JP2009246325A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 吸着面に溝を施し、その溝が前記吸着電極層の開口部分上部の領域を連接し、前記吸着面の前記吸着面の周辺部又は一つ若しくは複数の定められた箇所へ延長することを特徴とする静電チャックとする。
【選択図】図1
Description
1a 吸着面
1b 凹部
2 第一電極層
2a 第一電極層の開口部
3 第二絶縁層
4 第二電極層
5 第三絶縁層
6 金属基盤
7 冷却水路
8 給電端子
8a 給電端子と第一電極層の接続部
9 給電端子絶縁部
10 溝部
11 貫通孔
12 第一絶縁層の一部を薄くして形成した溝部
50 被吸着基板
100 本発明の実施例で示す静電チャック
200 従来例の静電チャック
Claims (6)
- 吸着電極層が吸着面に対して垂直方向に複数有する静電チャックにおいて、前記吸着面に溝を有し、その溝が前記吸着電極層の開口部分上部の領域を連接し、前記吸着面の周辺部又は一つ若しくは複数の定められた箇所へ延長することを特徴とする静電チャック。
- 前記吸着面の溝は、その吸着面を構成している絶縁層の厚みは維持したまま吸着面の下の電極層の厚みをその電極層の他の部分よりも薄く又は全く無くしたことを特徴とする、請求項1に記載の静電チャック。
- 前記吸着面の溝は、その吸着面を構成している絶縁層の厚みをその絶縁層の他の部分よりも薄くしたことを特徴とする、請求項1、2に記載の静電チャック。
- 前記吸着面の溝は、その吸着面の厚みは維持したままその下の電極層の厚みをその電極層の他の部分よりも薄く又は全く無くしてしまうことで構成する、請求項1、2に記載の静電チャック吸着面の溝の形成方法。
- 前記吸着面の溝は、その吸着面を構成している絶縁層の厚みをその絶縁層の他の部分よりも薄く又は全く無くしてしまうことで構成する、請求項1、3に記載の静電チャック吸着面の溝の形成方法。
- 吸着電極層が吸着面に対して垂直方向に複数有する静電チャックを有する基板処理装置において、前記吸着面に溝を有し、その溝が前記吸着電極層の開口部分上部の領域を連接し、前記吸着面の周辺部又は一つ若しくは複数の定められた箇所から、被吸着基板と前記静電チャックの吸着面の間に閉じ込められた空気などのガスを短時間に真空に引くことを特徴とする、前記基板処理装置の真空引きの方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008114524A JP2009246325A (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 静電チャック |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108735647A (zh) * | 2017-04-18 | 2018-11-02 | 日新离子机器株式会社 | 静电吸盘 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08203991A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-08-09 | Applied Materials Inc | 多電極静電チャック |
WO2005091356A1 (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Creative Technology Corporation | 双極型静電チャック |
JP2006179693A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ヒータ付き静電チャック |
-
2008
- 2008-03-28 JP JP2008114524A patent/JP2009246325A/ja active Pending
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