JP2009246484A - バーニア遅延回路、それを用いた時間デジタル変換器および試験装置 - Google Patents

バーニア遅延回路、それを用いた時間デジタル変換器および試験装置 Download PDF

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Abstract

【課題】高精度にキャリブレーションが可能なバーニア遅延回路を提供する。
【解決手段】リングオシレータ10は、入力されたバイアス信号SbiasGに応じた周波数で発振する。バイアス信号調節部12は、リングオシレータ10の発振周波数が、所定の基準周波数と一致するように、帰還によりリングオシレータ10に対するバイアス信号SbiasGを生成する。個別バイアス回路14は、N個の第2可変遅延素子D2〜D2ごとに設けられた複数のバイアス回路BIAS〜BIASを備える。各バイアス回路BIAS〜BIASは、バイアス信号Sbias2A〜Sbias2Aを個別に調節可能に構成される。
【選択図】図2

Description

本発明は、バーニア遅延回路に関し、特に遅延時間を調節する技術に関する。
第1の信号(以下、スタート信号という)と第2の信号(ストップ信号)の遷移タイミングの時間差をデジタル値に変換する時間デジタル変換器(Time to Digital Converter、以下TDCという)が知られている。高時間分解能を有するTDCとして、バーニア遅延回路を利用した方式が提案されている。
図1は、バーニア遅延回路200を用いたTDC300の構成を示す図である。TDC300は、バーニア遅延回路200と、プライオリティエンコーダ100を備える。バーニア遅延回路200は、スタート信号Sstartとストップ信号Sstopを受け、時間差に応じた位置でビットが変化するサーモメータコードTCを生成する。バーニア遅延回路200は、第1遅延回路210と、第2遅延回路220と、サーモメータラッチTL0〜TLNを備える。
第1遅延回路210は、多段接続されたN個の第1遅延素子D1を含み、スタート信号Sstartに、1段ごとに第1所定量t1の遅延を与え、異なる遅延が付与された(N+1)個の遅延スタート信号SA〜SAを出力する。同様に第2遅延回路220は、多段接続されたN個の第2遅延素子D2を含み、ストップ信号Sstopに1段ごとに第2所定量の遅延を与え、異なる遅延が付与された(N+1)個の遅延ストップ信号SB0〜SBNを出力する。
第1所定量t1の遅延は、第2所定量t2よりも長く設定される。第1遅延回路210、第2遅延回路220内の遅延素子を1段通過するごとに、スタート信号Sstartとストップ信号Sstopの時間差は、Δt=(t1−t2)だけ小さくなる。スタート信号Sstartとストップ信号Sstopの初期の時間差がτである場合、(τ/Δt)段の遅延素子を経由した段階で、2つの信号のエッジのタイミングは逆転する。
j段目(0≦j≦N)のサーモメータラッチTLjは、j段目から出力される遅延ストップ信号SBjを、j段目から出力される遅延スタート信号SAjでラッチする。本明細書においては、便宜的に1段目よりひとつ前を0段目という。つまり、0段目のサーモメータラッチTL0は、遅延される前のスタート信号と、遅延される前のストップ信号を受ける。
その結果、ストップ信号Sstopがスタート信号Sstartに追いつくまでは、サーモメータラッチTLの出力は0となり、追いついたところから先は1となる。かくして、(N+1)個のサーモメータラッチTL0〜TLNによりラッチされたデータが、サーモメータコードTC[0:N]として出力される。サーモメータコードの名称は、あるビットを境として値が1から0(または0から1)に切り替わることが、温度計に似ていることにちなんでいる。
なお、スタート信号Sstartにストップ信号Sstopが追いつかなかった場合、サーモメータコードTCは全ビットが0となり、スタート信号Sstartよりもストップ信号Sstopが先に入力された場合、全ビットが1となる。
米国特許第4,494,021号明細書 国際公開第03/36796号パンフレット
図1のTDCでは、バーニア遅延回路200における第1所定量t1と第2所定量t2の差分Δt=(t1−t2)が、分解能を与える。したがって、プロセスばらつき、あるいは温度や電源電圧にともなって第1遅延素子D1、第2遅延素子の遅延量にばらつきや変動が生ずると、所望の分解能が得られないという問題が生ずる。
また、バーニア遅延回路はTDCに限らずに利用可能であるが、その他のアプリケーションにおいても、時間差分Δtは一定であることが望まれる。
本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その包括的な目的は、高精度にキャリブレーションが可能なバーニア遅延回路の提供にある。
本発明のある態様は、第1信号と第2信号に異なる多段遅延を与えるバーニア遅延回路に関する。このバーニア遅延回路は、入力信号に対しバイアス信号に応じた遅延を与える複数の第1可変遅延素子が多段接続されて構成される第1遅延回路と、入力信号に対しバイアス信号に応じた遅延を与える複数の第2可変遅延素子が多段接続されて構成される第2遅延回路と、リングオシレータと、バイアス信号調節部と、個別バイアス回路と、を備える。第1遅延回路は、第1信号に対して第1可変遅延素子1段ごとに第1所定量の遅延を与え、異なる遅延が付与された複数の第1遅延信号を出力する。第2遅延回路は、第2信号に対して第2可変遅延素子1段ごとに第2所定量の遅延を与え、異なる遅延が付与された複数の第2遅延信号を出力する。リングオシレータは、バイアス信号に応じた周波数で発振する。バイアス信号調節部は、リングオシレータの周波数が、基準周波数と一致するように帰還によりリングオシレータに対するバイアス信号を調節する。個別バイアス回路は、複数の第2可変遅延素子それぞれに個別に与えるべき複数のバイアス信号を生成する。このバーニア遅延回路は、複数の第1可変遅延素子に対して、少なくともバイアス信号調節部により生成されたバイアス信号を供給し、複数の第2可変遅延素子それぞれに対して、バイアス信号調節部により生成されたバイアス信号に個別バイアス回路により生成された個別に与えるべきバイアス信号を重畳した合成バイアス信号を供給する。
バーニア遅延回路では、各段において、第1可変遅延素子による第1遅延量t1と、第2可変遅延素子による第2遅延量t2それぞれの絶対的な精度が求められるのではなく、2つの遅延量の差(以下、差分遅延という)Δt=(t1−t2)を一定に保つ必要がある。したがって、バイアス信号調節部からのバイアス信号によって、温度変動や電源電圧変動による遅延量t1、t2をキャンセルしつつ、個別バイアス回路によって各段ごとの差分遅延Δtを目標値に設定することができため、高精度なキャリブレーションが可能となる。
ある態様のバーニア遅延回路は、複数の第1可変遅延素子に共通に与えるべきバイアス信号を生成する共通バイアス回路をさらに備えてもよい。バーニア遅延回路は、複数の第1可変遅延素子に対して、バイアス信号調節部により生成されたバイアス信号に共通バイアス回路により生成されたバイアス信号を重畳した合成バイアス信号を供給してもよい。
この場合、共通バイアス回路によって、第1可変遅延素子の遅延調節範囲のセンター値、すなわち、差分遅延Δtのセンター値を調節できる。
ある態様のバーニア遅延回路では、第1遅延回路から出力される複数の第1遅延信号を受け、いずれかを選択出力する第1タップセレクタと、第2遅延回路から出力される複数の第2遅延信号を受け、いずれかを選択出力する第2タップセレクタと、第1タップセレクタの出力信号と第2タップセレクタの出力信号を受け、いずれかを選択出力するループ切替セレクタと、第1信号およびループ入力切替セレクタからの信号を受け、いずれかを第1遅延回路に選択出力する第1入力セレクタと、第2信号およびループ入力切替セレクタからの信号を受け、いずれかを第2遅延回路に選択出力する第2入力セレクタと、ループ入力切替セレクタの出力信号の周期を測定する周波数カウンタと、をさらに備えてもよい。このバーニア遅延回路は、第1遅延回路を含むループが第1の発振器を形成し、第2遅延回路を含むループが第2の発振器を形成するよう構成される。
第1、第2の発振器を構成するために、ループ切替セレクタの出力を反転するインバータをさらに備えてもよい。
この態様によれば、第1遅延回路内の第1可変遅延素子を含む第1発振器の周期と、第2遅延回路内の第2可変遅延素子を含む第2発振器の周期を測定することができる。タップセレクタによってタップ位置を切りかえることにより、各ループに含まれる遅延素子の段数を任意に切りかえられるため、遅延素子1段分の遅延量を測定でき、調節が可能となる。
ある態様のバーニア遅延回路は、第1、第2タップセレクタ、ループ入力切替セレクタ、第1、第2入力セレクタを制御する制御部をさらに備えてもよい。制御部は、第1入力セレクタによりループ入力切替セレクタからの信号を選択し、ループ入力切替セレクタにより第1タップセレクタの出力信号を選択し、第1タップセレクタにより0段目のタップを選択し、周波数カウンタにより周期TAを測定するステップと、第2入力セレクタによりループ入力切替セレクタからの信号を選択し、ループ入力切替セレクタにより第2タップセレクタの出力信号を選択し、第2タップセレクタにより0段目のタップを選択し、周波数カウンタにより周期TBを測定するステップと、を実行する。さらに、制御部は、第1入力セレクタによりループ入力切替セレクタからの信号を選択し、ループ入力切替セレクタにより第1タップセレクタの出力信号を選択し、第1タップセレクタによりi段目(1≦i≦N)のタップを選択した状態で、周波数カウンタにより周期TAを測定するステップと、周期TAと周期TAの差分ΔTAを計算するステップと、第2入力セレクタによりループ入力切替セレクタからの信号を選択し、ループ入力切替セレクタにより第2タップセレクタの出力信号を選択し、第2タップセレクタによりi段目のタップを選択した状態で、周波数カウンタにより周期TBを測定するステップと、周期TBと周期TBの差分ΔTBを計算するステップと、所定の差分遅延をΔtとするとき、差分ΔTAと差分ΔTBの差が、
ΔTA−ΔTB=Δt×i
を満たすように、第2遅延回路のi段目の第2可変遅延素子に対して個別バイアス回路が与えるべきバイアス信号を調節するステップと、をiを1ずつ増加させながら繰り返し実行してもよい。
ある態様のバーニア遅延回路は、第1可変遅延素子および第2可変遅延素子のペアに対応づけられた、複数のラッチをさらに備えてもよい。各ラッチは、対応する第2可変遅延素子の入力信号を、対応する第1可変遅延素子の入力信号を用いてラッチしてもよい。
本発明の別の態様は、スタート信号とストップ信号の遷移タイミングの時間差をデジタル値に変換する時間デジタル変換器に関する。この時間デジタル変換器は、スタート信号が第1信号として、ストップ信号が第2信号として入力されるバーニア遅延回路と、バーニア遅延回路から出力されるサーモメータコードを符号化するエンコーダと、を備える。
この態様によると、バーニア遅延回路において、各段ごとの差分遅延Δtを目標値に一定に保つことができるため、高精度な時間分解能を実現できる。
本発明のさらに別の態様は、試験装置である。この装置は、上述の時間デジタル変換器を備える。
なお、以上の構成要素の任意の組合せや本発明の構成要素や表現を、方法、装置などの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明によれば、高精度にキャリブレーションが可能なバーニア遅延回路が提供される。
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
本明細書において、「部材Aが部材Bに接続」された状態とは、部材Aと部材Bが物理的に直接的に接続される場合や、部材Aと部材Bが、電気的な接続状態に影響を及ぼさない他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。同様に、「部材Cが、部材Aと部材Bの間に設けられた状態」とは、部材Aと部材C、あるいは部材Bと部材Cが直接的に接続される場合のほか、電気的な接続状態に影響を及ぼさない他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
(第1の実施の形態)
図2は、第1の実施の形態に係るバーニア遅延回路200aの構成を示すブロック図である。図2のバーニア遅延回路200aは、図1のTDC300に好適に利用できる。TDC300は、自動試験装置(ATE:Automatic Test Equipment)、タイムインターバルアナライザ、ジッタ測定器などの試験装置に搭載される。
図2のバーニア遅延回路200aは、スタート信号(第1信号)Sstartとストップ信号(第2信号)Sstopを受け、2つの信号に異なる多段遅延を与える。
バーニア遅延回路200は、第1遅延回路210、第2遅延回路220、リングオシレータ10、バイアス信号調節部12、個別バイアス回路14、共通バイアス回路16を備える。
第1遅延回路210は、多段接続された複数N個(Nは自然数)の第1可変遅延素子D1〜D1を含む。各可変遅延素子D1〜D1は、入力信号に対しバイアス信号Sbias1〜Sbias1に応じた遅延を与える。第1遅延回路210は、スタート信号Sstartに対して、第1可変遅延素子1段ごとに第1所定量t1の遅延を与える。i段目(0≦i≦N)の可変遅延素子D1の出力端子にはタップTPが設けられており、各タップTP〜TPから異なる遅延が付与された複数の遅延スタート信号SA〜SAを出力する。0段目は、1段目の入力、つまり遅延を受けないステージに対応する。
第2遅延回路220は、多段接続された複数N個の第2可変遅延素子D2〜D2を含む。各可変遅延素子D2〜D2は、入力信号に対しバイアス信号Sbias2〜Sbias2に応じた遅延を与える。第2遅延回路220は、ストップ信号Sstopに対して、第2可変遅延素子1段ごとに第2所定量t2の遅延を与える。i段目(0≦i≦N)の可変遅延素子D2の出力端子にはタップTPが設けられており、各タップTP〜TPから異なる遅延が付与された複数の遅延ストップ信号SB〜SBを出力する。
リングオシレータ10は、入力されたバイアス信号SbiasGに応じた周波数で発振する。バイアス信号調節部12は、リングオシレータ10の発振周波数が、所定の基準周波数と一致するように、帰還によりリングオシレータ10に対するバイアス信号SbiasGを生成する。バイアス信号調節部12は、帰還制御部12aと、バイアス回路12bを含む。バイアス回路12bは、バイアス信号SbiasGを生成する。帰還制御部12aは、基準周波数とリングオシレータ10の発振周波数が一致するように、バイアス回路12bを制御する。バイアス信号調節部12は公知の技術を用いて構成することができる。
個別バイアス回路14は、N個の第2可変遅延素子D2〜D2ごとに設けられた複数のバイアス回路BIAS〜BIASを備える。i段目(1≦i≦N)のバイアス回路BIASは、対応する第2可変遅延素子D2に与えるべきバイアス信号Sbias2Aを生成する。各バイアス回路BIAS〜BIASは、バイアス信号Sbias2A〜Sbias2Aを個別に調節可能に構成される。
共通バイアス回路16は、複数の第1可変遅延素子D1〜D1に共通に与えるべきバイアス信号SbiasCを生成する。
複数の第1可変遅延素子D1〜D1には、少なくともバイアス信号調節部12により生成されたバイアス信号SbiasGが供給される。本実施の形態では、バイアス信号調節部12により生成されたバイアス信号SbiasGに、共通バイアス回路16により生成されたバイアス信号SbiasCを重畳した合成バイアス信号が供給される。
i段目の第2可変遅延素子D2には、合成バイアス信号Sbias2が供給される。合成バイアス信号Sbias2は、バイアス信号調節部12により生成されたバイアス信号SbiasGに、個別バイアス回路14により生成されたバイアス信号Sbias2Aを重畳して生成される。
第1可変遅延素子D1、第2可変遅延素子D2としては、特許文献2に開示される回路が利用可能である。図3は、2つのバイアス信号に応じた遅延を付与する可変遅延素子50の構成を示す回路図である。第1カレントミラー回路CM1は、第1バイアス信号SbiasAに応じたバイアス電流Ia1を生成し、第2カレントミラー回路CM2は、第2バイアス信号SbiasBに応じたバイアス電流Ia2を生成する。2つのバイアス電流Ia1、Ia2が合成され、インバータ52(2段接続されているため、バッファとして機能する)の高電位側の端子に供給される。同様に、インバータ52の低電位側にも、2つの電流源が設けられている。第1バイアス信号SbiasAに応じたバイアス電流Ib1と第2バイアス信号SbiasBに応じたバイアス信号Ib2が合成され、インバータ52の低電位側の端子から引き抜かれる。
図4は、図3の可変遅延素子にバイアス信号を供給するバイアス回路の構成を示す回路図である。図4のバイアス回路60も、特許文献2に開示されている。バイアス回路60は、基準電流源62、トランジスタM〜M(kは2以上の整数)、スイッチSW〜SW、トランジスタMoutを含む。基準トランジスタMは基準電流源62の経路上に設けられる。トランジスタM〜Mは、基準トランジスタMとゲートおよびソースがそれぞれ共通に接続され、カレントミラー回路を構成する。スイッチSW〜SWは、トランジスタM〜Mの経路上に設けられる。出力トランジスタMoutには、トランジスタM〜Mに流れる電流の和電流が流れ、出力トランジスタMoutのゲートにバイアス信号BIASoutが発生する。
基準トランジスタMのサイズをTrとすると、i段目(1≦i≦k)のトランジスタMのサイズは、2×Trに設定される。スイッチSW〜SWのオン、オフを個別に制御することにより、バイアス信号BIASoutを制御できる。なお、図4以外のバイアス回路を用いてもよい。
図5は、可変遅延素子の別の構成を示す回路図である。可変遅延素子70は、トランジスタ72〜90を含む。トランジスタ72、74、88、90はNチャンネルMOSFETであり、トランジスタ76、78、80、82、84、86はPチャンネルMOSFETである。
トランジスタ72のゲートには、バイアス信号SbiasAが、トランジスタ74のゲートにはバイアス信号SbiasBが入力される。トランジスタ72、76、80はカレントミラー回路を構成し、バイアス信号SbiasAに応じた電流I1を生成する。同様に、トランジスタ74、78、82はカレントミラー回路を構成し、バイアス信号SbiasBに応じた電流I2を生成する。トランジスタ72、76、84はカレントミラー回路を構成し、バイアス信号SbiasAに応じた電流I3を生成する。トランジスタ74、78、86はカレントミラー回路を構成し、バイアス信号SbiasBに応じた電流I4を生成する。
トランジスタ80、82、88は1段目のインバータを構成し、トランジスタ84、86、90は、2段目のインバータを構成する。トランジスタ80、82は、トランジスタ88の負荷として機能し、トランジスタ88はバイアス信号SbiasAに応じてバイアスされる。また、トランジスタ84、86は、トランジスタ90の負荷として機能し、バイアス信号SbiasBに応じてバイアスされる。
図5の可変遅延素子70によれば、入力信号inに対して、バイアス信号SbiasA、SbiasBに応じた遅延を与えることができる。図5の可変遅延素子70は、図3の可変遅延素子50に比べて、縦積みされるトランジスタの段数が少ないため、低電圧で動作可能であるという利点を有する。近年、半導体集積回路の電源電圧は低下する傾向にあるため、図5の可変遅延素子70は有用である。
以上が実施の形態に係るバーニア遅延回路200aの構成である。一般に、バーニア遅延回路では、各段において、第1可変遅延素子D1による第1遅延量t1と、第2可変遅延素子D2による第2遅延量t2の差分遅延Δtを一定に保つ必要がある。
実施の形態に係るバーニア遅延回路200aでは、個別バイアス回路14によって各段の第2遅延量t2を個別に調節できるため、各段ごとの差分遅延Δt=t1−t2をキャリブレーションできる。さらに、バイアス信号調節部12からのバイアス信号SbiasGによって、温度変動や電源電圧変動による遅延量t1、t2の変動をキャンセルすることができる。そのため、高精度なキャリブレーションが可能となる。
バーニア遅延回路200aでは、第1遅延回路210と第2遅延回路220に同じバイアス信号SbiasGを与えている。もし第1遅延回路210、第2遅延回路220それぞれに対してリング発振器を設け、第1遅延回路210、第2遅延回路220のバイアスを帰還制御した場合、2つのリング発振器に相関が小さい場合、差分遅延Δt=t1−t2が変動してしまう。これに対して、実施の形態に係るバーニア遅延回路200によれば、共通のバイアス信号SbaisGを与えることにより、2つの第1遅延回路210と第2遅延回路220の遅延量の相関を高めることができる。
また、共通バイアス回路16を設けることにより、第1可変遅延素子D1の遅延調節範囲のセンター値、すなわち、差分遅延Δtのセンター値を調節できる。なお、第1可変遅延素子D1や第2可変遅延素子D2の遅延調節範囲が十分に広い場合、共通バイアス回路16を設けなくてもよい。
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態に係るバーニア遅延回路200bは、第1の実施の形態に係るバーニア遅延回路200aに加えて、差分遅延Δtを好適にキャリブレーションするための機能を備える。
図6は、第2の実施の形態に係るバーニア遅延回路200bの構成を示す回路図である。なお、図6では、リングオシレータ10およびバイアス信号調節部12を図示していない。
バーニア遅延回路200bは、図2のバーニア遅延回路200aの構成に加えて、第1タップセレクタ20、第2タップセレクタ22、ループ入力切替セレクタ24、周波数カウンタ26、インバータ28、第1入力セレクタ30、第2入力セレクタ32、制御部34を備える。
第1タップセレクタ20は、第1遅延回路210から出力される複数の遅延スタート信号SA〜SAを受け、いずれかを選択出力する。第2タップセレクタ22は、第2遅延回路220から出力される複数の第2遅延信号SB〜SBを受け、いずれかを選択出力する。
ループ入力切替セレクタ24は、第1タップセレクタ20の出力信号と第2タップセレクタ22の出力信号を受け、いずれかを選択出力する。第1入力セレクタ30は、スタート信号Sstartおよびループ入力切替セレクタ24からの信号を受け、いずれかを第1遅延回路210に選択出力する。第2入力セレクタ32は、ストップ信号Sstopおよびループ入力切替セレクタ24からの信号を受け、いずれかを第2遅延回路220に選択出力する。
周波数カウンタ26は、ループ入力切替セレクタ24の出力信号の周期を測定する。
バーニア遅延回路200bは、第1遅延回路210を含むループが第1の発振器を形成し、第2遅延回路220を含むループが第2の発振器を形成するよう構成される。つまり、第1遅延回路210の入力信号として、第1遅延回路210の出力信号が論理反転された信号が帰還入力されればよい。同様に、第2遅延回路220の入力信号として、第2遅延回路220の出力信号が論理反転された信号が帰還入力されればよい。
第1遅延回路210、第2遅延回路220をそれぞれループ発振器として動作させるために、ループ入力切替セレクタ24の出力を反転するインバータ28が設けられる。
なお、インバータ28の位置は、図6の位置に限定されない。第1タップセレクタ20の出力を反転するインバータ、第2タップセレクタ22の出力を反転するインバータを設けてもよい。
この構成とすれば、ループ入力切替セレクタ24により第1タップセレクタ20の出力を選択し、第1入力セレクタ30によりインバータ28の出力を選択すると、第1遅延回路210を含む第1発振器が構成できる。この発振周波数は、第1遅延回路210の遅延時間に応じて、つまり第1タップセレクタ20により選択したタップの位置に応じて変化する。したがって、タップ位置を順に変化させることにより、第1遅延回路210内の第1可変遅延素子D1〜D1それぞれの遅延量t1〜t1を測定できる。第2遅延回路220側についても同様に、第2可変遅延素子D2〜D2それぞれの遅延量t2〜t2を測定できる。したがって、1段目から順に差分遅延Δt=t1−t2を計算し、キャリブレーションが可能となる。
以下、好適なキャリブレーション方法について説明する。制御部34は、第1タップセレクタ20、第2タップセレクタ22、ループ入力切替セレクタ24、第1入力セレクタ30、第2入力セレクタ32の動作を制御する。
バーニア遅延回路200bは、以下の手順によってキャリブレーションを実行する。
ステップ1.
第1入力セレクタ30によりループ入力切替セレクタ24からの信号を選択し、ループ入力切替セレクタ24により第1タップセレクタ20の出力信号を選択する。第1タップセレクタにより0段目のタップTPを選択する。この状態で第1の発振器の周期TAを周波数カウンタ26により測定する。
ステップ2.
第2入力セレクタ32によりループ入力切替セレクタ24からの信号を選択し、ループ入力切替セレクタ24により第2タップセレクタ22の出力信号を選択する。第2タップセレクタ22により0段目のタップTP、つまり遅延ストップ信号SBを選択する。この状態で第2の発振器の周期TBを周波数カウンタ26により測定する。
続いて、以下のステップ3.〜ステップ7.をiを1からNまで1づつ増加させながら実行する。
ステップ3.
第1入力セレクタ30によりループ入力切替セレクタ24からの信号を選択し、ループ入力切替セレクタ24により第1タップセレクタ20の出力信号を選択する。第1タップセレクタ20によりi段目のタップTPを選択する。この状態で、第1発振器の周期TAを周波数カウンタ26により測定する。
ステップ4.
周期TAと周期TAの差分ΔTA=(TA−TA)を計算する。
ステップ5.
第2入力セレクタ32によりループ入力切替セレクタ24からの信号を選択し、ループ入力切替セレクタ24により第2タップセレクタ22の出力信号を選択する。第2タップセレクタ22によりi段目のタップTPを選択する。この状態で、第2発振器の周期TBを周波数カウンタ26により測定する。
ステップ6.
周期TBと周期TBの差分ΔTB=(TB−TB)を計算する。
ステップ7.
所定の差分遅延をΔtとするとき、差分ΔTAと差分ΔTBの差が、
ΔTA−ΔTB=Δt×i
を満たすように、第2遅延回路220のi段目の第2可変遅延素子D2に対して個別バイアス回路14が与えるべきバイアス信号を調節する。
以上の手順により、すべての段の差分遅延Δtを好適にキャリブレーションできる。なお、各ステップは処理に支障をきさない範囲において変更してもよい。
図6の第1タップセレクタ20や第2タップセレクタ22のような多入力セレクタにおいて、タップごとに異なるスキューが発生すると、キャリブレーションの精度が悪化する。図7は、図6のバーニア遅延回路200bの第1タップセレクタ20、第2タップセレクタ22として利用可能なセレクタの構成を示す回路図である。
図7のセレクタ92は、遅延回路210(220)の1段目からN段目の可変遅延素子ごとに設けられたセレクタSEL〜SELと、ORゲート94を備える。
i段目のセレクタSELには、0段目のタップTPからの遅延信号SAと、i段目のタップTPからの遅延信号SAが入力される。ORゲート94には、各セレクタSEL〜SELの出力が入力される。
ステップ4.およびステップ6.で計算する差分ΔTAおよびΔTBは、0段目のタップTPの信号を基準とした相対的な時間差である。したがって、各セレクタSELにおいて、基準となるタップTPから信号SAと、i段目のタップTPからの信号SAは、同じ遅延を受けてORゲートに出力される。その結果、ΔTAおよびΔTBのスキューを低減することができ、キャリブレーションの精度を高めることができる。
上記実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下、こうした変形例について説明する。
実施の形態では、バーニア遅延回路200の用途としてTDC300を説明したが、本発明はこれに限定されず、高精度な相対遅延が必要な様々な用途に利用可能である。
実施の形態にもとづき、本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を離脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が可能である。
バーニア遅延回路を用いたTDCの構成を示す図である。 第1の実施の形態に係るバーニア遅延回路の構成を示すブロック図である。 2つのバイアス信号に応じた遅延を付与する可変遅延素子の構成を示す回路図である。 図3の可変遅延素子にバイアス信号を供給するバイアス回路の構成を示す回路図である。 可変遅延素子の別の構成を示す回路図である。 第2の実施の形態に係るバーニア遅延回路の構成を示す回路図である。 図6のバーニア遅延回路の第1タップセレクタ、第2タップセレクタとして利用可能なセレクタの構成を示す回路図である。
符号の説明
100…プライオリティエンコーダ、10…リングオシレータ、12…バイアス信号調節部、14…個別バイアス回路、16…共通バイアス回路、20…第1タップセレクタ、22…第2タップセレクタ、24…ループ入力切替セレクタ、26…周波数カウンタ、28…インバータ、30…第1入力セレクタ、32…第2入力セレクタ、34…制御部、D1…第1可変遅延素子、D2…第2可変遅延素子、200…バーニア遅延回路、210…第1遅延回路、220…第2遅延回路、300…TDC、TL…サーモメータラッチ、TC…サーモメータコード。

Claims (7)

  1. 第1信号と第2信号に異なる多段遅延を与えるバーニア遅延回路であって、
    入力信号に対しバイアス信号に応じた遅延を与える複数の第1可変遅延素子が多段接続されて構成され、前記第1信号に対して第1可変遅延素子1段ごとに第1所定量の遅延を与え、異なる遅延が付与された複数の第1遅延信号を出力する第1遅延回路と、
    入力信号に対しバイアス信号に応じた遅延を与える複数の第2可変遅延素子が多段接続されて構成され、前記第2信号に対して第2可変遅延素子1段ごとに第2所定量の遅延を与え、異なる遅延が付与された複数の第2遅延信号を出力する第2遅延回路と、
    バイアス信号に応じた周波数で発振するリングオシレータと、
    前記リングオシレータの周波数が、基準周波数と一致するように帰還により前記リングオシレータに対するバイアス信号を調節するバイアス信号調節部と、
    前記複数の第2可変遅延素子それぞれに個別に与えるべき複数のバイアス信号を生成する個別バイアス回路と、
    を備え、
    前記複数の第1可変遅延素子に対して、少なくとも前記バイアス信号調節部により生成されたバイアス信号を供給し、
    前記複数の第2可変遅延素子それぞれに対して、前記バイアス信号調節部により生成されたバイアス信号に前記個別バイアス回路により生成された個別に与えるべきバイアス信号を重畳した合成バイアス信号を供給することを特徴とするバーニア遅延回路。
  2. 前記複数の第1可変遅延素子に共通に与えるべきバイアス信号を生成する共通バイアス回路をさらに備え、
    前記複数の第1可変遅延素子に対して、前記バイアス信号調節部により生成されたバイアス信号に前記共通バイアス回路により生成されたバイアス信号を重畳した合成バイアス信号を供給することを特徴とする請求項1に記載のバーニア遅延回路。
  3. 前記第1遅延回路から出力される複数の第1遅延信号を受け、いずれかを選択出力する第1タップセレクタと、
    前記第2遅延回路から出力される複数の第2遅延信号を受け、いずれかを選択出力する第2タップセレクタと、
    前記第1タップセレクタの出力信号と前記第2タップセレクタの出力信号を受け、いずれかを選択出力するループ入力切替セレクタと、
    前記第1信号および前記ループ入力切替セレクタからの信号を受け、いずれかを前記第1遅延回路に選択出力する第1入力セレクタと、
    前記第2信号および前記ループ入力切替セレクタからの信号を受け、いずれかを前記第2遅延回路に選択出力する第2入力セレクタと、
    前記ループ入力切替セレクタの出力信号の周期を測定する周波数カウンタと、
    をさらに備え、
    前記第1遅延回路を含むループが第1の発振器を形成し、前記第2遅延回路を含むループが第2の発振器を形成するよう構成されることを特徴とする請求項1または2に記載のバーニア遅延回路。
  4. 前記第1、第2タップセレクタ、前記ループ入力切替セレクタ、前記第1、第2入力セレクタを制御する制御部をさらに備え、
    前記制御部は、
    前記第1入力セレクタにより前記ループ入力切替セレクタからの信号を選択し、前記ループ入力切替セレクタにより前記第1タップセレクタの出力信号を選択し、前記第1タップセレクタにより0段目のタップを選択した状態で、前記周波数カウンタにより周期TAを測定するステップと、
    前記第2入力セレクタにより前記ループ入力切替セレクタからの信号を選択し、前記ループ入力切替セレクタにより前記第2タップセレクタの出力信号を選択し、前記第2タップセレクタにより0段目のタップを選択した状態で、前記周波数カウンタにより周期TBを測定するステップと、
    を実行し、さらに、
    前記第1入力セレクタにより前記ループ入力切替セレクタからの信号を選択し、前記ループ入力切替セレクタにより前記第1タップセレクタの出力信号を選択し、前記第1タップセレクタによりi段目(1≦i≦N)のタップを選択した状態で、周波数カウンタにより周期TAを測定するステップと、
    周期TAと周期TAの差分ΔTAを計算するステップと、
    前記第2入力セレクタにより前記ループ入力切替セレクタからの信号を選択し、前記ループ入力切替セレクタにより前記第2タップセレクタの出力信号を選択し、前記第2タップセレクタによりi段目のタップを選択した状態で、前記周波数カウンタにより周期TBを測定するステップと、
    周期TBと周期TBの差分ΔTBを計算するステップと、
    所定の差分遅延をΔtとするとき、前記差分ΔTAと前記差分ΔTBの差が、
    ΔTA−ΔTB=Δt×i
    を満たすように、前記第2遅延回路のi段目の前記第2可変遅延素子に対して前記個別バイアス回路が与えるべきバイアス信号を調節するステップと、
    をiを1ずつ増加させながら繰り返し実行することを特徴とする請求項3に記載のバーニア遅延回路。
  5. 前記第1可変遅延素子および前記第2可変遅延素子のペアに対応づけられた、複数のラッチをさらに備え、
    各ラッチは、対応する前記第2可変遅延素子の入力信号を、対応する前記第1可変遅延素子の入力信号を用いてラッチすることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のバーニア遅延回路。
  6. スタート信号とストップ信号の遷移タイミングの時間差をデジタル値に変換する時間デジタル変換器であって、
    前記スタート信号が第1信号として、前記ストップ信号が第2信号として入力される請求項5に記載のバーニア遅延回路と、
    前記バーニア遅延回路から出力されるサーモメータコードを符号化するエンコーダと、
    を備えることを特徴とする時間デジタル変換器。
  7. 請求項6に記載の時間デジタル変換器を備えることを特徴とする試験装置。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2317185A2 (en) 2009-10-27 2011-05-04 JATCO Ltd Automatic transmission and protection method thereof
JP2012100194A (ja) * 2010-11-05 2012-05-24 Renesas Electronics Corp クロック発振回路及び半導体装置
JP2013219771A (ja) * 2012-04-11 2013-10-24 Freescale Semiconductor Inc 測定を行う回路及び方法
US10224939B2 (en) 2016-09-27 2019-03-05 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement device, electronic apparatus, and vehicle
US10222759B2 (en) 2016-09-27 2019-03-05 Seiko Epson Corporation Integrated circuit device, electronic apparatus, and vehicle
US10268164B2 (en) 2017-02-22 2019-04-23 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement device, electronic apparatus, and vehicle
US10305496B2 (en) 2016-09-27 2019-05-28 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement apparatus, electronic apparatus, and vehicle
US10396804B2 (en) 2016-09-27 2019-08-27 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement device, electronic apparatus, and vehicle
JP2019176358A (ja) * 2018-03-29 2019-10-10 株式会社メガチップス 時間デジタル変換回路及び時間デジタル変換方法
US10884041B2 (en) 2016-09-27 2021-01-05 Seiko Epson Corporation Physical quantity measurement apparatus, electronic apparatus, and vehicle
US10908558B2 (en) 2016-09-27 2021-02-02 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement device, electronic apparatus, and vehicle

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2008114307A1 (ja) * 2007-03-16 2010-06-24 富士通株式会社 遅延回路及び該回路の試験方法
US8963843B2 (en) * 2008-08-28 2015-02-24 Stmicroelectronics Asia Pacific Pte. Ltd. Capacitive touch sensor system
US8502801B2 (en) * 2008-08-28 2013-08-06 Stmicroelectronics Asia Pacific Pte Ltd. Capacitive touch sensor system
JP5590867B2 (ja) * 2008-12-01 2014-09-17 三星電子株式会社 タイム/デジタルコンバーター及びデジタル位相ロックループ
US8138958B2 (en) * 2009-01-30 2012-03-20 Auburn University Vernier ring time-to-digital converters with comparator matrix
WO2011058142A1 (en) * 2009-11-13 2011-05-19 St-Ericsson (Grenoble) Sas Time-to-digital converter with successive measurements
US8072361B2 (en) * 2010-01-08 2011-12-06 Infineon Technologies Ag Time-to-digital converter with built-in self test
US10007235B2 (en) * 2016-09-23 2018-06-26 Microsemi Semiconductor Ulc Time-to-digital converter with phase-scaled course-fine resolution
US10705912B2 (en) 2017-06-07 2020-07-07 Rambus Inc. Energy efficient storage of error-correction-detection information
US10534322B2 (en) * 2017-12-20 2020-01-14 Integrated Device Technology, Inc. Use of ring oscillators for multi-stop time measurements

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000357951A (ja) * 1999-06-15 2000-12-26 Mitsubishi Electric Corp 遅延回路、クロック生成回路及び位相同期回路
JP2004208152A (ja) * 2002-12-26 2004-07-22 Mitsubishi Electric Corp 遅延回路
JP2006115274A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 High Energy Accelerator Research Organization 2つのpllを用いた微小時間差回路及び時間測定回路
JP2007523507A (ja) * 2003-09-26 2007-08-16 テラダイン・インコーポレーテッド バイアス電流補償回路を有するタイミング発生器及び方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57147829A (en) * 1981-03-06 1982-09-11 Tokyo Shibaura Electric Co Vacuum breaker
US4494021A (en) * 1982-08-30 1985-01-15 Xerox Corporation Self-calibrated clock and timing signal generator for MOS/VLSI circuitry
US5684421A (en) * 1995-10-13 1997-11-04 Credence Systems Corporation Compensated delay locked loop timing vernier
CN1393993A (zh) * 2001-07-02 2003-01-29 朗迅科技公司 延迟补偿电路
KR100919087B1 (ko) * 2001-10-19 2009-09-28 가부시키가이샤 어드밴티스트 위상 로크 루프 회로, 지연 로크 루프 회로, 타이밍발생기, 반도체 시험 장치 및 반도체 집적 회로
US7015740B1 (en) * 2002-10-28 2006-03-21 Cisco Technology, Inc. Self-adjusting programmable on-chip clock aligner
US7411436B2 (en) * 2006-02-28 2008-08-12 Cornell Research Foundation, Inc. Self-timed thermally-aware circuits and methods of use thereof

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000357951A (ja) * 1999-06-15 2000-12-26 Mitsubishi Electric Corp 遅延回路、クロック生成回路及び位相同期回路
JP2004208152A (ja) * 2002-12-26 2004-07-22 Mitsubishi Electric Corp 遅延回路
JP2007523507A (ja) * 2003-09-26 2007-08-16 テラダイン・インコーポレーテッド バイアス電流補償回路を有するタイミング発生器及び方法
JP2006115274A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 High Energy Accelerator Research Organization 2つのpllを用いた微小時間差回路及び時間測定回路

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2317185A2 (en) 2009-10-27 2011-05-04 JATCO Ltd Automatic transmission and protection method thereof
JP2012100194A (ja) * 2010-11-05 2012-05-24 Renesas Electronics Corp クロック発振回路及び半導体装置
JP2013219771A (ja) * 2012-04-11 2013-10-24 Freescale Semiconductor Inc 測定を行う回路及び方法
US10224939B2 (en) 2016-09-27 2019-03-05 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement device, electronic apparatus, and vehicle
US10222759B2 (en) 2016-09-27 2019-03-05 Seiko Epson Corporation Integrated circuit device, electronic apparatus, and vehicle
US10305496B2 (en) 2016-09-27 2019-05-28 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement apparatus, electronic apparatus, and vehicle
US10396804B2 (en) 2016-09-27 2019-08-27 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement device, electronic apparatus, and vehicle
US10884041B2 (en) 2016-09-27 2021-01-05 Seiko Epson Corporation Physical quantity measurement apparatus, electronic apparatus, and vehicle
US10908558B2 (en) 2016-09-27 2021-02-02 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement device, electronic apparatus, and vehicle
US10268164B2 (en) 2017-02-22 2019-04-23 Seiko Epson Corporation Circuit device, physical quantity measurement device, electronic apparatus, and vehicle
JP2019176358A (ja) * 2018-03-29 2019-10-10 株式会社メガチップス 時間デジタル変換回路及び時間デジタル変換方法

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