JP2010271476A - 光部品 - Google Patents

Abstract

【課題】レーザ光の戻り光による損傷を低減させる。
【解決手段】光部品５を含む光照射装置１では、レーザ光源１０_ｎから出射されたレーザ光は、レンズ２０_ｎにより光ファイバ３０_ｎの入射端面３０ａに入射されて出射端面３０ｂに進んで、光導波体５０の光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａから第２の面５１ｂに進み、さらに、スラブ導波体６０のスラブ導波路となるコア６１の第１の端面６１ａから第２の端面６１ｂに進んで、第２の端面６１ｂから出射される。一方、スラブ導波路を形成するコア６１の第１の端面６１ａのうち光導波路５１_ｎの第２の端面５１ｂと接続する領域以外に到達した戻り光は、第１の端面６１ａから光導波体５０のオーバークラッド５２及び基板５３に対して出射されるため、光ファイバ３０_ｎや、光ファイバ３０_ｎを固定する保持部材４０及び接着剤等に到達する戻り光の光強度を低減させ光損傷を低減させることができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、光部品に関する。

光導波体を用いた光照射装置として、例えば、特許文献１のレーザ照射装置が開示されている。特許文献１に記載のレーザ照射装置は、複数台のレーザ光源から出射されたレーザビームはそれぞれが互いに異なる光ファイバに入射され、この光ファイバの出射端面から出射された光が結合レンズを経て、平板状の導波部材の入射端面へ入射される。その後、導波部材に入射された光は多重反射されながら導波部材中を進み、出射端面から被照射物に向けて出射される構成を有している。

特開２００７−１１５７２９号公報

特許文献１記載のレーザ照射装置を用いた場合、被照射物によって反射された光の一部が、戻り光として導波部材の出射端面から入射し、出射端面から入射端面へ向けて多重反射されながらこの導波部材内を進む。そして、導波部材の入射端面から出射される結合レンズアレイを介して光ファイバに照射される。光ファイバを被覆している樹脂や、光ファイバの配置を固定している接着剤等に戻り光が照射される場合、接着剤等が光損傷する場合がある。この光損傷は、特に、高エネルギーのレーザ光を用いる場合に顕著となる。本発明は上記を鑑みてなされたものであり、レーザ光の戻り光による損傷が低減される光部品を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に係る光部品は、複数の光ファイバのそれぞれの出射端面が同一側となるように当該複数の光ファイバをアレイ状に配列して固定する保持部材と、複数の光ファイバのそれぞれに対応しており、出射端面に含まれる光ファイバのコア領域に接続された第１の端面と、該第１の端面の反対側の第２の端面とを含む複数の光導波路を有する光導波体と、第２の端面を介して複数の光導波路に接続されたスラブ導波路を有するスラブ導波体と、を備えることを特徴とする。

上記の光部品を用いたレーザ照射装置によれば、光源から出射してアレイ状に配列された複数の光ファイバのそれぞれに入射される光は、それぞれの光ファイバのコア領域を進み光ファイバの出射端面から出射される。そして、出射端面から出射された光は、複数の光ファイバの出射端面のそれぞれに個別に接続する複数の光導波路の第１の端面に入射した後光導波路内を進み、第２の端面からそれぞれ出射される。そして、複数の光導波路の第２の端面からそれぞれ出射された光は、第２の端面に接続するスラブ導波路の入射側の端面（入射端面）に入射し、スラブ導波路内を進み、他方の端面（出射端面）から被照射物に対して照射される。

一方、被照射物によって反射された光の一部が戻り光としてスラブ導波体のスラブ導波路の出射端面から入射された場合、この戻り光は、スラブ導波路内を多重反射しながら進んで入射端面に到達する。ここで、スラブ導波路の入射端面のうち光導波体の複数の光導波路の第２の端面と接続する領域以外に到達した戻り光は、スラブ導波路の入射端面と、光導波体のうち光導波路を除く領域との界面から放射される。したがって、光導波体の第１の端面と接続する光ファイバや、光ファイバを固定する保持部材の接着剤等まで到達する戻り光の光強度を低減させることができるため、レーザ光の戻り光による損傷を低減させることができる。

ここで、第１の端面は、コア領域を収容可能な形状を有する態様とすることができる。このように、光導波路の第１の端面が光ファイバのコア領域を収容可能な形状とすることにより、光ファイバのコア領域から出射される光を、損失を抑制しつつ光導波路の第１の端面に入射することができる。また、スラブ導波路内を進んで光導波路の第２の端面に入射した戻り光は光導波路内で拡散されるため、光ファイバ及び光ファイバの周辺領域に到達する戻り光の強度をより低減させ、レーザ光の戻り光による損傷をさらに低減させることができる。

また、第１の端面の面積は、第２の端面の面積よりも大きい態様としてもよい。このように、光導波路の第１の端面の面積を第２の端面の面積よりも大きくすることにより、光導波路の第２の端面に入射された戻り光をさらに拡散させて第１の端面から出射することができるため、戻り光による損傷をより低減させることができる。あるいは、第１の端面の面積は、第２の端面の面積よりも小さい態様としてもよい。このように、光導波路の第１の端面の面積を第２の端面の面積よりも小さくすることにより、光ファイバの周辺領域に到達する戻り光の強度をより低減させ、戻り光による損傷をより低減させることができる。

また、第１の端面の配列ピッチは、スラブ導波路に対してアレイ状に配列された第２の端面の配列ピッチより大きい態様としてもよい。このように、スラブ導波路の長手方向における複数の導波体の配列ピッチを、当該複数の導波体の出射端面側における配列ピッチよりも大きくすることにより、導波路の出射端面に入射された戻り光をさらに拡散させて入射端面から出射することができるため、戻り光による損傷をより低減させることができる。

本発明によれば、レーザ光の戻り光による損傷が低減される光部品が提供される。

第１実施形態に係る光部品を含む光照射装置の構成を説明する図である。 光部品に含まれる保持部材の構成を説明する図である。 光部品に含まれる光導波体の構成を説明する図である。 光部品に含まれるスラブ導波体の構成を説明する斜視図である。 レーザ光の進行方向に沿った光部品の光結合を説明する図である。 光部品における光路を説明する図である。 光密度の変化に係るシミュレーション結果を示す図である。 第２実施形態に係る光部品の構成を説明する図である。 第３実施形態に係る光部品の構成を説明する図である。 第４実施形態に係る光部品の構成を説明する図である。 第５実施形態に係る光部品の構成を説明する図である。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態について図１〜図７を用いて説明する。図１に示すように、本実施形態に係る光部品を含む光照射装置１は、Ｎ個のレーザ光源１０_１〜１０_Ｎ、Ｎ個のレンズ２０_１〜２０_Ｎ、Ｎ本の光ファイバ３０_１〜３０_Ｎ、光部品５及び集光レンズ７０を備える。また、光部品５は、Ｎ本の光ファイバ３０_１〜３０_Ｎと、保持部材４０と、光導波体５０と、スラブ導波体６０と、を含む。保持部材４０は、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎを保持する部材である。そして、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎと光導波体５０との間、及び、光導波体５０とスラブ導波体６０との間、がそれぞれ光学的に接続される。ここで、Ｎは２以上の整数であり、また、以下に登場するｎは１以上Ｎ以下の整数である。

レーザ光源１０_ｎは、レーザ光を出射するものである。レーザ光源１０_ｎとしては任意のタイプのものが用いられ得るが、小型化の点で有利な半導体レーザ光源が好適に用いられる。Ｎ個のレーザ光源１０_１〜１０_Ｎそれぞれから出射されるレーザ光の波長は、互いに略同一であってもよいし、互いに異なっていてもよく、例えば中心波長３９５ｎｍ〜４１５ｎｍ、或いは中心波長４３５ｎｍ〜４５５ｎｍのものが好適に用いられる。レンズ２０_ｎは、レーザ光源１０_ｎと光ファイバ３０_ｎの入射端面３０ａとの間に設けられていて、レーザ光源１０_ｎから出射されるレーザ光を光ファイバ３０_ｎの入射端面３０ａに集光して、そのレーザ光を入射端面３０ａから光ファイバ３０_ｎ内に入射する。

光ファイバ３０_ｎは、レンズ２０_ｎを介して入射端面３０ａに入射するレーザ光を導波させて、そのレーザ光を出射端面３０ｂから出射する。光ファイバ３０_ｎは、レーザ光源１０_ｎから出射されるレーザ光の波長において伝搬損失が小さいのが好ましく、例えば、純石英ガラスからなるコアを有するものであるのが好ましい。光ファイバ３０_ｎは、シングルモード光ファイバであってもよいし、マルチモード光ファイバであってもよい。光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂは、図２に示すように、コア領域３１と、このコア領域３１を包囲するクラッド領域３２とを有する。コア領域３１の屈折率はクラッド領域３２の屈折率より高い。そして、コア領域３１の径は、例えば数μｍ〜１０μｍであり、クラッド領域３２の径は５０μｍ〜１２５μｍである。一般に光ファイバのクラッド径は１２５μｍであるが、光ファイバ３０_ｎのクラッド領域３２の径を小さくすることにより、より多数の光ファイバを隣接して配置することができる。なお、この構成は全ての光ファイバ３０_１〜３０_Ｎにおいて共通である。

光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂは、光導波体５０に含まれる光導波路５１_１〜５１_Ｎの第１の端面５１ａと光学的に接続されている。レンズ２０_１〜２０_Ｎ及び光ファイバ３０_１〜３０_Ｎは、レーザ光源１０_１〜１０_Ｎから出射されるレーザ光を光導波体５０の光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａに入射する結合光学系として機能する。上記の光ファイバ３０_１〜３０_Ｎは、図２に示すように、光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂが同一側となるように保持部材４０によりアレイ状に配列して固定される。図２に示すように、保持部材４０は全体的には平板状の部材であって、その一方の主面上にＮ本のＶ溝が形成される。そして、このＮ本のＶ溝のそれぞれに光ファイバ３０_１〜３０_Ｎのそれぞれを載置し、接着剤４２により固定することで、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎがアレイ状に配列される。保持部材４０上のＮ本のＶ溝は高精度で形成することが可能であるため、Ｎ本のＶ溝のそれぞれに光ファイバ３０_ｎを１本ずつ配置することで、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎのそれぞれの出射端面３０ｂが精度よく配置される。なお、保持部材４０上に光ファイバ３０_１〜３０_Ｎを固定するために用いられる接着剤４２としては、耐熱性が高く且つ硬度が高いものが好適に用いられ、例えばアクリル系樹脂やエポキシ系樹脂等を用いることができる。

保持部材４０にアレイ状に配列された光ファイバ３０_１〜３０_Ｎの出射端面３０ｂから出射した光は、光導波体５０に含まれる複数の光導波路５１_１〜５１_Ｎの端面５１ａに入射する。

図１及び図３に示すように、光導波体５０は、例えばＳｉＯ_２等からなる基板５３と、この基板５３上に設けられ、互いに対向する面に第１の端面５１ａと第２の端面５１ｂとを有し、アレイ状に配列された光導波路５１_１〜５１_Ｎと、基板５３及び光導波路５１_１〜５１_Ｎの上面を覆うように設けられた例えばＳｉＯ_２等からなるオーバークラッド５２とを含む。光導波路５１_１〜５１_Ｎの屈折率はオーバークラッド５２及び基板５３の屈折率より高い。また、光導波路５１_ｎは光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂのコア領域３１を全て含むような形状とされる。本実施形態では、光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂのコア領域３１の径が１０μｍ程度であるのに対して、光導波路５１_ｎは一辺が１０μｍの矩形の断面形状を有する。また、光導波路５１_１〜５１_ｎのそれぞれは、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎのそれぞれに対応して設けられる。したがって、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎの配列ピッチと光導波路５１_１〜５１_ｎの配列ピッチとは等しくなる。なお、光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａと第２の端面５１ｂとの距離は１０ｍｍ以上であることが好ましい。

上記の光導波体５０に含まれる複数の光導波路５１_１〜５１_Ｎの第１の端面５１ａに入射した光は光導波路５１_１〜５１_Ｎ内を進み、光導波路５１_１〜５１_Ｎの第２の端面５１ｂから出射して、スラブ導波体６０に含まれるスラブ導波路６１の第１の端面６１ａ（入射端面）に入射する。

スラブ導波体６０は、図４に示すように、スラブ導波路を形成するコア６１と、コア６１を包囲するクラッド６２と、を有する。コア６１の屈折率はクラッド６２の屈折率より高い。コア６１の第１の端面６１ａは、アレイ状に配列された光導波路５１_１〜５１_Ｎの第２の端面５１ｂの全てを覆うように設けられる。そして、コア６１は、この第１の端面６１ａに対して垂直な方向に延びるスラブ導波路を形成する。そして、スラブ導波体６０において第１の端面６１ａが設けられる面と対向する面に、コア６１の第２の端面６１ｂが設けられる。これにより、スラブ導波体６０は、光導波路５１_１〜５１_Ｎのそれぞれの第２の端面５１ｂから出射されてコア６１の第１の端面６１ａに入射される光を、コア６１内を導波してコア６１の第２の端面６１ｂから出射する。集光レンズ７０は、スラブ導波体６０のコア６１の第２の端面６１ｂから出射される光を被照射物２の表面上に集光する。スラブ導波体６０は、レーザ光源１０_１〜１０_Ｎから出射されるレーザ光の波長において伝搬損失が小さいのが好ましく、石英ガラスからなるのが好ましい。また、クラッド６２の一部は空気であってもよい。また、コア６１の大きさは、光ファイバ３０_ｎの本数や外径等に基づいて決められるが、第１の端面６１ａのうち光導波体５１_ｎのアレイ状の配列に平行な方向の長さ（第１の端面６１ａのうち長手方向の長さ）は例えば数百μｍ〜数十ｍｍであり、第１の端面６１ａのうち光導波体５１_ｎのアレイ状の配列に対して垂直な方向の長さ（第１の端面６１ａのうち短手方向の長さ）は数μｍ〜数十μｍであり、また、コア６１の第１の端面６１ａと第２の端面６１ｂとの距離は数十ｍｍである。

図５は、本実施形態に係る光部品に含まれる光ファイバ３０_ｎと、光導波体５０と、スラブ導波体６０との光結合を説明する図である。光ファイバ３０_ｎのコア領域３１のコア領域面３１ｂと、光導波体５０の光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａとは、互いに対向して光学的に結合している。そして、光導波路５１_ｎの第２の端面５１ｂと、スラブ導波体６０のコア６１の第１の端面６１ａとは、互いに対向して光学的に結合される。光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂと光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａとの間、及び、光導波路５１_ｎの第２の端面５１ｂとスラブ導波体６０のコア６１の第１の端面６１ａとの間は、耐熱性の高いシリコーン系接着剤等の接着剤により接着されていてもよいし、レンズを介して光結合されていてもよい。

上述の光部品５を含む光照射装置１では、レーザ光源１０_ｎから出射されたレーザ光は、レンズ２０_ｎにより光ファイバ３０_ｎの入射端面３０ａに集光されて、この入射端面３０ａから光ファイバ３０_ｎ内に導入される。光ファイバ３０_ｎ内に導入されたレーザ光は、光ファイバ３０_ｎ内を進んだ後、光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂから出射されて、光導波体５０の光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａから光導波体５０内に導入される。そして、光導波路５１_ｎ内を進んだレーザ光は第２の端面５１ｂから出射されて、スラブ導波体６０のコア６１の第１の端面６１ａからスラブ導波体６０内に導入される。そして、第１の端面６１ａからスラブ導波体６０内に導入されたレーザ光は、コア６１に閉じ込められて第２の端面６１ｂまで進み、第２の端面６１ｂから出射される。そして、第２の端面６１ｂから出射されたレーザ光は、集光レンズ７０を介して被照射物２の表面上に到達する。

ここで、被照射物２で反射されたレーザ光が、集光レンズ７０を経てスラブ導波体６０のコア６１内へ入射し、コア６１の第１の端面６１ａへ到達する場合がある。

このとき、光導波体５０を備えていない従来の光照射装置の場合は、スラブ導波体６０のコア６１の第１の端面６１ａが光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂに接着剤等を介して接続される。このため、戻り光として第１の端面６１ａに到達した光は、光ファイバ３０_ｎのコア領域３１，クラッド領域３２及び接着剤４２に入射する。ここで、クラッド領域３２に入射した戻り光は、光ファイバ３０_ｎのクラッド領域３２内を逆進し、クラッド領域３２の界面から接着剤４２に漏れ出す。接着剤４２が光を吸収する特性を有する場合には、クラッド領域３２の界面から接着剤４２に漏れ出した戻り光によって接着剤４２が発熱することにより接着剤４２に光損傷が発生する可能性がある。また、第１の端面６１ａから出射された光が保持部材４０上の接着剤４２を直接照射する場合にも、接着剤４２の光損傷が生じる場合がある。具体的には、保持部材４０上の接着剤４２としてアクリル系接着剤やエポキシ系接着剤を用いた場合、戻り光の光密度が０．３ｍＷ／μｍ^２以上の場合には、接着剤４２に光損傷が生じる可能性がある。また、戻り光の入射により接着剤４２の光損傷が発生しない場合であっても、戻り光の波長によっては、戻り光の照射による光化学変化が引き起こされて接着剤４２の特性が変化し、接着剤としての機能が喪失される可能性がある。

これに対し、本実施形態による光照射装置１の場合、図６に示すように、光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂと、スラブ導波体６０のコア６１の第１の端面６１ａとの間に光導波路５１_ｎが設けられているため、第１の端面６１ａから出射する戻り光は、光導波体５０の光導波路５１_ｎ又は光導波路５１_ｎの周囲に設けられた基板５３又はオーバークラッド５２に入射する。光導波路５１_ｎに入射した戻り光は、光導波路５１_ｎを逆進して、光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａから出射され、光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂから光ファイバ３０_ｎ内へ入射する。一方、オーバークラッド５２又は基板５３に入射した戻り光は、オーバークラッド５２又は基板５３を進む間に光強度（光密度）が低減される。したがって、オーバークラッド５２又は基板５３に入射した戻り光が光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂに到達して光ファイバ３０_ｎの周囲の接着剤４２に入射した場合であっても、戻り光による接着剤４２の光損傷が十分に低減される。

次に、光導波路５１_ｎの長さ（第１の端面５１ａと第２の端面５１ｂとの距離）と、光導波路５１_ｎの光密度との関係を数値計算（シミュレーション）により求めた結果を図７に示す。数値計算の条件は以下の通りである。すなわち、基板５３の厚さが１．０ｍｍ、光導波路５１_ｎの断面形状が１辺１０μｍの正方形、オーバークラッド５２の基板５３との界面からの厚さ２０μｍ、開口数（ＮＡ）を０．１５とした場合に、スラブ導波体６０のコア６１の第１の端面６１ａからの距離をｚとし、第１の端面６１ａからの距離ｚに対するクラッド部（オーバークラッド５２及び基板５３）における光密度を数値計算したものである。図７に示す結果は、この上記の条件下における計算結果をｚ＝０ｍｍ（すなわち、第１の端面６１ａ）における光導波路５１_ｎの光密度を１として規格化したものである。図７は、ｚ＝１０ｍｍで、光密度が約５０分の１となり、ｚ＝２０ｍｍで約１００分の１となることを示している。すなわち、光導波路５１_ｎの長さを１０ｍｍ以上とすることで、クラッド部を進む戻り光の光密度を２桁程度小さくすることができる。

以上のように、本実施形態に係る光部品５を含む光照射装置１によれば、スラブ導波路を形成するコア６１の第１の端面６１ａのうち、光導波路５１_ｎの第２の端面５１ｂと接続する領域以外に到達した戻り光は、コア６１の第１の端面６１ａと、光導波体５０のうち光導波路５１_ｎを除く領域との界面、すなわちオーバークラッド５２及び基板５３に対して出射される。したがって、光ファイバ３０_ｎのコア領域３１及びクラッド領域３２や、光ファイバ３０_ｎを固定する保持部材４０及び保持部材４０上の接着剤４２等に到達する戻り光の光強度を低減させることができるため、レーザ光の戻り光による損傷を低減させることができる。

また、光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａが光ファイバ３０_ｎのコア領域３１を全て覆うような（収容可能な）形状とすることにより、光ファイバ３０_ｎのコア領域３１から出射されるレーザ光を、損失を抑制しつつ光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａに入射することができる。このため、レーザ光の損失を抑制しつつ被照射物２に対して出射することができる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態に係る光部品の構成について図８を用いて説明する。第２実施形態に示す光部品の光導波体５０Ａは、光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａの径が光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂにおけるコア領域面３１ｂの径よりも大きい点が、第１実施形態の光導波体５０と相違する。すなわち、第１実施形態における光部品においても、第１の端面５１ａがコア領域面３１ｂを収容可能な形状とされていたが、本実施形態の光導波体５０Ａのように、光導波体５１_ｎの第１の端面５１ａを光ファイバ３０_ｎのコア領域面３１ｂに対して十分大きい形状としてもよい。したがって、調芯時の軸が若干ずれた場合であっても第１の端面５１ａがコア領域面３１ｂを収容可能となる。よって、光ファイバ３０_ｎのコア領域３１から出射されるレーザ光を、損失をより抑制しつつ光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａに入射させることができる。また、コア６１内を進んで光導波路５１_ｎの第２の端面５１ｂに入射した戻り光がより拡散した状態で光導波路５１_ｎ内を進む。このため、光ファイバ３０_ｎ及び光ファイバ３０_ｎの周辺領域に到達する戻り光の強度をより低減させ、戻り光による接着剤４２の光損傷等をさらに低減させることができる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態に係る光部品の構成について図９を用いて説明する。第３実施形態に示す光部品の光導波体５０Ｂは、光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａから第２の端面５１ｂに向けてテーパ状とされており、第１の端面５１ａの径が第２の端面５１ｂの径よりも大きい。すなわち、光導波体５０Ｂは、第１の端面５１ａの面積が第２の端面５１ｂの面積よりも大きい点が、第１実施形態の光導波体５０と相違する。したがって、光導波体５０Ｂは、光ファイバ３０_ｎのコア領域３１から第１の端面５１ａに入射されるレーザ光を、光損失を抑制した状態第２の端面５１ｂからスラブ導波体６０のコア６１に入射できる。また、光導波体５０Ｂは、光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａの面積を第２の端面５１ｂの面積よりも大きくすることによって、光導波路５１_ｎの第２の端面５１ｂに入射された戻り光をさらに拡散させて第１の端面５１ａから出射させる。このため、光ファイバ３０_ｎ及び光ファイバ３０_ｎの周辺領域に到達する戻り光の強度をより低減させ、戻り光による接着剤４２の光損傷等をより低減させることができる。一方、戻り光による接着剤４２の光損傷等が特に顕著な場合には、光導波体５０Ｂの第１の端面５１ａの面積を第２の端面５１ｂの面積よりも小さくすることによって、接着剤４２の光損傷をより低減させることもできる。ここで、第１の端面５１ａの面積を光ファイバ３０_ｎのコア領域面３１の面積と同等か又はより小さくした場合、光導波路５１_ｎの第２の端面５１ｂに入射されて光ファイバ３０_ｎの周辺領域に到達する戻り光は光ファイバ３０_ｎのコア領域面３１に入射する。一方、第２の端面５１ｂの面積が大きいことから、スラブ導波体６０のコア６１を逆進して導波する戻り光のうちオーバークラッド５２及び基板５３からなるクラッド部に入射する光がより低減する。このため、クラッド部を逆進して接着剤４２に到達する戻り光をより低減させ、戻り光による接着剤４２の光損傷等をより低減させることができる。

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態に係る光部品の構成について図１０を用いて説明する。第４実施形態に示す光部品の光導波体５０Ｃは、光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａの配列ピッチが、スラブ導波路を形成するコア６１に対してアレイ状に配列された第２の端面５１ｂの配列ピッチより大きい点が、第１実施形態の光導波体５０と相違する。そして、第１の端面５１ａの配列ピッチが大きくなることにより、光ファイバ３０_ｎの配列ピッチも他の実施形態と比較して大きくなるため、保持部材４０も、他の実施形態の保持部材４０と比較して大きい配列ピッチで光ファイバ３０_ｎをアレイ状に配列することができるような形状とされる（図１０では、その形状について図示しない）。このように、第１の端面５１ａの配列ピッチを、第２の端面５１ｂの配列ピッチより大きくすることにより、スラブ導波体６０のコア６１を逆進して導波する戻り光のうち、第１の端面６１ａからオーバークラッド５２及び基板５３からなるクラッド部に入射した光が、クラッド部を進行しながらより拡散して光密度が低減される。したがって、戻り光による接着剤４２の光損傷等をより低減させることができる。

（第５実施形態）
本発明の第５実施形態に係る光部品の構成について図１１を用いて説明する。第５実施形態に示す光部品の光導波体５０Ｄは、光導波路５１_ｎが直線ではなく、曲線状となっている点が第１実施形態の光導波体５０と相違する。図１１に示す光導波体５０Ｄの場合、光導波路５１_ｎの第１の端面５１ａと第２の端面５１ｂとのなす角が９０°となるように光導波体５１_ｎが曲がった形状とされる。そして、光導波体５１_ｎに対応して、アレイ状に配列された光導波体５１_ｎの第１の端面５１ａにそれぞれ接続するように、光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂがアレイ状に配列される。このように、光導波路５１_ｎが直線ではなく曲線状とされている場合、スラブ導波体６０のコア６１を逆進する戻り光のうち光導波体５１_ｎの第２の端面５１ｂに入射した戻り光は光導波路５１_ｎ内を逆進する。しかしながら、第１の端面６１ａからオーバークラッド５２及び基板５３からなるクラッド部に入射した戻り光はクラッド部内を直進するため、第２の端面５１ｂとは異なる角度に設けられた光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂに到達する戻り光の光密度がさらに低減される。このため、クラッド部を進む戻り光による接着剤４２の光損傷等をさらに低減させることができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明に係る光部品は種々の変更を行うことができる。例えば、光導波路５１_ｎの形状は、上記の実施形態のうちの複数の形状を組み合わせたものとすることができる。組み合わせた形状の一例としては、例えば、第１の端面５１ａ及び第２の端面５１ｂの双方が光ファイバ３０_ｎのコア領域面３１ｂよりも十分大きく、且つ、曲がった形状とすることが挙げられる。

１…光照射装置、１０_１〜１０_Ｎ…レーザ光源、２０_１〜２０_Ｎ…レンズ、３０_１〜３０_Ｎ…光ファイバ、４０…保持部材、５０，５０Ａ〜５０Ｄ…光導波体、５１_１〜５１_ｎ…光導波路、６０…スラブ導波体、６１…コア、７０…集光レンズ。

Claims (5)

1. 複数の光ファイバのそれぞれの出射端面が同一側となるように当該複数の光ファイバをアレイ状に配列して固定する保持部材と、
   前記複数の光ファイバのそれぞれに対応しており、前記出射端面に含まれる前記光ファイバのコア領域に接続された第１の端面と、該第１の端面の反対側の第２の端面とを含む複数の光導波路を有する光導波体と、
   前記第２の端面を介して前記複数の光導波路に接続されたスラブ導波路を有するスラブ導波体と、
   を備えることを特徴とする光部品。
2. 前記第１の端面は、前記コア領域を収容可能な形状を有することを特徴とする請求項１記載の光部品。
3. 前記第１の端面の面積は、前記第２の端面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項１又は２記載の光部品。
4. 前記第１の端面の面積は、前記第２の端面の面積よりも小さいことを特徴とする請求項１又は２記載の光部品。
5. 前記第１の端面の配列ピッチは、前記スラブ導波路に対してアレイ状に配列された前記第２の端面の配列ピッチより大きいことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光部品。
   

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