JP2010286652A - 光ファイバアレイ部品及び光部品 - Google Patents

Abstract

【課題】レーザ光の戻り光による損傷を低減させる。
【解決手段】光照射装置１の光部品５では、スラブ導波路を形成するコア５１の第１の端面５１ａのうち、光ファイバ３０_ｎのクラッド領域３２のクラッド領域面３２ｂに到達した戻り光は、クラッド領域３２内を逆進し、クラッド領域３２の界面から保持部４３に漏れ出す場合がある。しかしながら、保持部４３の屈折率は基板４１、蓋部４２の少なくとも一方の屈折率よりも低いことから、保持部４３へ入射した光は基板４１と保持部４３との界面又は蓋部４２と保持部４３との界面から保持部４３の外部へと出射される。また、スラブ導波路を形成するコア５１の第１の端面５１ａから保持部３２に対して戻り光が入射した場合にも、基板４１と保持部４３との界面もしくは蓋部４２と保持部４３との界面から保持部４３の外部へと出射される。このため、戻り光による保持部４３の劣化等を抑制することができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、光ファイバアレイ部品及びこの光ファイバアレイ部品を含む光部品に関する。

光導波体を用いた光照射装置として、例えば、特許文献１のレーザ照射装置が開示されている。特許文献１に記載のレーザ照射装置は、複数台のレーザ光源から出射されたレーザビームはそれぞれが互いに異なる光ファイバに入射され、この光ファイバの出射端面から出射された光が結合レンズを経て、平板状の導波部材の入射端面へ入射される。その後、導波部材に入射された光は多重反射されながら導波部材中を進み、出射端面から被照射物に向けて出射される構成を有している。

特開２００７−１１５７２９号公報

特許文献１記載のレーザ照射装置を用いた場合、被照射物によって反射された光の一部が、戻り光として導波部材の出射端面から入射し、出射端面から入射端面へ向けて多重反射されながらこの導波部材内を進む。そして、導波部材の入射端面から出射される戻り光は、結合レンズアレイを介して光ファイバに照射される。光ファイバを被覆している樹脂や、光ファイバの配置を固定している接着剤等に戻り光が照射される場合、接着剤等が光損傷する場合がある。この光損傷は、特に、高エネルギーのレーザ光を用いる場合に顕著となる。本発明は上記を鑑みてなされたものであり、レーザ光の戻り光による損傷が低減される光ファイバアレイ部品及びこの光ファイバアレイ部品を含む光部品を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に係る光ファイバアレイ部品は、複数の光ファイバのそれぞれの出射端面が同一側となるように当該複数の光ファイバをアレイ状に固定する光ファイバアレイ部品であって、複数の光ファイバが設けられた表面を有する基板と、表面に設けられた複数の光ファイバを固定する保持部と、を備え、保持部の屈折率は、基板の屈折率よりも低いことを特徴とする。

上記の光ファイバアレイ部品を用いたレーザ照射装置によれば、光源から出射したレーザ光は、光ファイバアレイ部品の保持部によって基板上にアレイ状に配列され固定された複数の光ファイバのそれぞれに入射される。そして、この光は、それぞれの光ファイバのコア領域を進み光ファイバの出射端面から出射される。そして、出射端面から出射された光が被照射物に対して照射される。

一方、被照射物によって反射された光の一部が、戻り光として複数の光ファイバ及び光ファイバアレイ部品を照射する場合がある。このうち、光ファイバの出射端面からコア領域に入射した光は光ファイバのコア領域内を進む。また、光ファイバのクラッド領域に入射した光は、クラッド領域から出射して保持部へ入射する場合がある。しかしながら、保持部の屈折率は基板の屈折率よりも低いことから、保持部へ入射した光が基板と保持部との界面から基板へと出射されやすくなり、保持部内に閉じ込められる光を低減させることができる。このため、戻り光による保持部の損傷等を抑制することができる。

また、本発明に係る光ファイバアレイ部品は、複数の光ファイバのそれぞれの出射端面が同一側となるように当該複数の光ファイバをアレイ状に固定する光ファイバアレイ部品であって、複数の光ファイバが設けられた表面を有する基板と、基板の表面上に設けられた蓋部と、基板と蓋部との間に設けられており、複数の光ファイバを基板と蓋部との間に固定する保持部と、を備え、保持部の屈折率は、基板及び蓋部の少なくとも一方の屈折率よりも低い態様とすることもできる。

上記の光ファイバアレイ部品を用いたレーザ照射装置によれば、光ファイバの出射端面からクラッド領域に入射した戻り光がクラッド領域から保持部へ進んだ場合に、保持部の屈折率が基板及び蓋部の少なくとも一方の屈折率よりも低いことから、保持部へ入射した光が基板と保持部との界面や蓋部と保持部との界面から基板や蓋部へと出射されやすくなり、保持部内に閉じ込められる光を低減できる。このため、戻り光による保持部の損傷等を抑制することができる。

ここで、保持部の屈折率は複数の光ファイバのクラッド領域の屈折率よりも低い態様とすることが好ましい。上記のように光ファイバのクラッド領域の屈折率よりも保持部の屈折率を低くすることにより、光ファイバの出射端面からクラッド領域に入射した戻り光がクラッド領域と保持部との界面から保持部に進むことを抑制することができるため、保持部を照射する戻り光の量を低減させることができる。

また、保持部は、フッ素が添加されたエポキシ系樹脂を含有する態様とすることができる。フッ素が添加されたエポキシ系樹脂が保持部に含有されることにより、保持部の屈折率を低減でき、戻り光による保持部の劣化の抑制をさらに効果的に達成することができる。

また、基板の前記表面は、アレイ状に設けられた複数のガイド溝を有し、複数の光ファイバのそれぞれは、複数のガイド溝のそれぞれに配置されている態様とすることができる。このように、光ファイバを１本ずつ配置するガイド溝を基板の表面上に有することにより、複数の光ファイバを精度よく配置することができる。

また、本発明に係る光部品は、上記の光ファイバアレイ部品と、複数の光ファイバのそれぞれの出射端面を介して複数の光ファイバのコア領域に接続されたスラブ導波路を有するスラブ導波体と、を備えることを特徴とする。このように、光ファイバのコア領域に接続されたスラブ導波路を有するスラブ導波体を備えることにより、スラブ導波路により複数の光ファイバからの光を導波させて被照射物に対して照射することができる。そして、被照射物によって反射された戻り光がスラブ導波路に入射して、スラブ導波路を逆方向に進んで光ファイバアレイ部品に到達した場合でも、上記の光ファイバアレイ部品を備えるため、戻り光による保持部の損傷が低減される。

本発明によれば、レーザ光の戻り光による損傷が低減される光ファイバアレイ部品及びこの光ファイバアレイ部品を含む光部品が提供される。

第１実施形態に係る光部品を含む光照射装置の構成を説明する図である。 光部品の構成を説明する斜視図である。 光部品に含まれる保持部材の構成を説明する図である。 光部品に含まれるスラブ導波体の構成を説明する斜視図である。 レーザ光の進行方向に沿った光部品の光結合を説明する図である。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

本発明の実施形態について図１〜図５を用いて説明する。図１に示すように、本実施形態に係る光部品を含む光照射装置１は、Ｎ個のレーザ光源１０_１〜１０_Ｎ、Ｎ個のレンズ２０_１〜２０_Ｎ、Ｎ本の光ファイバ３０_１〜３０_Ｎ、光部品５及び集光レンズ６０を備える。光部品５は、保持部材４０（光ファイバアレイ部品）と、スラブ導波体５０と、を含む。保持部材４０は、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎを保持する部材である。光ファイバ３０_１〜３０_Ｎとスラブ導波体５０とは光学的に接続される。Ｎは２以上の整数であり、また、以下に登場するｎは１以上Ｎ以下の整数である。

レーザ光源１０_ｎは、レーザ光を出射するものである。レーザ光源１０_ｎとしては任意のタイプのものが用いられ得るが、小型化の点で有利な半導体レーザ光源が好適に用いられる。Ｎ個のレーザ光源１０_１〜１０_Ｎそれぞれから出射されるレーザ光の波長は、互いに略同一であってもよいし、互いに異なっていてもよく、例えば中心波長３９５ｎｍ〜４１５ｎｍ、或いは中心波長４３５ｎｍ〜４５５ｎｍのものが好適に用いられる。レンズ２０_ｎは、レーザ光源１０_ｎと光ファイバ３０_ｎの入射端面３０ａとの間に設けられていて、レーザ光源１０_ｎから出射されるレーザ光を光ファイバ３０_ｎの入射端面３０ａに集光して、そのレーザ光を入射端面３０ａから光ファイバ３０_ｎ内に入射する。

光ファイバ３０_ｎは、レンズ２０_ｎを介して入射端面３０ａに入射するレーザ光を導波して、そのレーザ光を出射端面３０ｂから出射する。光ファイバ３０_ｎは、レーザ光源１０_ｎから出射されるレーザ光の波長において伝搬損失が小さいのが好ましく、例えば、純石英ガラスのコアを有するものが好ましい。光ファイバ３０_ｎは、シングルモード光ファイバであってもよいし、マルチモード光ファイバであってもよい。光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂは、図３に示すように、コア領域３１と、このコア領域３１を包囲するクラッド領域３２とを有する。コア領域３１の屈折率はクラッド領域３２の屈折率より高い。そして、コア領域３１の径は、例えば数μｍ〜１０μｍであり、クラッド領域３２の径は５０μｍ〜１２５μｍである。一般に光ファイバのクラッド径は１２５μｍであるが、光ファイバ３０_ｎのクラッド領域３２の径を小さくすることにより、より多数の光ファイバを隣接して配置することができる。なお、この構成は全ての光ファイバ３０_１〜３０_Ｎにおいて共通である。

光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂは、スラブ導波体５０に含まれるコア５１の一方の端面である第１の端面５１ａ（入射端面）と光学的に接続されている。レンズ２０_１〜２０_Ｎ及び光ファイバ３０_１〜３０_Ｎは、レーザ光源１０_１〜１０_Ｎから出射されるレーザ光をスラブ導波体５０に含まれるコア５１の第１の端面５１ａに入射する結合光学系として機能する。上記の光ファイバ３０_１〜３０_Ｎは、図２に示すように、光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂが同一側となるように保持部材４０によりアレイ状に固定される。なお、図２、図３では、８本の光ファイバ３０_１〜３０_８がアレイ状に固定される場合（すなわちＮ＝８の場合）を示す。

保持部材４０は、基板４１、蓋部４２、及び保持部４３を含む。図２及び図３に示すように、基板４１は、全体的に平板状の部材であって、その一方の表面にＮ本のＶ溝が形成される。そして、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎのそれぞれは、Ｎ本のＶ溝のそれぞれに配置されている。蓋部４２は、基板４１の表面に形成されたＮ本のＶ溝のそれぞれに１本ずつ配列された光ファイバ３０_１〜３０_Ｎのうち、スラブ導波体５０側の部分の上面（すなわち、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎを介して基板４１とは逆側の面）を覆うように設けられる平板状の部材である。また、保持部４３は、液状の接着剤が固化したものであり、基板４１の表面のＮ本のＶ溝のそれぞれに１本ずつ配列された光ファイバ３０_１〜３０_Ｎと基板４１との間、及び、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎと蓋部４２との間に設けられて、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎを固定する。これにより、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎは保持部材４０によってアレイ状に固定される。基板４１、蓋部４２及び保持部４３のスラブ導波体５０側の端面は、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎのそれぞれの出射端面３０ｂと同一面内にある。この基板４１の表面のＮ本のＶ溝は高精度で形成することが可能であるため、Ｎ本のＶ溝のそれぞれに光ファイバ３０_ｎを１本ずつ配置することで、光ファイバ３０_ｎのそれぞれの出射端面３０ｂが精度よく配置される。

基板４１及び蓋部４２は、それぞれ石英、ホウケイ酸ガラス（例えば、パイレックス（登録商標）等）、サファイア、スピネル、ダイヤモンド等が好適に用いられる。また、保持部４３は、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎと基板４１との間や光ファイバ３０_１〜３０_Ｎと蓋部４２との間に注入されて固化することによって光ファイバ３０_１〜３０_Ｎを固定する接着剤等が用いられる。

スラブ導波体５０は、図４に示すように、スラブ導波路を形成するコア５１と、コア５１を包囲するクラッド５２と、を有する。コア５１の屈折率はクラッド５２の屈折率より高い。コア５１は、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎの出射端面３０ｂと対向する第１の端面５１ａを有する。また、コア５１は、第１の端面５１ａの反対側（第１の端面５１ａと対向する面）に第２の端面５１ｂを有し、第１の端面５１ａに対して垂直な方向（すなわち第１の端面５１ａから第２の端面５１ｂに延びる方向）に延びるスラブ導波路を形成する。また、コア５１の第１の端面５１ａは、図３に示すように、アレイ状に配列された光ファイバ３０_１〜３０_Ｎのそれぞれのコア領域３１のコア領域面３１ｂを覆うように設けられる。クラッド５２は、出射端面３０ｂと対向する第１の端面５２ａを有し、第１の端面５２ａの反対側に第２の端面５２ｂを有する。ここで、端面５１ａと端面５２ａとは同一面内にあり、かつ、端面５１ｂと端面５２ｂとは同一面内にある。これにより、光ファイバ３０_１〜３０_Ｎのそれぞれのコア領域３１のコア領域面３１ｂから出射されてコア５１の第１の端面５１ａに入射される光は、コア５１内を導波して第２の端面５１ｂから出射される。そして、第２の端面５１ｂから出射される光は、集光レンズ６０によって被照射物２の表面上に集光される。

スラブ導波体５０の材料は、レーザ光源１０_１〜１０_Ｎから出射されるレーザ光の波長において伝搬損失が小さいのが好ましく、例えば、石英ガラスが好ましい。クラッド５２の一部は空気であってもよい。コア５１の大きさは、光ファイバ３０_ｎの本数や外径等に基づいて決められるが、第１の端面５１ａのうち光ファイバ３０_ｎのアレイ状の配列に平行な方向の長さ（第１の端面５１ａのうち長手方向の長さ）は例えば数百μｍ〜数十ｍｍであり、第１の端面５１ａのうち光ファイバ３０_ｎのアレイ状の配列に対して垂直な方向の長さ（第１の端面５１ａのうち短手方向の長さ）は数μｍ〜数十μｍであり、また、コア５１の第１の端面５１ａと第２の端面５１ｂとの距離は数十ｍｍである。

図５は、本実施形態に係る光部品に含まれる光ファイバ３０_ｎと、スラブ導波体５０との光結合を説明する図である。光ファイバ３０_ｎのコア領域３１のコア領域面３１ｂと、スラブ導波体５０のコア５１の第１の端面５１ａとは、互いに対向して光学的に結合される。光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂとスラブ導波体５０のコア５１の第１の端面５１ａとの間は、耐熱性の高いシリコーン系接着剤等の接着剤により接着されていてもよいし、レンズを介して光結合されていてもよい。

次に、保持部材４０についてさらに詳細に説明する。保持部材４０に含まれる保持部４３は、その屈折率が、基板４１及び蓋部４２の少なくとも一方の屈折率よりも小さい。よって、保持部４３における光の閉じこめを抑制することができる。

保持部４３の屈折率について具体的に説明する。本実施形態に係る光照射装置１は、上述のように、レーザ光源１０_１〜１０_Ｎのそれぞれから出射されるレーザ光の波長として中心波長３９５ｎｍ〜４１５ｎｍや中心波長４３５ｎｍ〜４５５ｎｍのものが好適に用いられる。これに対して基板４１及び蓋部４２として好適に用いられる石英、ホウケイ酸ガラス（例えば、パイレックス（登録商標）等）、サファイア、スピネル（ＭｇＡｌ_２Ｏ_４）等は、波長４０５ｎｍの光に対する屈折率が１．４６よりも大きいことが知られている。具体的には、パイレックス（登録商標）の屈折率は１．４７〜１．４８程度である。したがって、上記の基板４１や蓋部４２としてパイレックス（登録商標）が用いられる場合、保持部４３としては、波長４０５ｎｍの光に対する屈折率が１．４６以下である材料が好ましい。

また、保持部４３の屈折率は、光ファイバ３０_ｎのクラッド領域３２（例えば石英）の屈折率よりも小さいことが好ましい。この場合、光ファイバ３０_ｎクラッド領域３２を進む光がクラッド領域３２と保持部４３との界面から保持部４３に対して出射することを抑制することができる。

また、保持部４３の透過率は、波長４０５ｎｍ及び４４５ｎｍの光に対して９０％以上（１ｍｍ厚の場合）が、保持部４３の温度上昇を抑制するために好ましい。

さらに、保持部４３は、図３等に示すように、基板４１、蓋部４２及び光ファイバ３０_ｎに保持部４３の周囲の大半が囲まれるため、基板４１のＶ溝等によって複雑な形状をしている。このため、保持部４３は、固化する際の収縮が比較的小さい材料を有することが剥離等を抑制するために好ましい。

発明者らは、上記の保持部４３として、フッ素添加エポキシ系樹脂を含有する材料が好ましいことを見出した。フッ素添加エポキシ系樹脂はエポキシ系樹脂に対して屈折率の低下を目的としてフッ素を添加したものである。具体的には、エポキシ系樹脂にフッ素を添加することにより、波長５８９ｎｍ（Ｄ線）の光に対する屈折率を１．５０付近から１．４３に低下させることができる。

なお、保持部４３に用いることができる材料としては、上記のフッ素添加エポキシ系樹脂を含有する材料のほか、アクリル系樹脂やシリコーン系樹脂等を含有する材料が好適に用いられる。保持部４３にシリコーン系樹脂を用いる場合、フッ素を添加することなくクラッド領域３２、基板４１及び蓋部４２よりも低い屈折率を得ることができる。

ここで、保持部４３に含有されるフッ素添加エポキシ系樹脂が紫外線硬化型である場合、基板４１、蓋部４２及び光ファイバ３０_ｎ間に注入されたフッ素添加エポキシ系樹脂に対して外部から基板４１又は蓋部４２を介して紫外光を照射することによって、フッ素添加エポキシ系樹脂を硬化させる必要がある。したがって、保持部４３に紫外線硬化型の樹脂が含有される場合には、基板４１及び蓋部４２の少なくとも一方は、紫外光（波長３６５ｎｍの光）に対して透過率が７０％以上（１ｍｍ厚の場合）であることが好ましい。また、基板４１、蓋部４２を構成する材料は熱伝導率が高いことが好ましい。基板４１や蓋部４２の熱伝導率が高いと、光の照射等により保持部４３が加熱されたときに基板４１や蓋部４２に伝熱させることができるため、保持部４３の温度上昇を抑制することができる。具体的には、１０ｍＷ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導を有する材料を基板４１や蓋部４２として用いることが好ましい。

なお、保持部４３に含有される材料（樹脂等）として、紫外線硬化型ではなく熱硬化型の材料を用いることができる。ただし、熱硬化型の樹脂は、例えば１５０℃程度の高温に加熱して硬化させた後常温に戻した場合に収縮する。したがって、内部応力が大きくなりやすい。このため、熱硬化型の樹脂よりも紫外線硬化型の樹脂を保持部４３に含有させることが好ましい。

基板４１や蓋部４２に用いられる材料の一部である石英、サファイア及びスピネルの光学特性（屈折率及び透過率）及び熱力学特性を表１に示す。なお、石英及びサファイアの屈折率としてはいずれも波長４０５ｎｍの光に対する屈折率を示し、スピネルの屈折率としては波長５５０ｎｍの光に対する屈折率を示す。また、表１では、透過率として波長４４５ｎｍの光に対する外部透過率及び内部透過率を示す。各材料について、波長４０５ｎｍの光に対する透過率と波長４４５ｎｍの光に対する透過率とは同等であることが確認されている。ただし、石英の外部透過率と内部透過率及びサファイアの外部透過率は、いずれも１ｍｍ厚のものを試料として用いて測定を行った際の測定値を示すのに対して、スピネルの場合の外部透過率は、０．７ｍｍ厚で片面が反射防止コートされたものを試料として用いて測定を行った際の測定値を示す。

上述の光部品５を含む光照射装置１では、レーザ光源１０_ｎから出射されたレーザ光は、レンズ２０_ｎにより光ファイバ３０_ｎの入射端面３０ａに集光されて、この入射端面３０ａから光ファイバ３０_ｎ内に導入される。光ファイバ３０_ｎ内に導入されたレーザ光は、光ファイバ３０_ｎ内を進んだ後、光ファイバ３０_ｎの出射端面３０ｂから出射されて、スラブ導波体５０のコア５１の第１の端面５１ａからスラブ導波体５０内に導入される。そして、第１の端面５１ａからスラブ導波体５０内に導入されたレーザ光は、コア５１に閉じ込められて第２の端面５１ｂまで進み、第２の端面５１ｂから出射される。そして、第２の端面５１ｂから出射されたレーザ光は、集光レンズ６０を介して被照射物２の表面に到達する。

そして、被照射物２で反射されたレーザ光が、逆に集光レンズ６０を経て第２の端面５１ｂからスラブ導波体５０のコア５１内へ入射し、第１の端面５１ａへ到達する場合がある。このとき、戻り光として第１の端面５１ａに到達した光は、光ファイバ３０_ｎのコア領域３１，クラッド領域３２及び保持部材４０の保持部４３のいずれかに入射する。ここで、クラッド領域３２に入射した戻り光は、このクラッド領域３２内を逆進し、クラッド領域３２の界面から保持部４３に漏れ出す場合があるが、保持部４３の屈折率は基板４１及び蓋部４２のいずれか一方よりは小さいため、保持部４３に漏れ出た光のうち保持部４３に閉じ込められる光の量が低減される。したがって、保持部４３に漏れ出た光の大半が基板４１又は蓋部４２に対して出射する。

以上のように、本実施形態に係る光部品５を含む光照射装置１によれば、スラブ導波路を形成するコア５１の第１の端面５１ａのうち、光ファイバ３０_ｎのクラッド領域３２のクラッド領域面３２ｂに到達した戻り光は、クラッド領域３２内を逆進し、クラッド領域３２の界面から保持部４３に漏れ出す場合がある。しかしながら、保持部４３の屈折率は基板４１、蓋部４２の少なくとも一方の屈折率よりも低いことから、保持部４３へ入射した光は基板４１と保持部４３との界面又は蓋部４２と保持部４３との界面から保持部４３の外部へと出射される。また、スラブ導波路を形成するコア５１の第１の端面５１ａから保持部３２に対して戻り光が入射した場合にも、基板４１と保持部４３との界面又は蓋部４２と保持部４３との界面から保持部４３の外部へと出射される。このため、戻り光による保持部４３の劣化等を抑制することができる。

また、本実施形態における光照射装置１では、保持部４３の屈折率は光ファイバ３０_ｎのクラッド領域３２の屈折率よりも小さい。したがって、光ファイバ３０_ｎのクラッド領域面３２ｂに入射してクラッド領域３２ｂを逆進する戻り光のうち、クラッド領域３２と保持部４３との界面から保持部４３に出射する光の量を低減させることができるため、保持部４３に入る光の量をさらに減らすことができ、保持部４３の劣化を抑制することができる。

また、本実施形態に係る光照射装置１のように保持部４３にフッ素が添加されたエポキシ系樹脂が含有されることにより、保持部４３の屈折率を低減でき、戻り光による保持部４３の劣化の抑制をさらに効果的に達成することができる。

また、保持部材４０に含まれる基板４１が光ファイバ３０_ｎが１本ずつ配置される複数本のガイド溝を表面に有することにより、光ファイバ３０_ｎを精度よく配列することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明に係る光照射装置１は種々の変更を行うことができる。例えば、上記実施形態では保持部材４０とスラブ導波体５０とが含まれる光部品５について中心に説明したが、スラブ導波体５０は必須の構成ではない。すなわち、光照射装置１がスラブ導波体５０を備えず、保持部材４０により固定された光ファイバ３０_ｎから出射された光が集光レンズ６０を介して直接被照射物２に対して照射される構成であってもよい。この場合でも、本発明に係る上記の効果、すなわち、戻り光による保持部４３の劣化を抑制するという効果は、上記実施形態と同様に奏される。

また、上記実施形態では、光ファイバ３０_ｎの上面に蓋部４２を備える保持部材４０について説明したが、光ファイバ３０_ｎの上面に蓋部４２を備えなくてもよい。このとき、保持部４３の屈折率が基板４１の屈折率よりも低いことによって、保持部４３内に入射して保持部４３に閉じ込められる戻り光が低減されるため、保持部４３の劣化が抑制される。

１…光照射装置、５…光部品、１０_１〜１０_Ｎ…レーザ光源、２０_１〜２０_Ｎ…レンズ、３０_１〜３０_Ｎ…光ファイバ、４０…保持部材（光ファイバアレイ部品）、４１…基板、４２…蓋部、４３…保持部、５０…スラブ導波体、５１…コア、６０…集光レンズ。

Claims (6)

1. 複数の光ファイバのそれぞれの出射端面が同一側となるように当該複数の光ファイバをアレイ状に固定する光ファイバアレイ部品であって、
   前記複数の光ファイバが設けられた表面を有する基板と、
   前記表面に設けられた前記複数の光ファイバを固定する保持部と、
   を備え、
   前記保持部の屈折率は、前記基板の屈折率よりも低いことを特徴とする光ファイバアレイ部品。
2. 複数の光ファイバのそれぞれの出射端面が同一側となるように当該複数の光ファイバをアレイ状に固定する光ファイバアレイ部品であって、
   前記複数の光ファイバが設けられた表面を有する基板と、
   前記基板の前記表面上に設けられた蓋部と、
   前記基板と前記蓋部との間に設けられており、前記複数の光ファイバを前記基板と前記蓋部との間に固定する保持部と、
   を備え、
   前記保持部の屈折率は、前記基板及び前記蓋部の少なくとも一方の屈折率よりも低いことを特徴とする光ファイバアレイ部品。
3. 前記保持部の屈折率は前記複数の光ファイバのクラッド領域の屈折率よりも低いことを特徴とする請求項１又は２記載の光ファイバアレイ部品。
4. 前記保持部は、フッ素が添加されたエポキシ系樹脂を含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光ファイバアレイ部品。
5. 前記基板の前記表面は、アレイ状に設けられた複数のガイド溝を有し、
   前記複数の光ファイバのそれぞれは、前記複数のガイド溝のそれぞれに配置されている
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光ファイバアレイ部品。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の光ファイバアレイ部品と、
   前記複数の光ファイバのそれぞれの出射端面を介して前記複数の光ファイバのコア領域に接続されたスラブ導波路を有するスラブ導波体と、
   を備えることを特徴とする光部品。
   
   

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