JP2009280876A - 炭素膜形成方法 - Google Patents
炭素膜形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009280876A JP2009280876A JP2008135967A JP2008135967A JP2009280876A JP 2009280876 A JP2009280876 A JP 2009280876A JP 2008135967 A JP2008135967 A JP 2008135967A JP 2008135967 A JP2008135967 A JP 2008135967A JP 2009280876 A JP2009280876 A JP 2009280876A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon film
- carbon
- film forming
- plasma
- carbon dioxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】課題を解決する炭素膜形成方法は、プラズマCVD法により基材上に炭素膜を形成する方法であって、水素及び二酸化炭素を含むガスをパルス放電によりプラズマ化して基材上に炭素膜を形成することを特徴とする。
【選択図】なし
Description
<炭素膜の形成>
上述した炭素膜形成装置1を用いて所定の基材上に炭素膜の形成を行った。
混合ガスとして水素及び二酸化炭素(二酸化炭素濃度:40体積%)、カソード電極12及びアノード電極14として図1に示されるものと同様の形状を有するモリブデンから作製した電極、支持体22として陶製のプレート(サイズ:30mm×30mm×3mm)を用い、下記に示す条件で、予め洗浄されたシリコン(Si)製の基材(サイズ:10cm×10cm×1mm)上に炭素膜を形成した。
ガス圧力:40(Torr)
基材温度:100℃
印加電圧:1000V
電極間距離 L:25mm
アノード電極−基材間距離 D:30mm
混合ガス流量:約100sccm
成膜時間(放電開始時を成膜開始時とした):30分
二酸化炭素濃度を60体積%に変更した以外は実施例1と同様の条件で炭素膜を形成した。
Claims (2)
- プラズマCVD法により基材上に炭素膜を形成する方法であって、
水素及び二酸化炭素を含むガスをパルス放電によりプラズマ化して前記基材上に炭素膜を形成することを特徴とする炭素膜形成方法。 - 前記ガスにおける二酸化炭素の濃度が、40〜60体積%であることを特徴とする請求項1に記載の炭素膜形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008135967A JP2009280876A (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 炭素膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008135967A JP2009280876A (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 炭素膜形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009280876A true JP2009280876A (ja) | 2009-12-03 |
Family
ID=41451631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008135967A Pending JP2009280876A (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 炭素膜形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009280876A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012038723A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-23 | Taiyo Kagaku Kogyo Kk | プラズマ発生方法及びそのための装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64266A (en) * | 1987-06-23 | 1989-01-05 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | Production of diamondlike carbon |
JPH0812492A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-16 | Kyocera Corp | 気相合成装置および気相合成方法 |
JP2008045180A (ja) * | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Denso Corp | Dlc膜の形成方法及びdlc膜の製造装置 |
JP2008056955A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Masayoshi Umeno | 炭素膜形成方法 |
-
2008
- 2008-05-23 JP JP2008135967A patent/JP2009280876A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64266A (en) * | 1987-06-23 | 1989-01-05 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | Production of diamondlike carbon |
JPH0812492A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-16 | Kyocera Corp | 気相合成装置および気相合成方法 |
JP2008045180A (ja) * | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Denso Corp | Dlc膜の形成方法及びdlc膜の製造装置 |
JP2008056955A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Masayoshi Umeno | 炭素膜形成方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012038723A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-23 | Taiyo Kagaku Kogyo Kk | プラズマ発生方法及びそのための装置 |
JP2016106359A (ja) * | 2010-07-15 | 2016-06-16 | 太陽誘電ケミカルテクノロジー株式会社 | プラズマ発生方法及びそのための装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5457810B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP5480542B2 (ja) | 導電性ダイヤモンド電極並びに導電性ダイヤモンド電極を用いたオゾン生成装置 | |
TWI428474B (zh) | 鑽石電極以及鑽石電極的製造方法 | |
TW201347282A (zh) | 使用於液體中之碳電極裝置及相關方法 | |
CA2654430C (en) | Carbon nanowall with controlled structure and method for controlling carbon nanowall structure | |
JP5570528B2 (ja) | 堆積膜形成装置 | |
US9238872B2 (en) | Method for synthesizing fluorine compound by electrolysis and electrode therefor | |
JP5621024B2 (ja) | フッ素発生電解用電極 | |
US10000850B2 (en) | Deposition method and method of manufacturing a catalyst wire for a catalytic chemical vapor deposition apparatus | |
US20130213575A1 (en) | Atmospheric Pressure Plasma Generating Apparatus | |
WO2004059048A1 (ja) | ダイヤモンド成膜シリコンおよび電極 | |
JP2001332749A (ja) | 半導体薄膜の形成方法およびアモルファスシリコン太陽電池素子 | |
JP4856010B2 (ja) | 触媒化学気相成長装置 | |
JP5053595B2 (ja) | Dlc膜の形成方法及びdlc膜の製造装置 | |
TW462081B (en) | Plasma CVD system and plasma CVD film deposition method | |
JP2008189997A (ja) | 導電性ダイヤモンドライクカーボンの製造方法 | |
JP2009280876A (ja) | 炭素膜形成方法 | |
JP6815016B2 (ja) | アモルファスカーボンナノ粒子の製造方法及びアモルファスカーボンナノ粒子 | |
JP5408653B2 (ja) | オゾン生成方法及びオゾン生成装置 | |
WO2008026395A1 (fr) | Procédé de formation de film carbone | |
US9755023B2 (en) | Photoelectrochemical cell including Ga(Sbx)N1-x semiconductor electrode | |
JP2008004813A (ja) | シリコン系薄膜光電変換素子の製造方法、製造装置およびシリコン系薄膜光電変換素子 | |
JP2002141292A (ja) | シリコン系薄膜の製造法 | |
US20090081869A1 (en) | Process for producing silicon compound | |
JP5463059B2 (ja) | ダイヤモンド薄膜を被覆した炭素材料及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20110516 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110516 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20110715 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110715 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110715 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130709 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131001 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20141028 |