッ化処理といった絶縁化処理を行ってもよいし、窒化処理といった絶縁化処理を行ってもよい。
その後、マスク層60に隣接した記録層53の残された部分53Bに絶縁化処理を施すことで、絶縁領域370を形成する(図9の(A)参照)。尚、この工程においては、磁気シールド層380とすべき記録層53の延在部53Aの部分の表面領域にも、絶縁化処理が施される。ここで、絶縁化処理は、マスク層60に隣接した記録層53の残された部分53B、及び、磁気シールド層80とすべき記録層53の延在部53Aの部分の表面領域の酸化処理とする。より具体的には、実施例1の[工程−150]と同様に、プラズマ酸化法に基づき絶縁化処理を行えばよい。あるいは又、実施例1の[工程−150]にて説明したと同様に、フッ化処理といった絶縁化処理を行ってもよいし、窒化処理といった絶縁化処理を行ってもよい。
[工程−330]
次いで、全面に、CVD法にて層間絶縁層26を成膜した後、層間絶縁層26、更には、絶縁物ハードマスク層66を化学的機械的研磨法(CMP法)にて平坦化し、第2マスク層(接続部)62を露出させる(図9の(B)参照)。
次いで、全面に、CVD法にて層間絶縁層26を成膜した後、層間絶縁層26、更には、絶縁物ハードマスク層66を化学的機械的研磨法(CMP法)にて平坦化し、第2マスク層(接続部)62を露出させる(図9の(B)参照)。
[工程−340]
その後、層間絶縁層26上に、第2マスク層(接続部)62に接する第2配線(ビット線)42を、周知の方法で形成することで、実施例3の磁気抵抗効果素子を得ることができる。
その後、層間絶縁層26上に、第2マスク層(接続部)62に接する第2配線(ビット線)42を、周知の方法で形成することで、実施例3の磁気抵抗効果素子を得ることができる。
実施例3、あるいは、後述する実施例4にあっては、マスク層に隣接した記録層の部分をその厚さ方向に一部分除去した後、マスク層に隣接した記録層の残された部分に絶縁化処理を施すことで絶縁領域を形成し、あるいは又、マスク層に隣接した記録層の部分を除去した後、マスク層に隣接した記録層の除去された部分を絶縁材料で埋め込み、絶縁領域を形成する。従って、得られた磁気抵抗効果素子にあっては、電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層の外縁部は絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれている。それ故、隣接するスピン注入型磁気抵抗効果素子にて発生した漏洩磁界に起因して記録層の磁化が乱されるといったディスターブ現象が発生し難い。しかも、磁気シールド層は記録層の延在部から構成されているので、磁気抵抗効果素子の構成、構造の簡素化を図ることができる。また、磁化参照層にて発生した漏洩磁界によって、Hfが変化するといった現象も、磁気シールド層が存在するが故に、発生し難い。それ故、より高い性能、信頼性を有する磁気抵抗効果素子を提供することができる。
実施例4は、本発明の第4の態様に係る磁気抵抗効果素子の製造方法に関する。実施例4の磁気抵抗効果素子の製造方法によって得られる磁気抵抗効果素子(模式的な一部断面図を図10に示す)の構成、構造は、絶縁領域470の構造が若干異なる点を除き、実施例3にて得られた磁気抵抗効果素子の構成、構造と、実質的に、同じであるが故に、詳細な説明は省略する。
以下、下層絶縁層24等の模式的な一部端面図である図11の(A)及び(B)を参照して、実施例4の磁気抵抗効果素子の製造方法を説明する。
[工程−400]
先ず、実施例3の[工程−300]〜[工程−320]と同様の工程を実行する。但し、実施例4にあっては、[工程−320]と同様の工程において、マスク層60に隣接した記録層53の部分53Cを除去する。このようなマスク層60に隣接した記録層53の部分53Cの除去は、第2マスク層62A及び第1マスク層61Aのイオンミーリング法に基づくパターニングを行う際に、基板面に対して垂直入射を0度とした場合、イオンビームのビーム角度を0度乃至10度の範囲とするといった条件を採用することで達成することができる。尚、記録層53の除去部分を参照番号68で示すが、実施例3と異なり、記録層53の除去部分68には、記録層53は残されていない。
先ず、実施例3の[工程−300]〜[工程−320]と同様の工程を実行する。但し、実施例4にあっては、[工程−320]と同様の工程において、マスク層60に隣接した記録層53の部分53Cを除去する。このようなマスク層60に隣接した記録層53の部分53Cの除去は、第2マスク層62A及び第1マスク層61Aのイオンミーリング法に基づくパターニングを行う際に、基板面に対して垂直入射を0度とした場合、イオンビームのビーム角度を0度乃至10度の範囲とするといった条件を採用することで達成することができる。尚、記録層53の除去部分を参照番号68で示すが、実施例3と異なり、記録層53の除去部分68には、記録層53は残されていない。
[工程−410]
その後、実施例3の[工程−340]〜[工程−350]と同様の工程を実行する。ここで、実施例3の[工程−340]と同じ工程にあっては、全面に、CVD法にて層間絶縁層26を成膜したとき、記録層53の除去された部分53Cが、層間絶縁層26を構成する絶縁材料にて埋め込まれ、絶縁領域470が形成される。
その後、実施例3の[工程−340]〜[工程−350]と同様の工程を実行する。ここで、実施例3の[工程−340]と同じ工程にあっては、全面に、CVD法にて層間絶縁層26を成膜したとき、記録層53の除去された部分53Cが、層間絶縁層26を構成する絶縁材料にて埋め込まれ、絶縁領域470が形成される。
以上、本発明を好ましい実施例に基づき説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例において説明した各種の積層構造、マスク層の構造、構成、使用した材料等は例示であり、適宜、変更することができる。各実施例においては、記録層が積層構造体の最上層に位置する構造を有するスピン注入型磁気抵抗効果素子を説明したが、場合によっては、各層の積層順序を逆とし、記録層が最下層に位置する構造を有するスピン注入型磁気抵抗効果素子とすることもできる。第2配線(ビット線)42の延びる方向の射影像は、選択用トランジスタTRを構成するゲート電極12の延びる方向の射影像と直交する形態とすることもできる。実施例においては、記録層の平面形状を楕円形としたが、その代わりに、特開2005−353788(特願2004−172122)に開示された形状とすることもできる。また、図14の(A)あるいは(B)に模式的な部分的平面図を示したように、隣接するスピン注入型磁気抵抗効果素子をオフセット配置してもよい。
TR・・・選択用トランジスタ、10・・・半導体基板、11・・・素子分離領域、12・・・ゲート電極(ワード線)、13・・・ゲート絶縁膜、14A,14B・・・ソース/ドレイン領域、15・・・コンタクトホール、16・・・センス線、21,24・・・下層絶縁層、22・・・接続孔、26・・・層間絶縁層、30・・・磁気抵抗効果素子(スピン注入型磁気抵抗効果素子)、41・・・第1配線、42・・・第2配線(ビット線)、50・・・積層構造体、51・・・磁化参照層、52・・・非磁性体膜(トンネル絶縁膜)、53・・・記録層、53A・・・記録層の延在部、53B・・・マスク層に隣接した記録層の残された部分、53C・・・マスク層に隣接した記録層の部分、54,54A,54B・・・反強磁性体層、60・・・マスク層、61・・・第1マスク層(キャップ層)、61a・・・アンダーカット部、62・・・第2マスク層(接続部)、63・・・レジスト層、64・・・保護層、65,67,68・・・記録層の除去部分、66・・・絶縁物ハードマスク層、170,270,370,470・・・絶縁領域、180,380・・・磁気シールド層
Claims (21)
- 電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層の外縁部が絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれており、磁気シールド層は記録層の延在部から構成されている磁気抵抗効果素子の製造方法であって、
(A)最上層に記録層が設けられた積層構造体を形成した後、積層構造体上に、記録層側から第1マスク層及び第2マスク層を形成し、
(B)第2マスク層及び第1マスク層をパターニングし、更に、パターニングされた第1マスク層にアンダーカット部を設けた後、
(C)第1マスク層のアンダーカット部の下方を除き、記録層上に保護層を形成し、次いで、
(D)保護層で覆われていない記録層の部分に絶縁化処理を施す、
各工程を含む磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記工程(D)における絶縁化処理は、保護層で覆われていない記録層の部分の酸化処理、フッ化処理、又は、窒化処理である請求項1に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 前記工程(B)において、反応性イオンエッチング法に基づきパターニングを行い、更に、パターニングされた第1マスク層にアンダーカット部を設ける請求項1に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 絶縁領域の幅は10nm以上である請求項1に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層の外縁部が絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれており、磁気シールド層は記録層の延在部から構成されている磁気抵抗効果素子の製造方法であって、
(A)最上層に記録層が設けられた積層構造体を形成した後、積層構造体上に、記録層側から第1マスク層及び第2マスク層を形成し、
(B)第2マスク層及び第1マスク層をパターニングし、更に、パターニングされた第1マスク層にアンダーカット部を設けた後、
(C)第1マスク層のアンダーカット部の下方を除き、記録層上に保護層を形成し、次いで、
(D)保護層で覆われていない記録層の部分を除去して絶縁領域を形成する、
各工程を含む磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記工程(D)の後、
(E)記録層の除去された部分を絶縁材料にて埋め込み、絶縁領域を形成する、
工程を含む請求項5に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記工程(B)において、反応性イオンエッチング法に基づきパターニングを行い、更に、パターニングされた第1マスク層にアンダーカット部を設ける請求項5に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 絶縁領域の幅は10nm以上である請求項5に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層の外縁部が絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれており、磁気シールド層は記録層の延在部から構成されている磁気抵抗効果素子の製造方法であって、
(A)記録層が設けられた積層構造体を形成し、次いで、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分をその厚さ方向に一部分除去した後、
(B)マスク層に隣接した記録層の残された部分に絶縁化処理を施すことで、絶縁領域を形成する、
各工程を含む磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記工程(B)において、磁気シールド層とすべき記録層の延在部の部分の表面領域にも、絶縁化処理を施す請求項9に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 絶縁化処理は、マスク層に隣接した記録層の残された部分及び磁気シールド層とすべき記録層の延在部の部分の表面領域の酸化処理、フッ化処理、又は、窒化処理である請求項10に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 前記工程(A)において、イオンミーリング法に基づき、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分をその厚さ方向に一部分除去する請求項9に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 絶縁領域の幅は10nm以上である請求項9に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層の外縁部が絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれており、磁気シールド層は記録層の延在部から構成されている磁気抵抗効果素子の製造方法であって、
(A)記録層が設けられた積層構造体を形成し、次いで、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分を除去した後、
(B)マスク層に隣接した記録層の除去された部分を絶縁材料で埋め込み、絶縁領域を形成する、
各工程を含む磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記工程(A)において、イオンミーリング法に基づき、積層構造体上にマスク層を形成し、且つ、マスク層に隣接した記録層の部分を除去する請求項14に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 絶縁領域の幅は10nm以上である請求項14に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 電流によるスピン注入磁化反転に基づき情報が書き込まれる記録層が設けられた積層構造体を備えており、
記録層の外縁部は、絶縁領域を介して磁気シールド層によって囲まれており、
磁気シールド層は、記録層の延在部から構成されている磁気抵抗効果素子。 - 絶縁領域は、記録層の外縁部に隣接した記録層の延在部の部分から成り、
該部分には絶縁化処理が施されている請求項17に記載の磁気抵抗効果素子。 - 絶縁化処理は、前記部分の酸化処理、フッ化処理、又は、窒化処理である請求項18に記載の磁気抵抗効果素子。
- 絶縁領域は、記録層の外縁部に隣接した記録層の延在部の部分が酸化物、フッ化物又は窒化物にて置き換えられて成る請求項17に記載の磁気抵抗効果素子。
- 絶縁領域の幅は10nm以上である請求項17に記載の磁気抵抗効果素子。
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