JP2009246038A - Iii−v族化合物半導体の結晶成長方法と結晶成長装置 - Google Patents
Iii−v族化合物半導体の結晶成長方法と結晶成長装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 シリコンをエッチング可能なエッチング材を利用して半導体下地層の表面を洗浄する工程と、洗浄後の半導体下地層をアルコールに浸漬する工程と、浸漬された状態で半導体下地層をガス置換室に搬入する工程と、ガス置換室内を大気から置換ガスに置換する工程と、ガス置換室に連結する反応室に液体から取り出した半導体下地層を搬入する工程と、反応室内で半導体下地層の表面に前記半導体層を結晶成長させる工程を備えている。置換ガスは、シリコン濃度が0.2ppm以下である。
【選択図】 図2
Description
上記結晶成長方法ではまず、半導体下地層の表面を洗浄することによって、半導体下地層の表面に取り込まれていたシリコンを除去する。洗浄後の半導体下地層を液体に浸漬することによって、半導体下地層の表面がその液体によって被覆され、半導体下地層の表面に大気からシリコンが取り込まれることを抑制することができる。次に、浸漬された状態で半導体下地層をガス置換室に搬入し、そのガス置換室内を大気から置換ガスに置換する。このため、ガス置換室の室内は大気から遮断され、シリコン濃度が極めて低い状態に保たれる。半導体下地層は、そのガス置換室内で液体から取り出され、反応室に搬入される。反応室に搬入された半導体下地層は、その表面に半導体層が結晶成長される。したがって、上記結晶成長方法によると、洗浄の終了後から結晶成長を開始するまで、半導体下地層の表面が大気に曝されないように処理されている。このため、上記結晶成長方法によると、半導体下地層の表面に高濃度なn型領域が形成されない。
この結晶成長装置は、ガス置換室が予備室を有していることを特徴としている。予備室が設けられていることによって、ガス置換室のうち大気に開放される部分を予備室に限定することができる。このため、ガス置換室を大気から置換ガスに置換するのに要する時間を短くすることができる。
吐出手段から吐出する置換ガスを半導体下地層の表面に吹付けることによって、半導体下地層の表面を短時間で乾燥させることができる。
(第1特徴) 半導体下地層を洗浄する工程で用いられるエッチング材には、アンモニア水(NH4OH)と過酸化水素水(H2O2)と水を1:1:5の割合で混合した溶液、フッ酸(HF)と硝酸(HNO3)を1:1で混合した溶液、水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液(TMAH)を用いるのが好ましい。
(第2特徴) 洗浄工程後の半導体下地層を浸漬する液体は、低級アルコールが好ましい。より好ましくは、イソプロピルアルコールである。
(第3特徴) 連結室は、グローブボックスである。
次に、アンモニア水(NH4OH)と過酸化水素水(H2O2)と水(H2O)が1:1:5の割合で混合された第2洗浄水を利用して、半導体下地層の表面を洗浄する。洗浄条件は、80℃、10分である。
次に、塩酸(HCl)と過酸化水素水(H2O2)と水(H2O)が1:1:5の割合で混合された第3洗浄水を利用して、半導体下地層の表面を洗浄する。洗浄条件は、80℃、10分である。
次に、フッ化水素(HF)と硝酸(HNO3)が1:1の割合で混合された第4洗浄水を利用して、半導体下地層の表面を洗浄する。洗浄条件は、室温、10分である。
最後に、純水を利用して、半導体下地層の表面に残存する上記洗浄水を洗い流す。洗浄条件は、室温、30分である。
ゲート電極144に正の電圧が印加されると、ヘテロ接合部132の界面に2次元電子ガスが誘起され、ソース領域152からその2次元電子ガスに沿って電子が横方向に走行する。ソース領域152から2次元電子ガスに沿って横方向に走行してきた電子は、半導体下層134の一部134aを縦方向に流れ、ドリフト層126を介してドレイン層124にまで流れる。これにより、半導体スイッチング素子100では、ソース電極154とドレイン電極122の間が導通する。
次に、図2に示す本実施例の結晶成長方法を利用して、図7に示すようにトレンチ172の底面において露出しているドリフト層126から窒化ガリウムを結晶成長して半導体下層134を形成する。即ち、半導体下層134を結晶成長するのに先立って、半導体下地層の洗浄工程、アルコール浸漬工程、予備室への搬入工程、予備室の置換工程、連結室への搬入工程、不活性ガスを用いた乾燥工程、反応室への搬入工程を実施する。
本実施例に係る結晶成長方法を実験により検証した。まず、図8に示すように、サファイア基板220と、緩衝層240と、GaN層260が積層した半導体下地層を用意した。次に、図2に示す本実施例の結晶成長方法を利用して、図9に示すように、GaN層260の表面にGaN表面層280を結晶成長させた。次に、GaN表面層280の表面にインジウムの表面電極292,294を形成した。なお、比較例では、図2に示す結晶成長方法を利用しないで従来の結晶成長方法を用いてGaN表面層280を形成した。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
20:予備室
30:連結室
34:吐出手段
40:反応室
50:原料ガス供給装置
Claims (8)
- III-V族化合物半導体の半導体下地層の表面にIII-V族化合物半導体の半導体層を結晶成長させる方法であって、
シリコンをエッチング可能なエッチング材を利用して前記半導体下地層の表面を洗浄する工程と、
洗浄後の前記半導体下地層を液体に浸漬する工程と、
浸漬された状態で前記半導体下地層をガス置換室に搬入する工程と、
ガス置換室内を大気から置換ガスに置換する工程と、
ガス置換室に連結する反応室に液体から取り出した前記半導体下地層を搬入する工程と、
反応室内で前記半導体下地層の表面に前記半導体層を結晶成長させる工程と、を備えており、
前記置換ガスは、シリコン濃度が0.2ppm以下である結晶成長方法。 - 液体から取り出した前記半導体下地層の表面を、置換ガスに置換されたガス置換室内で置換ガスを吹付けることによって乾燥させる工程をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の結晶成長方法。
- 前記液体は、アルコール液であることを特徴とする請求項1又は2に記載の結晶成長方法。
- 前記置換ガスは、窒素ガス、アルゴンガス、又はヘリウムガスから選択されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の結晶成長方法。
- 前記III-V族化合物半導体は、窒化物半導体であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の結晶成長方法。
- 前記窒化物半導体は、一般式がAlxGayIn1-x-yN(0≦X≦1、0≦Y≦1、0≦X+Y≦1)で表されることを特徴とする請求項5に記載の結晶成長方法。
- 結晶成長用原料ガスが供給される反応室と、
室内を大気から置換ガスに置換可能なガス置換室と、を備えており、
前記ガス置換室は、連結室と予備室を有しており、
前記連結室は、前記反応室と前記予備室を連結しており、前記予備室から前記反応室へ半導体下地層を搬送する搬送手段を有し、
前記予備室は、置換ガスの導入口と、室内からガスを排出する排出手段を有している結晶成長装置。 - 前記連結室は、置換ガスを吐出する吐出手段を有していることを特徴とする請求項7に記載の結晶成長装置。
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