JP2009257949A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカード1は、開口部22を有するメイン基板2と、複数のコンタクトプローブ31が形成され、メイン基板2に対し上下動可能なコンタクトユニット3と、メイン基板2に固着され、上記コンタクトユニットが所定位置よりも下に移動しないようにコンタクトユニット3を受け止めるストッパ4と、上記メイン基板と上記コンタクトユニットとの間に取り付けられ、上記コンタクトユニットを上記メイン基板から離れる方向に付勢する弾性ユニットとを備える。弾性ユニット5は記メイン基板の上記開口部を通して取り外し可能に構成されている。コンタクトユニット3をメイン基板2から取り外すことなく、弾性ユニット5をメイン基板2から取り外すだけでコイルばね6の交換を行うことができる。
【選択図】 図2
Description
以下、本発明にかかるプローブカードの実施の形態1について図面に基づいて説明する。図1は、本発明の実施の形態によるプローブカード1の一例を示した外観図であり、上方から見た図を示している。図2は、プローブカード1の概略断面図が示されている。
上記実施の形態1では、弾性ユニット5は、コイルばね6と、ばね受け51と、固定板52と、固定ネジ53と、ばね受け位置調整ネジ54と、ばね受固定ネジ55とにより構成し、ばね受固定ネジ55の先端面をばね受け51に当接させることにより、ばね受け51が上方向に移動するのを阻止するにした。
2 メイン基板
21 外部端子
22 開口部
23 コネクタ
3 コンタクトユニット
31 コンタクトプローブ
32 コンタクト基板
33 バッキングプレート
34 ガイド板
34a ガイド孔
34b 突出部
34c 円形凹部
34d ネジ穴
4 ストッパ
41 固定ネジ
42 スペーサ
43 支持部材
5 弾性ユニット
51 ばね受け
51a 円形凹部
51b 貫通孔
51c ネジ受け穴
52 固定板
52a 開口部
52b 挿通孔
52c ネジ孔
52d 蓋部材
53 固定ネジ
54 ばね受け位置調整ネジ
55 ばね受固定ネジ
56 荷重センサ
56a 軸部
57 支持部
6 コイルばね
7 補強板
71 開口部
72 段部
73 ネジ穴
8 ストッパ固定部材
81 開口部
82 ネジ穴
9 フレキシブル基板
91 コネクタ
Claims (4)
- 貫通する開口部を有するメイン基板と、
複数のコンタクトプローブが形成され、上記メイン基板に対し上下動可能なコンタクトユニットと、
上記メイン基板に固着され、上記コンタクトユニットが所定位置よりも下に移動しないように上記コンタクトユニットを受け止めるストッパと、
上記メイン基板と上記コンタクトユニットとの間に取り付けられ、上記コンタクトユニットを上記メイン基板から離れる方向に付勢する弾性ユニットとを備え、
上記弾性ユニットが上記メイン基板の上記開口部を通して取り外し可能に構成されていることを特徴とするプローブカード。 - 上記弾性ユニットが、上記コンタクトユニットを付勢する弾性部材、弾性部材受け部、及び、上記弾性部材の付勢力を調整する付勢力調整手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 上記付勢力調整手段は、上記弾性部材受け部における上記弾性部材が圧接する面の上記メイン基板に対する上下方向位置を調整可能としていることを特徴とする請求項2に記載のプローブカード。
- 上記弾性部材は、コイルばねからなり、
上記弾性部材受け部は、
上記コイルばねの一端が圧接する圧接面と、貫通孔とを有し、上記メイン基板の上記開口部内において上下動可能な板状のばね受けと、
一端部に上記ばね受けの上面と当接するフランジ部を有し、上記貫通孔に挿通されるばね受け位置調整ネジとを有しており、
上記コンタクトユニットは、
上記コイルばねの他端が圧接する圧接面上に、上記ばね受け位置調整ネジと螺合するネジ穴が形成されており、
上記ばね受け位置調整ネジと上記ネジ穴により上記付勢力調整手段を構成していることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のプローブカード。
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2008
- 2008-04-17 JP JP2008107755A patent/JP5406464B2/ja active Active
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JP5406464B2 (ja) | 2014-02-05 |
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