JP2009231341A - アニール装置、SiC半導体基板の熱処理方法 - Google Patents
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Abstract
【要 約】
【課題】SiC半導体基板の表面荒れを起こさない熱処理技術を提供する。
【解決手段】
SiC半導体基板10を配置する加熱容器21の蓋部41の裏面にSiCを露出させ、SiC半導体基板10の不純物層が形成された表面をSiCと対面させた状態で加熱し、熱処理を行なう。高温のSiC半導体基板10の表面からSiが脱離しても、対面する蓋部41のSiCから脱離したSiがSiC半導体基板10の表面に取り込まれるので、表面あれを防止することができる。
【選択図】 図2
【課題】SiC半導体基板の表面荒れを起こさない熱処理技術を提供する。
【解決手段】
SiC半導体基板10を配置する加熱容器21の蓋部41の裏面にSiCを露出させ、SiC半導体基板10の不純物層が形成された表面をSiCと対面させた状態で加熱し、熱処理を行なう。高温のSiC半導体基板10の表面からSiが脱離しても、対面する蓋部41のSiCから脱離したSiがSiC半導体基板10の表面に取り込まれるので、表面あれを防止することができる。
【選択図】 図2
Description
本発明はSiC半導体基板を熱処理する技術に係り、特に、熱処理の際のSiC半導体基板の表面荒れを防止する技術に関する。
シリコン・カーバイドと呼ばれるSiC材料は、セラミックス材料として、ディーゼルエンジンの排ガス用フィルターや高温ファンの羽根等の使用環境が高温の部品に使用されているが、近年では、シリコンに比べて高耐圧,低損失で,素子の消費電力を低減することができることから、高性能半導体材料として注目されている。
特に、パワー半導体に使用した場合、シリコンよりも熱伝導率が高いので冷却のためのファンが不要になったり高温でも使用できる等、熱伝導性、耐熱性に優れる他、耐薬品性、耐放射線性にも優れており利点は多い。
しかし、SiC半導体素子としてショットキーダイオードは初期から試作されているものの、主流と目されるMOSFETは近年漸く試作された。
MOSFETの作成が困難な理由は、第一に半導体素子中を流れる電流を制御するチャネル部の抵抗が高いことであり、第二はSiCウエハーの欠陥の密度が高いことが挙げられる。
MOSFETの作成が困難な理由は、第一に半導体素子中を流れる電流を制御するチャネル部の抵抗が高いことであり、第二はSiCウエハーの欠陥の密度が高いことが挙げられる。
n型SiCの形成にはリン(P)等のV族元素不純物をSiCに添加する必要があるが、これらの不純物の熱拡散係数は極めて小さく、Si素子製造で従来から使われている熱拡散法ではSiC内に導入できない。
そこで不純物を導入するために、不純物をイオン化し、イオン注入する技術が使用されているが、イオン注入後、SiC半導体基板をアニール処理し、注入にともなって導入された結晶欠陥を回復させ、かつドーピングされた不純物原子を電気的に活性化させるア二ール処理が行なわれる。
SiC半導体基板中の不純物の活性化のためには、通常1500℃以上の高温が必要とされている。しかし、このような高温においては、SiC半導体基板自体の表面からSiが脱難し、表面荒れが生じてしまう。
このような表面荒れが生じたSiC半導体基板を用いてMOSデバイスを作成した場合、チャンネル部上の酸化膜とSiCの界面が平坦でなくなるため、電子の移動度が低くなり、デバイス特性を低下させてしまう。したがって、アニール後のSiC半導体基板の表面はできるだけ平坦であることが望ましい。
このため、従来技術では、1)ア二ール温度までの温度上昇時間及びアニール後の温度降下時間を極力短くして表面荒れを抑える方法や、2)図6に示すように、SiC半導体基板111のイオン注入層112の表面に、カーボンあるいはDLC膜等の保護膜113を形成した状態でアニール処理を行ない、保護膜113によってSiの脱離を防止する方法が用いられている。
しかし、1)の方法においては、昇温、あるいは降温時間を短くしても、温度を高温に保持するア二ール時にどうしても表面荒れが生じてしまう。また、降温速度を大きくすると、SiC半導体基板が割れ易いという新たな問題を生じてしまう。
また、2)の方法においては、保護膜の形成や除去のための工程が必要となるため、プロセスが非常に煩雑になってしまうという問題点があった。
国際公開第97/39476号パンフレット
また、2)の方法においては、保護膜の形成や除去のための工程が必要となるため、プロセスが非常に煩雑になってしまうという問題点があった。
本発明の課題は、不純物がイオン注入されたSiC半導体基板を高温に保持してア二ールする際に、SiC半導体基板表面からのSi原子の蒸発にともなって引き起こされるウエハー表面荒れを抑制し、平坦な表面を保ったままドーピングされた不純物原子を電気的に活性化させる技術を提供することにある。
上記課題を解決するため、加熱容器と、前記加熱容器を加熱する加熱装置を有するアニール装置であって、前記加熱容器は、底面上にSiC半導体基板が配置される容器本体部と、前記容器本体部の開口上に配置され、裏面が前記SiC半導体基板の表面と対面する蓋部とを有し、前記蓋部の前記SiC半導体基板と対面する部分はSiCが露出されたアニール装置である。
また、本発明は、前記加熱容器内の前記SiC半導体基板を取り囲む前記容器本体部の側壁部の表面にはSiCが露出されたアニール装置である。
また、本発明は、SiC半導体基板を加熱して前記SiC半導体基板の熱処理を行なう熱処理方法であって、前記SiC半導体基板の不純物層が形成された表面を、SiCが露出する蓋部と対面させ、前記SiC半導体基板と前記蓋部とを加熱する熱処理方法である。
また、本発明は、前記SiC半導体基板を内周面にSiCが露出するリング状の側壁部によって取り囲み、前記蓋部を加熱する際に前記側壁部を加熱する熱処理方法である。
また、本発明は、前記加熱容器内の前記SiC半導体基板を取り囲む前記容器本体部の側壁部の表面にはSiCが露出されたアニール装置である。
また、本発明は、SiC半導体基板を加熱して前記SiC半導体基板の熱処理を行なう熱処理方法であって、前記SiC半導体基板の不純物層が形成された表面を、SiCが露出する蓋部と対面させ、前記SiC半導体基板と前記蓋部とを加熱する熱処理方法である。
また、本発明は、前記SiC半導体基板を内周面にSiCが露出するリング状の側壁部によって取り囲み、前記蓋部を加熱する際に前記側壁部を加熱する熱処理方法である。
SiC半導体基板表面荒れが防止されるので、高速動作するMOSFETを形成できるSiC半導体基板が得られる。
イオン注入されたSiC半導体基板表面に保護膜を形成する必要がないため、保護膜の形成、除去といった煩雑な工程を省略することができ、デバイスプロセス工程が簡略化する。
また、形成された保護膜自体のストレスで導入される結晶欠陥や、保護膜の形成、除去のプロセスにともない導入される結晶欠陥の心配が全くないため、高品質な、歩留まりの高いデバイスを作成することができる。
イオン注入されたSiC半導体基板表面に保護膜を形成する必要がないため、保護膜の形成、除去といった煩雑な工程を省略することができ、デバイスプロセス工程が簡略化する。
また、形成された保護膜自体のストレスで導入される結晶欠陥や、保護膜の形成、除去のプロセスにともない導入される結晶欠陥の心配が全くないため、高品質な、歩留まりの高いデバイスを作成することができる。
図2の符号1は、本発明のアニール装置を示している。このアニール装置1はアニール室15と加熱装置70と加熱容器21とを有している。加熱容器21はアニール室15の内部に配置されている。
加熱容器21は容器本体部31と蓋部41とを有しており、容器本体部31の開口上に蓋部41を乗せると加熱容器21の内部空間は、容器本体部31の底面及び内周面と蓋部41の底面によって取り囲まれる。
容器本体部31の凹部底面上に処理対象のSiC半導体基板10を配置し、容器本体部31の開口上に蓋部41を乗せるとSiC半導体基板10の表面は、容器本体部31の壁面と対面する。
図1は、加熱容器21内に配置されるSiC半導体基板10の断面図である。このSiC半導体基板10は、イオン注入法によって表面にN型やP型の不純物が注入されており、不純物層12が形成されている。不純物層12の表面は平坦である。
加熱容器21の容器本体部31は、板状の底板31aと、該底板31a上に設けられた環状の側壁部31bとで構成されている。
底板31aは板状のカーボングラファイトで構成されているが、側壁部31bと蓋部41はSiCで構成されており、側壁部31bと蓋部41はSiCで構成され、側壁部31bの内周面と蓋部41の底面にはSiCが露出されている。
底板31aは板状のカーボングラファイトで構成されているが、側壁部31bと蓋部41はSiCで構成されており、側壁部31bと蓋部41はSiCで構成され、側壁部31bの内周面と蓋部41の底面にはSiCが露出されている。
SiC半導体基板10は、不純物層とは反対側の裏面が底板31a表面と接触して容器本体部31の内部に配置されており、SiC半導体基板10の不純物層の表面は蓋部41の表面のSiCと対面している。
ここでは蓋部41の表面とSiC半導体基板10の表面の間の距離Lは、1mm以上20mm以下になるようにされている。
ここでは蓋部41の表面とSiC半導体基板10の表面の間の距離Lは、1mm以上20mm以下になるようにされている。
加熱装置70は、加熱コイル71を有している。
加熱コイル71は、アニール室15の外部又はアニール室15の内部に配置されており、加熱容器21は、加熱コイル71が巻き回された領域内に配置されている。
加熱コイル71は、アニール室15の外部又はアニール室15の内部に配置されており、加熱容器21は、加熱コイル71が巻き回された領域内に配置されている。
アニール室15には、真空排気系16とガス導入系17とが接続されており、真空排気系16によってアニール室15の内部を真空排気し、加熱容器21の内部と周囲を真空雰囲気にした後、ガス導入系17から希ガス(ここではアルゴンガス)を導入し、SiC半導体基板10を1気圧の希ガス雰囲気中に置く。
加熱コイル71は交流電源72に接続されており、交流電源72を動作させ、加熱コイル71に交流電圧を印加すると、加熱コイル71によって巻き回わされた領域に交番磁界が形成され、その領域に配置された容器本体部31や蓋部41の内部に誘導電流が流れ、容器本体部31と蓋部41が加熱される。
SiC半導体基板10は容器本体部31からの熱伝導や蓋部41からの熱輻射等によって加熱され、加熱容器21とSiC半導体基板10は、1500℃〜2400℃のアニール温度に昇温される。不純物層12内の不純物はこの温度で電気的に活性化される(アニール処理)。
この温度ではSiC半導体基板10の表面からSi原子が蒸発によって脱離するが、加熱容器21の側壁部31bと蓋部41の表面からもSi原子が蒸発し、加熱容器21の内部にSi原子が放出されるので、SiC半導体基板10の表面のSiが脱離した後の部分に加熱容器21から放出されたSi原子が取り込まれ、SiC半導体基板10の表面の平坦性が維持される。
なお、アニールに際しての典型的な昇温速度は、室温から1000℃までが10分、1000℃からア二ール温度までが3分、アニール温度での保持時間が3分、ア二ール温度から室温までの降温時間が30分である。
1気圧の希ガス雰囲気で、1800℃、3分間のアニール処理を行なったところ、SiC半導体基板10の表面粗さは、Ra=0.456nmであった。
1気圧の希ガス雰囲気で、1800℃、3分間のアニール処理を行なったところ、SiC半導体基板10の表面粗さは、Ra=0.456nmであった。
比較のため、容器本体部と蓋部がカーボングラファイトで構成され、表面にSiCが露出しない加熱容器の内部に、上記と同じ構造のSiC半導体基板を配置し、同じ条件でアニール処理を行なったところ、アニール処理後のSiC半導体基板の表面粗さはRa=2.164nmであり、表面荒れが見られた。
なお、上記加熱容器21の底板31aはカーボングラファイトであったが、SiC板を用いてもよい。
なお、上記加熱容器21の底板31aはカーボングラファイトであったが、SiC板を用いてもよい。
また、図3のアニール装置2のように、容器本体部32の環状の側壁部32aと加熱容器22の蓋部42の表面のSiC表面に凹凸52a、52bをそれぞれ設け、SiC半導体基板10の表面が、凹凸52a、52bを有するSiC露出面で囲まれるようにすると、加熱容器22で密閉された空間に露出するSiCの表面積は、凹凸52a、52bが無い場合に比べて増大され、凹凸52a、52bが無い場合よりも大量のSiが放出されるので、SiC半導体基板10からSiが放出され後を高効率で補充できるようになっている。この場合、凹凸52bの突起の先端とSiC半導体基板10表面との間の距離が1mm〜20mmになればよい。
また本発明の加熱容器は、蓋部や側壁部をSiCで形成する場合に限定されるものではなく、加熱容器の内部に露出する表面がSiCであればよい。
例えば、図4のアニール装置3のように、加熱容器23の容器本体部33と蓋部43とを、カーボングラファイトで形成し、そのカーボングラファイトの表面に、スパッタ法やCVD法によってSiC薄膜53a、53bを形成し、加熱容器23の内部空間にSiC薄膜52a、53bが露出するようにしてもよい。
例えば、図4のアニール装置3のように、加熱容器23の容器本体部33と蓋部43とを、カーボングラファイトで形成し、そのカーボングラファイトの表面に、スパッタ法やCVD法によってSiC薄膜53a、53bを形成し、加熱容器23の内部空間にSiC薄膜52a、53bが露出するようにしてもよい。
同図の加熱容器23では、容器本体部33の内周面全部にSiC薄膜53a、53bが設けられているが、図5のアニール装置4の加熱容器24のように、容器本体部34の底面には、カーボングラファイトを露出させ、その表面上に、不純物層を蓋部44に向けてSiC半導体基板10を配置してもよい(容器本体部34の側壁の内周面と蓋部44の加熱容器24の内部空間に露出する底面にはSiC薄膜54a、54bが設けられ、SiCが露出されている)。
なお、上記各アニール装置1〜4では、コイル71を用いた誘導加熱方式の加熱装置70によって加熱容器21〜24を加熱したが、抵抗加熱ヒータや赤外線ランプ等によって加熱容器21〜24とその内部空間に配置されたSiC半導体基板10を加熱するようにしてもよい。
1〜4……アニール装置
21〜24……加熱容器
31〜34……容器本体部
41〜44……蓋部
70……加熱装置
21〜24……加熱容器
31〜34……容器本体部
41〜44……蓋部
70……加熱装置
Claims (4)
- 加熱容器と、
前記加熱容器を加熱する加熱装置を有するアニール装置であって、
前記加熱容器は、底面上にSiC半導体基板が配置される容器本体部と、前記容器本体部の開口上に配置され、裏面が前記SiC半導体基板の表面と対面する蓋部とを有し、
前記蓋部の前記SiC半導体基板と対面する部分はSiCが露出されたアニール装置。 - 前記加熱容器内の前記SiC半導体基板を取り囲む前記容器本体部の側壁部の表面にはSiCが露出された請求項1記載のアニール装置。
- SiC半導体基板を加熱して前記SiC半導体基板の熱処理を行なう熱処理方法であって、
前記SiC半導体基板の不純物層が形成された表面を、SiCが露出する蓋部と対面させ、
前記SiC半導体基板と前記蓋部とを加熱する熱処理方法。 - 前記SiC半導体基板を内周面にSiCが露出するリング状の側壁部によって取り囲み、前記蓋部を加熱する際に前記側壁部を加熱する請求項3記載の熱処理方法。
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