JP2009249657A - 薄膜成膜用金属焼結多孔質部材およびその製造方法。 - Google Patents
薄膜成膜用金属焼結多孔質部材およびその製造方法。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】金属焼結多孔質体表面に薄膜を形成する製造方法において、金属粉末を焼結させて得た金属焼結多孔質体の表面を平滑に仕上げた後、その平滑面に皮膜を形成し一体化させる薄膜成膜用金属焼結多孔質部材の製造方法。また、上記金属焼結多孔質体の一表面を、表面粗さ(Ra)が0.5μm以下になるまで平滑に仕上げる薄膜成膜用金属焼結多孔質部材の製造方法。
【選択図】図1
Description
(1)金属焼結多孔質体表面に薄膜を形成する製造方法において、金属粉末を焼結させて得た金属焼結多孔質体の表面を平滑に仕上げた後、その平滑面に皮膜を形成し一体化させることを特徴とする多孔質部材の製造方法。
(3)前記(1)または(2)に記載の金属焼結多孔質体が平均粒径で5μm以上50μm以下の金属粉末を焼結したものであることを特徴とする薄膜成膜用金属焼結多孔質部材の製造方法。
(5)前記(1)〜(4)のいずれか(1)に記載の平滑面に形成する皮膜が水素分離膜であることを特徴とする成膜用金属焼結多孔質部材にある。
本発明に係る薄膜支持体材質はセラミックスではなくコストや機械加工特性に優れた金属焼結体を用いる。その材質としては、ステンレス等の高Cr含有鋼、高Ni含有鋼が望ましく、700℃以下の動作温度の燃料電池電極や水素精製、製造設備であれば、セラミックスやサーメットを使用しなくとも適用でき、それらに比べて安価で熱疲労耐久性に優れているからである。ただ、上記効果が得られるものであれば、ステンレス鋼、高Ni含有鋼なる金属に限定するものでなく、その効果を同一とするものであれば使用可能である。
表1に示す各種基板材をガスアトマイズないしは水アトマイズ法により粒径20μmの金属粉末を得る。この金属粉末をセラミック型に充填して1000℃以上で焼結してφ25×1mmのコイン状とした各種基板を得る。本実施例では焼結温度を1050℃とし、焼結度は60〜80%に制御している。得られた基板に、湿式研磨およびバフ研磨によりRaが0.5μm以下になるよう平滑仕上げを施した。
2 成膜面
3 基板
4 大気出口
5 圧力計
特許出願人 山陽特殊製鋼株式会社
代理人 弁理士 椎 名 彊
Claims (5)
- 金属焼結多孔質体表面に薄膜を形成する製造方法において、金属粉末を焼結させて得た金属焼結多孔質体の表面を平滑に仕上げた後、その平滑面に皮膜を形成し一体化させることを特徴とする多孔質部材の製造方法。
- 請求項1に記載の金属焼結多孔質体の一表面を、表面粗さ(Ra)が0.5μm以下になるまで平滑に仕上げることを特徴とする薄膜成膜用金属焼結多孔質部材の製造方法。
- 請求項1または2に記載の金属焼結多孔質体が平均粒径で5μm以上50μm以下の金属粉末を焼結したものであることを特徴とする薄膜成膜用金属焼結多孔質部材の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の金属焼結多孔質体が焼結率で30%以上95%以下の金属焼結多孔質体であることを特徴とする薄膜成膜用金属焼結多孔質部材の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の平滑面に形成する皮膜が水素分離膜であることを特徴とする成膜用金属焼結多孔質部材。
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Cited By (1)
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WO2020256394A1 (ko) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 주식회사 엘지화학 | 복합재의 제조 방법 및 복합재 |
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2008
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