JP2009214253A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被研削面に研削痕(ソーマーク)を残存させることなく研削することができる研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段とを具備する研削装置であって、回転軸と、回転軸の下端に装着された環状のマウントと、環状のマウントの下端に着脱可能に装着される研削ホイールと、研削ホイールの内側に配設され該回転軸に対して公転するとともに自転せしめられる工具軸と、工具軸の下端に装着された加工工具とを具備している。
【選択図】図6
【解決手段】被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段とを具備する研削装置であって、回転軸と、回転軸の下端に装着された環状のマウントと、環状のマウントの下端に着脱可能に装着される研削ホイールと、研削ホイールの内側に配設され該回転軸に対して公転するとともに自転せしめられる工具軸と、工具軸の下端に装着された加工工具とを具備している。
【選択図】図6
Description
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を研削する研削装置に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって多数の矩形領域を区画し、該矩形領域の各々にIC、LSI等のデバイスを形成する。このように多数のデバイスが形成された半導体ウエーハをストリートに沿って分割することにより、個々のデバイスを形成する。デバイスの小型化および軽量化を図るために、通常、半導体ウエーハをストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割するのに先立って、半導体ウエーハの裏面を研削して所定の厚さに形成している。
半導体ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持されたウエーハを研削する環状の研削砥石を有する研削ホイールを備えた研削ユニットと、該研削ユニットをチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に研削送りする研削送り機構を具備している。(例えば、特許文献1参照)
特開2001−28355号公報
而して、環状の研削砥石を有する研削ホイールによって研削すると、ウエーハの被研削面(裏面)には円弧状の研削痕(ソーマーク)が形成される。このように裏面に研削痕(ソーマーク)が形成されたウエーハを個々のデバイスに分割すると、デバイスの抗折強度が著しく低下するという問題がある。
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、被研削面に研削痕(ソーマーク)を残存させることなく研削することができる研削装置を提供することにある。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルの該保持面に垂直な方向に移動せしめる研削送り手段と、を具備する研削装置において、
該研削手段は、回転軸と、該回転軸の下端に装着された環状のマウントと、該環状のマウントの下端に着脱可能に装着される研削ホイールと、該研削ホイールの内側に配設され該回転軸に対して公転するとともに自転せしめられる工具軸と、該工具軸の下端に装着された加工工具と、を具備している、
ことを特徴とする研削装置が提供される。
該研削手段は、回転軸と、該回転軸の下端に装着された環状のマウントと、該環状のマウントの下端に着脱可能に装着される研削ホイールと、該研削ホイールの内側に配設され該回転軸に対して公転するとともに自転せしめられる工具軸と、該工具軸の下端に装着された加工工具と、を具備している、
ことを特徴とする研削装置が提供される。
本発明による研削装置を構成する研削手段は、回転軸と、該回転軸の下端に装着された環状のマウントと、該環状のマウントの下端に着脱可能に装着される研削ホイールと、該研削ホイールの内側に配設され該回転軸に対して公転するとともに自転せしめられる工具軸と、該工具軸の下端に装着された加工工具を具備しているので、加工工具として研磨パッとを用いれば、被加工物を研削ホイールによって研削した後に、加工工具の研磨パッドによって研磨することにより、研削ホイールによる研削によって被加工物の被研削面に形成された円弧状の研削痕(ソーマーク)を除去することができ、被加工物の抗折強度を向上させることができる。
また、加工工具として研削砥石を用いた場合には、研削砥石が公転するとともに自転するので、被加工物の被研削面は梨地面となり、被加工物の抗折強度を向上することができる。
また、加工工具として研削砥石を用いた場合には、研削砥石が公転するとともに自転するので、被加工物の被研削面は梨地面となり、被加工物の抗折強度を向上することができる。
以下、本発明に従って構成された研削装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
図1には本発明に従って構成された研削装置の斜視図が示されている。
研削装置は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ実質上鉛直に上方に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に研削手段としての研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。
研削装置は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ実質上鉛直に上方に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に研削手段としての研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。
研削ユニット3は、移動基台31と該移動基台31に装着されたスピンドルユニット4を具備している。移動基台31は、後面両側に上下方向に延びる一対の脚部311、311が設けられており、この一対の脚部311、311に上記一対の案内レール221、221と摺動可能に係合する被案内溝312、312が形成されている。このように直立壁22に設けられた一対の案内レール221、221に摺動可能に装着された移動基台31の前面には前方に突出した支持部313が設けられている。この支持部313にスピンドルユニット4が取り付けられる。
スピンドルユニット4は、支持部313に装着されたスピンドルハウジング41を具備している。スピンドルハウジング41には、図2に示すように筒状の第1の回転軸42が軸受411によって回転可能に支持されている。この筒状の第1の回転軸42の下端には、環状のマウント43が装着されている。図示の実施形態においては、環状のマウント43は筒状の第1の回転軸42の下端に一体的に設けられており、その内周面に内歯歯車431が形成されている。このように形成された環状のマウント43の下端に研削ホイール44が装着される。
研削ホイール44は、環状基台441と該環状基台441の下面に環状に装着された複数の研削砥石442とからなっている。このように構成された研削ホイール44は、環状基台441が環状のマウント43に締結ボルト443によって取付けられる。
図示の実施形態におけるスピンドルユニット4は、上記筒状の第1の回転軸42を挿通して配設された第2の回転軸45を具備している。この第2の回転軸45は、筒状の第1の回転軸42の内周面に配設されたスラスト軸受421によって回転可能で且つ軸方向に摺動可能に支持されている。第2の回転軸45の下端には、上記環状のマウント43に形成された内歯歯車431と噛合いする遊星歯車を備えた遊星歯車機構46が装着されている。遊星歯車機構46は、第2の回転軸45の下端に装着されたキャリア461と、該キャリア461に回転可能に支持された加工軸として機能する歯車軸462aを有する複数個(図示の実施形態においては3個)の遊星歯車462とからなっている(図3参照)。この複数個の遊星歯車462は、それぞれ歯車軸462aが軸受463によってキャリア461に回転可能に支持されている。このように構成された複数個の遊星歯車462は、上記環状のマウント43に形成された内歯歯車431と噛合いするように構成されている。従って、第2の回転軸45が回転しキャリア461が第2の回転軸45とともに回転せしめられると、複数個の遊星歯車462は内歯歯車431に沿って公転するとともに自転する。このように構成された複数個の遊星歯車462の歯車軸462aの下端には、円盤状のマウント47が取り付けられており、該円盤状のマウント47に加工工具48が装着される。この加工工具48は、円盤状の基台481と、該円盤状の基台481の下面に装着された研磨パッド482とからなっている。このように構成された加工工具48は、円盤状の基台481が円盤状のマウント47に締結ボルト483によって取付けられる。なお、加工工具48は、円盤状の基台481に研削砥石を装着してもよい。
図1に戻って説明を続けると、上記筒状の第1の回転軸42の上端部には、第1の回転軸42を回転駆動するための第1のサーボモータ49が配設されている。また、上記第2の回転軸45は筒状の第1の回転軸42の上端より上方に突出して配設されており、その上端が第2のサーボモータ50に連結されている。この第2のサーボモータ50は、上記移動基台31に取付けられた支持板511に配設され上下方向に延びる一対の案内レール512、512に沿って移動可能に支持されている。図示の実施形態におけるスピンドルユニット4は、第2の回転軸45を筒状の第1の回転軸42に沿って軸方向に移動せしめる移動手段52を具備している。この移動手段52は、一対の案内レール512、512と平行に配設された雄ねじロッド521と、支持板511に取り付けられ雄ねじロッド521を回転駆動するためのパルスモータ522とからなっており、雄ねじロッド521が第2のサーボモータ50のケーシングに形成された雌ねじ穴501に螺合せしめられている。従って、パルスモータ522が正転すると第2のサーボモータ50即ち第2の回転軸45が下降せしめられ、パルスモータ522が逆転すると第2のサーボモータ50即ち第2の回転軸45が上昇せしめられる。
図1を参照して説明を続けると、図示の実施形態における研削装置は、上記研削ユニット3を上記一対の案内レール221、221に沿って上下方向(後述するチャックテーブルの保持面と垂直な方向)に移動せしめる研削送り手段6を備えている。この研削送り手段6は、直立壁22の前側に配設され実質上鉛直に延びる雄ねじロッド61を具備している。この雄ねじロッド61は、その上端部および下端部が直立壁22に取り付けられた軸受部材62および63によって回転自在に支持されている。上側の軸受部材62には雄ねじロッド61を回転駆動するための駆動源としてのパルスモータ64が配設されており、このパルスモータ64の出力軸が雄ねじロッド61に伝動連結されている。移動基台31の後面にはその幅方向中央部から後方に突出する連結部(図示していない)も形成されており、この連結部には鉛直方向に延びる貫通雌ねじ穴が形成されており、この雌ねじ穴に上記雄ねじロッド61が螺合せしめられている。従って、パルスモータ64が正転すると移動基台31即ち研削ユニット3が下降即ち前進せしめられ、パルスモータ64が逆転すると移動基台31即ち研削ユニット3が上昇即ち後退せしめられる。
図1および図4を参照して説明を続けると、ハウジング2の主部21の後半部にはチャックテーブル機構7が配設されている。チャックテーブル機構7は、支持基台71とこの支持基台71に実質上鉛直に延びる回転中心軸線を中心として回転自在に配設された円板形状のチャックテーブル72とを含んでいる。支持基台71は、主部21の後半部に前後方向(直立壁22の前面に垂直な方向)である矢印23aおよび23bで示す方向に延在する一対の案内レール23、23上に摺動自在に載置された移動基台73上に配設されており、後述するチャックテーブル機構移動手段76によって図1に示す被加工物搬入・搬出域24(図4において実線で示す位置)と上記スピンドルユニット4を構成する研削ホイール44および加工工具48と対向する研削域25(図4において2点鎖線で示す位置)との間で移動せしめられる。
上記チャックテーブル72は、上面に被加工物を載置する保持面を有し、上記支持基台71に回転可能に支持されている。このチャックテーブル72は、その下面に装着された回転軸(図示せず)に連結されたサーボモータ74によって回転せしめられる。なお、チャックテーブル72は、図示しない吸引手段に接続されている。従って、チャックテーブル72を図示しない吸引手段に選択的に連通することにより、保持面上に載置された被加工物を吸引保持する。
図示の実施形態における研削装置は、上記チャックテーブル機構7を一対の案内レール23に沿ってチャックテーブル72の上面である保持面と平行に矢印23aおよび23bで示す方向に移動せしめるチャックテーブル機構移動手段76を具備している。チャックテーブル機構移動手段76は、一対の案内レール23間に配設され案内レール23と平行に延びる雄ねじロッド761と、該雄ねじロッド761を回転駆動するサーボモータ762を具備している。雄ねじロッド761は、上記移動基台73に設けられたねじ穴731と螺合して、その先端部が一対の案内レール23、23を連結して取り付けられた軸受部材763によって回転自在に支持されている。サーボモータ762は、その駆動軸が雄ねじロッド761の基端と伝動連結されている。従って、サーボモータ762が正転すると移動基台73即ちチャックテーブル機構7が矢印23aで示す方向に移動し、サーボモータ762が逆転すると移動基台73即ちチャックテーブル機構7が矢印23bで示す方向に移動せしめられる。矢印23aおよび23bで示す方向に移動せしめられるチャックテーブル機構7は、図4において実線で示す被加工物搬入・搬出域と2点鎖線で示す研削域に選択的に位置付けられる。また、チャックテーブル機構7は、研削域においては所定範囲に渡って矢印23aおよび23bで示す方向に移動動せしめられる。
図1に戻って説明を続けると、上記チャックテーブル機構7を構成する支持基台71の移動方向両側には、図1に示すように横断面形状が逆チャンネル形状であって、上記一対の案内レール23、23や雄ねじロッド761およびサーボモータ762等を覆っている蛇腹手段81および82が付設されている。蛇腹手段81および82はキャンパス布の如き適宜の材料から形成することができる。蛇腹手段81の前端はハウジング2を構成する主部21の後半部の前面壁に固定され、後端はチャックテーブル機構7の支持基台71の前端面に固定されている。蛇腹手段82の前端はチャックテーブル機構7の支持基台71の後端面に固定され、後端は装置ハウジング2の直立壁22の前面に固定されている。チャックテーブル機構7が矢印23aで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段81が伸張されて蛇腹手段82が収縮され、チャックテーブル機構7が矢印23bで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段81が収縮されて蛇腹手段82が伸張せしめられる。
図1に基づいて説明を続けると、装置ハウジング2の主部21における前半部上には、第1のカセット11と、第2のカセット12と、被加工物仮載置手段13と、洗浄手段14と、被加工物搬送手段15と、被加工物搬入手段16および被加工物搬出手段17が配設されている。第1のカセット11は研削加工前の被加工物としての半導体ウエーハWを収納し、装置ハウジング2の主部21におけるカセット搬入域に載置される。なお、第1のカセット11に収容される半導体ウエーハWは、表面に保護テープTを貼着した状態で裏面を上にして収容される。第2のカセット12は装置ハウジング2の主部21におけるカセット搬出域に載置され、研削加工後の半導体ウエーハWを収納する。被加工物仮載置手段13は第1のカセット11と被加工物搬入・搬出域24との間に配設され、研削加工前の半導体ウエーハWを仮載置する。洗浄手段14は被加工物搬入・搬出域24と第2のカセット12との間に配設され、研削加工後の半導体ウエーハWを洗浄する。被加工物搬送手段15は第1のカセット11と第2のカセット12との間に配設され、第1のカセット11内に収納された半導体ウエーハWを被加工物仮載置手段13に搬出するとともに洗浄手段14で洗浄された半導体ウエーハWを第2のカセット12に搬送する。被加工物搬入手段16は被加工物仮載置手段13と被加工物搬入・搬出域24との間に配設され、被加工物仮載置手段13上に載置された研削加工前の半導体ウエーハWを被加工物搬入・搬出域24に位置付けられたチャックテーブル機構7のチャックテーブル72上に搬送する。被加工物搬出手段17は被加工物搬入・搬出域24と洗浄手段14との間に配設され、被加工物搬入・搬出域24に位置付けられたチャックテーブル72上に載置されている研削加工後の半導体ウエーハWを洗浄手段14に搬送する。また、図示の実施形態における研削装置は、装置ハウジング2の主部21における中央部に上記チャックテーブル72を洗浄する洗浄水噴射ノズル18を備えている。この洗浄水噴射ノズル18は、チャックテーブル機構5が被加工物搬入・搬出域24に位置付けられた状態において、チャックテーブル72に向けて洗浄水を噴出する。
被加工物としての半導体ウエーハWを収容した第1のカセット11は、装置ハウジング2の主部21における所定のカセット搬入域に載置される。そして、カセット搬入域に載置された第1のカセット11に収容されていた研削加工前の半導体ウエーハWが全て搬出されると、空のカセット11に代えて複数個の半導体ウエーハWを収容した新しいカセット11が手動でカセット搬入域に載置される。一方、装置ハウジング2の主部21における所定のカセット搬出域に載置された第2のカセット12に所定数の研削加工後の半導体ウエーハWが搬入されると、かかる第2のカセット12が手動で搬出され、新しい空の第2のカセット12が載置される。
図示の実施形態における研削装置は以上のように構成されており、以下その作用について、主に図1と図5および図6を参照して説明する。
第1のカセット11に収容された研削加工前の被加工物としての半導体ウエーハWは被加工物搬送手段15の上下動作および進退動作により搬送され、被加工物仮載置手段13に載置される。被加工物仮載置手段13に載置された半導体ウエーハWは、ここで中心合わせが行われた後に被加工物搬入手段16の旋回動作によって被加工物搬入・搬出域24に位置付けられているチャックテーブル機構7のチャックテーブル72上に載置される。チャックテーブル72上に載置された被加工物としての半導体ウエーハWは、図示しない吸引手段によってチャックテーブル72上に吸引保持される。
第1のカセット11に収容された研削加工前の被加工物としての半導体ウエーハWは被加工物搬送手段15の上下動作および進退動作により搬送され、被加工物仮載置手段13に載置される。被加工物仮載置手段13に載置された半導体ウエーハWは、ここで中心合わせが行われた後に被加工物搬入手段16の旋回動作によって被加工物搬入・搬出域24に位置付けられているチャックテーブル機構7のチャックテーブル72上に載置される。チャックテーブル72上に載置された被加工物としての半導体ウエーハWは、図示しない吸引手段によってチャックテーブル72上に吸引保持される。
チャックテーブル72上に半導体ウエーハWを吸引保持したならば、チャックテーブル機構移動手段76を作動してチャックテーブル機構7を矢印23aで示す方向に移動し、研削域25の研削開始位置に位置付ける。研削域の研削開始位置おいては、半導体ウエーハWを保持したチャックテーブル72を例えば300rpm程度で回転し、上記第1のサーボモータ49を駆動し筒状の第1の回転軸42を回転して研削ホイール44を4000〜7000rpmの回転速度で回転するとともに、上記研削送り手段6のパルスモータ64を正転駆動して研削ユニット3を下降即ち前進せしめる。このとき、加工工具48は、図5に示すように研磨パッド482の下面が研削ホイール44の複数の研削砥石442の下面より上側の退避位置に位置付けられている。また、チャックテーブル72の中心P即ち半導体ウエーハWの中心を研削ホイール44の複数の研削砥石442が通過する位置に位置付ける。そして、研削送り手段6のパルスモータ64を正転駆動して研削ユニット3を下降即ち前進せしめ、研削ホイール44の複数の研削砥石442を半導体ウエーハWの裏面(上面)に所定の荷重で押圧する。この結果、半導体ウエーハWの裏面(上面)が所定量研削される。このように環状の研削ホイール44によって研削すると、半導体ウエーハWの裏面(上面)には円弧状の研削痕(ソーマーク)が形成される。
上述したように研削ホイール44を用いてチャックテーブル72に保持された半導体ウエーハWの裏面(上面)を研削したならば、研削送り手段6のパルスモータ64を逆転駆動して研削ユニット3を上昇即ち後退せしめるとともに、第1のサーボモータ49の駆動を停止して研削ホイール44の回転を停止する。そして、移動手段52のパルスモータ522を正転駆動して第2のサーボモータ50即ち第2の回転軸45を下降せしめ、該第2の回転軸45の下端に装着された加工工具48の研磨パッド482の下面が研削ホイール44の複数の研削砥石442の下面より下側の作用位置に位置付ける。また、チャックテーブル72の中心P即ち半導体ウエーハWの中心を図6に示すように加工工具48の研磨パッド482が通過する位置に位置付ける。そして、半導体ウエーハWを保持したチャックテーブル72を例えば300rpm程度で回転し、第2のサーボモータ50を駆動し第2の回転軸45を1000〜2000rpmの回転速度で回転するとともに、上記研削送り手段6のパルスモータ64を正転駆動して研削ユニット3を下降即ち前進せしめ、加工工具48の研磨パッド482をチャックテーブル72上の半導体ウエーハWの裏面(上面)に所定の荷重で押圧する。このように第2の回転軸45が回転すると、該第2の回転軸45に取付けられたキャリア461に装着されている複数個の遊星歯車462が内歯歯車431に沿って公転するとともに自転するため、該複数個の遊星歯車462の歯車軸462aに装着された加工工具48も内歯歯車431に沿って公転するとともに自転する。従って、加工工具48は、第2の回転軸45の回転速度より増速されて回転せしめられる。この結果、加工工具48の研磨パッド482の作用によりチャックテーブル72に保持された半導体ウエーハWの裏面(上面)が研磨され、上記研削ホイール44による研削によって半導体ウエーハWの裏面(上面)に形成された円弧状の研削痕(ソーマーク)が除去される。
上記のようにして、研磨作業が終了したら、研削送り手段6のパルスモータ64を逆転駆動してスピンドルユニット4を所定位置まで上昇させるとともに、第2のサーボモータ50の回転を停止して加工工具48の回転を停止し、更に、チャックテーブル72の回転を停止する。
次に、チャックテーブル72を矢印23bで示す方向に移動して被加工物搬入・搬出域24(図1参照)に位置付ける。チャックテーブル72が被加工物搬入・搬出域24に位置付けられたならば、チャックテーブル72上の研削加工された半導体ウエーハWの吸引保持が解除され、吸引保持が解除された半導体ウエーハWは被加工物搬出手段17により搬出されて洗浄手段14に搬送される。洗浄手段14に搬送された半導体ウエーハWは、ここで洗浄された後に被加工物搬送手段15よって第2のカセット12の所定位置に収納される。
以上のように、図示の実施形態における研削装置においては、研削手段は内周面に内歯歯車431が形成された環状のマウント43に装着された環状の研削ホイール44と、環状のマウント43の内周面に形成された内歯歯車431に沿って公転するとともに自転する加工工具48を具備しているので、被加工物を研削ホイール44によって研削した後に、加工工具48の研磨パッド482によって研磨することにより、研削ホイール44による研削によって被加工物の被研削面に形成された円弧状の研削痕(ソーマーク)を除去することができる。従って、被加工物の抗折強度を向上させることができる。
なお、上述した実施形態において加工工具48は円盤状の基台481に研磨パッド482を装着した例を示したが、円盤状の基台481に研削砥石を装着してもよい。円盤状の基台481に研削砥石を装着した場合は、円盤状の基台481に装着された研削砥石が上述したように環状のマウント43の内周面に形成された内歯歯車431に沿って公転するとともに自転するので、被加工物の被研削面は梨地面となり、被加工物の抗折強度が向上する。
なお、上述した実施形態において加工工具48は円盤状の基台481に研磨パッド482を装着した例を示したが、円盤状の基台481に研削砥石を装着してもよい。円盤状の基台481に研削砥石を装着した場合は、円盤状の基台481に装着された研削砥石が上述したように環状のマウント43の内周面に形成された内歯歯車431に沿って公転するとともに自転するので、被加工物の被研削面は梨地面となり、被加工物の抗折強度が向上する。
次に、スピンドルユニットの他の実施形態について、図7を参照して説明する。なお、図7に示す実施形態においては、上記図2乃至図6に示し実施形態における構成部材と同一部材には同一符号を付してその詳細な説明は省略する。
図7に示す実施形態におけるスピンドルユニットは、遊星歯車機構46を構成する遊星歯車462の加工軸として機能する歯車軸462aが、環状のマウント43に配設されたスラスト軸受464、464によって回転可能で且つ軸方向に摺動可能に支持されている。そして、遊星歯車462が第2の回転軸45の下端に装着された太陽歯車465と噛合いするように構成されている。なお、太陽歯車465の上面および下面には遊星歯車465を軸方向に移動するためのヨーク部材466が設けられており、スラスト軸受421によって回転可能で且つ軸方向に摺動可能な第2の回転軸45を軸方向に移動することにより、ヨーク部材466を介して遊星歯車462の歯車軸462aが軸方向に移動せしめられる。なお、遊星歯車462の歯車軸462aの下端に円盤状のマウント47が取り付けられ、該円盤状のマウント47に加工工具48が装着される。このように構成されたスピンドルユニットにおいては、例えば第2の回転軸45の回転を停止し、筒状の第1の回転軸42を回転することにより、環状のマウント43を介して研削ホイール44が回転せしめられるとともに、遊星歯車462が太陽歯車465に沿って公転するとともに自転するため、遊星歯車462の歯車軸462aに円盤状のマウント47を介して取り付けられた加工工具48が公転しつつ自転する。
図7に示す実施形態におけるスピンドルユニットは、遊星歯車機構46を構成する遊星歯車462の加工軸として機能する歯車軸462aが、環状のマウント43に配設されたスラスト軸受464、464によって回転可能で且つ軸方向に摺動可能に支持されている。そして、遊星歯車462が第2の回転軸45の下端に装着された太陽歯車465と噛合いするように構成されている。なお、太陽歯車465の上面および下面には遊星歯車465を軸方向に移動するためのヨーク部材466が設けられており、スラスト軸受421によって回転可能で且つ軸方向に摺動可能な第2の回転軸45を軸方向に移動することにより、ヨーク部材466を介して遊星歯車462の歯車軸462aが軸方向に移動せしめられる。なお、遊星歯車462の歯車軸462aの下端に円盤状のマウント47が取り付けられ、該円盤状のマウント47に加工工具48が装着される。このように構成されたスピンドルユニットにおいては、例えば第2の回転軸45の回転を停止し、筒状の第1の回転軸42を回転することにより、環状のマウント43を介して研削ホイール44が回転せしめられるとともに、遊星歯車462が太陽歯車465に沿って公転するとともに自転するため、遊星歯車462の歯車軸462aに円盤状のマウント47を介して取り付けられた加工工具48が公転しつつ自転する。
次に、スピンドルユニットの更に他の実施形態について、図8を参照して説明する。なお、図7に示す実施形態においては、上記図2乃至図6に示し実施形態における構成部材と同一部材には同一符号を付してその詳細な説明は省略する。
図8に示す実施形態におけるスピンドルユニットは、環状のマウント43に配設されたスラスト軸受464によって加工軸467が回転可能で且つ軸方向に摺動可能に支持されている。この加工軸467の上端には第3のサーボモータ468が伝動連結されており、加工軸467の下端には円盤状のマウント47を介して加工工具48が装着される。そして、第3のサーボモータ468が筒状の第1の回転軸42に配設されたスラスト軸受421によって回転可能で且つ軸方向に摺動可能に支持されている作動ロッド469に連結されている。従って、作動ロッド469を軸方向に移動することにより、第3のサーボモータ468および加工軸467を介して加工工具48が軸方向に移動せしめられる。このように構成されたスピンドルユニットにおいては、筒状の第1の回転軸42を回転することにより、環状のマウント43を介して研削ホイール44が回転せしめられるとともに、環状のマウント43に配設された加工軸467に装着されている加工工具48が筒状の第1の回転軸42に対して公転せしめられる。そして、第3のサーボモータ468を駆動することにより、加工軸467に装着されている加工工具48が回転(自転)する。
図8に示す実施形態におけるスピンドルユニットは、環状のマウント43に配設されたスラスト軸受464によって加工軸467が回転可能で且つ軸方向に摺動可能に支持されている。この加工軸467の上端には第3のサーボモータ468が伝動連結されており、加工軸467の下端には円盤状のマウント47を介して加工工具48が装着される。そして、第3のサーボモータ468が筒状の第1の回転軸42に配設されたスラスト軸受421によって回転可能で且つ軸方向に摺動可能に支持されている作動ロッド469に連結されている。従って、作動ロッド469を軸方向に移動することにより、第3のサーボモータ468および加工軸467を介して加工工具48が軸方向に移動せしめられる。このように構成されたスピンドルユニットにおいては、筒状の第1の回転軸42を回転することにより、環状のマウント43を介して研削ホイール44が回転せしめられるとともに、環状のマウント43に配設された加工軸467に装着されている加工工具48が筒状の第1の回転軸42に対して公転せしめられる。そして、第3のサーボモータ468を駆動することにより、加工軸467に装着されている加工工具48が回転(自転)する。
2:装置ハウジング
3:研削ユニット
31:移動基台
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:筒状の第1の回転軸
43:環状のマウント
431:内歯歯車
44:研削ホイール
45:第2の回転軸
46:遊星歯車機構
462:遊星歯車
47:円盤状のマウント
48:加工工具
49:第1のサーボモータ
50:第2のサーボモータ
52:移動手段
6:研削ユニット送り機構
64:パルスモータ
7:チャックテーブル機構
72:チャックテーブル
76:チャックテーブル移動機構
81、82:蛇腹手段
11:第1のカセット
12:第2のカセット
13:被加工物仮載置手段
14:洗浄手段
15:被加工物搬送手段
16:被加工物搬入手段
17:被加工物搬出手段
18:洗浄水噴射ノズル
3:研削ユニット
31:移動基台
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:筒状の第1の回転軸
43:環状のマウント
431:内歯歯車
44:研削ホイール
45:第2の回転軸
46:遊星歯車機構
462:遊星歯車
47:円盤状のマウント
48:加工工具
49:第1のサーボモータ
50:第2のサーボモータ
52:移動手段
6:研削ユニット送り機構
64:パルスモータ
7:チャックテーブル機構
72:チャックテーブル
76:チャックテーブル移動機構
81、82:蛇腹手段
11:第1のカセット
12:第2のカセット
13:被加工物仮載置手段
14:洗浄手段
15:被加工物搬送手段
16:被加工物搬入手段
17:被加工物搬出手段
18:洗浄水噴射ノズル
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルの該保持面に垂直な方向に移動せしめる研削送り手段と、を具備する研削装置において、
該研削手段は、回転軸と、該回転軸の下端に装着された環状のマウントと、該環状のマウントの下端に着脱可能に装着される研削ホイールと、該研削ホイールの内側に配設され該回転軸に対して公転するとともに自転せしめられる工具軸と、該工具軸の下端に装着された加工工具と、を具備している、
ことを特徴とする研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008062196A JP2009214253A (ja) | 2008-03-12 | 2008-03-12 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008062196A JP2009214253A (ja) | 2008-03-12 | 2008-03-12 | 研削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009214253A true JP2009214253A (ja) | 2009-09-24 |
Family
ID=41186678
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2008062196A Pending JP2009214253A (ja) | 2008-03-12 | 2008-03-12 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009214253A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020129757A1 (ja) * | 2018-12-20 | 2020-06-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53101191A (en) * | 1977-02-16 | 1978-09-04 | Sanwa Kenma Kougiyou Kk | Stone material grinding machine |
JP2003181759A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ加工装置及びウェーハ加工方法 |
-
2008
- 2008-03-12 JP JP2008062196A patent/JP2009214253A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53101191A (en) * | 1977-02-16 | 1978-09-04 | Sanwa Kenma Kougiyou Kk | Stone material grinding machine |
JP2003181759A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ加工装置及びウェーハ加工方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020129757A1 (ja) * | 2018-12-20 | 2020-06-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JPWO2020129757A1 (ja) * | 2018-12-20 | 2021-10-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP7149344B2 (ja) | 2018-12-20 | 2022-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
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