JP2009210609A - 光導波体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高いパワー密度のレーザ光を導波させた場合に、入射端面又は出射端面における損傷が少ない光導波体を提供する。
【解決手段】 光照射装置1では、各レーザ光源10nから出力されたレーザ光は、レンズ20nにより光ファイバ30nの入射端30aに入力され、光ファイバ30nにより入射端30aから出射端30bへ導波し、さらに、光導波体40の入射端面40aから出射面40bへ導波し、出射端面40bから出力される。このうち、光導波体40中のコア領域41の出射端面側のコア領域面41bは出射端面40bより手前に設けられる。したがってコア領域41を導波するレーザ光はコア領域面41bから出力され、クラッド42中を出射端面40bへ伝播する。この結果、出射端面40bにおけるレーザ光の断面はコア領域面41bにおけるレーザ光の断面よりも大きく、レーザ光のパワー密度が低くなっている。
【選択図】 図1
【解決手段】 光照射装置1では、各レーザ光源10nから出力されたレーザ光は、レンズ20nにより光ファイバ30nの入射端30aに入力され、光ファイバ30nにより入射端30aから出射端30bへ導波し、さらに、光導波体40の入射端面40aから出射面40bへ導波し、出射端面40bから出力される。このうち、光導波体40中のコア領域41の出射端面側のコア領域面41bは出射端面40bより手前に設けられる。したがってコア領域41を導波するレーザ光はコア領域面41bから出力され、クラッド42中を出射端面40bへ伝播する。この結果、出射端面40bにおけるレーザ光の断面はコア領域面41bにおけるレーザ光の断面よりも大きく、レーザ光のパワー密度が低くなっている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光導波体に関するものである。
光導波体を用いた光照射装置として、例えば、特許文献1にレーザ照射装置が開示されている。特許文献1のレーザ照射装置は以下の通りである。まず、レーザ光源から出射されたレーザビームは光ファイバに入射される。光ファイバの出射端面から出射された光は、結合レンズを経て、平板状の導波部材の入射端面から入射される。その後、導波部材に入射された光は、多重反射されながら導波し導波部材の出射端面から出射されて被照射物に向けて照射される構造を持っている。ここで用いられる導波部材は直方体の光学媒体であり、入射端面と出射端面とを除く導波部材の側面に導波部材に対して屈折率の小さなクラッドを設ける構成が開示されている。
特開2007−115729号公報
しかしながら、特許文献1のレーザ照射装置を用いて高エネルギーでパワー密度の高いレーザ光を導波させた場合、導波部材の入射端面や出射端面にごみや汚れが付着しているとレーザ光によって焼き付きが発生し、入射端面や出射端面に大きな損傷が発生するという問題があった。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、高いパワー密度のレーザ光を導波させた場合に、入射端面又は出射端面における損傷が少ない光導波体を提供することを目的とする。
本目的を達成するため、本発明の光導波体は、第1端面と第2端面とを有し、第1端面側と第2端面側との間に延在するコアによって光を導波させる光導波体であって、コアの第1端面側の終端と第1端面との間に間隙を有することを特徴とする。
また、本発明の光導波体は、コアの第2端面側の終端と第2端面との間に間隙を有することを特徴とする。
本発明の光導波体は、コアを導波した光が間隙を伝播して、第1端面側から出力されるときに、第1端面を含む平面における光のビーム断面が、第1端面に含まれることを特徴とする。
本発明の光導波体を用いた光照射装置では、レーザ光源から出力される光は結合光学系を経て、光導波体の第1端面又は第2端面から光導波体に入力される。光導波体に入力された光は、スラブ導波路によって導波した後、光導波体から被照射物へ向けて照射される。上記のように、本発明に係る光導波体の第1端面及び第2端面のいずれか一方が入射端面として、他方が出射端面として、それぞれ機能する。以下、上記の本発明に係る光導波体の第1端面が出射端面として被照射物に対向しているとする。また、光導波体の第2端面が入射端面として結合光学系に対向しているとする。よって、レーザ光源から出力される光は結合光学系を経て光導波体の第2端面から入力され、第1端面から出力されるとする。
本発明に係る光導波体は、コアの終端と第1端面との間に間隙を有している。このため、光導波体に入力された光が光導波体を出射端面である第1端面に向けて導波するとき、コアの終端と第1端面との間は間隙を伝播する。光は、間隙を伝播するときはコアを多重反射されながら導波する際に比べて広がりながら進むため、間隙を伝播中の光のビーム断面は、コアを導波するときに比べて大きくなる。
第2端面から光導波体に入射された光は、光導波体のコアを導波した後に間隙を経て第1端面に到達する。このとき、第1端面における光のビーム断面は、光導波体のコアにおけるビーム断面よりも大きくなっていて、パワー密度が低くなっている。これによって、高エネルギーと高いパワー密度を持つ光を導波する光導波体であっても、第1端面から出力される際にはパワー密度を低くすることができる。
本発明に係る光導波体としては間隙を第1端面に限らず、第2端面においても備えることができる。これによれば、光導波体の入射端面及び出射端面のいずれの面においてもレーザ光の焼き付きによる損傷を減らすことができるため、本発明による効果をさらに高めることができる。
また、コアを導波した光が間隙を伝播して、第1端面側から出力されるときの第1端面を含む平面における光のビーム断面が第1端面に含まれていれば、光が光導波体の第1端面及び第2端面を除く側面に到達したときの反射や散乱等による損失を軽減し、高エネルギーを維持した光を被照射物へ照射することができる。
本発明によれば、高いパワー密度のレーザ光を導波させた場合に、入射端面又は出射端面における損傷が少ない光導波体が提供される。
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一または同様の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図1は、本実施形態に係る光導波体を用いた光照射装置1の構成を示す図である。この図に示される光照射装置1は、N個のレーザ光源101〜10N、N個のレンズ201〜20N、N本の光ファイバ301〜30N、光導波体40および結像光学系50を備える。ここで、Nは1以上の整数であり、また、以下に登場するnは1以上N以下の整数である。
各レーザ光源10nは、レーザ光を出力するものである。各レーザ光源10nとして、任意のタイプのものが用いられ得るが、小型化の点で有利な半導体レーザ光源が好適に用いられる。N個のレーザ光源101〜10Nそれぞれから出力されるレーザ光の波長は、互いに略同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。各レンズ20nは、レーザ光源10nと光ファイバ30nの入射端30aとの間に設けられていて、レーザ光源10nから出力されるレーザ光を光ファイバ30nの入射端30aに集光して、そのレーザ光を該入射端30aから光ファイバ30n内に入力させる。
各光ファイバ30nは、レンズ20nから出力されて入射端30aに入力されるレーザ光を導波させて、そのレーザ光を出射端30bから出力する。各光ファイバ30nは、レーザ光源10nから出力されるレーザ光の波長において伝搬損失が小さいのが好ましく、例えば、純石英ガラスからなるコアを有するものであるのが好ましい。各光ファイバ30nは、シングルモード光ファイバであってもよいし、マルチモード光ファイバであってもよい。各光ファイバ30nの出射端30bは、光導波体40の入射端面40aと光学的に接続されている。レンズ201〜20Nおよび光ファイバ301〜30Nは、レーザ光源101〜10Nから出力されるレーザ光を光導波体40の入射端面40aに入力させる結合光学系を構成している。
光導波体40は、互いに対向する面に入射端面40aおよび出射端面40bを有していている。なお、この図1および以降の各図には、光導波体40について説明する際の便宜のためにxyz直交座標系が示されている。光導波体40は、N本の光ファイバ301〜30Nそれぞれの出射端30bから出力されて入射端面40aに入力されるレーザ光をスラブ導波路により導波させて、そのレーザ光を出射端面40bから出力する。結像光学系50は、光導波体40の出射端面40bから出力されるレーザ光を照射対象物2の表面上に結像する。
図2は、本実施形態に係る光導波体40の構成を示す斜視図である。光導波体40は、コア41と、このコア41を包囲するクラッド42と、を有する。コア41の屈折率はクラッド42の屈折率より高い。光導波体40は、レーザ光源101〜10Nから出力されるレーザ光の波長において伝搬損失が小さいのが好ましく、石英ガラスからなるのが好ましい。また、クラッド42の一部(例えばコア41に対して+y方向側の部分)は空気であってもよい。
入射端面40aおよび出射端面40bそれぞれはxy平面に平行である。コア41は、xz平面に平行な方向に延在していて、入射端面40aから出射端面40bの手前までz方向に沿って設けられていてスラブ導波路を構成している。コア41の入射端面40a側の終端であるコア領域面41aは、入射端面40aに含まれている。一方、コア41の出射端面40b側の終端であるコア領域面41bは、出射端面40bよりも手前(−z方向)で終端し、コア領域面41bと出射端面40bとの間には間隙が設けられている。本実施形態においては、コア領域面41bと出射端面40bとの間の間隙はクラッド42と同じ組成であり同じ屈折率である。例えば、コア41のx方向の幅は数百μm〜10mmであり、コア41のy方向の高さは数μm〜10μmである。また、コア41のz方向の長さは数十mmであり、コア41の出射端面40b側の終端と出射端面40bとの長さは数百μm〜数mmである。
図3は、本実施形態に係る光導波体を用いた光照射装置1に含まれる光ファイバ30nと光導波体40との光結合を説明する断面図である。各光ファイバ30nは、コア31と、このコア31を包囲するクラッド32と、を有する。コア31の屈折率はクラッド32の屈折率より高い。例えば、コア31の径は数μm〜10μmであり、クラッド32の径は50μm〜125μmである。一般に光ファイバのクラッド径は125μmであるが、各光ファイバ30nのクラッド32の径を小さくすることにより、光導波体40の入射端面40aにおいてコア領域面41aに対して、より多数の光ファイバを光結合させることができる。なお、この構成は全ての光ファイバ301〜30Nにおいて共通である。
各光ファイバ30nの出射端30bにおけるコア31と、光導波体40の入射端面40aにおけるコア領域面41aとは、互いに対向して光学的に結合している。両者は、融着接続されているのが低損失の点で好ましいが、接着剤による結合やレンズを介した光結合でもよい。また、融着接続される場合、各光ファイバ30nのコア31の径は、光導波体40のコア41のy方向の高さ(コア領域面41aのy方向の高さと同一である)と比べて同程度または小さいのが好ましく、このようにすることにより、各光ファイバ30nから光導波体40への光結合が低損失となる。
図4は、本実施形態に係る光導波体を用いた光照射装置1に含まれる光ファイバ30nと光導波体40との光結合部における光ファイバ301〜30Nの配列を説明する図である。この図は、光結合部において並列配置された光ファイバ301〜30Nの出射端30bを見たものである。光導波体40の入射端面40aにおけるコア領域面41aはy方向の高さが限られていてx方向に長い形状となっているので、このようなコア領域面41aの形状に合わせて光ファイバ301〜30Nのそれぞれの出射端30bもx方向に配列される必要がある。そこで、この配列を容易にするために保持部材33が用いられる。この保持部材33は全体的には平板状の部材であって、その一方の主面上のN本のV溝は精度よく形成され得るので、各V溝に光ファイバ30nを配置することで、光ファイバ301〜30Nのそれぞれの出射端30bも精度よく配置され得る。
このように本実施形態に係る光導波体を用いて構成される光照射装置1では、各レーザ光源10nから出力されたレーザ光は、レンズ20nにより光ファイバ30nの入射端30aに集光されて、この入射端30aから光ファイバ30n内に導入される。各光ファイバ30n内に導入されたレーザ光は、光ファイバ30nにより導波された後、光ファイバ30nの出射端30bから出力されて、光導波体40の入射端面40aから光導波体40内に導入される。光導波体40内のコア41を導波したレーザ光は、出射端面40bから出力され、結像光学系50によりレーザ光の像が照射対象物2の表面上に形成される。
ここで、従来の光導波体においては、入射端面40aから光導波体40内に導入されたレーザ光は、コア41に閉じ込められて導波し、出射端面40bまで達して該出射端面40bから出力される。従来の光導波体では、コア41は入射端面40aから出射端面40bまで延在しているため、出射端面40bにおけるレーザ光のビーム断面は出射端面40bにおけるコア41の面積と等しくなる。光導波体40のコア41中に高エネルギーでパワー密度の高いレーザ光を導波させた場合、パワー密度の高いレーザ光を出射端面40bから出力するために、出射端面40bにごみや汚れが付着しているとレーザ光によって焼き付きが発生するという問題があった。
そのため、本実施形態ではこの問題を解消するために、コア41における出射端面40b側のコア領域面41bを出射端面40bよりも手前に設けてコア領域面41bと出射端面40bとの間に間隙を設けることにより、出射端面40bから出射される光の出射端面40bにおけるビーム断面積を大きくするという工夫を行った。
図5は、本実施形態に係る光導波体40において、出射端面40b側のコア領域面41bから出力された光の伝播を模式的に示す図である。図5では、光導波体40を+y方向から見た図である。このように、入射端面40aから光導波体40内に導入されたレーザ光は、コア41に閉じ込められて導波され、コア領域面41bから出力される。コア領域面41bと出射端面40bとの間には間隙が設けられており、コア領域面41bから出力されたレーザ光Lはクラッド42からなる間隙を出射端面40b方向へ進む。クラッド42内を伝播するレーザ光Lは、出射端面40bまで達して該出射端面40bから出力される。クラッド42内を伝播するレーザ光Lは、コア領域面41bから出力された時点から広がりをもって進み、レーザ光Lのビーム断面が出射端面40bに含まれた状態で出射端面40bから出力される。出射端面40bから出力されるときのレーザ光Lのx軸方向のビームの幅は、出射端面40b側のコア領域面41bにおけるx軸方向のビームの幅よりも大きくなる。この結果、出射端面40bから出力されるときのレーザ光Lのパワー密度を、出射端面40b側のコア領域面41bにおけるパワー密度より低くすることができるため、レーザ光Lによる焼き付きを低減させることができる。
図5では光導波体40においてコア41から出力されたレーザ光Lのクラッド42における伝播についてxz平面図を用いて説明したが、yz平面についても同様にレーザ光Lは伝播し、レーザ光Lのビーム断面が出射端面40bに含まれた状態で出射端面40bから出力される。これにより、出射端面40bから出力されるときのレーザ光Lのy軸方向のビームの幅は、出射端面40b側のコア領域面41bにおけるy軸方向のビームの幅よりも大きくなる。このため、出射端面40bから出力されるレーザ光Lの出射端面40bにおけるビーム断面積は、出射端面40b側のコア領域面41bから出力されるときのビーム断面積よりも大きく、レーザ光Lのパワー密度の小さくして出射端面40bから出力することができる。
なお、本実施形態に係る光導波体40に代わって、従来の光導波体にさらにコアが無いクラッドを融着接続するという手段も考えられる。しかしながら、上記手段を実現するためには従来の光導波体とコア無しクラッドを製造した後に、それらを融着接続する必要がある。一方、本実施形態に係る光導波体40は一般的な光導波体の製造方法により作製することができる。光導波体の一般的な製造方法としては、下地基板上に、アンダークラッド層、コア41となるコア層を順次形成する。その後コア層の上面にレジスト膜を形成し、フォトリソグラフィによりレジスト膜によるパターンを形成し、エッチングを行ってレジスト膜が形成されていない部分のコア層を除去する。これによってコア41が形成され、さらにオーバークラッド層を積層することにより、光導波体40が得られる。本実施形態に係る光導波体40は、上記の光導波体の一般的な製造方法のうち、レジスト膜のパターンの形状を変更することにより作製することができる。このように、本実施形態に係る光導波体40は、従来の光導波体の製造方法から工程数を変更することがないため、設備投資や作業コスト等の増加がなくレーザ光による焼き付きを低減させ、損傷を減少させる効果を得ることができる。
以上のように、本実施形態に係る光導波体を用いた光照射装置1によれば、光導波体40のコア41において、出射端面40b側のコア領域面41bを出射端面40bより手前に設けて、出射端面40bとコア領域面41bとの間に間隙を設けることにより、高いパワー密度のレーザ光を導波させた場合に、出射端面40bにおける損傷を減らすことができる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、本実施形態では光導波体40におけるコア41の入射端面40a側の端面(コア領域面41a)は入射端面40aに達しているが、入射端面40a側のコア領域面41aと入射端面40aとの間に間隙を設けて、本実施形態と同様に間にクラッド42を設ける構造としてもよい。この構造は、光ファイバ30nの出射端30bにおけるコア31と、光導波体40の入射端面40a側のコア領域面41aとが、レンズを介して互いに光結合しているときに好適である。
1…光照射装置、101〜10N…レーザ光源、201〜20N…レンズ、301〜30N…光ファイバ、40…光導波体、41…コア、42…クラッド、50…結像光学系。
Claims (3)
- 第1端面と第2端面とを有し、前記第1端面側と前記第2端面側との間に延在するコアによって光を導波させる光導波体であって、
前記コアの前記第1端面側の終端と前記第1端面との間に間隙を有する
ことを特徴とする光導波体。 - 前記コアの前記第2端面側の終端と前記第2端面との間に間隙を有する
ことを特徴とする請求項1記載の光導波体。 - 前記コアを導波した光が前記間隙を伝播して、前記第1端面側から出力されるときに、
前記第1端面を含む平面における前記光のビーム断面が、前記第1端面に含まれる
ことを特徴とする請求項1記載の光導波体。
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