JP3885060B2 - プラズマエッチング処理方法 - Google Patents
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Description
通常エッチングの終点は2次微分波形がゼロクロス(ゼロ点を通過)する時点を終点とすることが多い。従って、本発明の実施例では、予め設定する判定値2の絶対値は小さい値を設定する。ここで2次微分波形単独でのエッチング終点判定をしたとすると、ノイズ成分の影響を受けてエッチング終点を誤検出する可能性が非常に大きい。また、ここで1次微分波形単独でのエッチング終点判定をしたとすると、1次微分波形は2次微分波形と比べるとノイズの影響は小さいためエッチング終点付近は検出できるが、2次微分波形がゼロクロスする時点を正確に求めることはできない。つまり、ノイズ成分が多い波形に対しては、まず大まかなエッチング終点を1次微分波形で判定し、次に正確なエッチング終点を2次微分波形で判定する1次2次微分コンビネーション判定が1次微分波形や2次微分波形の単独でのエッチング終点判定に比べて非常に有利となり安定した終点判定を提供できる。
Claims (2)
- ウエハをチャンバ内に配置してこのチャンバ内にプラズマを形成して前記ウエハをエッチング処理するプラズマエッチング処理方法であって、
前記ウエハのエッチング処理中にチャンバ内で発生したプラズマの特定波長の発光強度に応じた信号波形を検出し、
このプラズマの発光に関する信号波形をデジタルフィルタによりノイズを低減し、その後1次微分及び2次微分し1次微分波形信号及び2次微分波形信号とを検出し、
前記1次微分波形信号の値が予め設定した第1の判定条件を満たした後に前記2次微分波形信号の値が予め設定した第2の判定条件を満たした場合に、前記エッチング処理が終点に達したと判定するプラズマエッチング処理方法。 - 前記1次微分波形信号の値が予め設定した第1の判定値を超えた場合に前記第1の判定条件が満たされたと判定され、前記2次微分波形信号の値が予め設定した第2の判定値を超えた場合に前記第2の判定条件を満たしたと判定される請求項1に記載のプラズマエッチング処理方法。
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