JP2009218357A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】フォトダイオード部の上には同一の膜厚を有する反射防止膜が設けられているので、受光する光の波長によっては受光部の上面における反射を効果的に抑制できない場合がある。
【解決手段】固体撮像素子は半導体基板100を備えており、半導体基板100の第1の領域には第1の受光部が形成されている。また、固体撮像素子は、第1の受光部の上面における光の反射を防止する第1の反射防止層113aを備えており、第1の反射防止層113aの上面は凸凹に形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】固体撮像素子は半導体基板100を備えており、半導体基板100の第1の領域には第1の受光部が形成されている。また、固体撮像素子は、第1の受光部の上面における光の反射を防止する第1の反射防止層113aを備えており、第1の反射防止層113aの上面は凸凹に形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、受光部の表面上に反射防止層を備えた固体撮像素子に関する。
固体撮像素子は、近年益々小型化かつ多画素化が要求されており、そのため画素の縮小化が進められている。ところが、画素の縮小に伴い感度が低下するのに対し、開口率の縮小による感度低下を補償し、感度を向上させることが求められている。このような固体撮像素子においては、シリコン酸化膜系材料とシリコン基板との屈折率の差によりシリコン基板の表面において入射光が反射するため、受光部(以下、「フォトダイオード部」と称する)まで到達する光の強度が損失し、感度の低下を招くという問題がある。
この問題を解決するために、フォトダイオード部の上方にシリコン窒化膜からなる反射防止膜を設けることにより、多重干渉効果を利用して入射光の反射を低減し、感度の向上を図ることが提案されている(例えば、特許文献1、2参照)。
以下、従来の固体撮像素子について図5を用いて説明する。図5は、従来の反射防止膜を備えた固体撮像素子を示す断面図である。
従来の固体撮像素子では、n型基板領域201と、n型基板領域201上に形成されたp型ウェル202と、p型ウェル202上に形成されたフォトダイオード部221、垂直電荷転送部222及び読み出し部223とが、シリコンからなる半導体基板200に設けられている。フォトダイオード部221は、n+型拡散領域203及びp+型拡散領域204を有し、垂直電荷転送部222は、転送チャネル領域となるn型拡散領域205及びp型拡散領域206を有している。読み出し部223は、フォトダイオード部221に蓄積された電荷を読み出すために、フォトダイオード部221と垂直電荷転送部222との間に設けられp型ウェル202上に形成されたp型拡散領域207を有している。
垂直電荷転送部222のn型拡散領域205上には、それぞれ、ゲート絶縁膜209を介してゲート電極210が形成されており、ゲート電極210上には層間絶縁膜211を介してゲート電極210を覆うように遮光膜212が形成されている。また、フォトダイオード部221のp+型拡散領域204上には、平坦な上面を有するシリコン窒化膜からなる反射防止膜213が形成されており、反射防止膜213及び遮光膜212の上には層間絶縁膜214が形成されている。また、読み出し部223から見てフォトダイオード部221を挟んだ反対側には、水平方向に隣接する画素部の垂直電荷転送部222とそのフォトダイオード部221とを分離するためのp型拡散領域208からなるチャネルストップ部224が、形成されている。そして、フォトダイオード部221の上方には、層間絶縁膜214を介してマイクロレンズ215が形成されている。さらに、マイクロレンズ215の上方には、図示は省略しているが、オンチップカラーフィルタ及びオンチップレンズが形成されている。ここで、オンチップカラーフィルタの構成について、図6を用いて簡単に説明する。オンチップカラーフィルタは、原色であればR(赤)、G(緑)およびB(青)の組み合わせを構成単位とし、これを周期的に例えば市松状に配列した構成となっている。各色の光波長は一般に、R:略700nm, G:略500nm, B:略400nmである。
特開昭63−14466号公報
特開平4−152674号公報
しかしながら、従来の固体撮像素子では、オンチップカラーフィルタによってフォトダイオード部が受光する光の波長が異なる場合であっても、フォトダイオード部の上には同一の膜厚を有する反射防止膜が設けられている。このため、フォトダイオード部が受光する光の波長によっては、フォトダイオード部へ入射する光がフォトダイオード部の上面で反射することを効果的に抑制できないという問題がある。
本発明は、かかる事情を鑑みてなされたものであって、受光部に入射する光の波長領域に応じた凹凸構造を反射防止層に形成することにより、受光部に入射する光の全ての波長領域(全ての可視光)に対してその入射光の反射を効果的に抑制し、出力画像の画質が良好であり且つ高感度な固体撮像素子を提供することを目的とする。
本発明の固体撮像素子は、半導体基板と、第1の受光部と、第1の反射防止層とを備えている。第1の受光部は、半導体基板における第1の領域に形成されている。第1の反射防止層は、第1の受光部の上面における光の反射を防止し、上面が凸凹に形成されている。この場合、前記第1の受光部が受光する光は、赤色光又は緑色光などの比較的長波長な光であることが好ましい。
これにより、第1の受光部の上面における光の反射を防止することができるので、第1の受光部が受光する光の強度の損失を防止できる。
本発明の固体撮像素子は、第2の受光部および第2の反射防止層をさらに備えていることが好ましい。ここで、第2の受光部は、半導体基板における第2の領域に形成されている。第2の反射防止層は第2の受光部の上面における光の反射を防止し、上面が凸凹に形成されている。そして、第1の反射防止層の凹凸における隣り合う凹部間の第1のピッチは、第2の反射防止層の凹凸における隣り合う凹部間の第2のピッチよりも広いことが好ましい。この場合、第2の受光部は第1の受光部が受光する光よりも短波長な光を受光することが好ましく、第1の受光部が赤色光を受光する場合には第2の受光部は緑色光を受光する。
これにより、第2の受光部の上面における光の反射を防止することができる。また、固体撮像素子が相異なる波長の光を受光する場合であっても、光の波長に関係なく光の強度が損失することを防止できる。
本発明の固体撮像素子では、第1および第2の受光部は、それぞれ、第1および第2のn型拡散領域と、第1および第2のp型拡散領域とを備えていることが好ましい。第1および第2のp型拡散領域は、それぞれ、第1および第2のn型拡散領域上に形成されている。そして、第1のp型拡散領域は、第2のp型拡散領域に比べて接合深さが深いことが好ましい。これにより、光の感度を向上させることができる。
本発明の固体撮像素子は、第3の受光部および第3の反射防止層をさらに備えていることが好ましい。ここで、第3の受光部は、半導体基板における第3の領域に形成されている。第3の反射防止層は第2の受光部の上面における光の反射を防止し、上面が凸凹に形成されている。そして、第3の受光部は、第1および第2の受光部が受光する光よりも短波長な光(例えば青色光)を受光する。
これにより、第3の受光部の上面における光の反射を防止することができる。また、固体撮像素子が光の三原色である赤色光、緑色光および青色光のいずれを受光した場合であっても、受光部が受光する光の強度の損失を防止することができる。
第1の反射防止層は、後述の好ましい実施形態では第1の受光部の上面上に形成されたシリコン窒化膜であり、後述の別の好ましい実施形態では第1の受光部の上面に凸凹が形成されたものである。
本発明の構成によれば、上面が凸凹に形成されている反射防止層が設けられているので、受光部の上面における光の反射の防止効果を向上させることができ、光の感度特性の高い固体撮像素子を提供することができる。
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照して具体的に説明する。
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態に係る固体撮像素子について図1を用いて説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像素子の断面図である。
本発明の第1の実施形態に係る固体撮像素子について図1を用いて説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像素子の断面図である。
図1に示すように、本発明の固体撮像素子では、n型基板領域101と、n型基板領域101上に形成されたp型ウェル102と、p型ウェル102上に形成されたフォトダイオード部121、垂直電荷転送部122及び読み出し部123とが、シリコンからなる半導体基板100に設けられている。フォトダイオード部121は、p型ウェル102上に形成されたn+型拡散領域103と、n+型拡散領域103上に形成されたp+型拡散領域104とを有している。また、垂直電荷転送部122は、転送チャネル領域となるn型拡散領域105と、n型拡散領域105の下部に設けられたp型拡散領域106とを有している。読み出し部123は、フォトダイオード部121に蓄積された電荷を読み出すために、フォトダイオード部121と垂直電荷転送部122との間に設けられp型ウェル102上に形成されたp型拡散領域107を有している。
半導体基板100における垂直電荷転送部122のn型拡散領域105上には、ゲート絶縁膜109を介してゲート電極110が形成されており、ゲート電極110上には層間絶縁膜111を介してゲート電極110を覆うように遮光膜112が形成されている。そして、半導体基板100におけるフォトダイオード部121のp+型拡散領域104上には、上面が凸凹に形成されているシリコン窒化膜からなる反射防止層113が形成されている。この反射防止層113は、反射防止層113上に形成される層間絶縁膜114の複素屈折率よりも大であり且つ半導体基板100よりも小なる複素屈折率を持っている。遮光膜112にはフォトダイオード部121上に開口112aが設けられており、反射防止層113及び遮光膜112の上には層間絶縁膜114が形成されている。また、読み出し部123から見てフォトダイオード部121を挟んだ反対側には、水平方向に隣接する画素部を構成する垂直電荷転送部122aとそのフォトダイオード部121とを分離するためのp型拡散領域108からなるチャネルストップ部124が、形成されている。そして、フォトダイオード部121の上方には、層間絶縁膜114を介してマイクロレンズ115が形成されている。なお、図中において、n型拡散領域105a及びp型拡散領域106aを有する垂直電荷転送部122a、ゲート絶縁膜109a、及びゲート電極110aは、隣接する画素部を構成するものである。
さらに、マイクロレンズ115の上方には、図示は省略しているが、オンチップカラーフィルタ及びオンチップレンズが形成されている。
本実施形態の反射防止層における凹部の深さ及び隣り合う凹部間のピッチは、受光する光の波長によって設定される。図2は、本発明に係る固体撮像素子における反射防止層を示す断面拡大図であり、(a)は波長の長い赤色光を受光する領域(第1の領域)に設けられた反射防止層(第1の反射防止層)113aの断面図であり、(b)は波長の短い緑色光を受光する領域(第2の領域)に設けられた反射防止層(第2の反射防止層)113bの断面図であり、(c)は最短波長である青色光を受光する領域(第3の領域)に設けられた反射防止層(第3の反射防止層)113cの断面図である。
なお、赤色光を受光する領域上には、赤色光を受光するフォトダイオード部(第1の受光部)が設けられており、そのフォトダイオード部の上面上に、反射防止層113aが形成されている。同様に、緑色光を受光する領域上には、緑色光を受光するフォトダイオード部(第2の受光部)が設けられており、そのフォトダイオード部の上面上に、反射防止層113bが形成されている。同じく、青色光を受光する領域上には、青色光を受光するフォトダイオード部(第3の受光部)が設けられており、そのフォトダイオード部の上面上に、反射防止層113cが形成されている。
反射防止層において隣り合う凹部間のピッチは、受光部が受光する光の波長の略1/4に設定されている。例えば、波長の長い赤色光を受光する領域に形成する反射防止層113aは、図2(a)に示すように、厚さ400nmのシリコン窒化膜の上面に、幅W1が150nmであり深さD1が300nmである凹部が150nmのピッチP1(第1のピッチ,別の言い方をすると凸部の幅)で設けられている。一方、波長の短い緑色光を受光する領域に形成する反射防止層113bは、図2(b)に示すように、厚さが400nmのシリコン窒化膜の上面に、幅W2が110nmであり深さD2が300nmである凹部が110nmのピッチP2(第2のピッチ,別の言い方をすると凸部の幅)で設けられている。従って、波長の長い赤色光を受光する領域に形成する反射防止層113aにおける凹部間のピッチP1は、波長の短い緑色光を受光する領域に形成する反射防止層113bにおける凹部間のピッチP2よりも大きい。ここでは、厚さが400nmのシリコン窒化膜に対して深さ300nmの凹部を設け、凹部の底面下に厚さ100nmのシリコン窒化膜が残存するようにしたが、凹部の底面下にシリコン窒化膜を残存させる必要は必ずしもない。また、最短波長である青色光を受光する領域に形成する反射防止層113bにおいては、図2(c)に示すように、上面に凹凸部を設けず、上面が平坦な厚さ400nmのシリコン窒化膜で設けられている。これは、最短波長である青色光の場合、凹部の深さ(300nm)よりも青色光の波長の方が短いため、吸収が大きくなり、凹凸部を設けることによる感度の向上が見込めないためである。
また、反射防止層113下に位置するフォトダイオード部121におけるp+型拡散領域104の接合深さは、受光する光の波長に応じて変えることが望ましい。すなわち、波長の長い赤色光を受光するフォトダイオード部におけるp+型拡散領域(第1のp型拡散領域)の接合深さXj1は、波長の短い緑色光を受光するフォトダイオード部におけるp+型拡散領域(第2のp型拡散領域)の接合深さXj2に比べて深く、最短波長である青色光を受光するフォトダイオード部におけるp+型拡散領域の接合深さXj3は、波長の短い緑色光を受光するフォトダイオード部におけるp+型拡散領域の接合深さXj2に比べて浅い。これにより、各光波長における感度特性をさらに高めることができる。
また、反射防止層113に設ける凹凸部は、ストライプ状の配置のみならず、市松状に配置しても同様な効果を得ることができる。
図3は、本発明の反射防止層における可視光の反射率を示した図であり、横軸には反射防止層の凹部領域と凸部領域とを示し、縦軸には反射率を示している。図3に示すように、凸部領域の反射率に比べて凹部領域の反射率が低く、反射防止層に凹凸を設けることにより全体的な反射率が低下し、反射抑制効果が高いことがわかる。
以上のように本実施形態によれば、フォトダイオード部上に形成された反射防止層の上面に凹凸が設けられているため、反射抑制効果が高く、感度特性の高い固体撮像素子を得ることができる。さらに、受光する光波長に応じて反射防止層における凹部間のピッチを変えることにより、受光する光波長領域毎の感度特性を向上させることができる。
(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態に係る固体撮像素子について図4を用いて説明する。図4は、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像素子を断面図である。なお、図4において、前述の第1の実施形態と同一の構成要素には、第1の実施形態における図1に示す符号を付すことにより、重複する説明を省略する。
本発明の第2の実施形態に係る固体撮像素子について図4を用いて説明する。図4は、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像素子を断面図である。なお、図4において、前述の第1の実施形態と同一の構成要素には、第1の実施形態における図1に示す符号を付すことにより、重複する説明を省略する。
ここで、前述の第1の実施形態と本実施形態との構造上の相違点は、以下に示す点である。
第1の実施形態では、図1に示すように、フォトダイオード部121におけるp+型拡散領域104上に、シリコン窒化膜からなり上面に凹凸が設けられている反射防止層113が形成されている点に対して、本実施形態では、図4に示すように、フォトダイオード部121におけるp+型拡散領域104の上部領域に凹凸が設けられており、上部領域に凹凸が設けられているp+型拡散領域104が反射防止層113Aとなる点である。本実施形態において、p+型拡散領域104及び反射防止層113A以外の構成は、第1の実施形態と全く同じである。
本実施形態によれば、上部領域に凹凸が設けられているp+型拡散領域104が反射防止層113Aとして作用するため、第1の実施形態と同様な効果を得ることができる。
なお、第1の実施形態及び第2の実施形態では、CCD(charge coupled device)型固体撮像素子を用いて説明したが、本発明は、これに限らず、MOS(metal-oxide semiconductor)型固体撮像素子にも適用可能である。
また、第1の実施形態及び第2の実施形態では、半導体基板には、赤色光、緑色光および青色光の受光領域が設けられているとしたが、受光領域が受光する光の波長は特に限定されない。
さらに、第1の実施形態及び第2の実施形態では、固体撮像素子が2以上の波長の光を受光する場合、フォトダイオード部が有するp型拡散領域の接合深さは、長波長の光を受光するフォトダイオード部の方が短波長の光を受光するフォトダイオード部よりも深いことが好ましい。また、反射防止層における隣り合う凹部のピッチは、長波長の光を受光する領域に形成された反射防止層の方が短波長の光を受光する領域に形成された反射防止層よりも広いことが好ましい。
本発明に係る固体撮像素子は、出力画像の画質および感度が要求されるデジタルスチルカメラ等に適用することが可能である。
100 半導体基板
103 n+型拡散領域
104 p+型拡散領域
113 反射防止層
113A 反射防止層
113a 反射防止層 (第1の反射防止層)
113b 反射防止層 (第2の反射防止層)
113c 反射防止層 (第3の反射防止層)
121 フォトダイオード部
103 n+型拡散領域
104 p+型拡散領域
113 反射防止層
113A 反射防止層
113a 反射防止層 (第1の反射防止層)
113b 反射防止層 (第2の反射防止層)
113c 反射防止層 (第3の反射防止層)
121 フォトダイオード部
Claims (9)
- 半導体基板と、
前記半導体基板における第1の領域に形成された第1の受光部と、
前記第1の受光部の上面における光の反射を防止し、上面が凸凹に形成された第1の反射防止層とを備えていることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1に記載の固体撮像素子において、
前記第1の受光部が受光する光は、赤色光又は緑色光であることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1又は2に記載の固体撮像素子において、
前記半導体基板における第2の領域に形成された第2の受光部と、
前記第2の受光部の上面における光の反射を防止し、上面が凸凹に形成された第2の反射防止層とをさらに備え、
前記第1の反射防止層の前記凹凸における隣り合う凹部間の第1のピッチは、前記第2の反射防止層の前記凹凸における隣り合う凹部間の第2のピッチよりも広いことを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項3に記載の固体撮像素子において、
前記第2の受光部が受光する光の波長は、前記第1の受光部が受光する光の波長に比べて短いことを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項3又は4に記載の固体撮像素子において、
前記第1の受光部が受光する光は赤色光であり、
前記第2の受光部が受光する光は緑色光であることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項3から5のうちいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
前記第1の受光部は、第1のn型拡散領域と、前記第1のn型拡散領域上に形成された第1のp型拡散領域とを有し、
前記第2の受光部は、第2のn型拡散領域と、前記第2のn型拡散領域上に形成された第2のp型拡散領域とを有し、
前記第1のp型拡散領域は、前記第2のp型拡散領域に比べて接合深さが深いことを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から6のうちいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
前記半導体基板における第3の領域に形成された第3の受光部と、
前記第3の受光部の上面における光の反射を防止し、上面が凸凹に形成された第3の反射防止層とをさらに備え、
前記第3の受光部が受光する光は青色光であることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から7のうちいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
前記第1の反射防止層は、前記第1の受光部の前記上面上に形成されたシリコン窒化膜であることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から7のうちいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
前記第1の反射防止層は、前記第1の受光部の前記上面に凸凹が形成されたものであることを特徴とする固体撮像素子。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2009218357A true JP2009218357A (ja) | 2009-09-24 |
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ID=41189950
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JP2008059824A Pending JP2009218357A (ja) | 2008-03-10 | 2008-03-10 | 固体撮像素子 |
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