JP2009272422A - 光学半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レンズを形成しようとする箇所の面積の大小にかかわらず、光学設計上で必要となるレンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径を実現することができる光学半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】CCD型固体撮像装置の製造方法では、シリコン基板11の一方の主面上に絶縁膜18を積層し、その上に、第1レンズ材料膜190を積層する。そして、第1レンズ材料膜190に対し、エッチングを施し、絶縁膜18の上に立設された柱状のレンズ土台部19を形成する。レンズ土台部19における露出面を被覆する状態に、第2レンズ材料膜200を積層し、第2レンズ材料膜200に対し、その厚み方向内方に向けた途中までエッチバックを実行することにより、レンズ皮膜部20を形成する。CCD型固体撮像装置におけるレンズ21は、レンズ土台部19とレンズ皮膜部20との組み合わせを以って構成されることになる。
【選択図】図1
【解決手段】CCD型固体撮像装置の製造方法では、シリコン基板11の一方の主面上に絶縁膜18を積層し、その上に、第1レンズ材料膜190を積層する。そして、第1レンズ材料膜190に対し、エッチングを施し、絶縁膜18の上に立設された柱状のレンズ土台部19を形成する。レンズ土台部19における露出面を被覆する状態に、第2レンズ材料膜200を積層し、第2レンズ材料膜200に対し、その厚み方向内方に向けた途中までエッチバックを実行することにより、レンズ皮膜部20を形成する。CCD型固体撮像装置におけるレンズ21は、レンズ土台部19とレンズ皮膜部20との組み合わせを以って構成されることになる。
【選択図】図1
Description
本発明は、光学半導体装置の製造方法に関し、特にレンズ形成技術に関する。
近年、ディジタルカメラなどの画像入力装置として広く用いられている固体撮像装置には、より一層の多画素化および高感度化に加えて、画素サイズの縮小に伴い低下する特性への対応が求められている。例えば、入射光の集光率を高めるために、オンチップレンズを採用するという技術も提案・開発されている(例えば、特許文献1)。特許文献1で提案されているレンズ形成方法について、図8を用いその概略を説明する。図8は、CCD(Charge Coupled Device)型固体撮像装置の製造方法のうち、レンズ形成に係る工程を示す模式断面図である。
図8(a)に示すように、シリコン基板1011に対し、光電変換部1012、転送部1013および分離部(図示を省略。)を形成する。そして、ゲート絶縁膜1014を形成し、ゲート絶縁膜1014上に、n型不純物をドープすることによりポリシリコンからなる転送電極1015を形成する。
その後、転送電極1015およびゲート絶縁膜1014を覆う状態で、絶縁膜1016、遮光膜1017および絶縁膜1018を順に積層する。また、絶縁膜1018上にレンズ材料膜(高屈折率膜)1190を積層する。
その後、転送電極1015およびゲート絶縁膜1014を覆う状態で、絶縁膜1016、遮光膜1017および絶縁膜1018を順に積層する。また、絶縁膜1018上にレンズ材料膜(高屈折率膜)1190を積層する。
次に、図8(b)に示すように、公知のフォトリソグラフィー技術を用い、高屈折率膜1190上にレジストパターン1500を積層する。レジストパターン1500は、光電変換部1012の上方を除く部分が開口されている(開口1500h)。
次に、レンズ材料膜1190上に形成されたレジストパターン1500に対し、140[℃]以上での熱処理を実行することによりレジストが溶融し、図8(c)に示すように、上凸のレンズ形状に相当する形状のレジストパターン1501が形成されることになる。
次に、レンズ材料膜1190上に形成されたレジストパターン1500に対し、140[℃]以上での熱処理を実行することによりレジストが溶融し、図8(c)に示すように、上凸のレンズ形状に相当する形状のレジストパターン1501が形成されることになる。
次に、熱処理の実行によりレジストパターン1501が形成された状態のワークに対して、公知のドライエッチング技術を用いてエッチバックを実行し、図8(d)に示すように、上凸形状のレンズ1019が形成される。なお、エッチバックの実行においては、レジストパターン1501とレンズ材料膜1190との互いの材料における選択比が略同一、あるいは近い状態であり、レジストパターン1501の形状が転写されてレンズ1019が形成されることになる。
特開平03−190166号公報
しかしながら、上記特許文献1で提案の技術を含む従来技術では、画素サイズの一層の微細化を進めてゆく上で、光学設計で必要とされるプロファイルのレンズを形成することが困難となる。具体的には、図8に示すように、従来技術に係るレンズの形成方法では、熱処理の実行を以ってレジストを流動させ、流動時に掛る表面張力によってレジストパターン1501のプロファイルが規定されることになる。そして、画素サイズの微細化に伴い、流動化した際のレジストが隣接する画素どうしの間で接触するという問題や、表面張力によりプロファイルが規定されてしまうので、光学的に必要となるレンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径を実現することができないという問題などを生ずる。
なお、上記のような問題は、CCD型固体撮像装置の製造方法に限らず、MOS型固体撮像装置や半導体レーザ装置、さらには発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)装置などの製造に際しても同様の問題が生じ得る。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであって、レンズを形成しようとする箇所の面積の大小にかかわらず、光学設計上で必要となるレンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径を実現することができる光学半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであって、レンズを形成しようとする箇所の面積の大小にかかわらず、光学設計上で必要となるレンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径を実現することができる光学半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、次のような方法を採用する。
(1) 本発明に係る光学半導体装置の製造方法は、半導体基板の一方の主面上に絶縁膜を積層し、その上にレンズを形成するものであって、レンズは、次の工程を経て形成されることを特徴とする。
(1) 本発明に係る光学半導体装置の製造方法は、半導体基板の一方の主面上に絶縁膜を積層し、その上にレンズを形成するものであって、レンズは、次の工程を経て形成されることを特徴とする。
(a) 絶縁膜の上に、透光性を有する第1のレンズ材料からなる第1レンズ材料膜を積層する工程
(b) 第1レンズ材料膜に対し、エッチングを施し、絶縁膜の上に立設された柱状のレンズ土台部を形成する工程
(c) レンズ土台部における露出面を被覆する状態に、第2のレンズ材料からなる第2レンズ材料膜を積層する工程
(d) 第2レンズ材料膜に対し、その厚み方向の途中までエッチバックを実行することにより、レンズ皮膜部を形成する工程
即ち、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、レンズ土台部とレンズ皮膜部との組み合わせを以ってレンズが構成されることになる。
(b) 第1レンズ材料膜に対し、エッチングを施し、絶縁膜の上に立設された柱状のレンズ土台部を形成する工程
(c) レンズ土台部における露出面を被覆する状態に、第2のレンズ材料からなる第2レンズ材料膜を積層する工程
(d) 第2レンズ材料膜に対し、その厚み方向の途中までエッチバックを実行することにより、レンズ皮膜部を形成する工程
即ち、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、レンズ土台部とレンズ皮膜部との組み合わせを以ってレンズが構成されることになる。
なお、本発明に係る製造方法では、上述のように、レンズ土台部の形状を”柱状”としているが、必ずしも側壁が絶縁膜の主面に対して垂直である必要はない。具体的には、柱状のレンズ土台部の側壁は、エッチングにおける精度バラツキによって僅かに傾斜することがあるが、上記における”柱状”には、側壁が僅かに傾斜した「錐台状」のものも含む。
また、上記(d)に係る工程において、エッチバックを実行する程度を「厚み方向の途中まで」としているのは、上記(c)に係る工程で積層した第2レンズ材料膜の全てを除去するということを排除するものであり、第2レンズ材料膜がレンズ土台部の表面に少なくとも一部を被覆した状態が残る程度であることを示すものである。
また、上記(c)に係る工程において、積層された第2レンズ材料膜は、その表面が平坦化されたものではなく、レンズ土台部が存在する箇所と存在しない箇所との間で、その上に被覆される第2レンズ材料膜の表面にも凹凸が残るものである。
また、上記(c)に係る工程において、積層された第2レンズ材料膜は、その表面が平坦化されたものではなく、レンズ土台部が存在する箇所と存在しない箇所との間で、その上に被覆される第2レンズ材料膜の表面にも凹凸が残るものである。
(2) 上記(1)の製造方法では、レンズ土台部を形成する工程が、次のサブ工程を備えるという構成を採用することができる。
(c−1) 第1レンズ材料膜の上に、前記レンズ土台部の上面形状に相当するパターンを有するレジスト膜を積層するサブ工程
(c−2) レジスト膜が積層された第1レンズ材料膜に対し、異方性エッチングを施して、レジスト膜の形状を第1レンズ材料膜に転写することにより、レンズ土台部を形成するサブ工程
(3) また、上記(1)の製造方法では、レンズ土台部を形成する工程が、次のサブ工程を交互に複数回ずつ繰り返す、という方法を採用することもできる。
(c−1) 第1レンズ材料膜の上に、前記レンズ土台部の上面形状に相当するパターンを有するレジスト膜を積層するサブ工程
(c−2) レジスト膜が積層された第1レンズ材料膜に対し、異方性エッチングを施して、レジスト膜の形状を第1レンズ材料膜に転写することにより、レンズ土台部を形成するサブ工程
(3) また、上記(1)の製造方法では、レンズ土台部を形成する工程が、次のサブ工程を交互に複数回ずつ繰り返す、という方法を採用することもできる。
(c−3) 第1レンズ材料膜の上に、パターンを有するレジスト膜を積層するサブ工程
(c−4) レジスト膜が積層された第1レンズ材料膜に対し、異方性エッチングを施して、レジスト膜の形状を転写するサブ工程
上記(c−3)に係るサブ工程と(c−4)に係るサブ工程とを、交互に複数回ずつ繰り返すことにより、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、階段状のレンズ土台部を形成することができる。
(c−4) レジスト膜が積層された第1レンズ材料膜に対し、異方性エッチングを施して、レジスト膜の形状を転写するサブ工程
上記(c−3)に係るサブ工程と(c−4)に係るサブ工程とを、交互に複数回ずつ繰り返すことにより、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、階段状のレンズ土台部を形成することができる。
(4) また、上記(3)に係る光学半導体装置の製造方法では、レンズ土台部を形成する工程で形成するレンズ土台部の構造を、階段の上段と下段とが、半導体基板の一方の主面に沿う方向において、互いにオフセットされた状態とすることができる。
(5) また、上記(1)〜(4)に係る光学半導体装置の製造方法では、レンズ土台部を形成する工程で形成するレンズ土台部の構造を、半導体基板の一方の主面に沿う方向において、4つ以上の角部を有する多角形、あるいは長円形、あるいは楕円形あるいは円形の断面形状を有する状体とすることができる。
(5) また、上記(1)〜(4)に係る光学半導体装置の製造方法では、レンズ土台部を形成する工程で形成するレンズ土台部の構造を、半導体基板の一方の主面に沿う方向において、4つ以上の角部を有する多角形、あるいは長円形、あるいは楕円形あるいは円形の断面形状を有する状体とすることができる。
(6) また、上記(1)〜(5)に係る光学半導体装置の製造方法では、第1のレンズ材料と第2のレンズ材料とを、同一組成および同一屈折率を有する材料とすることができる。
(7) 上記(1)〜(6)に係る光学半導体装置の製造方法では、第1のレンズ材料と第2のレンズ材料とを、ともに無機材料を主成分として含む材料とし、第1レンズ材料膜を積層する工程および第2レンズ材料膜を積層する工程において、CVD(Chemical Vapor Deposition)法を用い、各々の膜の積層を実行する、という構成を採用することができる。
(7) 上記(1)〜(6)に係る光学半導体装置の製造方法では、第1のレンズ材料と第2のレンズ材料とを、ともに無機材料を主成分として含む材料とし、第1レンズ材料膜を積層する工程および第2レンズ材料膜を積層する工程において、CVD(Chemical Vapor Deposition)法を用い、各々の膜の積層を実行する、という構成を採用することができる。
(8) 上記(1)〜(7)に係る光学半導体装置の製造方法では、第2レンズ材料膜を積層する工程において、レンズ土台部の側壁と絶縁膜の表面とで構成される段差部分を、サイドウォール形状で埋め込む状態に第2レンズ材料膜を積層する、という構成を採用することができる。
(9) 上記(1)〜(8)に係る光学半導体装置の製造方法では、半導体基板の内方に、半導体基板一方の主面に沿う方向における上記レンズに対応する箇所に、光電変換素子部が形成されている、という構成を採用することができる。即ち、光学半導体装置の一種である固体撮像装置の製造に、本発明に係る光学半導体装置の製造方法を採用することができる。
(9) 上記(1)〜(8)に係る光学半導体装置の製造方法では、半導体基板の内方に、半導体基板一方の主面に沿う方向における上記レンズに対応する箇所に、光電変換素子部が形成されている、という構成を採用することができる。即ち、光学半導体装置の一種である固体撮像装置の製造に、本発明に係る光学半導体装置の製造方法を採用することができる。
上記のように、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、エッチングを施すことで得られるレンズ土台部と、エッチバックを施すことで得られるレンズ皮膜部との組み合わせを以ってレンズを形成することとしている。このため、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、レンズ土台部のサイズおよび形状と、これに被覆するレンズ皮膜部の厚みなどを以って、所要のサイズ(レンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径)のレンズを形成することができる。特に、画素サイズが微細化する場合には、上記従来技術に係るレンズの形成方法に比べて、高い寸法精度を有するレンズを形成することができる。
上記従来技術に係る製造方法では、熱処理の実行を以ってレジストを流動させ、これにより形成しようとするレンズのプロファイルを構成するため、画素サイズとレジスト材料に応じた表面張力とにより、レンズ形状が規定されてしまう。このため、従来技術に係る製造方法では、画素サイズの微細化が進む場合に、隣り合う画素のレンズの裾野部分同士が接触するといった問題が生じる。
一方、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、上記従来技術に係る製造方法のような熱処理によるレジストを流動化させるという工程を経なくても、高精度のレンズを形成することができる。よって、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、微細化が進む光学半導体装置に対しても、高い精度のレンズを形成することができる。
従って、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、レンズを形成しようとする専有面積の大小にかかわらず、光学設計上で必要となるレンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径を実現することができる。
従って、本発明に係る光学半導体装置の製造方法では、レンズを形成しようとする専有面積の大小にかかわらず、光学設計上で必要となるレンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径を実現することができる。
以下では、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参酌しながら説明する。なお、以下の各実施の形態は、本発明の構成およびそこから奏される作用・効果を分かり易く説明するために用いる一例であって、本発明は、本質的な特徴部分以外に何ら以下の形態に限定を受けるものではない。
[実施の形態1]
1.製造方法
実施の形態1に係るCCD型固体撮像装置の製造方法について、図1を用い説明する。図1は、本実施の形態1に係るCCD型固体撮像装置の製造方法を、工程順に示す模式断面図である。なお、以下では、本実施の形態の中で最も特徴を有する”オンチップレンズの形成方法”を中心に説明する。
[実施の形態1]
1.製造方法
実施の形態1に係るCCD型固体撮像装置の製造方法について、図1を用い説明する。図1は、本実施の形態1に係るCCD型固体撮像装置の製造方法を、工程順に示す模式断面図である。なお、以下では、本実施の形態の中で最も特徴を有する”オンチップレンズの形成方法”を中心に説明する。
図1(a)に示すように、半導体基板としてのシリコン基板11に対し、光電変換部12、転送部13を形成する。なお、図示を省略しているが、シリコン基板11の内方には、併せて分離部も形成する。
また、図1(a)では一部だけを示しているが、光電変換部12は、Z軸に直交する平面において二次元配置されており、転送部13は、光電変換部12の列間を行方向に並んだ状態で形成されている。
また、図1(a)では一部だけを示しているが、光電変換部12は、Z軸に直交する平面において二次元配置されており、転送部13は、光電変換部12の列間を行方向に並んだ状態で形成されている。
次に、シリコン基板11の表面にゲート絶縁膜14を形成し、さらに、転送部13の上方に位置する部分に転送電極15を形成した後、これらを覆う状態で絶縁膜16を形成する。ここで、転送電極15は、n型不純物をドープしたポリシリコンからなる。
絶縁膜16上における転送電極15の上方に相当する領域に、遮光膜17を形成し、その上を覆う状態で、光透過性を有する絶縁膜18を積層する。絶縁膜18を平坦化した後、レンズ材料となる第1レンズ材料膜190を形成する。第1レンズ材料膜190は、SiNからなり、例えば、公知のCVD法を用い形成される。なお、図1(a)に示すように、第1レンズ材料膜190の膜厚は、t11とされており、この膜厚t11は、形成しようとするレンズ高さおよびレンズ曲率などから適宜設定されるものである。
絶縁膜16上における転送電極15の上方に相当する領域に、遮光膜17を形成し、その上を覆う状態で、光透過性を有する絶縁膜18を積層する。絶縁膜18を平坦化した後、レンズ材料となる第1レンズ材料膜190を形成する。第1レンズ材料膜190は、SiNからなり、例えば、公知のCVD法を用い形成される。なお、図1(a)に示すように、第1レンズ材料膜190の膜厚は、t11とされており、この膜厚t11は、形成しようとするレンズ高さおよびレンズ曲率などから適宜設定されるものである。
また、第1レンズ材料膜190は、上述のようにSiNからなり、絶縁膜18に比べて高い屈折率を有するものとなっている。
次に、図1(b)に示すように、第1レンズ材料膜190の面上であって、光電変換部12の上方に相当する箇所に、レジストパターン500を形成する。レジストパターン500は、公知のフォトリソグラフィー法を用い形成されるものであって、レンズ土台部を形成しようとする部分を除き開口されている(開口部500h)。
次に、図1(b)に示すように、第1レンズ材料膜190の面上であって、光電変換部12の上方に相当する箇所に、レジストパターン500を形成する。レジストパターン500は、公知のフォトリソグラフィー法を用い形成されるものであって、レンズ土台部を形成しようとする部分を除き開口されている(開口部500h)。
次に、図1(b)の状態の第1レンズ材料膜190に対して、公知のドライエッチング法を用いてドライエッチング(異方性エッチング)を実行し、図1(c)に示すようなレンズ土台部19を形成する。図1(c)に示すように、レンズ土台部19は、レンズを形成しようとする光電変換部12の上方部分に形成されており、その他の部分は開口されている(開口部19h)。
レンズ土台部19は、それぞれが”柱状”をしている。ただし、レンズ土台部19は、第1レンズ材料膜190を異方性エッチングにより形成するので、エッチング時における精度バラツキによりその側壁が絶縁膜19の主面に対して垂直とはならず、僅かに傾斜することも考えられる。この場合においても、本実施の形態および後述の実施の形態等では、殆ど柱状と呼べるような”錐台状”のものも含めて”柱状”と呼ぶ。
レンズ土台部19のレイアウトについては、形成しようとするレンズのプロファイルに応じて適宜設定すればよく、例えば、4つ以上の角部を有する多角形、あるいは長円形、あるいは楕円形、あるいは円形の断面形状を有するプロファイルを採用することができる。プロファイルの具体例については、後述する。
次に、図1(d)に示すように、レンズ土台部19の周囲を被覆する状態で、第2レンズ材料膜200を形成する。第2レンズ材料膜200の形成に用いる材料は、レンズ土台部19を構成する材料と同一の組成・屈折率を有するものが用いられている。そして、第2レンズ材料膜200は、公知のCVD法を用い形成されるものであり、その膜厚t12は、上記膜厚t11と同様に、形成しようとするレンズ高さおよびレンズ曲率などから適宜設定されるものである。
次に、図1(d)に示すように、レンズ土台部19の周囲を被覆する状態で、第2レンズ材料膜200を形成する。第2レンズ材料膜200の形成に用いる材料は、レンズ土台部19を構成する材料と同一の組成・屈折率を有するものが用いられている。そして、第2レンズ材料膜200は、公知のCVD法を用い形成されるものであり、その膜厚t12は、上記膜厚t11と同様に、形成しようとするレンズ高さおよびレンズ曲率などから適宜設定されるものである。
なお、図1(d)に示すように、第2レンズ材料膜200の形成にあたっては、レンズ土台部19の側壁と絶縁膜18の表面とで構成される段差部分を埋め込む状態とする。
次に、第2レンズ材料膜200に対して公知のエッチバックを実行し、図1(e)に示すように、レンズ皮膜部20を形成する。本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、レンズ土台部19と、これを被覆するレンズ皮膜部20との積層構造を以って、上凸状(Z軸方向の上向きに凸状)のレンズ21が形成されることになる。
次に、第2レンズ材料膜200に対して公知のエッチバックを実行し、図1(e)に示すように、レンズ皮膜部20を形成する。本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、レンズ土台部19と、これを被覆するレンズ皮膜部20との積層構造を以って、上凸状(Z軸方向の上向きに凸状)のレンズ21が形成されることになる。
2.優位性
本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、図1(a)〜(c)に示すように、絶縁膜18上にレンズ土台部19を形成し、図1(d)〜(e)に示すように、レンズ土台部19を被覆する状態で形成した第2レンズ材料膜200に対し、エッチバックを施すことでレンズ皮膜部20とを形成する。そして、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、レンズ土台部19とレンズ皮膜部20との組み合わせを以って、上凸状のレンズ21が形成されることになる。よって、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、レンズ土台部19のサイズおよび形状と、これを被覆するレンズ皮膜部20の厚みなどを以って、所要のサイズ(レンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径)のレンズ21を形成することができる。特に、画素サイズが微細化する場合には、上記従来技術に係るレンズの形成方法に比べて、高い寸法精度を有するレンズ21を形成することができる。
本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、図1(a)〜(c)に示すように、絶縁膜18上にレンズ土台部19を形成し、図1(d)〜(e)に示すように、レンズ土台部19を被覆する状態で形成した第2レンズ材料膜200に対し、エッチバックを施すことでレンズ皮膜部20とを形成する。そして、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、レンズ土台部19とレンズ皮膜部20との組み合わせを以って、上凸状のレンズ21が形成されることになる。よって、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、レンズ土台部19のサイズおよび形状と、これを被覆するレンズ皮膜部20の厚みなどを以って、所要のサイズ(レンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径)のレンズ21を形成することができる。特に、画素サイズが微細化する場合には、上記従来技術に係るレンズの形成方法に比べて、高い寸法精度を有するレンズ21を形成することができる。
上記特許文献1で提案されている技術をはじめとする従来技術に係る製造方法では、図8に示すように、熱処理の実行を以ってレジストパターン1500を流動させ、これにより形成しようとするレンズのプロファイル(レジストパターン1501)を構成するため、画素サイズとレジスト材料に応じた表面張力とにより、レンズ形状が規定されてしまう。このため、従来技術に係る製造方法では、画素サイズの微細化が進む場合に、隣り合う画素のレンズの裾野部分同士が接触するといった問題や、所要のプロファイルのレンズを得ることができないといった問題などが生じる。
一方、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、上記従来技術に係る製造方法のような熱処理によるレジストパターン1500を流動化させるという工程を経なくても、高精度のレンズ21を形成することができる。よって、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、画素サイズの微細化が進むCCD型固体撮像装置に対しても、高い精度のレンズ21を形成することができる。
従って、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、画素サイズの大小にかかわらず、光学設計上で必要となるレンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径を実現することができる。
3.レンズ土台部のレイアウトの具体例
レンズ土台部のレイアウトの具体例について、図2を用い説明する。なお、図2(a)〜(c)は、具体例に係るレンズ土台部29、39、49について、図1のZ軸に対し直交する平面における断面形状を示す模式断面図である。
3.レンズ土台部のレイアウトの具体例
レンズ土台部のレイアウトの具体例について、図2を用い説明する。なお、図2(a)〜(c)は、具体例に係るレンズ土台部29、39、49について、図1のZ軸に対し直交する平面における断面形状を示す模式断面図である。
(1)具体例1
図2(a)に示すように、具体例1に係るレンズ土台部29は、X軸方向の辺の長さがL1、Y軸方向の辺の長さがL2である四角形の断面形状を有する。即ち、具体例1に係るレンズ土台部29は、四角柱である。ここで、辺の長さL1、L2については、形成しようとするレンズ21の形状に応じて設定される。
図2(a)に示すように、具体例1に係るレンズ土台部29は、X軸方向の辺の長さがL1、Y軸方向の辺の長さがL2である四角形の断面形状を有する。即ち、具体例1に係るレンズ土台部29は、四角柱である。ここで、辺の長さL1、L2については、形成しようとするレンズ21の形状に応じて設定される。
また、具体例1に係るレンズ土台部29の形状については、例えば、光電変換部12への入射光の波長に応じて、長さL1、L2の設定をすることもできる。
(2)具体例2
図2(b)に示すように、具体例2に係るレンズ土台部39は、八角形の断面形状を有する。レンズ土台部39を採用する場合には、上記四角形の断面形状を有するレンズ土台部29を採用する場合に比べて、レンズ21の平面形状をより円形あるいは楕円形に近くすることができる。
(2)具体例2
図2(b)に示すように、具体例2に係るレンズ土台部39は、八角形の断面形状を有する。レンズ土台部39を採用する場合には、上記四角形の断面形状を有するレンズ土台部29を採用する場合に比べて、レンズ21の平面形状をより円形あるいは楕円形に近くすることができる。
(3)具体例3
図2(c)に示すように、具体例3に係るレンズ土台部49は、円形の断面形状を有する円柱である。このレンズ土台部49を採用する場合には、レンズ21の平面形状を上記具体例1、2に係るレンズ土台部29、39を採用する場合よりもさらに円形に使くすることができる。
図2(c)に示すように、具体例3に係るレンズ土台部49は、円形の断面形状を有する円柱である。このレンズ土台部49を採用する場合には、レンズ21の平面形状を上記具体例1、2に係るレンズ土台部29、39を採用する場合よりもさらに円形に使くすることができる。
4.レンズ形状と入射光の進行経路
レンズ形状と入射光の進行経路との関係について、図3を用い説明する。図3(a)は、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法を用い形成されたレンズ21を模式的に示す断面図である。一方、図3(b)は、加熱溶融させてレンズ皮膜部920を形成するという方法を用い形成されたレンズ921を模式的に示す断面図である。
レンズ形状と入射光の進行経路との関係について、図3を用い説明する。図3(a)は、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法を用い形成されたレンズ21を模式的に示す断面図である。一方、図3(b)は、加熱溶融させてレンズ皮膜部920を形成するという方法を用い形成されたレンズ921を模式的に示す断面図である。
図3(a)に示すように、エッチバックによりレンズ皮膜部20を形成する本実施の形態に係る製造方法では、レンズ21のプロファイル全体が上凸状となる。このため、レンズ21の裾野部分に入射した光も、光電変換部12(図1を参照。)に向けて光効率に集光されることになる。
一方、図3(b)に示すように、加熱溶融によりレンズ皮膜部920を形成したレンズ921では、その裾野部分921eが上凹状となってしまう。このため、レンズ921の裾野部分921eに入射した光は、光電変換部に向けて集光されないこととになる。
一方、図3(b)に示すように、加熱溶融によりレンズ皮膜部920を形成したレンズ921では、その裾野部分921eが上凹状となってしまう。このため、レンズ921の裾野部分921eに入射した光は、光電変換部に向けて集光されないこととになる。
以上より、本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法は、エッチバックによりレンズ皮膜部20を形成するので、加熱溶融によりレンズ皮膜部920を形成するとした場合に比べて、集光効率の向上が図られる。
[実施の形態2]
1.製造方法
実施の形態2に係るCCD型固体撮像装置の製造方法について、図4および図5を用い説明する。図4および図5は、本実施の形態2に係るCCD型固体撮像装置の製造方法を、工程順に示す模式断面図である。
[実施の形態2]
1.製造方法
実施の形態2に係るCCD型固体撮像装置の製造方法について、図4および図5を用い説明する。図4および図5は、本実施の形態2に係るCCD型固体撮像装置の製造方法を、工程順に示す模式断面図である。
図4(a)に示すように、シリコン基板11に対し、光電変換部12、転送部13、分離部(図示を省略。)を形成し、その上に、ゲート絶縁膜14、転送電極15、絶縁膜16、遮光膜17および絶縁膜18を順に積層する。これらについては、上記実施の形態1に係るCCD型固体撮像装置の製造方法と同じ方法を用いるので、ここでの説明を省略する。
上記実施の形態1と同様に、絶縁膜18を平坦化した後、レンズ材料となる第1レンズ材料膜690を形成する。第1レンズ材料膜690は、例えば、SiNからなり、公知のCVD法を用い形成される。なお、図4(a)に示すように、第1レンズ材料膜690の膜厚は、t31とされており、この膜厚t31は、形成しようとするレンズ高さおよびレンズ曲率などから適宜設定されるものである。
次に、図4(b)に示すように、第1レンズ材料膜690の面上であって、光電変換部12の上方に相当する箇所に、レジストパターン501を形成する。レジストパターン501も、上記同様に、公知のフォトリソグラフィー法を用い形成されるものであって、レンズ土台部を形成しようとする部分を除き開口されている(開口部501h)。
次に、図4(c)に示すように、レジストパターン501が積層された状態で、ドライエッチングを実行し、段差を有する第1レンズ材料膜691を形成する。ドライエッチングは、絶縁膜18の表面が露出するまで行うのではなく、第1レンズ材料膜691において、厚みの厚い部分691aと薄い部分691bとの高低差がt32となるように行う。高低差t32については、形成しようとするレンズ形状に応じて規定される。
次に、図4(c)に示すように、レジストパターン501が積層された状態で、ドライエッチングを実行し、段差を有する第1レンズ材料膜691を形成する。ドライエッチングは、絶縁膜18の表面が露出するまで行うのではなく、第1レンズ材料膜691において、厚みの厚い部分691aと薄い部分691bとの高低差がt32となるように行う。高低差t32については、形成しようとするレンズ形状に応じて規定される。
図4(d)に示すように、第1レンズ材料膜691における厚みの厚い部分691aの上の一部領域に対し、レジストパターン502を積層する。レジストパターン502の積層には、公知のフォトリソグラフィー法を用いることができる。
次に、レジストパターン502が積層された状態の第1レンズ材料膜691に対して、ドライエッチングを実行し、図4(e)に示すような、柱状体が二段重ねとなった形状のレンズ土台部69を形成する。なお、転送電極15の上方部分は、レンズ土台部69が開口されている(開口部69h)。
次に、レジストパターン502が積層された状態の第1レンズ材料膜691に対して、ドライエッチングを実行し、図4(e)に示すような、柱状体が二段重ねとなった形状のレンズ土台部69を形成する。なお、転送電極15の上方部分は、レンズ土台部69が開口されている(開口部69h)。
レンズ土台部69は、下段部分69bの断面サイズが、上段部分69aの断面サイズよりも大きい形状を有する。上段部分69aおよび下段部分69bは、それぞれを、例えば、4つ以上の角部を有する多角形、あるいは長円形、あるいは楕円形、あるいは円形の断面形状を有するプロファイルを採用することができ、レンズ土台部69については、互いに上記のような断面形状を有する上段部分69aと下段部分69bとの組み合わせを以って構成することができる。レンズ土台部69のプロファイルについては、後述する。
次に、図5(a)に示すように、レンズ土台部69を被覆する状態に、第2レンズ材料膜700を形成する。第2レンズ材料膜700の形成に用いる材料も、上記実施の形態1と同様に、レンズ土台部69を構成する材料と同一の組成・屈折率を有するものが用いられている。そして、第2レンズ材料膜700は、公知のCVD法を用い形成されるものであり、その膜厚t33は、上記膜厚t12と同様に、形成しようとするレンズ高さおよびレンズ曲率などから適宜設定されるものである。
なお、図5(a)に示すように、第2レンズ材料膜700の形成にあたっては、レンズ土台部69の側壁と絶縁膜18の表面とで構成される段差部分、およびレンズ土台部69における上段部分69aと下段部分69bとの間の段差部分の両方を埋め込む状態とする。
次に、第2レンズ材料膜700に対して公知のエッチバックを実行し、これによりレンズ土台部69の側壁に対してサイドウォールを形成し、図5(b)に示すように、レンズ皮膜部70を形成する。本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、二段構成のレンズ土台部69と、これを被覆するレンズ皮膜部70との積層構造を以って、上凸状(Z軸方向の上向きに凸状)のレンズ71が形成されることになる。
次に、第2レンズ材料膜700に対して公知のエッチバックを実行し、これによりレンズ土台部69の側壁に対してサイドウォールを形成し、図5(b)に示すように、レンズ皮膜部70を形成する。本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法では、二段構成のレンズ土台部69と、これを被覆するレンズ皮膜部70との積層構造を以って、上凸状(Z軸方向の上向きに凸状)のレンズ71が形成されることになる。
2.優位性
本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法でも、上記実施の形態1と同様に、エッチングにより形成したレンズ土台部69と、第2レンズ材料膜700をエッチバックして形成したレンズ皮膜部70との組み合わせを以って、上凸状のレンズ71が形成される。よって、本実施の形態に係る製造方法でも、上記従来技術に係る製造方法のように、加熱溶融によりレジストを流動させる場合に比べて、画素サイズの大小にかかわらず、光学設計上で必要となるレンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径を実現することができる。
本実施の形態に係るCCD型固体撮像装置の製造方法でも、上記実施の形態1と同様に、エッチングにより形成したレンズ土台部69と、第2レンズ材料膜700をエッチバックして形成したレンズ皮膜部70との組み合わせを以って、上凸状のレンズ71が形成される。よって、本実施の形態に係る製造方法でも、上記従来技術に係る製造方法のように、加熱溶融によりレジストを流動させる場合に比べて、画素サイズの大小にかかわらず、光学設計上で必要となるレンズ高さ、レンズ曲率およびレンズ径を実現することができる。
さらに、本実施の形態に係る製造方法では、レンズ土台部69を二段重ね構成としているので、上記実施の形態1に係る柱状のレンズ土台部19を採用する場合よりも、レンズ71のプロファイル設計において、より高い自由度を確保することができる。
3.レンズ土台部69のレイアウト
本実施の形態に係る製造方法で一例として採用するレンズ土台部69のレイアウトについて、図6(a)〜図6(c)を用い説明する。
3.レンズ土台部69のレイアウト
本実施の形態に係る製造方法で一例として採用するレンズ土台部69のレイアウトについて、図6(a)〜図6(c)を用い説明する。
図6(a)、(b)に示すように、レンズ土台部69は、これを平面視する場合、四角形断面を有する柱状体が二段重ねとなった形状を有する。図6(a)に示すように、下段部分69bは、X軸方向の辺の長さがM1であり、Y軸方向の辺の長さがM2である。そして、上段部分69aは、X軸方向の辺の長さがM3であり、Y軸方向の辺の長さがM4である。なお、長さM1〜M4の各値は、形成しようとするレンズ71の形状に応じて適宜設定することができる。
図6(a)、(b)に示すように、実施の形態2に係る製造方法で採用するレンズ土台部69については、上段部分69aと下段部分69bとが、互いのX−Y面での重心位置が一致するように設定されており、図6(c)に示すように、レンズ土台部69を要素として含むレンズ71では、垂直光が入射した場合に、最適な状態で集光されることになる。
4.レンズ土台部のレイアウトについての変形例1〜3
実施の形態2に係る製造方法で採用するレンズ土台部69の変形例1〜3について、図6(d)〜(f)および図7(a)、(b)を用い説明する。
(変形例1)
図6(d)、(e)に示すように、変形例1に係るレンズ土台部79は、上段部分79aと下段部分79bとの互いの重心位置が、X軸方向に距離Sだけずれている。レンズ土台部79における上段部分79aおよび下段部分79bは、それぞれ上記レンズ土台部69における上段部分69aおよび下段部分69bの形状と同様に、四角柱状をしている。
実施の形態2に係る製造方法で採用するレンズ土台部69の変形例1〜3について、図6(d)〜(f)および図7(a)、(b)を用い説明する。
(変形例1)
図6(d)、(e)に示すように、変形例1に係るレンズ土台部79は、上段部分79aと下段部分79bとの互いの重心位置が、X軸方向に距離Sだけずれている。レンズ土台部79における上段部分79aおよび下段部分79bは、それぞれ上記レンズ土台部69における上段部分69aおよび下段部分69bの形状と同様に、四角柱状をしている。
図6(f)に示すように、上段部分79aと下段部分79bとの互いの重心位置がX軸方向に距離Sだけずれているレンズ土台部79を採用する場合には、レンズ81への斜め入射光に対して最適な集光が行われる。
(変形例2)
図7(a)に示すように、変形例2に係るレンズ土台部89は、各々が八角形の断面形状を有する柱状体が二段重ねされた構成を有する。即ち、レンズ土台部89は、上段部分89aも下段部分89bも八角形の断面形状を有し、上段部分89aが下段部分89bに比べてサイズが相似的に小さく設定されている。
(変形例2)
図7(a)に示すように、変形例2に係るレンズ土台部89は、各々が八角形の断面形状を有する柱状体が二段重ねされた構成を有する。即ち、レンズ土台部89は、上段部分89aも下段部分89bも八角形の断面形状を有し、上段部分89aが下段部分89bに比べてサイズが相似的に小さく設定されている。
なお、上段部分89aおよび下段部分89bの各々における各辺の長さの比率などについては、形成しようとするレンズの形状に応じて適宜設定することができる。
(変形例3)
図7(b)に示すように、変形例3に係るレンズ土台部99は、各々が円形の断面形状を有する柱状体が二段重ねされた構成を有する。そして、上記レンズ土台部89と同様に、上段部分99aが下段部分99bに比べてサイズが相似的に小さく設定されている。
(変形例3)
図7(b)に示すように、変形例3に係るレンズ土台部99は、各々が円形の断面形状を有する柱状体が二段重ねされた構成を有する。そして、上記レンズ土台部89と同様に、上段部分99aが下段部分99bに比べてサイズが相似的に小さく設定されている。
本変形例に係るレンズ土台部99についても、上段部分99aおよび下段部分99bの各々の直径や高さを、形成しようとするレンズの形状に応じて適宜設定することができる。
なお、上記変形例2、3では、レンズ土台部89、99の上段部分89a、99aと下段部分89b、99bとがそれぞれ相似形状となっているが、必ずしも上下で相似形状とする必要はない。例えば、上段部分が円形断面を有する柱状体であり、下段部分が八角形断面を有する柱状体とすることもできる。
なお、上記変形例2、3では、レンズ土台部89、99の上段部分89a、99aと下段部分89b、99bとがそれぞれ相似形状となっているが、必ずしも上下で相似形状とする必要はない。例えば、上段部分が円形断面を有する柱状体であり、下段部分が八角形断面を有する柱状体とすることもできる。
また、上記変形例2、3では、上段部分89a、99aと下段部分89b、99bとの断面方向における重心位置を一致させているが、上記変形例1のように、光の入射角度に応じて互いの重心位置をずらすこともできる。
さらに、レンズ土台部の構成については、必ずしも二段重ねの構成に限定されるわけではなく、必要に応じて三段以上に柱状体を重ねた構成を採用することもできる。
さらに、レンズ土台部の構成については、必ずしも二段重ねの構成に限定されるわけではなく、必要に応じて三段以上に柱状体を重ねた構成を採用することもできる。
[その他の事項]
上記実施の形態1、2では、CCD型固体撮像装置を光学半導体装置の一例とし、その製造方法について説明したが、本発明は、CCD型固体撮像装置の製造方法に限らず、MOS型固体撮像装置や半導体レーザ装置、さらには発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)装置などの光学半導体装置の製造にも適用することができる。
上記実施の形態1、2では、CCD型固体撮像装置を光学半導体装置の一例とし、その製造方法について説明したが、本発明は、CCD型固体撮像装置の製造方法に限らず、MOS型固体撮像装置や半導体レーザ装置、さらには発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)装置などの光学半導体装置の製造にも適用することができる。
また、上記実施の形態1、2で用いた各部の材料については、適宜の変更が可能である。
また、上記実施の形態1、2では、所謂、絶縁膜18よりも内方に層内レンズを設けていないが、本発明の製造方法を以って形成されるレンズに加えて、層内レンズを形成することも勿論可能である。そして、層内レンズの形成においても、上記実施の形態1、2として説明したレンズの形成方法を適用することが可能である。
また、上記実施の形態1、2では、所謂、絶縁膜18よりも内方に層内レンズを設けていないが、本発明の製造方法を以って形成されるレンズに加えて、層内レンズを形成することも勿論可能である。そして、層内レンズの形成においても、上記実施の形態1、2として説明したレンズの形成方法を適用することが可能である。
また、上記実施の形態1、2では、主にドライエッチングを用いたが、ウェットエッチングを用いることもできる。
本発明は、画素サイズの大小にかかわらず、集光効率の高いオンチップレンズを備えることにより、高感度な光学半導体装置を実現するのに有効な技術である。
11.シリコン基板
12.光電変換部
13.転送部
14.ゲート絶縁膜
15.転送電極
16.絶縁膜
17.遮光膜
18.絶縁膜
19、29、39、49、69、79、89、99.レンズ土台部
20、70、80.レンズ皮膜部
21、71、81.レンズ
190、690、691.第1レンズ材料膜
200、700.第2レンズ材料膜
500、501、502.レジストパターン
12.光電変換部
13.転送部
14.ゲート絶縁膜
15.転送電極
16.絶縁膜
17.遮光膜
18.絶縁膜
19、29、39、49、69、79、89、99.レンズ土台部
20、70、80.レンズ皮膜部
21、71、81.レンズ
190、690、691.第1レンズ材料膜
200、700.第2レンズ材料膜
500、501、502.レジストパターン
Claims (9)
- 半導体基板の一方の主面上に絶縁膜を積層し、当該絶縁膜上にレンズを形成する光学半導体装置の製造方法であって、
前記レンズは、
前記絶縁膜の上に、透光性を有する第1のレンズ材料からなる第1レンズ材料膜を積層する工程と、
前記第1レンズ材料膜に対し、エッチングを施し、前記絶縁膜の上に立設された柱状のレンズ土台部を形成する工程と、
前記レンズ土台部における露出面を被覆する状態に、第2のレンズ材料からなる第2レンズ材料膜を積層する工程と、
前記第2レンズ材料膜に対し、その厚み方向の途中までエッチバックを実行することにより、レンズ皮膜部を形成する工程と
を経て形成される
ことを特徴とする光学半導体装置の製造方法。 - 前記レンズ土台部を形成する工程は、
前記第1レンズ材料膜の上に、前記レンズ土台部の上面形状に相当するパターンを有するレジスト膜を積層するサブ工程と、
前記レジスト膜が積層された前記第1レンズ材料膜に対し、異方性エッチングを施して、前記レジスト膜の形状を前記第1レンズ材料膜に転写することにより、前記レンズ土台部を形成するサブ工程とを備える
ことを特徴とする請求項1に記載の光学半導体装置の製造方法。 - 前記レンズ土台部を形成する工程では、
前記第1レンズ材料膜の上に、パターンを有するレジスト膜を積層するサブ工程と、
前記レジスト膜が積層された前記第1レンズ材料膜に対し、異方性エッチングを施して、前記レジスト膜の形状を転写するサブ工程とを、交互に複数回ずつ繰り返して実行し、階段状の前記レンズ土台部を形成する
ことを特徴とする請求項1に記載の光学半導体装置の製造方法。 - 前記レンズ土台部を形成する工程では、階段の上段と下段とが、前記一方の主面に沿う方向において、互いにオフセットされた状態での前記レンズ土台部を形成する
ことを特徴とする請求項3に記載の光学半導体装置の製造方法。 - 前記レンズ土台部を形成する工程では、前記一方の主面に沿う方向において、4つ以上の角部を有する多角形、あるいは長円形、あるいは楕円形あるいは円形の断面形状を有するレンズ土台部を形成する
ことを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の光学半導体装置の製造方法。 - 前記第1のレンズ材料と前記第2のレンズ材料とは、同一組成および同一屈折率を有する
ことを特徴とする請求項1から5の何れかに記載の光学半導体装置の製造方法。 - 前記第1のレンズ材料と前記第2のレンズ材料とは、ともに無機材料を主成分として含み、
前記第1レンズ材料膜を積層する工程および前記第2レンズ材料膜を積層する工程では、CVD法を用い、各々の膜の積層を実行する
ことを特徴とする請求項1から6の何れかに記載の光学半導体装置の製造方法。 - 前記第2レンズ材料膜を積層する工程では、前記レンズ土台部の側壁と前記絶縁膜の表面とで構成される段差部分を、サイドウォール形状で埋め込む状態に前記第2レンズ材料膜を積層する
ことを特徴とする請求項1から7の何れかに記載の光学半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板の内方には、前記一方の主面に沿う方向における前記レンズに対応する箇所に、光電変換素子部が形成されている
ことを特徴とする請求項1から8の何れかに記載の光学半導体装置の製造方法。
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US8384175B2 (en) | 2010-12-10 | 2013-02-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for manufacturing solid state imaging device and solid state imaging device |
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- 2008-05-07 JP JP2008121153A patent/JP2009272422A/ja active Pending
Cited By (3)
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