JP2009236450A

JP2009236450A - 温調装置

Info

Publication number: JP2009236450A
Application number: JP2008085909A
Authority: JP
Inventors: Kenji Izumi; 憲司泉; Tatsuaki Onishi; 辰明大西; Takaaki Kashiwagi; 崇暁柏木
Original assignee: Nihon Spindle Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Nihon Spindle Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2008-03-28
Filing date: 2008-03-28
Publication date: 2009-10-15

Abstract

【課題】チャンバーの温度をエイジングする際にエネルギーを無駄に消費することのない温調装置を構成する。
【解決手段】チャンバーＲから取り込んだ空気を冷却部Ｃ、第１加熱部Ｄ、第２加熱部Ｅに順次送った後にチャンバーＲに戻す温調系と、温調制御を実現する主制御ユニットＨＲ３とを備えて温調装置を構成する。主制御ユニットＨＲ３は、チャンバーＲの内部温度を計測するチャンバー温センサＴＳ３の計測値と温調目標値との偏差が規定値を超える状況では、第２加熱部Ｅの電気ヒータ１８での加熱は行わずに冷却部Ｃと第１加熱部Ｄとを機能させてエイジング制御を行う。これとは逆に、偏差が規定値未満である状況では冷却部Ｃと第１加熱部Ｄと第２加熱部Ｅの電気ヒータ１８とで高精度温調制御を行う。
【選択図】図２

Description

本発明は、冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発を行う冷凍サイクルによってチャンバーから取り込んだ空気を冷却する冷却手段と、冷却手段で冷却された空気を加熱して前記チャンバーに供給する加熱手段とを備えている温調装置に関し、詳しくは、クリーンルームの温度制御のように高精度の温度制御を実現する技術に関する。

上記のような温調装置として特許文献１と特許文献２が存在する。特許文献１には、冷媒が、圧縮機１４、凝縮器１５、電子膨張弁１７及び蒸発器１９を循環する冷凍サイクルを備えた精密温湿度制御装置が示されている。この特許文献１では、外気ＯＡを冷却する蒸発器１９の吹出側に再加熱器２０を設置しており、再加熱器２０では圧縮機１４からでたホットガスの一部で、蒸発器１９で冷却された空気を再加熱すると共に、その再加熱された空気を加湿器２１で加湿して温湿度制御された空調空気ＳＡとする。この制御時には、設定温度と空調空気ＳＡの温度に基づいて三方比例制御弁１６の分流比を制御する吹出温度制御部４０と、設定湿度と空調空気の湿度から加湿器２１での加湿量を制御する吹出湿度制御部４１と、その加湿器２１への制御出力と予め最小の加湿量となるように加湿出力設定値ＳＰ６とが入力され、これに基づいてインバータ装置２７の運転周波数、電子膨張弁１７の開度、凝縮器１５への冷却水量を制御する制御出力を作り出すための加湿出力制御部４５とを備えることで消費電力を低減している。

また、特許文献２には、特許文献１と共通する構成に加えて補助電気ヒータ５０を備えた精密温度制御が示されている。補助電気ヒータ５０は、蒸発器１９に空気を取り込む方向での上流側に配置され、外気温度と設定温度との偏差が大きい場合には、この補助電気ヒータ５０によって空気を加熱することにより、補助電気ヒータ５０と再加熱器２０とで加熱が行われ、外気温度と設定温度との偏差が大きく異なる状況でも良好に精密温度制御を行えるものにしている。

特開２００３−３０２０８８号公報（段落番号〔００１８〕〜〔００４０〕、図３）特開２００４−１７００４４号公報（図３）

例えば、メンテナンスを行った直後のように、チャンバーの温度が外気温と等しい状況等においてチャンバーの温調制御を開始する場合には、急激な温度変化を避けると共に、チャンバー内の蓄熱を完全に除去する目的から、一週間程度の期間を掛けてチャンバーの温度を徐々にシフトさせる制御を行うのが一般的である。このように時間を掛けて徐々に温調を行う操作をエイジングと称している。

このエイジングを行う場合には、チャンバーの温度を計測し、この計測値が単位時間内において大きく変動しないようにチャンバーの温度をフィードバックする温調制御が行われる。また、このようにエイジングを行う際には、チャンバーの温度を高精度で維持するための温調制御を用いることも可能である。

しかしながら、エイジングを行う際に、チャンバーの温度を高精度で維持するための温調制御を行うと、エネルギー消費が増大することが考えられる。つまり、０．０５℃程度の精度で目標温度に維持する制御を行うためには、冷却手段で冷却された空気の温度を、チャンバーからフィードバックされる温度変化に対応して迅速に変化させる必要があり、例えば、短時間のうちに空気に与える熱量を調節することが可能な電気ヒータを用いることも考えられる。

しかしながら、電気ヒータを用いたものでは、チャンバーの温度を高精度で維持することが可能である反面、エイジングを行う際には、温調のために電力を短時間のうち増減させる制御を行うことになり、エネルギーの無駄な消費に繋がることも考えられる。特に、エイジング制御では急激な温度変化を抑制する必要があるものの、チャンバーを温調目標値に維持する制御ほど高精度の温度管理を必要としないものであり、このような観点を考慮することが望まれている。

本発明の目的は、チャンバーの温度をエイジングする際にエネルギーを無駄に消費することのない温調装置を合理的に構成する点にある。

本発明の特徴は、冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発を行う冷凍サイクルによってチャンバーから取り込んだ空気を冷却する冷却手段と、冷却手段で冷却された空気を加熱して前記チャンバーに供給する加熱手段とを備えている温調装置であって、
前記加熱手段が、前記冷却手段から送り出された空気を、前記冷凍サイクルで圧縮された冷媒の一部との熱交換又は電気ヒータで加熱する第１加熱部と、この第１加熱部から送り出された空気を電気ヒータで加熱して前記チャンバーに供給する第２加熱部とを備えて構成され、
前記チャンバーの内部温度を計測するチャンバー温センサを備え、このチャンバー温センサの計測値と、温調目標値との偏差が規定値を超える状況では、前記第２加熱部での加熱は行わずに前記第１加熱部での加熱を行うエイジング制御を行い、前記偏差が前記規定値未満である状況では前記第１加熱部と前記第２加熱部とでの加熱を行う高精度温調制御を行う制御手段を備えている点にある。

この構成によると、このエイジング制御を行う際には、冷却手段で冷却された空気を第１加熱部だけで加熱するので、第２加熱部でエネルギーを消費することがない。また、チャンバーの内部温度を高精度で温調目標値に維持する高精度温調制御では、冷却手段で冷却された空気を第１加熱部と第２加熱部とで加熱するので、高精度での温調制御を行える。つまり、高精度の温度管理を必要としないエイジング制御では第２加熱部の電気ヒータを用いずに済む。その結果、チャンバーの温度をエイジングする際にエネルギーを無駄に消費することのない温調装置が合理的に構成された。

本発明は、前記エイジング制御において、前記制御手段が、前記チャンバー温センサの計測値と前記温調目標値との中間の温度となるエイジング制御目標値を求め、チャンバー温センサの計測値がエイジング制御目標値で平衡するように前記第１加熱部を制御しても良い。これによると、高精度温調制御と共通するフィードバック制御系を用いてエイジング制御を実現できる。

本発明は、前記エイジング制御として、温度値が異なる複数の前記エイジング制御目標値を設定し、この複数のエイジング制御目標値のうち前記温調目標値との温度差が大きいものから順次指定して温調制御を行っても良い。これによると、エイジング制御目標を順次設定する形態でチャンバー温センサの計測値をフィードバックする制御を行うことになり急激な温度変化を招くことのない温調制御が実現する。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔温調装置の基本構成〕
図１、図２に示すように、恒温に維持されるべきクリーンルームで成るチャンバーＲを備えた施設の内部に、チャンバーＲの空気を吸引して温度調節を行った後にチャンバーＲに供給することにより空気を循環させてチャンバーＲの温度を目標とする温度（温調目標値・例えば、２３℃）に維持する制御を行う温調装置が構成されている。

前記チャンバーＲの内部には、精密な温度管理を必要とする半導体製造ライン等を構成する機器Ｂが設置されている。チャンバーＲの側壁１は温度管理のために断熱性の優れた壁材で形成され、天井壁２は空気循環のために空気の通過を許すメッシュやスリットを有した構造の壁材が使用され、平滑な床面３が形成されている。複数の側壁１の１つには温調制御系に空気を送り出す吸気開口１Ａが形成されている。尚、このチャンバーＲから空気を排出するための経路を床面３より下部に形成しても良く、この場合、床面３には空気が流通する多数の開口が形成されることになる。

温調装置は、吸気開口１Ａから導入空間５を介して吸引した空気を冷却手段としての冷却部Ｃで冷却した後に第１加熱部Ｄで加熱すると共に、この第１加熱部Ｄで加熱された空気をダクト６を介してファン７に送る。次に、このファン７から送り出された空気を第２加熱部Ｅで加熱し、送風路８によってチャンバーＲの上部空間９に供給し、エアーフィルタ１０によって塵埃を除去し、チャンバーＲの天井壁２からチャンバーＲ内に供給する空気の循環系を備えている。この第１加熱部Ｄと第２加熱部Ｅとで本発明の加熱手段が構成されている。

この温調装置は、チャンバーＲ内に設置された機器Ｂの内部温度を計測するチャンバー温センサＴＳ３と、前記ファン７から送り出される空気の温度を計測する送風部温センサＴＳ１と、天井壁２からチャンバーＲ内に供給される空気の温度を計測する吹出部温センサＴＳ２とを備えている。これらのセンサはサーミスタ等、空気温を電気信号として取得するものが使用されている。

また、温調装置は、主制御ユニットＨＲ３と、送風部温センサＴＳ１の計測値に基づいて第１加熱部Ｄを制御する第１制御ユニットＨＲ１と、吹出部温センサＴＳ２の計測値に基づいて第２加熱部Ｅを制御する第２制御ユニットＨＲ２とを備えている。

主制御ユニットＨＲ３、第１制御ユニットＨＲ１、第２制御ユニットＨＲ２は独立して制御対象に制御信号を出力して温調制御を行う機能を有するものであるが、夫々とも相互に情報のアクセスを行う信号系が形成されている。そして、主制御ユニットＨＲ３にセットされているプログラムの情報を第１制御ユニットＨＲ１と第２制御ユニットＨＲ２とに与えることで温調制御が行われる。この温調制御により、チャンバーＲの内部温度を温調目標値を基準にして±０．０５℃で範囲内に収める高い精度の温度管理を実現する。

〔温調系〕
冷却部Ｃは冷媒によって空気を冷却する冷凍サイクルを備えている。つまり、圧縮機１２で圧縮された冷媒は主流路Ｌｍに沿って配置された凝縮器１４、膨張弁１５に順次送られ、次に、冷却部Ｃを構成する蒸発器１６に送られ、この後、圧縮機１２に戻すように冷凍サイクルが構成されている。また、圧縮機１２で圧縮された冷媒の一部は、分岐流路Ｌｂに分流されて第１加熱部Ｄを構成する再加熱器１７に送られ、膨張弁１３を経て主流路Ｌｍの膨張弁１５と蒸発器１６との間に戻される。

尚、第１加熱部Ｄは電気ヒータによって空気を加熱するように構成しても良い。また、図１、図２では膨張弁１３、凝縮器１４、膨張弁１５を冷媒処理ユニットＦとして示している。

圧縮機１２は、冷媒を圧縮するポンプとして機能するものであり、この圧縮機１２を駆動する電動モータＭとして三相モータが使用されている。

膨張弁１３は冷媒の膨張を許す機能を有するものであり、電磁弁等のアクチュエータの作動によって冷媒の流量を調節しており、さらに、主流路Ｌｍに対する分岐流路Ｌｂの冷媒の分流比の調節を電磁式に行う。
凝縮器１４は、圧縮された冷媒を冷却水や外気によって冷却して液化する熱交換系を備えている。膨張弁１５は液化した冷媒の膨張を許す機能を有するものであり、電磁弁等のアクチュエータの作動等によって冷媒の流量を調節可能に構成されている。

冷却部Ｃは、蒸発器１６において空気との接触面積を拡大する多数のフィンを備えた構造を有している。第１加熱部Ｄは、前述したように主流路Ｌｍに送られる冷媒の潜熱を空気に与えるように再加熱器１７において空気との接触面積を拡大する多数のフィンを備えた構造を有している。尚、冷却部Ｃは一般的な構成を示したものであり、冷却機能を有するものであれば、これ以外の構成のものを用いても良い。

ファン７は、電動モータで駆動されるシロッコファンが用いられている。第２加熱部Ｅは通電により発熱する電気ヒータ１８を備えている。

主制御ユニットＨＲ３は、電動モータＭを制御するモータ制御回路（図示せず）と、膨張弁１５を制御する弁制御回路（図示せず）とを備えると共に、チャンバーＲの温度を温調目標値に高精度で維持するための高精度温調制御部２１と、温調目標値とチャンバー温センサＴＳ３で計測される計測値との偏差が規定値を超える状況においてエイジング制御を実現するエイジング制御部２２とを備えている。この高精度温調制御部２１とエイジング制御部２２とはソフトウエアによって構成されるものであるが、ソフトウエアとハードウエアとの組み合わせによって構成されるものでも良い。また、この高精度温調制御部２１とエイジング制御部２２とについては後述する。

第１制御ユニットＨＲ１は、送風部温センサＴＳ１の計測値に基づいて第１加熱部Ｄの温度制御を行うために、膨張弁１３を制御する弁制御回路（図示せず）を備えると共に、この第１加熱部Ｄの制御を実現するソフトウエアを備えている。

第２制御ユニットＨＲ２は、吹出部温センサＴＳ２の計測値に基づいて第２加熱部Ｅの温度制御を行うために、第２加熱部Ｅの電気ヒータ１８に供給する電力を制御する電力制御回路（図示せず）を備えると共に、この第２加熱部Ｅの制御を実現するソフトウエアを備えている。特に、この第２制御ユニットＨＲ２はエイジング制御時において、第１加熱部Ｄの温度制御を行うために、膨張弁１３を制御する弁制御回路も備えている。

本実施形態では、主制御ユニットＨＲ３、第１制御ユニットＨＲ１、第２制御ユニットＨＲ２夫々を併せて温調制御を実現する制御手段が構成されている。

〔制御形態〕
この温調装置では、チャンバー温センサＴＳ３で計測される計測値ＰＶ３と、チャンバーＲにおける制御目標としての温調目標値ＳＰ３との偏差が規定値Ａ℃を超える状況では、第２加熱部Ｅを機能させずに冷却部Ｃと第１加熱部ＤとによってチャンバーＲの温度を温調目標値ＳＰ３まで設定時間を費やしてシフトさせるエイジング制御を行う。これとは逆に、計測値ＰＶ３と、温調目標値ＳＰ３との偏差が規定値Ａ℃未満である状況では、チャンバー温センサＴＳ３で計測される計測値ＰＶ３が温調目標値ＳＰ３と平衡させる高精度温調制御を行うように制御手段の制御形態が設定されている。この制御形態を図３のフローチャートのように示すことが可能である。

つまり、制御を開始すると、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３を取得し、制御目標とする温調目標値ＳＰ３との偏差を取得すると共に、この計測値ＰＶ３と温調制御目標値ＳＴ３との偏差を規定値Ａ℃と比較する。この比較によって偏差が規定値Ａ℃を超える場合にはエイジング制御を実行し（エイジング制御部２２が実行する）、偏差が規定値Ａ℃を超えない場合には高精度温調制御を実行する（＃１０１〜＃１０４ステップ・高精度温調制御部２１が実行する）。

エイジング制御（＃１０３ステップ）では、制御開始時における偏差を初期偏差と称しており、この初期偏差の温度値を複数に分割することにより複数のエイジング制御目標値を設定する。具体的には、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３が温調目標値ＳＰ３より５℃高温であり（初期偏差が５℃であり）、この初期偏差を１℃単位で分割する場合には、温調目標値ＳＰ３を基準にして１℃単位で増大する４つのエイジング制御目標値が設定される。尚、エイジング制御目標値を設定する際には、例えば、０．５℃単位で設定する等、１℃単位で設定する必要はない。

複数のエイジング制御目標値が設定された後には、第２加熱部Ｅの機能を停止した状態で（第２加熱部Ｅの電気ヒータ１８を駆動しない状態で）、複数のエイジング制御目標値のうち、温調目標値ＳＰ３と最も温度差が大きいエイジング制御目標値とチャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３がエイジング制御目標値と平衡するように温調制御が行われる。

特に、この温調制御では、エイジング制御目標値を設定して制御を開始した後には、平衡状態に達しても、設定時間が経過するまでエイジング制御目標値を変更することなく、その平衡状態を維持する。この設定時間は長い程良好な温調を実現するものであり、例えば数時間や、２４時間等の値が設定しても良い。これにより、チャンバーＲの蓄熱が良好に除去される。

また、エイジング制御を行う際において、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３がエイジング制御目標値と平衡状態に達するまでの時間は、前述した設定時間に近い値であることが望ましい。

尚、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３がエイジング制御目標値と平衡するとの意味は、温度が完全に一致する状況を指すものではなく、エイジング制御目標値を基準にして高温側と低温側とに設定された温度領域に計測値ＰＶ３が含まれる状態を指す。また、平衡とは制御目標と計測値との偏差の絶対値が所定値未満に達する状態であると説明することも可能である。

このようにエイジング制御目標値が設定された後に平衡状態に達した状態で設定時間が経過したことを判別した場合には、次のエイジング制御目標値を設定して、先の温調制御と同様の制御が実行される。このようにエイジング制御目標値を複数回変更することによりチャンバーＲの温度が温調目標値ＳＰ３に近付くものとなる。そして、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３を取得し、制御目標とする温調目標値ＳＰ３との偏差が規定値Ａ℃を超えない場合に高精度温調制御に移行する。

この高精度温調制御（＃１０４ステップ）では、送風部温センサＴＳ１の計測部位における送風部目標値ＳＰ１として、温調目標値ＳＰ３より僅かに低い温度が設定されると共に、送風部温センサＴＳ１の計測値ＰＶ１と送風部目標値ＳＰ１とを平衡させる制御が実行される。また、吹出部温センサＴＳ２の計測部位における吹出部目標値ＳＰ２として温調目標値ＳＰ３が設定されると共に、吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とを平衡させる制御が実行される。結果、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３と温調目標値ＳＰ３とを平衡させる温調制御が可能となる。

このようなエイジング制御と高精度温調制御とはリセットされるまで継続される（＃１０５ステップ）。

〔制御の別実施形態〕
前記温調制御では、エイジング制御と高精度温調制御との切り換えを主制御ユニットＨＲ３が行っていたが、例えば、メンテナンスを行った直後のようにチャンバーＲの温度が温調目標値ＳＰ３から大きくかけ離れていることが明らかである場合や、内部に設置された機器Ｂが待機状態にある場合には、エイジング制御をまず実行するように制御形態を設定しても良い。この制御形態を図４のフローチャートのように示すことが可能である。

つまり、制御の開始時には、オペレータがエイジング制御を人為的に設定することによりエイジング制御が開始される。このエイジング制御は、チャンバー温センサＴＳ３で計測される計測値ＰＶ３（チャンバーＲの温度）と、温調目標値ＳＰ３との偏差が規定値Ａ℃未満となる状況に達するまで継続する（＃２０１〜＃２０３ステップ）。

エイジング制御は前述したものと同様に、制御開始時における偏差を初期偏差と称しており、この初期偏差の温度値を複数に分割することにより複数のエイジング制御目標値を設定する。

特に、この温調制御では、エイジング制御目標値を設定して制御を開始した後には、平衡状態に達しても、設定時間が経過するまでエイジング制御目標値を変更することなく、その平衡状態を維持する。この設定時間は長い程良好な温調を実現する。

このようにエイジング制御目標値が設定された後に平衡状態に達した状態で設定時間が経過したことを判別した場合には、次のエイジング制御目標値を設定して、先の温調制御と同様の制御が実行される。このようにエイジング制御目標値を複数回変更することによりチャンバーＲの温度が温調目標値ＳＰ３に近付くものとなる。そして、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３を取得し、制御目標とする温調目標値ＳＰ３との偏差が規定値Ａ℃を超えない状況に達した場合には高精度温調制御に移行する（＃２０４ステップ）。

この高精度温調制御（＃２０４ステップ）では、送風部温センサＴＳ１の計測部位における送風部目標値ＳＰ１として、温調目標値ＳＰ３より僅かに低い温度が設定されると共に、送風部温センサＴＳ１の計測値ＰＶ１と送風部目標値ＳＰ１とを平衡させる制御が実行される。また、吹出部温センサＴＳ２の計測部位における吹出部目標値ＳＰ２として温調目標値ＳＰ３が設定されると共に、吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とを平衡させる制御が実行される。結果、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３と温調目標値ＳＰ３とを平衡させる温調制御が可能となる。

このようなエイジング制御と高精度温調制御とはリセットされるまで継続される（＃２０５ステップ）。

一方、エイジング制御と高精度温調制御との切り換えまでをオペレータにより実行するのであれば、図５に示すように、エイジング制御を先ず行い（＃３０１ステップ）、オペレータによる高精度温調制御への移行指令を受け付けた後（＃３０３ステップ：ｙｅｓ）、高精度温調制御を実行する（＃３０４ステップ）ように構成できる。この場合、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３を取得・表示しておき（＃３０２ステップ）、オペレータがこの表示からエイジング制御から高精度温調制御への移行指令を入力する構成を採用しておけばよい。

〔実施例効果〕
このように、チャンバーＲの温度が外部の空気温度と等しい状態からチャンバーＲの温調を行う場合のように、チャンバー温センサＴＳ３の計測部位の温調目標値ＳＰ３（チャンバーＲの目標温度）と、チャンバー温センサＴＳ３の計測部位の計測値ＰＶ３との偏差が大きい状況から温調制御を行う際には、偏差に基づいて自動的にエイジング制御を実行する場合、あるいは、人為的な設定によりエイジング制御を実行する場合の何れの場合においても、このエイジング制御では、第２加熱部Ｅを機能させないので、この第２加熱部Ｅの電気ヒータ１８に供給する電力を必要とせず、省エネルギーが実現する。

また、エイジング制御では、段階的にエイジング制御目標値を変更すると同時に充分に時間を掛けて温調制御を実行するので、チャンバーＲの蓄熱を確実に除去できるものにしており、高精度温調制御では、第２加熱部Ｅを機能させることにより精度の高い温調制御を実現する。

チャンバーと温調装置とを模式的に示す図冷凍サイクルと制御構成とを示す図温調制御のフローチャート別実施形態の温調制御のフローチャート別実施形態の温調制御のフローチャート

符号の説明

１８電気ヒータ
Ａ規定値
Ｃ冷却手段（冷却部）
Ｄ第１加熱部
Ｅ第２加熱部
Ｒチャンバー
ＨＲ３制御手段（主制御ユニットＨＲ３）
ＴＳ３チャンバー温センサ

Claims

冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発を行う冷凍サイクルによってチャンバーから取り込んだ空気を冷却する冷却手段と、冷却手段で冷却された空気を加熱して前記チャンバーに供給する加熱手段とを備えている温調装置であって、
前記加熱手段が、前記冷却手段から送り出された空気を、前記冷凍サイクルで圧縮された冷媒の一部との熱交換又は電気ヒータで加熱する第１加熱部と、この第１加熱部から送り出された空気を電気ヒータで加熱して前記チャンバーに供給する第２加熱部とを備えて構成され、
前記チャンバーの内部温度を計測するチャンバー温センサを備え、このチャンバー温センサの計測値と、温調目標値との偏差が規定値を超える状況では、前記第２加熱部での加熱は行わずに前記第１加熱部での加熱を行うエイジング制御を行い、前記偏差が前記規定値未満である状況では前記第１加熱部と前記第２加熱部とでの加熱を行う高精度温調制御を行う制御手段を備えている温調装置。
前記エイジング制御において、前記制御手段が、前記チャンバー温センサの計測値と前記温調目標値との中間の温度となるエイジング制御目標値を求め、チャンバー温センサの計測値がエイジング制御目標値で平衡するように前記第１加熱部を制御する請求項１記載の温調装置。
前記エイジング制御として、温度値が異なる複数の前記エイジング制御目標値を設定し、この複数のエイジング制御目標値のうち前記温調目標値との温度差が大きいものから順次指定して温調制御を行う請求項２記載の温調装置。