JP2009259953A - 窒化物半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n型窒化物半導体からなる第1の層と、p型窒化物半導体からなる第2の層と、第1の層と第2の層との間に設けられる、AlGaInNからなる井戸層と、AlGaInNからなる障壁層とにより構成される多重量子井戸構造の発光層とを少なくとも備える窒化物半導体レーザ素子であって、井戸層および障壁層の少なくともいずれか一方に、GaNからなる補償層を1層以上含むことを特徴とする窒化物半導体レーザ素子に関する。
【選択図】図3
Description
上記井戸層に補償層を含む場合は、井戸層全体におけるIn組成比が8%以上であることが好ましい。
本発明の代表的な窒化物半導体レーザ素子の構造を図1に示す。図1(a)は窒化物半導体レーザ素子の断面構造を示し、図1(b)はその発光層の断面構造を示すものであり、図1(c)は窒化物半導体レーザ素子の斜視図である。
本発明における多重量子井戸活性層(単に活性層または発光層という)は、上記第1の層と第2の層との間に設けられ、AlGaInNからなる井戸層とAlGaInNからなる障壁層とにより構成される多重量子井戸構造を有する層である。
本発明の窒化物半導体レーザ素子においては、上記障壁層および上記井戸層の少なくともいずれか一方に補償層を導入する。補償層はGaNからなる層であり、たとえば、当該組成を有する層を井戸層に導入した場合、井戸層内のキャリアは補償層をトンネル効果により通過することが可能であるため、井戸層全体として結合量子井戸とみなすことができる。そして、トンネル効果により結合が強固であるため、井戸層における量子準位は補償層の有無にかかわらずほとんど変化しないものとすることができる。また、障壁層についても同様に、補償層を設けた場合においても障壁層全体として結合量子井戸とみなすことができ、補償層の有無にかかわらず量子準位がほとんど変化しないものとすることができる。このように、発光層に補償層を導入した構造とすることで、405nm以上の波長域で必要となる高いIn組成比を有する多重量子井戸活性層を高品質で作製することができるようになる。また、その結果、高出力かつ長期間にわたって安定動作する窒化物半導体レーザ素子を提供することが可能となる。
絶縁膜は電流狭窄のために設けられ、本発明における絶縁膜としては、たとえば、たとえばSiO2やZrO2からなる絶縁膜を用いることができる。
本発明の窒化物半導体レーザ素子に適用されるAR(Anti Reflection)コート膜としては、特に限定されるものではなく、従来公知のコート膜を採用することができる。具体的には、たとえばAl2O3からなる膜を例示することができる。
本発明の窒化物半導体レーザ素子に適用されるHR(High Reflection)コート膜についても、特に限定されるものではなく、従来公知のコート膜を適宜用いればよい。たとえば、SiO2およびTiO2からなる積層構造を有する膜を用いることができる。なお、積層構造を、SiO2/TiO2のように表記し、SiO2が最下層であることを示すものとする。
本発明の窒化物半導体レーザ素子における素子構造積層体は、従来公知の結晶成長により形成することができる。
本発明の第1の実施形態について図面を参照して説明する。まず、図1(a)〜(c)に示すレーザ素子の詳細を説明する。
熱処理後の試料の一部を切り出してオージェ電子分光(AES)により活性層のIn濃度を測定したところ、図3に示すデプスプロファイルが得られた。
以上の手法で結晶成長した試料を、通常のプロセスを経てチップ分割し、ステムにマウントして、光出力200mW、80℃の条下で寿命試験したところ、井戸層におけるGaN補償層105cが1層の素子で5000時間以上、2層の素子で6000時間以上、3層の素子で6500時間以上の寿命が得られた。発振波長は、すべての素子で405nmであった。ここで、寿命は、駆動電流が初期値の1.3倍に達するまでの時間である。補償層の数に応じて寿命が延びる理由は、井戸層の層厚方向の組成変動が補償層の数に応じて低減するためであると考えられる。一方、従来素子では、同一条件下で3000時間以下の寿命に止まった。これは、Inのデプスプロファイルに示されるように、井戸層の厚さ方向に組成変動が存在するため、井戸層の上方で過剰Inを起源とする非発光中心が生じ、発生した熱の影響を受けて劣化が進んだためと考えられる。
上述の手順により結晶成長させ製作した、井戸層を均等に2分する位置に補償層を導入した本発明の窒素化物半導体レーザ素子と、従来構造の素子とについて欠陥密度の評価を行なった。井戸層内の補償層は、上記第3の実施形態と同様に井戸層を均等に2分する位置に導入した。欠陥密度は、熱リン酸系エッチング溶液によるEPD(エッチピットを走査型電子顕微鏡を用いてカウントし、単位面積当たりの密度を計算する)で評価した。
第1の実施形態と同様の手法で、図5(a)〜(c)のエネルギーバンドの図に示すように、障壁層におけるGaN補償層105dを1層、2層、3層をそれぞれ導入して3種の素子を作製した。
本実施形態では、井戸層中に導入する補償層の層厚を0.5nmから3nmまで変化させ、それぞれの寿命を確認した。
Claims (5)
- n型窒化物半導体からなる第1の層と、p型窒化物半導体からなる第2の層と、前記第1の層と前記第2の層との間に設けられる、AlGaInNからなる井戸層およびAlGaInNからなる障壁層により構成される多重量子井戸構造の発光層とを少なくとも備える窒化物半導体レーザ素子であって、
前記井戸層および前記障壁層の少なくともいずれか一方に、GaNからなる補償層を1層以上含むことを特徴とする窒化物半導体レーザ素子。 - 前記補償層は、その厚さが1.5nm以下である請求項1に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 前記井戸層は、前記補償層を含み、該井戸層全体におけるIn組成比が8%以上である請求項1に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 前記井戸層におけるInは、その組成が層厚方向において一定である請求項1に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 前記井戸層は、前記補償層を含み、該井戸層における欠陥密度が5.0×104cm-2以下である請求項1に記載の窒化物半導体レーザ素子。
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