JP2009231718A - ドライエッチング終点検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ドライエッチング終点検出方法であって、コンタクトホール等のドライエッチング工程において、プラズマ発光のスペクトル分析を利用するものである。そして、2波長の発光強度比の時系列データを二次微分演算して第2変極点(just2)402でエッチング終点を検知することにより、エッチング終点検出の安定化を達成する。また、異常放電を同時に検出することにより、外乱を排除し、エッチング終点検出の安定化を達成する。
【選択図】図4
Description
(2)波長選択設定:取得波形設定(任意で設定、226nm(CO)、387nm(CN))、平均化、スムージング
(3)演算条件設定:波形計算、波形正規化、一次微分演算、二次微分演算
(4)シーケンス設定:DelayTime(検出開始までの時間)、終点閾値設定、終点検出設定
本実施の形態によるドライエッチング終点検出方法は、次の手順で実施される。
402 第2変極点(just2)
Claims (5)
- ドライエッチング中に生じるプラズマ発光のスペクトル分析によりエッチング終点を判定するドライエッチング終点検出方法であって、
被エッチング膜特有の第1波長の発光強度の第1時系列データと、前記被エッチング膜の下層のストッパ膜特有の第2波長の発光強度の第2時系列データとを得る工程と、
前記第1時系列データと前記第2時系列データとの各時刻における比率を求めて第3時系列データを得る工程と、
前記第3時系列データについて二次微分演算を行い、第4時系列データを得る工程と、
前記第4時系列データに基づいて変極点を検知する工程と、
前記変極点に基づいてエッチング終点を判定する工程と、を有することを特徴とするドライエッチング終点検出方法。 - 請求項1記載のドライエッチング終点検出方法において、
前記ドライエッチングは、コンタクト又はヴィアのホール作製工程における処理であって、
前記被エッチング膜は酸化膜であり、
前記ストッパ膜は窒化膜であることを特徴とするドライエッチング終点検出方法。 - 請求項2記載のドライエッチング終点検出方法において、
前記第1波長は酸素元素特有の波長であり、
前記第2波長は窒素元素特有の波長であることを特徴とするドライエッチング終点検出方法。 - 請求項1記載のドライエッチング終点検出方法において、
前記ドライエッチングの対象となる前記被エッチング膜のパターン占有率が略0.7%〜5%であることを特徴とするドライエッチング終点検出方法。 - 請求項2記載のドライエッチング終点検出方法において、
前記ドライエッチングの対象となる前記被エッチング膜のパターン占有率が略0.7%〜2%であることを特徴とするドライエッチング終点検出方法。
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