JP2009226500A - マイクロマシン装置の製造装置及びマイクロマシン装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】犠牲層除去の速度を向上し、除去に要する時間の短縮を図ることができるマイクロマシン装置の製造装置及びマイクロマシン装置の製造方法を提供する
【解決手段】マイクロマシン装置1の製造装置としての薄膜装置30は、主面上に、電界の作用により変形する機構を備え該変形に伴って電気特性を変化させるMEMS素子16と、犠牲層18を介してMEMS素子16を覆うとともに、犠牲層16に連通する開口形状部21aを有する第1封止体21と、が形成された基板11を収容するチャンバ31と、基板11が配されたチャンバ31内に、エッチング処理により犠牲層18を除去するエッチングガス37aを導入する導入部33と、チャンバ31内の流体を排出する排出部35と、エッチング処理の間に、チャンバ31内の流体の量を変動させる調整手段としての絞り部3436と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図9
【解決手段】マイクロマシン装置1の製造装置としての薄膜装置30は、主面上に、電界の作用により変形する機構を備え該変形に伴って電気特性を変化させるMEMS素子16と、犠牲層18を介してMEMS素子16を覆うとともに、犠牲層16に連通する開口形状部21aを有する第1封止体21と、が形成された基板11を収容するチャンバ31と、基板11が配されたチャンバ31内に、エッチング処理により犠牲層18を除去するエッチングガス37aを導入する導入部33と、チャンバ31内の流体を排出する排出部35と、エッチング処理の間に、チャンバ31内の流体の量を変動させる調整手段としての絞り部3436と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図9
Description
本発明は、例えば微小電気機械部品のパッケージング等のマイクロマシン装置の製造装置及びの製造方法に関する。
マイクロマシン装置の一例として、図17〜図19に示されるように、基板102上に動作を伴うマイクロマシンとしてのMEMS素子104が搭載され、中空に封止された、微小電気機械部品(MEMS:Micro−Electro−Mechanical−Systems)101が知られている(例えば、特許文献1または2参照)。微小電気機械部品101は、基板102、絶縁層103、MEMS素子104、信号用配線105、駆動電極106、下部電極107、第1封止体108および第2封止体109で構成され、内部に中空部110を構成する。MEMS素子104は両持ちの梁構造であり、梁の中央部分が信号用配線105と数μm程度のギャップを持って成形されている。MEMS素子104の直下の絶縁層103には、信号用配線105がAuなどで形成されている。MEMS素子104は、ばね特性の高いPoly−Si(ポリシリコン)もしくはAl(アルミニウム)などで構成されており、静電力等の駆動力を与えることで信号用配線105の方へ近接する。また、この駆動力を除荷すると、MEMS素子104は自身のばね特性により、再び信号用配線105とギャップを持った位置に戻る。このようにMEMS素子104と信号用配線105との間のギャップを変化させることで、可変電気容量、スイッチングなどの機能を果たす。
MEMS素子104の動作と保護のため、これを中空に封止する必要がある。製造コストの低減や小型化を目的として成膜プロセスによるマイクロマシン装置の製造方法が提供されている。図20に示すように、まずMEMS素子104と基板間にギャップを持たせるために、後の工程で完全に除去する犠牲層111を基板102上に形成する。ついで、MEMS素子104を、犠牲層111上に形成する。この犠牲層111上に形成されたMEMS素子104に、第2の犠牲層112を形成する。第2の犠牲層112上に、第1封止体108を形成する。第1封止体108に、成膜中もしくは成膜後に、MEMS素子104の周囲の犠牲層111,112を除去する際にエッチングガスを導入するための開口形状部108aを形成する。犠牲層除去用エッチングガスを開口形状部108aより導入し、全ての犠牲層111,112を完全に除去する。最後に第2封止体109を、開口形状部108aが完全に閉口するまで第1封止体108上に形成する。
以上により、図17に示すように、第1および第2封止体108,109で構成された封止体によって、MEMS素子104を中空に封止することが可能となる。中空部110は減圧された雰囲気となっている。なお、ここでは、第2封止体109をCVD、スパッタリング等の成膜方法で形成する際に、開口形状部108aの直下に膜材が堆積するため、MEMS素子104に膜材を堆積させないよう、MEMS素子104から離れた位置に開口形状部108aが設けられている。
このような微小電気機械部品101では、通常、犠牲層をドライエッチングにより除去する場合、第1封止体108で覆われた状態の基板毎、真空チャンバ内に配置し、チャンバ内の圧力を所定の圧力を維持するように設定し、所定流量のエッチングガスをチャンバ内に導入、RF出力が一定の状態が、犠牲層が除去されるまで維持される。すなわち、チャンバ内の圧力が一定になるように流量調整されている。エッチングガスは封止体に設けられた開口形状部108aから導入され、内部の犠牲層111,112を、徐々に除去する。
特開2005−207959号公報
しかしながら、上記の技術では、以下のような問題があった。すなわち、上記のように流体の量及び圧力が一定に調整されたチャンバ内においては、開口形状部から導入された流体は犠牲層除去とともに分解された分解ガスがチャンバ内に留まる。犠牲層除去が進むとこの分解後の流体の割合が増し、犠牲層除去速度が低下する。特に、例えば第2封止体が開口形状部の下方のマイクロマシン素子に堆積するのを防ぐためにマイクロマシンから離れた位置に開口形状部を設けたものでは、封止体の中心近傍には開口が無く、犠牲層を完全に除去するまでに長時間を要する。開口の大きさと配置を調節することにより除去速度を早めることも考えられるが、開口の配置や大きさは構造によって制限されるため、調節が困難である。
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、犠牲層除去の速度を向上し、除去に要する時間の短縮を図ることができるマイクロマシン装置の製造装置及びマイクロマシン装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一形態にかかるマイクロマシン装置の製造装置は、主面上に、電界の作用により変形する機構を備え該変形に伴って電気特性を変化させるマイクロマシンと、犠牲層を介して前記マイクロマシンを覆うとともに、前記犠牲層に連通する開口形状部を有する封止体と、が形成された基板を収容するチャンバと、前記基板が配された前記チャンバ内に、エッチング処理により前記犠牲層を除去する流体を導入する導入手段と、前記チャンバ内の前記流体を排出する排出手段と、前記エッチング処理の間に、前記チャンバ内の流体の量を変動させる調整手段と、を備えることを特徴とする。
本発明の一形態にかかるマイクロマシン装置の製造方法は、信号線が設けられた基板の主面上に、電界の作用により変形するとともに該変形に伴って前記信号線との相対関係を変化させて電気特性を変化させるマイクロマシンを配する工程と、前記マイクロマシン上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層及び前記基板の主面上に、前記犠牲層を介して前記マイクロマシンを覆うとともに、前記犠牲層に連通する開口形状部を有する第1封止体を形成する工程と、前記基板が配されるチャンバに内にエッチング処理用の流体を導入し、前記開口形状部から導入される前記流体のエッチング処理によって前記犠牲層を除去する工程と、前記エッチング処理の間に、前記チャンバ内の前記流体の量を変動させる工程と、
前記第1封止体上に、第2封止体を成膜し、前記開口形状部を塞ぐ工程と、を備えたことを特徴とする。
前記第1封止体上に、第2封止体を成膜し、前記開口形状部を塞ぐ工程と、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、犠牲層除去の速度の向上及除去に要する時間の短縮が可能となる。
以下に本発明の第1実施形態にかかるマイクロマシン装置1について、図1乃至図3を参照して説明する。なお、各図において適宜構成を拡大・縮小・省略して概略的に示している。図中X,Y,Zは、互いに直交する三方向を示している。
マイクロマシン装置1は例えば微小電気機械部品(MEMS)であり、基板を構成するベース基板11及び絶縁層12と、MEMS素子16(マイクロマシン)と、信号用配線15(信号線)等を備えるとともに、封止体20が基板と結合して、内部に常圧の気体が封入された雰囲気が形成される中空部17を形成した状態で、気密に封止されている。封止体20は、中空部17を規定する第1封止体21と第2封止体22とが順次積層されて構成されている。
ベース基板11は、シリコン(Si)基板、ガラス基板、またはサファイア基板であり、所定の板形状に形成されている。
絶縁層12は、ベース基板11上に形成され、例えばシリコン酸化膜(SiO2)からなる。これらベース基板11及び絶縁層12により基板が構成される。
絶縁層12は、ベース基板11上に形成され、例えばシリコン酸化膜(SiO2)からなる。これらベース基板11及び絶縁層12により基板が構成される。
絶縁層12の上面には、下部電極13、駆動電極14、信号用配線15及びMEMS素子16が形成されている。信号用配線15はAu(金)などで形成され、図2中Y方向に延びて形成されている。駆動電極14は、絶縁層12上であって、信号用配線15を挟んで図中X方向における両側に設けられている。
絶縁層12の上面には、MEMS素子16が形成されている。MEMS素子16は封止体20の外部に通じる下部電極13に接続されている。MEMS素子16の直下の絶縁層12の表面に信号用配線15が配置されている。
MEMS素子16はマイクロマシンの可動機構部であり、段差を有する両持ち梁形状部を成し、その両端部分は下部電極13に接続され、梁状の中央部分は、信号用配線15と数μm程度のギャップを持って離間して配されている。例えば、後述するように数μm程度の厚さをもつ犠牲層18a上にMEMS素子16を形成するような製造プロセスを経ることでギャップ構造を確保することが可能である。
MEMS素子16は、例えばPoly−SiやAl等で構成された矩形の板状部材が絶縁性のSiO2やSiNから矩形の板状に構成された接続継手19を介して接続されて両持ち梁状に構成されている。この梁状のMEMS素子16は、ばね特性を有し、その中央部分が上下方向に変位するように厚み方向に弾性的に曲げ変形可能であり、弾性復元力を有する。
MEMS素子16は、例えば、電界の作用として駆動電極14から静電力等の駆動力が与えられると、弾性変形して中央部分が信号用配線15の方へ近接し、駆動力が除去されると、自身のばね特性により、再び元の位置に戻る。すなわち、MEMS素子16は、静電力等の駆動力が印加、除荷されることにより、MEMS素子16が駆動力に応じて信号用配線15との間隔を変化させるように変形することで、マイクロマシン装置1の電気特性を変える。その変え方に応じて、可変電気容量、スイッチングなどの機能を果たす。
MEMS素子16の板状部材16aには、厚み方向に貫通された複数の開口16bが形成されている。このため、板状部材16aは、プルイン時に下方へ変形しやすい。また、犠牲層除去用のドライエッチングガスがこの開口16bを通ることにより短時間で犠牲層18をエッチングすることが可能となる。
第1封止体21は、その辺縁部分がMEMS素子16と離間した位置で周囲の絶縁層12の上面に結合しているとともに、その中央部分が中空部17を介してMEMS素子16を上方から覆うように形成されている。すなわち、第1封止体21はMEMS素子16から離間している。
第1封止体21は、厚さ1〜2μm程度の膜であり、MEMS素子16と数〜数十μm程度距離を保って設置される。例えば、後述するように、数十μm程度の厚さをもつ犠牲層を形成した後に第1封止体21を形成し、犠牲層18を除去することにより、中空部17の形成が可能となる。
第1封止体21は、製造工程において、犠牲層を除去するためのドライエッチング用のエッチングガスの導入のために設けられた開口であった第1開口形状部21aが複数設けられている。第1開口形状部21aは、MEMS素子16の上方を避けて、MEMS素子16の周囲において、例えば50μmの間隔で並列されて形成されている。
この開口部を含む第1封止体21の外側は、第2封止体22に覆われている。第2封止体22は、1〜2μm程度の厚みを有する膜であり、SiN(シリコンナイトライド)等の無機材料から構成されている。第2封止体22は第1開口形状部21aを気密に閉塞して、中空部17を密封するように成膜される。
このような構成のマイクロマシン装置1において、駆動電流が印加されたプルイン時には、図4に示すように、の中央部分が下方に向かって変位するように板状部材16aが変形し、信号用配線15に接触するとともに、中央部分の左右近傍が駆動電極14にそれぞれ接触する。
駆動電流を除荷したプルアウトの際には、図5に示すように、プルイン時の変形が元に戻るよう弾性復元力が生じ、これにより中央部分が信号用配線15及び駆動電極14から離れる方向すなわち上方に向かって変位するように板状部材16aが変形する。この弾性復元力により板状部材16aが厚み方向に振動する。
次に、本実施形態にかかるマイクロマシン装置1の製造装置としての薄膜装置30及び製造方法について図6乃至図12を参照して説明する。
まず、図6に示すように、ベース基板11上に絶縁層12を形成し、絶縁層12上に信号用配線15を形成する。ついで、MEMS素子16として、例えば、Auを構成材料として用いたカンチレバー構造を有する静電駆動型高周波用スイッチを形成する。
まず、図6に示すように、ベース基板11上に絶縁層12を形成し、絶縁層12上に信号用配線15を形成する。ついで、MEMS素子16として、例えば、Auを構成材料として用いたカンチレバー構造を有する静電駆動型高周波用スイッチを形成する。
このとき、まず信号用配線15とMEMS素子16との間にギャップを持たせるために、信号用配線15上に、後の工程で完全に除去する所定形状の犠牲層18aを形成して段差を形成してから、この犠牲層18a上にMEMS素子16を形成する。以上により、MEMS素子16が、段差を有し、信号用配線15から離間する板状部材16aを有する所定の両持ち梁形状に形成される。
さらに、図7に示すように、MEMS素子16が形成された状態の上に、MEMS素子16を覆うように犠牲層18bを形成する。
犠牲層18a、18bは、例えば、スピンコート法によりポリイミド膜が成膜され、図7に示すように、パターニングにより所定形状に形成され、硬化されて構成されている。
図8に示すように、犠牲層18a,18bの形成後、第1封止体21として、プラズマCVD装置により、SiO2を、所定厚さで形成する。
さらに、フォトリソグラフィ処理等により、第1封止体21に、成膜中もしくは成膜後にMEMS素子16の周囲の犠牲層18a,18bを除去する際にエッチングガスを導入するための犠牲層除去用の開口であり、犠牲層除去の後で閉塞される開口形状部21aを複数形成する。
次に第2封止体22を形成するため、図9に示すように、上記犠牲層18bを介してMEMS素子16が第1封止体21で覆われた状態で、ベース基板11毎、真空度の高い薄膜装置30(製造装置)のチャンバ31内に投入する。
薄膜装置30は、チャンバ31と、このチャンバ31内に犠牲層除去用の流体としてのエッチングガス37aを導入する導入部32と、この導入部32に設けられ、エッチングガス37aの導入量を示すフローメータ33、導入部におけるエッチングガス37aの導入量を調節する導入側絞り部34と、チャンバ内の流体を排出する真空ポンプ等の排出部35と、この排出部35での排出量を調整する排出量調整手段としての排出側絞り部36と、を備える。なお、排出される流体は、エッチングガス37aと、エッチング後の分解ガス37bを含む。導入側絞り部34または排出側絞り部36を手動又は制御部(制御手段)の制御により調整可能である。
エッチングガス37aとしては、例えば多結晶シリコンを選択的に除去するXeF2ガス、O2プラズマガス、CF4等が用いられる。エッチングガス37aは犠牲層を分解した後、CO2,CO、H2O等の分解ガス37bとなる。
導入側の流量、すなわち導入量33qと、排出側の流量すなわち排出量35qの調節により、薄膜装置30のチャンバ31内の流体の量や、圧力が調節可能となっている。すなわち、排出量35qを導入量33qより少なくすることでチャンバ31内の流体の量を増加するとともに圧力が増加する。一方、排出量35qを導入量33qより多くすると、チャンバ31内の流体の量が低減するとともに圧力が低下する。
このエッチング処理の間、エッチングの条件に応じて導入量33q又は排出量35qが調整され、変動する。すなわち、例えば、犠牲層除去速度であるエッチングレート、開口形状部21aから、犠牲層分解面18dまでの距離、エッチング処理の時間等に応じて、導入量、または排出量を調整することにより、チャンバ31内部の分解ガス37bの残渣を低減し、新たなエッチングガス37aの導入を可能とすることにより、高いエッチングレートを維持する。
図10は、開口形状部21aを有する第1封止体21によって犠牲層が覆われている状態を斜視図で示している。ここでは複数の微小電気機械部品が並列して形成されている様子を示す。図11は、図10におけるA部分の一部を切欠して、内部の犠牲層18を除去する様子を示す斜視図である。
図9に示すように、チャンバ31内に、犠牲層除去用のエッチングガスを開口形状部21aより導入し、犠牲層18a,18bをエッチングにより除去する。
まず、図12に示すように、エッチングガス37aにより犠牲層18が分解され、開口形状部21aに近い部分から、除序に犠牲層18が除去される。除去開始から所定時間は、導入を主力(33q>35q)とし、エッチングガス37aを導入する。
所定時間経過すると、やがて、前記13に示すように、犠牲層18の除去が進行するとともに、チャンバ内の圧力が高くなる。犠牲層18の除去が進行すると、エッチングガスが犠牲層18との反応によって分解した分解ガス37bがチャンバ内及び第1封止体21内に溜まる。この状態が進行するとエッチレートが大きく低下する。このように分解ガス37bが溜まりエッチレートが低下する手前のチャンバ内の圧力をP1とする。
チャンバ内の圧力がP1に到達したら、エッチレートが大きく低下する前に、図14に示すように、排出を主力としてチャンバ内の流体をチャンバ外部へ排出する。すなわち、導入量33q<排出量35qとして、チャンバ内の流体を低減し、分解ガス37bを低減させるとともに、圧力を低下させる。低下後のチャンバ内の圧力はP1よりさらに低い所定の値である第2圧力P2とする。これによりエッチング後の分解ガス37bの残渣が減り、新たなエッチングガスを導入しやすい環境となる。
その後、図15に示すように、導入を主力として33q>35qとすることにより、あらたなエッチングガス37aをチャンバ31内に導入する。例えばチャンバ内の圧力が再び第1圧力P1となるまで継続する。これにより新たなエッチングガス37aを導入することができ、高いエッチレートでのエッチング処理が可能となる。以上の導入と排出を繰り返し、流量及び圧力の変動を繰り返す。
この導入と排出のタイミング等の調整条件は、例えば、開口形状部21aや中空部17の形状、配置、犠牲層18やエッチングガスの種類に応じて適宜に決定される。例えば、第1圧力P1と第2圧力P2は、例えば5〜10%程度の差に設定する。1、2秒等の一定時間毎に、圧力を切り替えるように調整する。
この結果、図16に示すように、第1封止体21及び第2封止体22で覆われる内部に中空部17が形成される。犠牲層18の除去処理においては、エッチレートが大きく低下する前に、分解ガス37bを排出することにより、エッチレートを初期レベルに戻すことができるので、エッチング完了時間を短縮することができる。また、チャンバ31内部が清浄化される。
さらに、犠牲層18a、18bの除去後、この減圧雰囲気内において、プラズマCVD法もしくはスパッタ法により、第1封止体21を覆うように、例えばSiNを、数μm以上の厚さで成膜し、第2封止体22を形成する。この第2封止体22が薄膜プロセスによって形成されることで、第1封止体21の開口形状部21aが密封されることにより、中空部17の気密性が保たれ、内気の漏れが防止される。
以上により、図1及び図2に示すマイクロマシン装置1が完成する。このようにして構成されたマイクロマシン装置1としてのパッケージは、例えばドライバICチップ等に用いることができる。
本実施形態にかかる及びマイクロマシン装置1及びマイクロマシン装置1の製造方法は以下に掲げる効果を奏する。すなわち、排出量と導入量の調整によりチャンバ31内部が清浄化されるので、封止体21内のエッチング残渣を低減することができる。したがって新たなエッチングガスを導入することでエッチング処理の効率を向上することができ、処理時間を短縮することができる。
MEMS素子16の板状部材16aを貫通する開口16bを多数設けたことにより、駆動電流を印加した際の変形しやすい構造とするとともに、犠牲層18除去の際のエッチングガスの流動を可能として除去時間を短縮することが可能となる。
さらに、封止体20は、SiO2、SiNなどの絶縁性を有する材料で構成されているため、導電性をもつMEMS素子16との間に電気容量を形成しない。したがって、MEMS素子16と周囲の導体とでの容量形成を回避し可変電気容量を用途とした電気機械部品において、高い容量変化をもつ性能を実現できる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各構成要素の材質、形状、配置、サイズ、構造・動作等を適宜変更して実施することができる。
また、パターニング方法や犠牲層の除去方法の一例としては、エッチングガスによるドライエッチングや、薬液によるウェットエッチング等が挙げられる。すなわち流体は気体に限らず液体であっても良い。
また、複数の犠牲層18a,18bは同一材料であっても異なる材料であっても良い。また、基板として、ベース基板11上に絶縁層12を備えた構造について説明したが絶縁層12を省略してベース基板11のみで基板を構成し、このベース基板11上にMEMS素子16、信号用配線15を形成してもよい。また、MEMS素子16は接続継手19を介して接続されている場合について説明したが、梁状部材が一体に板状に形成されている場合も同様である。
この他、本発明は、実施段階においてその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
1…マイクロマシン装置、11…ベース基板、12…絶縁層、13…下部電極、
14…駆動電極、15…信号用配線、16…MEMS素子、16a…板状部材、
16b…開口、17…中空部、18a.18b…犠牲層、18d…犠牲層分解面、
19…接続継手、20…封止体、21…第1封止体、21a…開口形状部、
22…第2封止体、30…薄膜装置、31…チャンバ、32…導入部、
33…フローメータ、33q…導入量、34…導入側絞り部、35…排出部、35q…排出量、36…排出側絞り部、37a…エッチングガス、
37b…分解ガス。
14…駆動電極、15…信号用配線、16…MEMS素子、16a…板状部材、
16b…開口、17…中空部、18a.18b…犠牲層、18d…犠牲層分解面、
19…接続継手、20…封止体、21…第1封止体、21a…開口形状部、
22…第2封止体、30…薄膜装置、31…チャンバ、32…導入部、
33…フローメータ、33q…導入量、34…導入側絞り部、35…排出部、35q…排出量、36…排出側絞り部、37a…エッチングガス、
37b…分解ガス。
Claims (7)
- マイクロマシン装置の製造装置であって、
主面上に、電界の作用により変形する機構を備え該変形に伴って電気特性を変化させるマイクロマシンと、犠牲層を介して前記マイクロマシンを覆うとともに、前記犠牲層に連通する開口形状部を有する封止体と、が形成された基板を収容するチャンバと、
前記基板が配された前記チャンバ内に、エッチング処理により前記犠牲層を除去する流体を導入する導入手段と、
前記チャンバ内の前記流体を排出する排出手段と、
前記エッチング処理の間に、前記チャンバ内の流体の量を変動させる調整手段と、を備えることを特徴とするマイクロマシン装置の製造装置。 - 前記調整手段は、前記エッチング処理におけるエッチングレートが所定値以下となった場合に、チャンバ内の流体を排出し、その後、前記チャンバ内に流体を導入する制御手段を有することを特徴とする請求項1記載のマイクロマシン装置の製造装置。
- 前記調整手段は、前記犠牲層のエッチングの開始から所定時間以上経過した場合に、チャンバ内の流体を排出し、その後、前記チャンバ内に流体を導入する制御手段を有することを特徴とする請求項1記載のマイクロマシン装置の製造装置。
- 前記調整手段は、前記犠牲層のエッチングの開始から所定時間毎に、前記流体の排出処理及び導入処理を繰り返す制御手段を有することを特徴とする請求3項記載のマイクロマシン装置の製造装置。
- 信号線が設けられた基板の主面上に、電界の作用により変形するとともに該変形に伴って前記信号線との相対関係を変化させて電気特性を変化させるマイクロマシンを配する工程と
前記マイクロマシン上に犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層及び前記基板の主面上に、前記犠牲層を介して前記マイクロマシンを覆うとともに、前記犠牲層に連通する開口形状部を有する第1封止体を形成する工程と、
前記基板が配されるチャンバに内にエッチング処理用の流体を導入し、前記開口形状部から導入される前記流体のエッチング処理によって前記犠牲層を除去する工程と、
前記エッチング処理の間に、前記チャンバ内の前記流体の量を変動させる工程と、
前記第1封止体上に、第2封止体を成膜し、前記開口形状部を塞ぐ工程と、
を備えたことを特徴とするマイクロマシン装置の製造方法。 - 前記流体の量を変動させる工程において、前記エッチング処理のエッチングレートが所定値以下となった場合に、前記チャンバ内の流体を排出し、その後、前記チャンバ内に流体を導入することを特徴とする請求項5記載のマイクロマシン装置の製造方法。
- 前記流体の量を変動させる工程において、前記エッチング処理の開始から所定時間以上経過した場合に、前記チャンバ内の流体を排出し、その後、前記チャンバ内に流体を導入することを特徴とする請求項5記載のマイクロマシン装置の製造方法。
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JP2008071572A JP2009226500A (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | マイクロマシン装置の製造装置及びマイクロマシン装置の製造方法 |
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Cited By (1)
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TWI473506B (zh) * | 2010-01-05 | 2015-02-11 | Bosch Gmbh Robert | 具有微機械麥克風構造的構件及其製造方法 |
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2008
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