JP2009267207A - 信号伝送装置および信号伝送装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】信号伝送の品質を向上させることを可能にしつつ、装置全体の厚みを小さくすることができる信号伝送装置を提供する。
【解決手段】受信コイル10および送信コイル12を、SOI基板2を構成するシリコン基板5および6内に埋め込んで形成し、受信コイル10と電気的に接続される受信IC3と送信コイル12と電気的に接続される送信IC4との間において、受信コイル10および送信コイル12間の磁気結合を利用してデジタル信号の伝送を行う。
【選択図】図1
【解決手段】受信コイル10および送信コイル12を、SOI基板2を構成するシリコン基板5および6内に埋め込んで形成し、受信コイル10と電気的に接続される受信IC3と送信コイル12と電気的に接続される送信IC4との間において、受信コイル10および送信コイル12間の磁気結合を利用してデジタル信号の伝送を行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、支持基板に設けられたコイル間の磁気結合により信号伝送を行うように構成された信号伝送装置およびこの信号伝送装置の製造方法に関する。
電気的に絶縁しながらデジタル信号を伝送する手段として、コイル間の磁気結合を利用するものがある。例えば、特許文献1には、送信回路と受信回路とともコイルが配置され、磁気結合により絶縁しながらデジタル信号を伝送する構成が開示されている。このものによれば、高い周波数の信号伝達が可能になる。しかし、特許文献1に記載の構成では、リンクコアにワイヤを巻く必要があり、またベアチップICを別途用意した配線基板に実装する必要があるため、小型化および集積化が困難である。
そこで、近年では、MEMS(Micro Electro Mechanical System)と呼ばれる半導体製造プロセスを用いて信号入出力用のコイルを形成する技術が考案されている(例えば特許文献2〜4参照)。この技術では、支持基板上に導体膜により送信用および受信用コイルを形成するとともに、それらコイル間に絶縁膜を形成することにより、各コイル同士が対向した信号伝送回路を形成している。また、コイルの外周に保護リングを設けることで漏れ磁束による信号ノイズを低減したり、コイルを多層化することで各コイル間やコイルと支持基板間などにおける浮遊容量を低減している。この技術を用いれば、電気的に絶縁しながらデジタル信号を伝送する信号伝送装置を集積化することが可能となる。
特表2001−513276号公報
米国特許出願公開第2005/0230837号明細書
米国特許出願公開第2006/0028313号明細書
米国特許第6873065号明細書
上記従来技術の信号伝送装置において、信号伝送の品質(信号の伝送効率、絶縁性能など)を高めるためには、コイルの特性を向上させたり、コイル間の絶縁距離を大きくすることが必要である。しかし、このためには、コイルを形成する導体膜やコイル間に形成される絶縁膜を厚くしなければならない。このように導体膜や絶縁膜の厚さを大きくすると装置全体の厚みも大きくなってしまう。つまり、上記従来技術では、信号伝送の品質向上と装置全体の薄型化とを両立させることが困難であった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、信号伝送の品質を向上させることを可能にしつつ、装置全体の厚みを小さくすることができる信号伝送装置およびこの信号伝送装置の製造方法を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の信号伝送装置は、溝部が両面に対向して形成された支持基板と、前記対向した溝部内にそれぞれ埋め込まれた導電材料により形成された第1および第2コイルと、前記第1コイルと電気的に接続される受信回路と、前記第2コイルと電気的に接続される送信回路とを備え、前記受信回路および送信回路は、前記第1および第2コイル間の磁気結合により信号伝送を行うように構成されていることを特徴とする。
また、本発明の信号伝送装置の製造方法は、支持基板の両面にそれぞれが対向した溝部を形成する工程と、前記支持基板の対向した溝部内にそれぞれ導電材料を埋め込むことにより第1および第2コイルを形成する工程とを備えていることを特徴とする。
本発明によれば、第1および第2コイルを厚く形成して各コイル間の磁気結合による信号の伝送効率を向上させても、各コイルは支持基板に形成された溝部内に埋め込まれているので装置全体の厚さを小さくできる。
(第1の実施形態)
以下、本発明の第1の実施形態について図1〜図4を参照しながら説明する。
図1および図2は、MEMS技術を用いて形成されたコイル間の磁気結合により信号伝送を行う信号伝送装置の構成を概略的に示している。図2は上面図であり、図1は図2のA領域の斜視図を示しており、特にコイル部分の断面をも示している。図1に示すように、信号伝送装置1は、支持基板としてのSOI(Silicon On Insulator)基板2と、そのSOI基板2の両面(図1における上面および下面)に配置された受信IC3および送信IC4とを備えている。
以下、本発明の第1の実施形態について図1〜図4を参照しながら説明する。
図1および図2は、MEMS技術を用いて形成されたコイル間の磁気結合により信号伝送を行う信号伝送装置の構成を概略的に示している。図2は上面図であり、図1は図2のA領域の斜視図を示しており、特にコイル部分の断面をも示している。図1に示すように、信号伝送装置1は、支持基板としてのSOI(Silicon On Insulator)基板2と、そのSOI基板2の両面(図1における上面および下面)に配置された受信IC3および送信IC4とを備えている。
SOI基板2は、2つのシリコン基板(Si基板)5、6の間に絶縁膜7(シリコン酸化膜、SiO2)が挿入された構造のものである。本実施形態の信号伝送装置1は、このSOI基板2の絶縁膜7を挟んで、図1における上側に受信部8が形成され、図1における下側に送信部9が形成されている。
受信部8は、シリコン基板5の第1溝部5b内に埋め込まれた受信コイル10と、シリコン基板5の上面を覆うように形成された軟磁性体膜11と、この軟磁性体膜11の上に配置された受信IC3とを備えて構成されている。送信部9は、シリコン基板6の第2溝部6b内に埋め込まれた送信コイル12と、シリコン基板6の下面を覆うように形成された軟磁性体膜13と、この軟磁性体膜13の下に配置された送信IC4とを備えて構成されている。また、第1溝部5bと第2溝部6bとは、互いに対向するように位置している。これにより、受信コイル10(第1コイルに相当)と送信コイル12(第2コイルに相当)とは絶縁膜7を挟んで互いに対向するように位置している。
図2に破線で示すように、シリコン基板5中に設けられた受信コイル10は、上面から見た形状つまり平面形状が渦巻き状(例えば矩形渦巻き状)をなしている。また、図示しないが、送信コイル12は、受信コイル10と同様の形状をなしている。これら受信コイル10および送信コイル12の巻数は、例えば1〜数10ターンとしている。なお、対向する各コイル10、12間を磁束が通過でき、受信コイル10に数10mV程度の誘起電圧が発生すれば、受信コイル10および送信コイル12の平面形状を、矩形枠状、渦巻き状またはそれらの組み合わせ形状などにしてもよい。
受信IC3の裏面(図1における下側の面)には、受信コイル10の両端(貫通電極14、15)と接続するための接続電極20、21が設けられている。また、送信ICの裏面(図1における上側の面)には、送信コイル12の両端(貫通電極16、17)と接続するための接続電極22、23が設けられている。
次に、上記構成の製造方法について図3を参照しながら説明する。
図3(a)〜(f)は、図2のB−B線に沿う断面を示している。まず、支持基板としてのSOI基板2を用意する(図3(a)参照)。このSOI基板2の厚さは、例えば500μmである。また、絶縁膜7の厚さは、受信コイル10および送信コイル12間における信号伝送効率や絶縁耐圧などに応じて設定されるものであり、例えば数10μmである。なお、これらの厚さは、信号伝送装置1の仕様に応じて適宜変更すればよい。
図3(a)〜(f)は、図2のB−B線に沿う断面を示している。まず、支持基板としてのSOI基板2を用意する(図3(a)参照)。このSOI基板2の厚さは、例えば500μmである。また、絶縁膜7の厚さは、受信コイル10および送信コイル12間における信号伝送効率や絶縁耐圧などに応じて設定されるものであり、例えば数10μmである。なお、これらの厚さは、信号伝送装置1の仕様に応じて適宜変更すればよい。
続いて、図3(b)に示すように、シリコン基板5の図3における上面(第1主面5a)側から絶縁膜7の上面上まで深堀するともに、シリコン基板6の図3における下面(第2主面6a)側から絶縁膜7の下面上まで深堀する。これにより、シリコン基板5およびシリコン基板6にそれぞれが対向した第1溝部5bおよび第2溝部6b(いずれも溝部に相当)が形成される。これら第1溝部5bおよび第2溝部6bの平面形状は、後の工程にて形成する受信コイル10および送信コイル12の平面形状を渦巻き状にするために、同様の渦巻き形状となっている。
また、深堀の方法としては、半導体ウエットプロセス(ウエットエッチング)を用いてもよいし、RIE(Reactive Ion Etching)のような半導体ドライプロセス(ドライエッチング)を用いてもよい。ウエットエッチングの場合、アスペクト比の高い溝を形成することはできないため、深堀する溝の幅を数10μm程度とすると、その高さ(深さ)は100μm程度となるが、第1溝部5bと第2溝部6bとを同時に形成することができる。これに対し、ドライエッチングの場合、深堀する溝の幅を数μm(5μm)程度とすると、その高さ(深さ)を200μm程度とすることができる。すなわち、ドライプロセスを用いれば、第1溝部5bおよび第2溝部6bのアスペクト比を高めることができる。ただし、この場合、第1溝部5bおよび第2溝部6bのうちいずれか一方を形成した後、他方を形成することになる。
続いて、図3(c)に示すように、銅、アルミ、金などの導電性材料を用いてスパッタ、蒸着またはメッキ法により、受信コイル10および送信コイル12をそれぞれ第1溝部5b内および第2溝部6b内に埋め込むように形成する。なお、各コイル10、12を形成する工程は、それぞれ別工程で行ってもよいし、同一工程で行ってもよい。同一工程で行えばその分の製造工程が削減されることになる。また、各コイル10、12を形成する前に、熱酸化等の製造プロセスを施し、第1溝部5bおよび第2溝部6bを含むシリコン基板5および6の表面に絶縁膜(SiO2)を形成することが望ましい。これにより、信号伝送装置1における浮遊容量成分が低減される。
また、受信コイル10の表面(図1における上側の面)および送信コイル12の表面(図1における下側の面)に絶縁膜を形成してもよい。その場合、この絶縁膜は、例えば酸化シリコン、窒化シリコンなどをスパッタ法やCVD法で成膜したり、あるいはポリイミドなどの有機膜をスピンコートや蒸着法を用いて成膜すればよい。このような絶縁膜を設ければ、受信コイル10および送信コイル12の機械的な保護や絶縁耐圧の向上が期待できる。
続いて、図3(d)に示すように、各コイル10、12が形成されたSOI基板2の第1主面5a側および第2主面6a側を覆うように軟磁性体膜11、13(いずれも軟磁性体に相当)を形成する。軟磁性体膜11、13の材質は、フェライト、鉄・シリコン、鉄・シリコン・アルミニウム合金(センダスト)、ニッケル・鉄合金(パーマロイ)、鉄基やコバルト基のアモルファス合金などであり、スパッタ、蒸着またはメッキ法により形成する。軟磁性体膜11、13の膜厚は、磁束が通過する際に磁気飽和を生じない程度の厚さに設定するのが望ましい。本実施形態では、例えば数10〜数100μmとしている。また、シリコン基板5、6と軟磁性体膜11、13との間に、それらの密着性の向上および軟磁性体膜11、13の拡散防止のため、数10nm程度の非導電性の密着向上膜を形成するのが望ましい。
続いて、図3(e)に示すように、受信コイル10の巻き始めである一端10aと、巻き終わりである他端10bとから軟磁性体膜11を貫通して表面に露出する貫通電極14、15を形成する。また、送信コイル12の巻き始めである一端12aと、巻き終わりである他端12bとから軟磁性体膜13を貫通して表面に露出する貫通電極16、17を形成する。これら貫通電極14〜17は、各コイル10、12と同様の材料を用いて同様の方法により形成する。このような構成により、各コイル10、12の両端電極をSOI基板2の表面に取り出すようにしている。
続いて、図3(f)に示すように、受信回路(図4に符号18を付して示す)を備えた受信IC3をSOI基板2の第1主面5a側に実装し、送信回路(図4に符号19を付して示す)を備えた送信IC4をSOI基板2の第2主面6a側に実装する。これら受信IC3および送信IC4は、それぞれ受信コイル10および送信コイル12の構成領域と平面的に同一の領域に配置される。
このとき、受信IC3の裏面に設けられた接続電極20、21と、受信コイル10の両端(貫通電極14、15)とが電気的に接続される。また、送信ICの裏面に設けられた接続電極22、23と、送信コイル12の両端(貫通電極16、17)とが電気的に接続される。これら電極間の接続は、例えばはんだなどを用いて行われる。その後、図示しないが、エポキシ樹脂などの外装材により射出成型して全体を覆うようにパッケージすることにより信号伝送装置1が形成される。
図4は、受信部8および送信部9の電気的構成を示している。この図4に示すように、受信部8は、受信回路18および受信コイル10から構成され、送信部9は、送信回路19および送信コイル12から構成されている。送信回路19は、複数のバッファ(図示せず)から構成されており、電源端子Vddおよび電源端子Vssを介して電源の供給を受けて動作する。送信回路19は、入力端子INを介して入力されるデジタル信号に応じて送信コイル12への通電を行うようになっている。
受信回路18は、複数の抵抗および複数のバッファ(いずれも図示せず)から構成されており、電源端子Vccおよびグランド端子Gndを介して電源の供給を受けて動作する。受信回路18は、受信コイル10に流れる電流を電圧に変換するとともに後段の回路(例えば図示しない制御回路)の規定入力範囲内のレベルに変換したデジタル信号を出力端子OUTから出力する。
次に、本実施形態の作用および効果について説明する。
送信回路19の入力端子INにデジタル信号が与えられると、送信コイル12に電流が流れる。これにより、送信コイル12の周囲に磁界が発生し、送信コイル12と対向して位置する受信コイル10に磁束が鎖交し、受信コイル10に誘起電圧が発生する。受信回路18は、受信コイル10に発生した誘起電圧に応じたデジタル信号を出力端子OUTから出力する。このように、送信回路19と受信回路18との間において、送信コイル12および受信コイル10の磁気結合を利用してデジタル信号の伝送が行われる。
送信回路19の入力端子INにデジタル信号が与えられると、送信コイル12に電流が流れる。これにより、送信コイル12の周囲に磁界が発生し、送信コイル12と対向して位置する受信コイル10に磁束が鎖交し、受信コイル10に誘起電圧が発生する。受信回路18は、受信コイル10に発生した誘起電圧に応じたデジタル信号を出力端子OUTから出力する。このように、送信回路19と受信回路18との間において、送信コイル12および受信コイル10の磁気結合を利用してデジタル信号の伝送が行われる。
上記したデジタル信号の伝送効率を高めるためには、受信コイル10および送信コイル12の深さ方向(図1における上下方向)の長さ(厚み)を大きくする必要がある。本実施形態の信号伝送装置1は、これら受信コイル10および送信コイル12を、SOI基板2を構成するシリコン基板5および6内に埋め込んで形成した。従って、各コイル10、12の厚みを大きくして信号伝送効率(信号伝送の品質)を高めた場合でも、信号伝送装置1の厚さが大きくなってしまうことを抑制できる。
各コイル10、12が形成されたSOI基板2の第1主面5aおよび第2主面6aを覆うように軟磁性体膜11、13を形成したので、信号伝送時における漏れ磁束を低減することができる。従って、送信コイル12により発生した磁束が受信コイル10に効率よく鎖交することになる。これにより、磁気結合特性を向上させるとともに、外来ノイズの影響を受けにくくすることができる。また、磁気結合特性の向上により、受信コイル10および送信コイル12のターン数を減らすことも可能となる。
受信IC3をSOI基板2の第1主面5a側の受信コイル10の構成領域と平面的に同一の領域に配置し、送信IC4を第2主面6a側の送信コイル12の構成領域と平面的に同一の領域に配置した。これにより、SOI基板2が平面方向に大きくなることを抑制でき、信号伝送装置1が平面方向に大きくなることを抑制できる。
支持基板としてシリコン基板5、6間に絶縁膜7が挿入された構造のSOI基板2を用い、その絶縁膜7を挟んでそれぞれが対向するように受信コイル10および送信コイル12を配置した。これにより、支持基板上にコイル、絶縁膜およびコイルを順に積層形成することなく、信号伝送装置を構成することができる。また、絶縁膜7の厚さにより、受信コイル10と送信コイル12との間の絶縁距離が決定されるので、使用するSOI基板2の厚さ(ウエハの厚さ)を調整するだけで、上記絶縁距離を調整することができる。
受信コイル10を埋め込むための第1溝部5bをシリコン基板5の第1主面5a側から絶縁膜7の上面上まで貫通するように設け、送信コイル12を埋め込むための第2溝部6bをシリコン基板6の第2主面6a側から絶縁膜7の下面上まで貫通するように設けた。このような構成において、シリコン基板5、6と絶縁膜7との間で高選択性のあるエッチング条件を用いてシリコン基板5、6をエッチングすれば、第1溝部5bおよび第2溝部6bの高さ調整を容易に行うことができる。また、ウエットエッチングを用いれば、第1溝部5bおよび第2溝部6bを同一工程にて形成することができ、その分の製造工程を削減することができる。
(第2の実施形態)
以下、本発明の第2の実施形態について図5を参照しながら説明する。
本実施形態では、第1の実施形態に対して支持基板を変更した場合について説明する。図5は、第1の実施形態における図1に相当する図であり、第1の実施形態と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
以下、本発明の第2の実施形態について図5を参照しながら説明する。
本実施形態では、第1の実施形態に対して支持基板を変更した場合について説明する。図5は、第1の実施形態における図1に相当する図であり、第1の実施形態と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
図5に示すように、本実施形態の信号伝送装置31は、支持基板としてガラス基板32(絶縁基板)を用いて構成されている。なお、支持基板は、非磁性体で構成されていればよい。また、この構成の製造方法については、溝部の形成工程のみ第1の実施形態とは若干異なる。すなわち、ガラス基板32を深堀して溝部を形成する工程では、エッチング時間を調整することにより、各溝部間の距離が必要とする絶縁距離となるように溝部を形成する。これにより、受信コイル10と送信コイル12との間の絶縁距離、つまり絶縁耐圧が決定されるようになっている。
上記構成によれば、支持基板としてガラス基板32を用いたので、SOI基板2を用いた第1の実施形態と比べて、寄生容量が低減する効果が得られる。また、受信コイル10と送信コイル12との間の絶縁距離(絶縁耐圧)を、ガラス基板32を深堀する深さを調整することで自由に設定できる。さらに、SOI基板2に比べて安価なガラス基板32を用いることで、装置の製造コスト低減に寄与できる。
磁気結合特性を向上させるためには、受信コイル10と送信コイル12とを対向して配置するための位置合わせの精度を高める必要がある。本実施形態では、透明なガラス基板32を用いたので、各製造工程(溝部の形成工程、コイルの形成工程)において、上記位置合わせを容易に行うことができる。
(その他の実施形態)
なお、本発明は上記し且つ図面に記載した各実施形態に限定されるものではなく、次のような変形又は拡張が可能である。
第1の実施形態において、絶縁膜7は必要に応じて設ければよい。この場合、第1溝部5bおよび第2溝部6bの深さ調整は、エッチング時間を調整することにより行えばよ
受信IC3は、受信コイル10の構成領域と平面的に同一の領域に構成されていなくてもよい。また、送信IC4は、送信コイル12の構成領域と平面的に同一の領域に構成されていなくてもよい。この場合、受信IC3と受信コイル10、送信IC4と送信コイル12の電気的接続を行う方法として、半導体製造の後工程における金やアルミなどのワイヤによるワイヤボンディング法を用いればよい。
受信コイル10および送信コイル12の磁気結合特性が良好であれば、軟磁性体膜11および13を設けなくてもよい。
なお、本発明は上記し且つ図面に記載した各実施形態に限定されるものではなく、次のような変形又は拡張が可能である。
第1の実施形態において、絶縁膜7は必要に応じて設ければよい。この場合、第1溝部5bおよび第2溝部6bの深さ調整は、エッチング時間を調整することにより行えばよ
受信IC3は、受信コイル10の構成領域と平面的に同一の領域に構成されていなくてもよい。また、送信IC4は、送信コイル12の構成領域と平面的に同一の領域に構成されていなくてもよい。この場合、受信IC3と受信コイル10、送信IC4と送信コイル12の電気的接続を行う方法として、半導体製造の後工程における金やアルミなどのワイヤによるワイヤボンディング法を用いればよい。
受信コイル10および送信コイル12の磁気結合特性が良好であれば、軟磁性体膜11および13を設けなくてもよい。
図面中、1は信号伝送装置、2はSOI基板(支持基板)、5、6はシリコン基板、5aは第1主面、5bは第1溝部(溝部)、6aは第2主面、6bは第2溝部(溝部)、7は絶縁膜、10は受信コイル(第1コイル)、11、13は軟磁性体膜(軟磁性体)、12は送信コイル(第2コイル)、18は受信回路、19は送信回路、31は信号伝送装置、32はガラス基板(支持基板)を示す。
Claims (14)
- 溝部が両面に対向して形成された支持基板と、
前記対向した溝部内にそれぞれ埋め込まれた導電材料により形成された第1および第2コイルと、
前記第1コイルと電気的に接続される受信回路と、
前記第2コイルと電気的に接続される送信回路とを備え、
前記受信回路および送信回路は、前記第1および第2コイル間の磁気結合により信号伝送を行うように構成されていることを特徴とする信号伝送装置。 - 前記支持基板の両面に前記第1および第2コイルを覆うように設けられた軟磁性体を備えていることを特徴とする請求項1記載の信号伝送装置。
- 前記受信回路は、前記第1コイルの構成領域と平面的に同一の領域に構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の信号伝送装置。
- 前記送信回路は、前記第2コイルの構成領域と平面的に同一の領域に構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の信号伝送装置。
- 前記支持基板は、シリコン基板中に絶縁膜が形成されたSOI基板であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の信号伝送装置。
- 前記支持基板は、その溝部が前記シリコン基板の第1主面側から前記シリコン基板中の絶縁膜の上面上まで貫通した第1溝部と前記シリコン基板の第1主面の反対面となる第2主面側から前記シリコン基板中の絶縁膜の下面上まで貫通した第2溝部を含んで構成され、
前記第1コイルは、前記第1溝部内に埋め込まれ、
前記第2コイルは、前記第2溝部内に埋め込まれていることを特徴とする請求項5記載の信号伝送装置。 - 前記支持基板は、ガラス基板であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の信号伝送装置。
- 請求項1記載の信号伝送装置を製造する方法であって、
支持基板の両面にそれぞれが対向した溝部を形成する工程と、
前記支持基板の対向した溝部内にそれぞれ導電材料を埋め込むことにより第1および第2コイルを形成する工程とを備えていることを特徴とする信号伝送装置の製造方法。 - 前記支持基板の両面に前記第1および第2コイルを覆うように軟磁性体を形成する工程を備えていることを特徴とする請求項8記載の信号伝送装置の製造方法。
- 前記第1コイルと電気的に接続される受信回路を、当該第1コイルの構成領域と平面的に同一の領域に形成する工程を備えていることを特徴とする請求項8または9記載の信号伝送装置の製造方法。
- 前記第2コイルと電気的に接続される送信回路を、当該第2コイルの構成領域と平面的に同一の領域に形成する工程を備えていることを特徴とする請求項8ないし10のいずれかに記載の信号伝送装置の製造方法。
- 前記支持基板がシリコン基板中に絶縁膜が形成されたSOI基板であり、
前記溝部を形成する工程は、前記支持基板の第1主面側から前記シリコン基板中の絶縁膜の上面上まで貫通した第1溝部を形成する工程と、前記支持基板の第1主面の反対面となる第2主面側から前記シリコン基板中の絶縁膜の下面上まで貫通した第2溝部を形成する工程とを含み、
前記第1および第2コイルを形成する工程では、前記第1溝部内に導電材料を埋め込むことにより第1コイルを形成し、前記第2溝部内に導電材料を埋め込むことにより第2コイルを形成することを特徴とする請求項8ないし11のいずれかに記載の信号伝送装置の製造方法。 - 前記対向した溝部を形成する工程は、同一工程にて行われることを特徴とする請求項8ないし12のいずれかに記載の信号伝送装置の製造方法。
- 前記第1および第2コイルを形成する工程は、同一工程にて行われることを特徴とする請求項8ないし13のいずれかに記載の信号伝送装置の製造方法。
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JP2008116908A JP2009267207A (ja) | 2008-04-28 | 2008-04-28 | 信号伝送装置および信号伝送装置の製造方法 |
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JP2011171405A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Yazaki Corp | コネクタ |
WO2011111168A1 (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-15 | トヨタ自動車株式会社 | 信号伝達装置 |
KR101773017B1 (ko) * | 2016-01-28 | 2017-08-31 | 주식회사 에스에프에이반도체 | Tsv를 이용한 vcm의 코일 제조방법 및 그에 의해 제조된 코일 |
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2008
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