JP2009236930A - 液面検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電磁波発生手段及び電磁波検出手段の劣化を検知することができ、不合格容器を精度よく判定することができる液面検査装置を提供する。
【解決手段】液面検査装置は、電磁波を発生する電磁波発生手段と、複数の検出素子が鉛直方向の所定の範囲にわたって配列されてなる電磁波検出手段と、電磁波検出手段から出力される電気信号に基づいて被検査容器内の液面の高さを検出する液面高さ検出手段と、を有し、電磁波発生手段及び電磁波検出手段が正常のときに電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号を基準にして予め正常値を設定する設定手段と、電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号と設定手段によって設定された正常値とを比較し、その比較結果に基づいて電磁波発生手段及び電磁波検出手段が正常か否かを判別する判別手段と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は不合格容器排斥確認装置及び液面検査装置に係り、特に生産ライン上を搬送されるビール、ジュース等、液状の物質が密封された容器製品の内容量が不適切な容器（不合格容器）が排斥ラインに排斥されたか否かを確認する不合格容器排斥確認装置及び不合格容器を検知するための液面検査装置に関する。

従来、不合格容器が生産ラインから排斥ライン（排斥トレイ）に排斥されたか否かを確認する方法として、まず液面検査装置が充填量が不適合の不合格容器を検出し、排斥信号を排斥器に出力すると、排斥器は排斥信号によって動作して不合格容器を生産ラインから排斥する。生産ラインと排斥ラインとの間には１対の排斥確認センサが設置され、排斥確認センサは不合格容器が一定時間内に排斥確認センサの光軸を遮光したか検出することにより、不合格容器が排斥ラインヘ移動したか否かを確認している。

また、従来の液面検査装置は、コンベアによりＸ線源とＸ線センサ素子の間に搬送された被検査容器にＸ線を照射し、Ｘ線センサ素子から出力される透過Ｘ線量から被検査容器内の液面の検査を検知し、充填量の適否を判定する。この液面検査装置は、Ｘ線管の出力が劣化すると、本来の液面よりも高めに判定するようになり、不合格容器を合格容器と判定する恐れがあった。そこで、Ｘ線管出力の劣化を検出する方法として、Ｘ線源とＸ線センサ素子の間に被検査容器の空容器を配置し、コンベアが停止した状態でＸ線を照射し、透過Ｘ線の強弱をＬＥＤバーグラフまたは電圧表示器に表示し、表示値が正常か否かを目視することにより、Ｘ線管出力の劣化を確認していた。

ところで、従来の不合格容器排斥確認装置では、１対の排斥確認センサによって不合格容器が排斥ラインヘ移動したか否かを確認しているため、以下のような場合に正しく確認できないという問題があった。

不合格容器がそれぞれ密着し、連続してコンベアに搬送され、排斥器によって排斥されると、排斥ラインヘ移動中に互いにぶつかったり、排斥ラインの入口で重なったりする。これにより、１対の排斥確認センサでは排斥された不合格容器を１容器毎に正しく検出できないという問題があった。

具体的には、排斥された被検査容器が、先に排斥された被検査容器より重量が軽い場合に、先に排斥された不合格容器を途中で追い抜くことがある。これにより、排斥センサの検出信号が重なり１つの不合格容器が排斥ラインヘ移動したと判定されるという問題があった。

また、排斥器によって排斥された不合格容器は、排斥ラインヘ回転して飛んで行くことがあり、実際は２つの不合格容器が排斥ラインヘ移動したとしても、３つの不合格容器が移動したかのように検出されることがある。

また、従来の液面検査装置では、日常の装置運転前に、Ｘ線管出力の劣化を検出するための確認テストを行う必要があり、確認テストを行う作業は時間を要するという問題があった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、不合格容器の排斥状況を正確に把握し、システムの信頼性の向上を図ることができる不合格容器排斥確認装置を提供することを目的とする。

また、本発明はＸ線等の電磁波発生手段及び電磁波検出手段の劣化を検知することができ、不合格容器を精度よく判定することができる液面検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、前記目的を達成するために、生産ライン上を搬送される容器の適否を判定し、不合格容器が検出されると、排斥器を動作させて不合格容器を生産ラインから排斥ラインに排斥する不合格容器排斥システムの不合格容器排斥確認装置において、前記生産ラインと前記排斥ラインとの間に設置され、前記不合格容器が通過したか否かを検出する第１のセンサと、前記排斥器よりも下流側の生産ラインに設置され、前記不合格容器を含む容器が通過したか否かを検出する第２のセンサと、前記第１のセンサ及び第２のセンサの検出結果に基づいて前記不合格容器が正常に排斥されたか否かを確認する確認手段と、を備えたことを特徴としている。

本発明によれば、生産ラインと排斥ラインとの間に設置された第１のセンサ及び排斥器よりも下流側の生産ラインに設置された第２のセンサの検出結果に基づいて、不合格容器が正常に排斥されたか否かを確認するようにする。これにより、不合格容器の排斥状況を正確に把握するようにしている。

本願請求項２に係る不合格容器排斥確認装置は、前記確認手段は、前記不合格容器が前記第２のセンサの検出位置を通過する所定のタイミングで前記第２のセンサの検出結果を取り込み、この取り込んだ検出結果が容器の通過を示す場合には不合格容器が正常に排斥されなかったと判別することを特徴としている。即ち、不合格容器が市場に流れることを防止することができる。

本願請求項３に係る不合格容器排斥確認装置は、前記確認手段は、前記不合格容器を排斥するための排斥信号が排斥器に出力されてから所定時間内に前記第１のセンサによって不合格容器の通過が検出されない場合には不合格容器が正常に排斥されなかったと判別することを特徴としている。即ち、システムの信頼性の向上を図ることができる。

本分割出願請求項１に係る発明は、生産ライン上を搬送される被検査容器に対して少なくとも該被検査容器内の液面の基準高さを含む鉛直方向の所定の範囲にわたってＸ線、可視光線等の電磁波を発生する電磁波発生手段と、前記生産ラインを挟んで前記電磁波発生手段と対向して配置され、入射する電磁波の強弱に応じた電気信号を出力する複数の検出素子が鉛直方向の所定の範囲にわたって配列されてなる電磁波検出手段と、前記電磁波検出手段から出力される電気信号に基づいて被検査容器内の液面の高さを検出する液面高さ検出手段と、を有する液面検査装置において、前記電磁波発生手段及び電磁波検出手段が正常のときに前記電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号を基準にして予め正常値を設定する設定手段と、前記電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号と前記設定手段によって設定された正常値とを比較し、その比較結果に基づいて前記電磁波発生手段及び電磁波検出手段が正常か否かを判別する判別手段と、を備えたことを特徴としている。即ち、Ｘ線等の電磁波発生手段及び電磁波検出手段の劣化を検知することができる。

本分割出願請求項２に係る液面検査装置は、前記設定手段は、前記電磁波発生手段及び電磁波検出手段が正常の状態で、かつ前記電磁波発生手段と電磁波検出手段との間に電磁波の透過量が既知の物質が存在するときに前記電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号を基準にして予め正常値を設定し、前記判別手段は、前記電磁波発生手段と電磁波検出手段との間に前記既知の物質が存在するときに前記電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号と前記設定手段によって設定された正常値とを比較することを特徴としている。即ち、電磁波発生手段及び電磁波検出手段の劣化を効率よく確認することができる。

本分割出願請求項３に係る液面検査装置は、前記電磁波検出手段は、前記電磁波発生手段と電磁波検出手段との間に前記被検査容器が存在するか否かにかかわらず前記電磁波発生手段から発生された電磁波が直接入射する１乃至複数の検出素子を含むことを特徴としている。即ち、常時電磁波発生手段及び電磁波検出手段を監視することができる。

以上説明したように本発明に係る不合格容器排斥確認装置によれば、不合格容器の排斥状況を確実に把握することができ、不合格容器が市場へ流れること防止し、システムの信頼性向上を図ることができ、本発明に係る液面検査装置を用いて、電磁波発生手段及び電磁波検出手段の劣化を検知することができ、不合格容器を精度よく判定することができる。

本発明に係る不合格容器排斥確認装置を含む不合格容器排斥システムの全体構成図 不合格容器排斥システムのブロック図 不合格容器排斥システムを図１の矢印Ａ方向から見た図 排斥器１５０により排斥された不合格容器２２０の移動パターンを示す図 本発明に係る液面検査装置を上から見た図 Ｘ線源とＸ線ラインセンサの間にＸ線を吸収する対象を配置せず、空気のみの状態でＸ線管出力の劣化を検出する例を示す図 Ｘ線ラインセンサを示した図 Ｘ線源とＸ線ラインセンサの間にアルミ、鉄などのＸ線を吸収する材質の空の被検査容器などを配置した状態でＸ線管出力の劣化を検出する例を示す図 図７の矢印Ｃ方向から見た図 装置運転停止時にＸ線管出力劣化を検出する例を示すフローチャート 装置運転状態でＸ線管出力劣化を検出する例を示すフローチャート 装置運転状態でＸ線管出力劣化を検出する他の例を示すフローチャート Ｘ線ラインセンサの上部のｋ番目のセンサ素子に、出射されたＸ線が直接入射する例を示す図 Ｘ線が常時直接入射する位置に、別のＸ線センサ素子を設置する例を示す図

以下添付図面に従って本発明に係る不合格容器排斥確認装置及び液面検査装置の好ましい実施の形態について詳説する。

図１は本発明に係る不合格容器排斥確認装置を含む不合格容器排斥システムの全体構成図であり、図２は不合格容器排斥システムのブロック図である。

これらの図面に示すように不合格容器排斥システムは、主として液面検査装置（レベルチェッカー）１２０と、排斥器１５０と、透過型検知センサ（第１のセンサ）１００と、反射型検知センサ（第２のセンサ）１１０と、制御器１３０と、エラー出力部１４０とから構成されている。

液面検査装置１２０は、ビール、ジュース等の液状物質が密封された容器２２０が搬送される生産ライン（コンベア）２００に設置され、容器２２０内の液面の高さを検出することにより容器２２０の適否を判定し、その判定結果を制御器１３０に出力する。尚、液面検査装置１２０の詳細については後述する。

制御器１３０は、容器２２０が液面検査装置１２０に搬送されたことを位置検出センサ２１０が検出したら、不適切な容器（不合格容器）２２０が排斥器１５０による排斥位置に達するタイミングで排斥信号を排斥器１５０に出力し、排斥器１５０は前記排斥信号によってピストンを動作させて不合格容器２２０を生産ライン２００から排斥ライン（不合格容器２２０を一時的に溜めておく排斥トレイを含む）２３０に排斥する。図３は不合格容器排斥システムを図１の矢印Ａ方向から見た図であり、不合格容器２２０は排斥器１５０のピストンロッドの先端パッド１６０によって押されて排斥ライン２３０に移動（図３上で右方向に移動）させられる。

第１のセンサ１００は、生産ライン２００と排斥ライン２３０との間（排斥ライン２３０の入口）に設置され、不合格容器２２０が第１のセンサ１００のＳ１領域を通過したか否か（Ｓ１領域が遮光されたか否か）を示す信号を制御器１３０に出力する。

第２のセンサ１１０は、排斥器１５０よりも下流側の生産ライン２００に設置され、不合格容器を含む容器２２０が第２のセンサ１１０のＳ２領域を通過したか否か（Ｓ２領域が遮光されたか否か）を示す信号を制御器１３０に出力する。

制御器１３０は、前述したように液面検査装置１２０の判定結果に基づいて排斥信号を排斥器１５０に出力するとともに、前記第１のセンサ１００及び第２のセンサ１１０の検出信号に基づいて不合格容器２２０が正常に排斥されたか否かを確認する判断処理を行う。そして、不合格容器２２０が正常に排斥されなかったと判断すると、例えば警告表示や生産ライン２００を停止させるため信号をエラー出力部１４０に出力する。

次に、排斥器１５０に排斥信号を送信したときの不合格容器２２０の移動パターンについて説明する。図４は、排斥器１５０により排斥された不合格容器２２０の移動パターンを示す図である。

図４（ａ）は、排斥器１５０により排斥された不合格容器２２０が排斥ライン２３０に移動する例を示す。

図４（ｂ）は、不合格容器２２０が２以上密着して搬送された場合に、全ての容器２２０が排斥ライン２３０ヘ移動する例を示す。

図４（ｃ）は、排斥信号を排斥器１５０へ送信したにもかかわらず、排斥器１５０が全く動作しないか、あるいは正常に動作しない場合に不合格容器２２０が合格側の生産ライン２００に搬送される例を示す。

制御器１３０は、排斥器１５０を動作させる排斥信号、第１のセンサ１００及び第２のセンサ１１０の検出結果に基づいて表１に示すような排斥確認を行う。

尚、表１において、第１のセンサ１００の検出結果の「遮光した」又は「遮光せず」とは、排斥信号が出力されてから所定時間（例えば、0.5 秒）以内に不合格容器２２０がＳ１領域を遮光したか否かをいう。

また、第２のセンサ１１０の検出結果の「遮光した」又は「遮光せず」とは、不合格容器２２０がＳ２領域を通過してはならない時間に遮光したか否かをいう。ここで、不合格容器２２０がＳ２領域を通過してはならない時間は、コンベア速度と容器２２０の径に依存するが、予め設定されたコンベア速度と容器２２０の径のパラメータを入力することにより、下記の数１式によって算出される。

実用的には、容器２２０の中心位置の時間と排斥器１５０の動作終了時間の要素を数１式に加えることで、数２式により、不合格容器２２０がＳ２領域を通過してはならない時間は求められる。
数１式：
（排斥器〜第２のセンサの距離)(mm)×６０÷(コンベア速度) (m /分) … (Ａ)
数２式：
(Ａ)＋(被検査容器の径)(mm)×６０÷(コンベア速度)(m/分)×１／２
−(排斥器動作終了時間)(msec)
表１に示したように排斥信号が出力されたときに、制御器１３０は、第１のセンサ１００から「遮光した」、第２のセンサ１１０から「遮光せず」の検出結果が得られたときのみ、不合格容器２２０が正常に排斥されたと判定し、その他の検出結果の組み合わせの場合には、エラー信号を出力する。

尚、不合格容器２２０が連続し且つ密着して流れてきた場合には、これらの容器２２０は短時間に連続して排斥されるが、これらの容器２２０が重なって第１のセンサ１００のＳ１領域を通過する場合には、第１のセンサ１００からは１つの「遮光した」の検出結果しか得られない。この場合にも、前記所定時間以内に第１のセンサ１００から「遮光した」の検出結果が得られ、かつ第２のセンサ１１０から各不合格容器２２０の検出タイミングで「遮光せず」の検出結果が得られる場合にはエラーとはしない。同様に、排斥器１５０によって排斥された不合格容器２２０が回転して排斥ライン２３０に飛んでいき、１つの排斥信号に対して第１のセンサ１００から２つの「遮光した」の検出結果が得られる場合があるが、この場合にも前記所定時間以内に第１のセンサ１００から「遮光した」の検出結果が得られ、かつ第２のセンサ１１０から不合格容器２２０の検出タイミングで「遮光せず」の検出結果が得られる場合にはエラーとはしない。

更に、第１のセンサ１００または第２のセンサ１１０が、例えば５秒以上遮光された状態を検出すると、センサ自体の異常あるいは光軸がずれていると判断し、エラー信号を出力する。

以上のように、第１のセンサ１００と第２のセンサ１１０を監視することで、不合格容器２２０排斥確認の信頼性を上げることができる。

次に、本発明に係る液面検査装置の実施の形態を説明する。
図５は、本発明に係る液面検査装置を上から見た図であり、図６は、図５の矢印Ｂ方向から見た図である。これらの図面に示すようにＸ線液面検査装置５００は、主としてＸ線源５１０と、Ｘ線ラインセンサ５１２と、判定部５１６と、被検査容器５５０がＸ線による液面検査装置に搬送されたか否かを検出する位置検出センサ５２０Ａと、被検査容器５５０がＸ線液面検査装置５００の入口に搬送されたか否かを検出する位置検出センサ５２０Ｂとから構成される。

Ｘ線源５１０は、コンベア５４０上を搬送される被検査容器５５０内の液面の基準高さを含む鉛直方向の所定の範囲にわたってＸ線を照射する。
Ｘ線ラインセンサ５１２は、コンベア５４０を挟んでＸ線源５１０と対向して配置され、被検査容器５５０の透過Ｘ線量を検出する。このＸ線ラインセンサ５１２は、図７に示すように、複数（例えば、６４個）のセンサ素子５１２ａが液面方向（水平方向）に対して垂直になる向き、即ち鉛直方向に所定の範囲にわたってライン状に密着し、配列されてなる。また、センサ素子５１２ａは例えば幅Ｗと高さｈが１ｍｍ以下で、入射するＸ線の強弱に応じた電気信号を出力する。

位置検出センサ５２０Ａは発光素子及び受光素子等から構成され、Ｘ線液面検査装置５００のトンネル内に配置されている。この位置検出センサ５２０Ａは被検査容器５５０がＸ線液面検査装置５００に搬送されたことを検出すると、検査命令を判定部５１６に出力し、判定部５１６により被検査容器５５０の内部の液体の充填量が検査される。

位置検出センサ５２０Ｂは発光素子及び受光素子等から構成され、Ｘ線液面検査装置５００のトンネルの入り口付近に配置されている。この位置検出センサ５２０Ｂは搬送された被検査容器５５０を検出すると、Ｘ線制御部５０２を動作させ、Ｘ線源５１０からＸ線を所定時間出射させる。通常、被検査容器５５０は、前記所定時間の時間間隔以内で位置検出センサ５２０Ｂを通過しているため、Ｘ線源５１０からは連続的にＸ線が出射されているが、被検査容器５５０の搬送が途切れると、Ｘ線の出射は停止させられる。
判定部５１６は、Ｘ線ラインセンサ５１２から出力される電気信号に基づいて被検査容器５５０内の液面の高さを検出する。

次に、本発明に係る液面検査装置におけるＸ線管出力の劣化の検出方法について説明する。
＜装置運転停止時にＸ線管出力劣化を検出する場合＞
図１０のフローチャートに示すように、装置運転停止時に、予め設定された条件で、Ｘ線源５１０からＸ線ラインセンサ５１２にＸ線を入射される（ステップＳ１０００、以降Ｓ１０００のように省略して記載する）。

予め設定された条件として、図６に示すように、Ｘ線源５１０とＸ線ラインセンサ５１２の間にＸ線を吸収する対象を配置せず、空気のみの状態で、あるいは図８又は図９に示すように、アルミ、鉄などのＸ線を吸収する材質の空の被検査容器５５０などを配置した状態でＸ線を出射させることが考えられる。

続いて、Ｘ線はＸ線ラインセンサ５１２により検出され、増幅回路５１４によって増幅され、判定部５１６に出力される。判定部５１６には、予め正常値が記憶されており、判定部５１６はこの正常値とセンサ素子５１２ａの出力値とを比較し（Ｓ１０１０）、Ｘ線管出力の適否を判定（Ｘ線管出力の劣化を検出）する。

尚、前記正常値は、Ｘ線源５１０及びＸ線ラインセンサ５１２が正常で、Ｘ線源５１０とＸ線ラインセンサ５１２との間に透過Ｘ線量が既知の物質（空気のみや空のアルミ缶など）が存在するときに、Ｘ線ラインセンサ５１２の出力値を基準にして設定される。

Ｓ１０００にて出力されたセンサ素子５１２ａの出力値が予め設定した正常値より大きい場合は、正常を示す信号を出力する（Ｓ１０２０）。反対に正常値より小さい場合は、異常を示す信号を出力する（Ｓ１０３０）。
＜装置運転状態でＸ線管出力劣化を検出する場合の例１＞
図１１のフローチャートに示すように、まずＸ線管出力の劣化を検出するためには、位置検出センサ５２０Ａからの検出信号により、被検査容器５５０が一時的にコンベア５４０上を移動してこない状態を（Ｘ線源５１０とＸ線ラインセンサ５１２の間にＸ線を吸収する対象が何もなく空気のみである状態）検出する（Ｓ１１００）。続いて、位置検出センサ５２０Ａからの被検査容器５５０が存在しないことを示す検出信号に基づいて、Ｘ線ラインセンサ５１２からＸ線の検出出力を得る（Ｓ１１１０）。

次に、判定部５１６はセンサ素子５１２ａの出力値と予め設定した正常値とを比較することで、Ｘ線管出力の適否を判定する（Ｓ１１２０）。Ｓ１１１０にて出力された値が予め設定した正常値より小さい場合は、異常を示す信号を出力する（Ｓ１１３０）。
＜装置運転状態でＸ線管出力劣化を検出する場合の例２＞
図１３に示すＸ線ラインセンサ５１２の上部のセンサ素子５１２ａ（例えば、ｋ番目のセンサ素子）には、被検査容器５５０の有無にかかわらず、Ｘ線源５１０から出射されたＸ線が直接入射する。従って、装置運転状態でもＸ線管出力の劣化をＸ線ラインセンサ５１２のｋ番目のセンサ素子５１２ａの出力値から検知することができる。

また、Ｘ線ラインセンサ５１２の上部にＸ線が常時直接入射するセンサ素子５１２ａがない場合には、図１４に示すようにＸ線が常時直接入射する位置に、別のＸ線センサ素子５１２ｂを設置する。

図１２のフローチャートに示すように、位置検出センサ５２０Ａがコンベア５４０により搬送された被検査容器５５０を検出すると（Ｓ１２００）、液面検査のためにＸ線ラインセンサ５１２の出力値が判定部５１６に取り込まれるが、同時にＸ線管出力の劣化を検出するために前記ｋ番目のセンサ素子５１２ａの出力又は別のＸ線センサ素子５１２ｂの出力が取り込まれる（Ｓ１２１０）。ｋ番目のセンサ素子５１２ａの出力値又はＸ線センサ素子５１２ｂの出力値と予め設定した正常値とを比較することで、Ｘ線管出力の適否を判定する（Ｓ１２２０）。Ｓ１２１０にて出力された値が予め設定した正常値より小さい場合は、異常を示す信号を出力する（Ｓ１２３０）。

尚、この実施の形態では、Ｘ線源及びＸ線ラインセンサを使用する液面検査装置について説明したが、本発明は可視光等の電磁波を発生する電磁波発生手段及び可視光等の電磁波を検出する電磁波検出手段を使用する液面検査装置にも適用でき、これらの電磁波発生手段及び電磁波検出手段の劣化を検出することができる。

１００…第１のセンサ、１１０…第２のセンサ、１２０…液面検査装置、１３０…制御器、１４０…エラー出力部、１５０…排斥器、１６０…先端パッド、２００…生産ライン（コンベア）、２２０…容器、２３０…排斥ライン、５００…Ｘ線液面検査装置、５０２…Ｘ線制御部、５１０…Ｘ線源、５１２…Ｘ線ラインセンサ、５１４…増幅回路、５１６…判定部、５２０…位置検出センサ、５４０…コンベア、５５０…被検査容器。

Claims (3)

1. 生産ライン上を搬送される被検査容器に対して少なくとも該被検査容器内の液面の基準高さを含む鉛直方向の所定の範囲にわたってＸ線、可視光線等の電磁波を発生する電磁波発生手段と、前記生産ラインを挟んで前記電磁波発生手段と対向して配置され、入射する電磁波の強弱に応じた電気信号を出力する複数の検出素子が鉛直方向の所定の範囲にわたって配列されてなる電磁波検出手段と、前記電磁波検出手段から出力される電気信号に基づいて被検査容器内の液面の高さを検出する液面高さ検出手段と、を有する液面検査装置において、前記電磁波発生手段及び電磁波検出手段が正常のときに前記電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号を基準にして予め正常値を設定する設定手段と、前記電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号と前記設定手段によって設定された正常値とを比較し、その比較結果に基づいて前記電磁波発生手段及び電磁波検出手段が正常か否かを判別する判別手段と、を備えたことを特徴とする液面検査装置。
2. 前記設定手段は、前記電磁波発生手段及び電磁波検出手段が正常の状態で、かつ前記電磁波発生手段と電磁波検出手段との間に電磁波の透過量が既知の物質が存在するときに前記電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号を基準にして予め正常値を設定し、前記判別手段は、前記電磁波発生手段と電磁波検出手段との間に前記既知の物質が存在するときに前記電磁波検出手段の１乃至複数の検出素子から得られる電気信号と前記設定手段によって設定された正常値とを比較することを特徴とする請求項１の液面検査装置。
3. 前記電磁波検出手段は、前記電磁波発生手段と電磁波検出手段との間に前記被検査容器が存在するか否かにかかわらず前記電磁波発生手段から発生された電磁波が直接入射する１乃至複数の検出素子を含むことを特徴とする請求項１の液面検査装置。

Images