JP2009284732A - バイポーラパルス電源及び複数のバイポーラパルス電源からなる電源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 直流電力供給源1からの正負の直流出力間に接続されたスイッチング素子SW1乃至SW4から構成されるブリッジ回路22を備え、スイッチング素子の作動を制御してプラズマに接触する一対の電極に所定の周波数でバイポーラパルス状に出力する。その際、その当初は前記電極への出力が定電圧特性を有し、その後に前記電極への出力が定電流特性を有するように前記出力を切り換える出力特性切換回路を設ける。
【選択図】 図1
Description
2 発振部
22 ブリッジ回路
24a、24b 出力ケーブル
25 出力電流、電圧検出回路
27 アーク検知制御回路
28 インダクタ
E バイポーラパルス電源
SW1乃至SW6 スイッチング素子
T1、T2 電極(ターゲット)
Claims (6)
- 直流電力供給源からの正負の直流出力間に接続されたスイッチング素子から構成されるブリッジ回路を備え、スイッチング素子の作動を制御してプラズマに接触する一対の電極に所定の周波数でバイポーラパルス状に出力するバイポーラパルス電源において、
前記電極に出力する際に、その当初は前記電極への出力が定電圧特性を有し、その後に前記電極への出力が定電流特性を有するように前記出力を切り換える出力特性切換回路を備えたことを特徴とするバイポーラパルス電源。 - 前記出力特性切換回路は、前記直流電力供給源からブリッジ回路への正負の直流出力のうち少なくとも一方に配置されたインダクタと、前記インダクタに並列接続された他のスイッチング素子とを備え、前記スイッチング素子の切換え当初に前記他のスイッチング素子を所定時間作動させてインダクタを短絡することを特徴とする請求項1記載のバイポーラパルス電源。
- 前記出力特性切換回路は、前記直流電力供給源からブリッジ回路への正負の直流出力のうち少なくとも一方に配置されたインダクタと、前記インダクタに直列接続され、過電圧発生時に前記インダクタを短絡するダイオードとを備えることを特徴とする請求項1記載のバイポーラパルス電源。
- 前記他のスイッチング素子またはダイオードに直列に抵抗を接続したことを特徴とする請求項2または請求項3記載のバイポーラパルス電源。
- 前記電極は、スパッタリング法を実施する処理室内に配置した一対のターゲットであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のバイポーラパルス電源。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のバイポーラパルス電源を複数台並列接続してなる電源装置であって、各バイポーラパルス電源を同期させて同一の処理室内に配置した少なくとも一対の電極に対しバイポーラパルス状に出力するように構成したことを特徴とする電源装置。
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