JP2009206191A - パワーモジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パワーモジュール10は、半導体素子が形成された半導体チップ11a,11bと、半導体チップ11a,11bで発生した熱を熱交換媒体に放出するためのヒートシンク部材21と、ヒートシンク部材21と半導体チップ11a,11bとの間に介在する金属配線23及び絶縁樹脂層26とを備えている。ヒートシンク部材24は、半導体チップ11a,11bと熱膨張係数差が小さく熱伝導率の高いSi−SiCからなり、平板部21aと、平板部21aから熱交換媒体にさらされる領域に突出するフィン部21bとを有している。
【選択図】図3
Description
上記開示された本発明の実施の形態の構造は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの記載の範囲に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。
11a 半導体チップ
11b 半導体チップ
14 裏面電極
16 上面電極
17 ボンディングワイヤ
18 ボンディングワイヤ
19 ボンディングワイヤ
20 ボンディングワイヤ
21 ヒートシンク部材
21a 平板部
21b フィン部
22 保護層
23 金属配線
24 ボンディングワイヤ
26 絶縁樹脂層
28 制御信号用電極
50 放熱器
50a 天板
50b 容器
51 流路
53 樹脂ケース
56a−56c 電極端子層
58a 供給管
58b 排出管
Claims (6)
- 半導体素子および電極が形成された半導体チップと、
前記電極に接合された配線部材と、
前記配線部材を挟んで前記半導体チップと対向する側に設けられ、熱交換媒体が流れる領域に一部が露出する,Si−SiC,Al−SiC,焼結Al合金のいずれかからなるヒートシンク部材と、
前記ヒートシンク部材と前記配線部材との間に介在する絶縁部材と、
を備えているパワーモジュール。 - 請求項1記載のパワーモジュールにおいて、
前記ヒートシンク部材は、
平板部と、
該平板部から熱交換媒体が流れる領域に向かって突出する1または2以上のフィン部と
を有している、パワーモジュール。 - 請求項1または2記載のパワーモジュールにおいて、
前記配線部材は、CuMo,CuW,コバール,焼結Al合金のいずれかにより構成されている、パワーモジュール。 - 請求項1〜3のうちいずれか1つに記載のパワーモジュールにおいて、
前記絶縁部材は、無機材料フィラー混入エポキシ樹脂により構成されている、パワーモジュール。 - 請求項1〜3のうちいずれか1つに記載のパワーモジュールにおいて、
前記絶縁部材は、表面がメタライズされたAlNにより構成され、
前記絶縁部材と前記配線部材およびヒートシンク部材とは、ろう付けにより接合されている、パワーモジュール。 - 請求項1〜5のうちいずれか1つに記載のパワーモジュールにおいて、
前記半導体素子は、ワイドバンドギャップ半導体を用いたパワーデバイスである、パワーモジュール。
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